JP2006062208A - 微細構造転写装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
ステージ上に正確に基板とスタンパを載置して、基板の所望位置に正確に微細構造を転写することができるようにしたい。
【解決手段】
ステージ13の平坦な基板載置面Saに基板11とスタンパ10を対向させて載置し、スタンパ10で基板11に型押しをして基板上に所望の凹凸のパターンを形成する微細構造転写装置であり、ステージ13の基板載置面Saよりも高い位置に対向させた基板10とスタンパ11の仮載置面Sbを備え、仮載置面Sbに対向させた基板11とスタンパ10が載置されたら仮載置面Sbがステージ13の基板載置面Saと同一平面位置まで徐々に移動する仮置き部材25〜27を設けた。
【選択図】 図4
Description
る。
4…ロボットハンド
5…ヘッド
7…ヘッド側アダプタ
8…ステージ側アダプタ
10…スタンパ
11…基板
12…ホルダ
13…ステージ
16…支柱
21…シリンダ
25〜27…仮置き部材
Claims (5)
- ステージの平坦な基板載置面に基板とスタンパを対向させて載置し、該スタンパで該基板に型押しをして該基板上に所望の凹凸のパターンを形成する微細構造転写装置において、
該ステージの基板載置面よりも高い位置に対向させた基板とスタンパの仮載置面を備え、該仮載置面に対向させた基板とスタンパが載置されたら該仮載置面が該ステージの基板載置面と同一平面位置まで徐々に移動する仮置き部材を設けたことを特徴とする微細構造転写装置。 - 上記請求項1の微細構造転写装置において、該仮置き部材は空間における空気を対向させた基板とスタンパの自重で圧縮するピストンを備え、該空間における圧縮された空気を該絞り弁を介して排出することにより該仮載置面に対向させた基板とスタンパが載置されたら該仮載置面が該ステージの基板載置面と同一平面位置まで徐々に移動するものであることを特徴とする微細構造転写装置。
- 上記請求項1の微細構造転写装置において、該仮置き部材は空間におけるバネを対向させた基板とスタンパの自重で圧縮するピストンを備え、該空間における該ピストンの前後に働く差圧とバネ力に抗して該仮載置面に載置した対向させた基板とスタンパは該仮載置面が該ステージの基板載置面と同一平面位置まで徐々に移動するものであることを特徴とする微細構造転写装置。
- 上記請求項1の微細構造転写装置において、該仮置き部材は空間における空気を対向させた基板とスタンパの自重で圧縮するピストンを備え、該ピストンにはその前後を連通する開孔があり、該空間にはピストンの移動にあわせて該開孔を塞ぐピンがあり、該ピンにより該開孔を通過する空気の流れを阻止し、該仮載置面が該ステージの基板載置面と同一平面位置まで徐々に移動させるものであることを特徴とする微細構造転写装置。
- 上記請求項1の微細構造転写装置において、該ステージと該スタンパおよび該仮置き部材を真空チャンバ内に設け、真空チャンバ外に設けたロボットハンドにより該仮置き部材上に対向させた基板とスタンパを載置するようになされていることを特徴とする微細構造転写装置。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007335873A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Lg Philips Lcd Co Ltd | ソフトモールドの形成方法及びソフトモールドの形成装置 |
JP2009218554A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-09-24 | Toppan Printing Co Ltd | インプリント法およびインプリントモールド、インプリント装置 |
JP2009265187A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | インプリント方法およびその装置 |
JPWO2010095402A1 (ja) * | 2009-02-17 | 2012-08-23 | 出光ユニテック株式会社 | 表面形状付き光学部材の製造方法及びその製造装置 |
JP2014147965A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Daido Steel Co Ltd | 金型補修溶接材料 |
US9146460B2 (en) | 2008-04-22 | 2015-09-29 | Fuji Electric Co., Ltd. | Imprinting method and apparatus therefor |
JP5805541B2 (ja) * | 2010-01-07 | 2015-11-04 | 株式会社リッチェル | マイクロ部品製造用金型及び製造方法 |
KR20210018154A (ko) | 2019-08-09 | 2021-02-17 | 아이메카테크 가부시키가이샤 | 미세 구조 전사 장치 및 미세 구조 전사 방법 |
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007335873A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Lg Philips Lcd Co Ltd | ソフトモールドの形成方法及びソフトモールドの形成装置 |
JP4695117B2 (ja) * | 2006-06-13 | 2011-06-08 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | ソフトモールドの形成方法及びソフトモールドの形成装置 |
JP2009218554A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-09-24 | Toppan Printing Co Ltd | インプリント法およびインプリントモールド、インプリント装置 |
JP2009265187A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | インプリント方法およびその装置 |
US8834774B2 (en) | 2008-04-22 | 2014-09-16 | Fuji Electric Co., Ltd. | Imprinting method and apparatus therefor |
US9146460B2 (en) | 2008-04-22 | 2015-09-29 | Fuji Electric Co., Ltd. | Imprinting method and apparatus therefor |
JPWO2010095402A1 (ja) * | 2009-02-17 | 2012-08-23 | 出光ユニテック株式会社 | 表面形状付き光学部材の製造方法及びその製造装置 |
JP5805541B2 (ja) * | 2010-01-07 | 2015-11-04 | 株式会社リッチェル | マイクロ部品製造用金型及び製造方法 |
JP2014147965A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Daido Steel Co Ltd | 金型補修溶接材料 |
KR20210018154A (ko) | 2019-08-09 | 2021-02-17 | 아이메카테크 가부시키가이샤 | 미세 구조 전사 장치 및 미세 구조 전사 방법 |
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