JP2006054374A - 太陽電池の製造方法および太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導電性ペーストを使用して基板上に電極を形成する工程を有する太陽電池の製造方法において、少なくとも基板上に電極形成用の溝部を形成した後、該電極形成用溝部に前記導電性ペーストを減圧下で充填して電極を形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。
【選択図】図1
Description
このように、電極をスクリーン印刷法により形成すれば、電極を効率的に形成できるため量産性に優れ、製造コストを低減することができる。
このように、スクリーン印刷法による電極の形成を基板とスクリーン製版との間の空間のみを減圧しながら行えば、排気に要する時間を短縮でき、装置を簡略化することもできる。また、基板とスクリーン製版との間の空間と外部空間との圧力差が生じ、導電性ペーストが勢い良く溝に充填されるので、高速印刷が可能となる。
このように、電極を形成する時の圧力を0.09MPa以下とすれば、より確実に気泡を残留させずに溝部に導電性ペーストを充填でき、高品質の電極を高速度で形成することができる。
特に受光面側の集電用の電極は、入射光を遮らないように占有面積が小さく低抵抗率であることが求められている。したがって、上記本発明の方法で受光面側の集電用の電極を形成すれば、高アスペクト比でありボイドなどの不良が無い低抵抗率を有する電極を得ることができる。
このように、導電性ペーストとして、金、銀、銅、ニッケル、亜鉛、アルミニウムのうち少なくとも1つを含むものを用れば、得られる電極は低抵抗率を有するものとなる。
このように、電極形成用溝部を幅20〜100μm、深さ5〜100μmとなるように形成すれば、電極部分の占有面積が小さく高アスペクト比を有する電極を形成することが容易となる。
図1は、本発明の太陽電池の製造方法を説明するフロー図である。
まず、太陽電池を製造する基板として、図1(a)に示すように、ホウ素あるいはガリウムなどをドープしたp型のアズカットシリコン単結晶基板1を準備する。シリコン単結晶の物性は特に限定されるものではなく、例えば、比抵抗を0.1〜5Ω・cm、結晶方位を{100}とすることができる。シリコン単結晶の育成方法としては、チョクラルスキー(CZ)法やフローティングゾーン(FZ)法を用いることができる。このシリコン単結晶基板1に対し、スライス加工時のダメージを除去するために、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどの高濃度アルカリ溶液、あるいはフッ酸と硝酸の混酸などを用いてシリコン単結晶基板1の表面をエッチングする。
(実施例)
一辺が100mmの角ウェーハで、厚さ300μm、比抵抗0.5Ω・cm、方位{100}のCZ法で育成されたホウ素ドープp型アズカットシリコン単結晶基板1を4枚用意し、濃水酸化カリウム水溶液によるエッチングを行ってダメージ層を除去した。その後、水酸化カリウム/2−プロパノール混合溶液中に浸漬して、シリコン単結晶基板1の表面にテクスチャ形成を行い、その後塩酸/過酸化水素混合溶液を用いて洗浄した。
続いて、シリコン単結晶基板の受光面に、ダイシング装置を用いて幅60μm、深さ50μmの溝を2mm間隔で電極形成用溝部4を互いに平行になるように複数形成した。溝形成後、水酸化カリウム溶液中に浸漬して表面に発生したダメージを除去した。
次いで、シリコン単結晶基板裏面全体に、スクリーン印刷法を用いてアルミニウムペーストを塗布し、その後熱処理して厚さ20μmのアルミニウム裏面電極5を形成した。
実施例と同様のシリコン単結晶基板を4枚準備した。そして、受光面側電極を形成する際に、シリコン単結晶基板とスクリーン製版との間の空間を減圧せず大気圧のまま(約0.1MPa)で、スクリーン印刷法により電極形成用溝部に銀ペーストを充填した以外は実施例と同様の方法で、シリコン太陽電池を製造した。
実施例では受光面電極にボイドや厚さ不足がなかったため、直列抵抗が低減し曲線因子が増加した。その結果、変換効率を上昇させることができた。一方、比較例ではボイドや厚さの不均一により直列抵抗が大きくなったために、実施例よりも曲線因子が増加し変換効率が小さくなった。
3…反射防止膜、 4…電極形成用溝、 5…裏面電極、 6…受光面電極、
7…太陽電池、 8…、スクリーン製版、 9…スクリーン製版開口部、
10…真空シール、 11…印刷ステージ、 12…溝加工を施した基板、
13…排気管、 14…真空ポンプ、 15…導電性ペースト、 16…気泡。
Claims (8)
- 導電性ペーストを使用して基板上に電極を形成する工程を有する太陽電池の製造方法において、少なくとも基板上に電極形成用の溝部を形成した後、該電極形成用溝部に前記導電性ペーストを減圧下で充填して電極を形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。
- 前記電極を、スクリーン印刷法により形成することを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記スクリーン印刷法による電極の形成を、前記基板とスクリーン製版との間の空間のみを減圧しながら行うことを特徴とする請求項2に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記電極を形成する時の圧力を、0.09MPa以下とすることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記電極を、受光面側の集電用の電極とすることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記導電性ペーストとして、金、銀、銅、ニッケル、亜鉛、アルミニウムのうち少なくとも1つを含むものを用いることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記電極形成用溝部を、幅20〜100μm、深さ5〜100μmとなるように形成することを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法により製造されたことを特徴とする太陽電池。
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