JP2006058293A - サンプルの検査方法と検査装置、及びマイクロ電子デバイスの製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 その検査方法はX線の平行光線でサンプル22を照射中に、サンプル22の第1の反射率スペクトルを取得し、サンプル22の散漫反射特性を測定するために第1の反射率スペクトルを処理する。X線の収束光線でサンプル22を照射中に、サンプル22の第2の反射率スペクトルが取得される。サンプル22の表面層の特性を求めるために散漫反射特性を使用して、第2の反射率スペクトルが解析される。
【選択図】 図1
Description
22 サンプル
24 可動ステージ
26 X線源
27 収束光線
29 反射X線
30 ディテクタ部
32 ディテクタアレイ
36 ナイフエッジ
38 シャッター
39 スリット
40 信号プロセッサ
70 クラスターツール
72 蒸着ステーション
74 検査ステーション
77 ウェハ
78 ロボット
80 システムコントローラ
82 ワークステーション
90 半導体ウェハ製造システム
92 真空チャンバー
94 蒸着装置
96 X線窓
Claims (21)
- 表面層を備えたサンプルの検査方法であって、
X線の平行光線でサンプルを照射中に、サンプルの第1の反射率スペクトルを取得し、
前記サンプルの散漫反射特性を測定するために前記第1の反射率スペクトルを処理し、
X線の収束光線で前記サンプルを照射中に、前記サンプルの第2の反射率スペクトルを取得し、
前記サンプルの表面層の特性を求めるために前記散漫反射特性を使用して前記第2の反射率スペクトルを解析することを特徴とする検査方法。 - 前記第1の反射率スペクトルの取得は、収束光線を平行にするために該光線中にスリットを導入することを含む、請求項1に記載の検査方法。
- 前記第1の反射率スペクトルの取得は、所定の入射角で平行光線で前記サンプルを照射し、且つディテクタアレイを用いて仰角の範囲にわたって同時にX線を受光することを含む、請求項1に記載の検査方法。
- 前記第2の反射率スペクトルの取得は、前記第1の反射率スペクトルの取得で使用するディテクタアレイを使用して、仰角の範囲にわたって同時にX線を受光することを含む、請求項3に記載の検査方法。
- 前記第1の反射率スペクトルの処理は、前記第1の反射率スペクトルにおいてヨネダウイングを検出することを含む、請求項1に記載の検査方法。
- 前記ヨネダウイングの検出は、前記ヨネダウイングの角度位置に応じて前記サンプルの全反射の臨界角を求めることを含む、請求項5に記載の検査方法。
- 前記ヨネダウイングの検出は、前記ヨネダウイングの振幅に応じて前記表面層のラフネスの尺度を求めることを含む、請求項5に記載の検査方法。
- 前記第2の反射率スペクトルの解析は、前記第1の反射率スペクトルに応じて散漫反射ノイズを評価し、且つ前記第2の反射率スペクトルから該散漫反射ノイズを減じることを含む、請求項1に記載の検査方法。
- 前記第2の反射率スペクトルの解析は、前記表面層の密度、厚さ、及び表面ラフネスの少なくとも一つを求めることを含む、請求項1に記載の検査方法。
- 前記サンプルは半導体ウェハであり、且つ前記第2の反射率スペクトルの解析は、該ウェハに形成された薄膜層の質を求めることを含む、請求項1に記載の検査方法。
- 表面層を備えたサンプルの検査装置であって、
前記装置の第1の構成において前記サンプルの表面へX線の平行光線を向け、且つ前記装置の第2の構成において前記サンプルの表面へX線の収束光線を向けるように適合される放射線源と、
前記第1及び第2の構成において、それぞれ前記表面に対する仰角の関数として第1及び第2の反射率スペクトルを生成するために、前記表面から反射されたX線を検知するように配置されるディテクタ部と、
前記サンプルの散漫反射特性を測定するために前記第1の反射率スペクトルを受信及び処理し、且つ前記サンプルの表面層の特性を求めるために該散漫反射特性を使用して前記第2の反射率スペクトルを解析するように結合される信号プロセッサと、
を有することを特徴とする検査装置。 - 前記第1の構成において光線を平行にするために、前記放射線源で生じた収束光線中に導入されるスリットを有する、請求項11に記載の検査装置。
- 前記ディテクタ部は、前記第1及び第2の構成の両方において、仰角の範囲にわたって同時に反射X線を受光するように構成されたディテクタアレイを有する、請求項11に記載の検査装置。
- 前記信号プロセッサは、前記第1の反射率スペクトルにおいてヨネダウイングを検出するために前記第1の反射率スペクトルを処理するように適合される、請求項11に記載の検査装置。
- 前記信号処理プロセッサは、前記ヨネダウイングの角度位置に応じて前記サンプルの全反射の臨界角を求めるように適合される、請求項14に記載の検査装置。
- 前記信号処理プロセッサは、前記ヨネダウイングの振幅に応じて前記表面層のラフネスの尺度を求めるように適合される、請求項14に記載の検査装置。
- 前記信号処理プロセッサは、前記第1の反射率スペクトルに応じて散漫反射ノイズを評価し、且つ前記第2の反射率スペクトルから該散漫反射ノイズを減じるように適合される、請求項11に記載の検査装置。
- 前記信号処理プロセッサは、前記表面層の密度、厚さ、及び表面ラフネスの少なくとも一つを求めるために前記第2の反射率スペクトルを解析するように適合される、請求項11に記載の検査装置。
- 前記サンプルは半導体ウェハであり、且つ前記信号処理プロセッサは前記ウェハに形成された薄膜層の質を求めるために前記第2の反射率スペクトルを解析するように適合される、請求項11に記載の検査装置。
- 半導体ウェハの表面に薄膜層を蒸着するように適合される蒸着ステーションと、
検査ステーションであって、
該検査ステーションの第1の構成において前記サンプルの表面へX線の平行光線を向け、且つ該検査ステーションの第2の構成において前記サンプルの表面へX線の収束光線を向けるように適合される放射線源と、
前記第1及び第2の構成において、それぞれ前記表面に対する仰角の関数として第1及び第2の反射率スペクトルを生成するために、前記表面から反射されたX線を検知するように配置されるディテクタ部と、
前記表面の散漫反射特性を測定するために前記第1の反射率スペクトルを受信及び処理し、且つ前記薄膜層の特性を求めるために該散漫反射特性を使用して前記第2の反射率スペクトルを解析するように結合される信号処理プロセッサとを有する検査ステーションと、
を有することを特徴とするマイクロ電子デバイス製造用クラスタツール。 - 半導体ウェハを受け取るように適合される製造チャンバーと、
前記チャンバー内で前記半導体ウェハの表面に薄膜層を蒸着するように適合される蒸着装置と、
放射線源であって、
該線源の第1の構成において前記製造チャンバー内の前記ウェハの表面へX線の平行光線を向け、且つ該線源の第2の構成において前記製造チャンバー内の前記ウェハの表面へX線の収束光線を向けるように適合される放射線源と、
前記第1及び第2の構成において、それぞれ前記表面に対する仰角の関数として第1及び第2の反射率スペクトルを生成するために、前記製造チャンバー内の前記表面から反射されたX線を検知するように配置されるディテクタ部と、
前記表面の散漫反射特性を測定するために前記第1の反射率スペクトルを受信及び処理し、且つ前記薄膜層の特性を求めるために該散漫反射特性を使用して前記第2の反射率スペクトルを解析するように結合される信号処理プロセッサと、
を有することを特徴とするマイクロ電子デバイスの製造装置。
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