JP2006071362A - 可燃性ガスセンサ - Google Patents
可燃性ガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006071362A JP2006071362A JP2004252948A JP2004252948A JP2006071362A JP 2006071362 A JP2006071362 A JP 2006071362A JP 2004252948 A JP2004252948 A JP 2004252948A JP 2004252948 A JP2004252948 A JP 2004252948A JP 2006071362 A JP2006071362 A JP 2006071362A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- combustible gas
- temperature
- gas sensor
- measuring element
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 シリコン基板2面に成膜されたダイヤフラム4上にサーモパイル等の測温素子5が形成され、この測温素子5の感熱部に対応するダイヤフラム4の裏面には酸化触媒6が担持され、かつ、シリコン基板2の表面上には、酸化触媒6を活性状態に維持可能な電熱ヒータ7が設けられている。
【選択図】 図1
Description
図1は本発明に係る可燃性ガスセンサ1の一例を示す縦断面図である。この可燃性ガスセンサ1は、半導体基板の一例として、厚みが約300μmのシリコン基板2の中央部分にエッチングにより空洞部3を形成し、この空洞部3を覆うようにシリコン基板2上に、例えばSiO2 薄膜やSiN薄膜等のダイヤフラム4を成膜し、このダイヤフラム4上に測温素子の一例として、ポリシリコンとアルミなど異種金属を接合してなり、温度変化に応じたゼーベック効果により熱起電力を発生し出力するサーモパイル5が形成されている。
2 シリコン基板(半導体基板)
4 ダイヤフラム
5 サーモパイル(測温素子の一例)
6 酸化触媒
7 電熱ヒータ
Claims (4)
- 半導体基板面に成膜されたダイヤフラム上に測温素子が形成され、この測温素子で測定対象ガスの温度を測定することにより、測定対象ガス中に含まれている可燃性ガスを検知するように構成されている可燃性ガスセンサにおいて、
前記測温素子の感熱部の表面若しくは裏面に酸化触媒が担持されていることを特徴とする可燃性ガスセンサ。 - 前記測温素子が、サーモパイル若しくはサーミスタボロメータである請求項1に記載の可燃性ガスセンサ。
- 前記半導体基板面若しくはダイヤフラム上に、前記酸化触媒を活性状態に維持可能なヒータが設けられている請求項1又は2に記載の可燃性ガスセンサ。
- 前記酸化触媒は、ダイヤフラム上に直接に、または、良熱伝導性金属材料を含む接着層を介して成膜されている請求項1ないし3のいずれかに記載の可燃性ガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004252948A JP4184325B2 (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | 可燃性ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004252948A JP4184325B2 (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | 可燃性ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006071362A true JP2006071362A (ja) | 2006-03-16 |
JP4184325B2 JP4184325B2 (ja) | 2008-11-19 |
Family
ID=36152167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004252948A Expired - Fee Related JP4184325B2 (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | 可燃性ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4184325B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008123092A1 (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-16 | Horiba, Ltd. | 可燃性ガスセンサ |
JP2009186292A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Yamatake Corp | ガスセンサチップ及びこれを備えたガスセンサ |
DE112008000824T5 (de) | 2007-03-28 | 2010-02-11 | HORIBA, Ltd., Kyoto-shi | Sensor für brennbare Gase |
JP2011107035A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Nihon Univ | 熱線濃度計 |
DE102010053366A1 (de) | 2009-12-24 | 2011-06-30 | HORIBA, Ltd., Kyoto | Wasserstoffkonzentrationsmesseinrichtung |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3483574A1 (en) * | 2017-11-14 | 2019-05-15 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Microbolometer and method of manufacturing |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51125685A (en) * | 1974-11-12 | 1976-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Oxidation catalyst for inflammable gas |
JPH0510901A (ja) * | 1990-08-10 | 1993-01-19 | Mitsubishi Materials Corp | 触媒燃焼式ガスセンサ |
JP2001099798A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Yazaki Corp | 接触燃焼式ガスセンサ並びにガス検出方法及びその装置 |
JP2001165731A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-06-22 | Yazaki Corp | フローセンサおよびこれを用いた流量計 |
JP2003156461A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-05-30 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 可燃性ガスセンサ |
JP2003240744A (ja) * | 2002-02-15 | 2003-08-27 | Techno Ryowa Ltd | ホルムアルデヒド濃度計 |
JP2004179643A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-06-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 熱電変換材料薄膜とセンサ素子及びその製造方法 |
JP2004536301A (ja) * | 2001-07-16 | 2004-12-02 | センサー テック インコーポレイテッド | 気相物質の定性および定量分析のためのセンサ装置および方法 |
-
2004
- 2004-08-31 JP JP2004252948A patent/JP4184325B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51125685A (en) * | 1974-11-12 | 1976-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Oxidation catalyst for inflammable gas |
JPH0510901A (ja) * | 1990-08-10 | 1993-01-19 | Mitsubishi Materials Corp | 触媒燃焼式ガスセンサ |
JP2001099798A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Yazaki Corp | 接触燃焼式ガスセンサ並びにガス検出方法及びその装置 |
JP2001165731A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-06-22 | Yazaki Corp | フローセンサおよびこれを用いた流量計 |
JP2004536301A (ja) * | 2001-07-16 | 2004-12-02 | センサー テック インコーポレイテッド | 気相物質の定性および定量分析のためのセンサ装置および方法 |
JP2003156461A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-05-30 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 可燃性ガスセンサ |
JP2003240744A (ja) * | 2002-02-15 | 2003-08-27 | Techno Ryowa Ltd | ホルムアルデヒド濃度計 |
JP2004179643A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-06-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 熱電変換材料薄膜とセンサ素子及びその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008123092A1 (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-16 | Horiba, Ltd. | 可燃性ガスセンサ |
DE112008000824T5 (de) | 2007-03-28 | 2010-02-11 | HORIBA, Ltd., Kyoto-shi | Sensor für brennbare Gase |
JP2009186292A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Yamatake Corp | ガスセンサチップ及びこれを備えたガスセンサ |
JP2011107035A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Nihon Univ | 熱線濃度計 |
DE102010053366A1 (de) | 2009-12-24 | 2011-06-30 | HORIBA, Ltd., Kyoto | Wasserstoffkonzentrationsmesseinrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4184325B2 (ja) | 2008-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6256933B2 (ja) | 濃縮機能を有する水素ガスセンサとこれに用いる水素ガスセンサプローブ | |
Sberveglieri et al. | Silicon hotplates for metal oxide gas sensor elements | |
JP3175887B2 (ja) | 測定装置 | |
US20130209315A1 (en) | Specified gas concentration sensor | |
JP4820528B2 (ja) | 触媒センサ | |
US8007169B2 (en) | Sensor | |
US4703555A (en) | Method of making a catalytic-burning sensor | |
JPH0843340A (ja) | 高感度シリコンに基づくマイクロカロリメータの及びその製造方法 | |
CA2687537A1 (en) | Thermally insulating ceramic substrates for gas sensors | |
JP2008111822A (ja) | ガスセンサ素子およびこれを用いたガス濃度測定装置 | |
JP2009079965A (ja) | 熱電対ヒータとこれを用いた温度計測装置 | |
JP2016085131A (ja) | 水素ガスセンサ装置の駆動方法およびこれを用いた水素ガスセンサ装置 | |
JP2008275588A (ja) | 可燃性ガスセンサ | |
JP2017166826A (ja) | ガスセンサ | |
JP2001099801A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ | |
JP4184325B2 (ja) | 可燃性ガスセンサ | |
JP6243040B2 (ja) | 被酸化性ガスを検出するセンサ | |
JP4798961B2 (ja) | ヒータデバイス及びこれを用いた気体センサ装置 | |
WO2016132934A1 (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ | |
Shin et al. | Thermoelectric gas sensors with selective combustion catalysts | |
JP2011012972A (ja) | 気体熱伝導度式ガスセンサ | |
JP2008241554A (ja) | 可燃性ガスセンサ | |
JP2008292387A (ja) | 可燃性ガスセンサ | |
JP2007315925A (ja) | 可燃性ガスセンサ、及び可燃性ガス検出装置 | |
JP3929845B2 (ja) | 可燃性ガス検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080610 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080730 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080902 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080903 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140912 Year of fee payment: 6 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4184325 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140912 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |