JP2006053097A - 表示パネルの検査装置及び表示パネルの検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、検査員の個人差による表示欠陥などの不具合の検出率に差が生じ得ず、不良品の検出率を向上させることのできる表示パネルの検査装置及び表示パネルの検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】検査すべき液晶表示パネル３２の一部に表示される検査領域ＡＸ１を表示する表示ステップを有する。さらに、表示された検査領域ＡＸ１を移動させる移動ステップを有する。移動ステップでは、検査員の視線を誘導する特定の移動方向Ｍ１の移動パターンに基づいて検査領域ＡＸ１を移動させる。
【選択図】図３

Description

本発明は、表示パネルの検査装置及び表示パネルの検査方法に関し、特に、液晶表示パネルの製造工程にて表示検査を行う表示パネルの検査装置及び表示パネルの検査方法に関する。

液晶表示パネルの製造工程は大別すると、基板上に配線パターン等を形成するアレイ工程と、配向処理やスペーサの配置、及び対向する基板間に液晶を封入するセル工程と、ドライバＩＣの取付けやバックライト装着などを行うモジュール工程とからなる。

液晶表示パネルの表示検査は、主としてセル工程後の検査工程にて検査装置を用いて行われる。検査装置を用いた表示検査の仕方は以下のようになる。先ず、検査すべき液晶表示パネルを検査装置のステージ上に設置して位置決め固定する。次に、液晶表示パネルの後方から検査装置のバックライトユニットを用いて光を照らす。さらに、基板上の各端子に検査装置のプローブを介して検査装置のドライバから所定の駆動信号を印加し液晶表示パネルの表示駆動を行う。そして、液晶表示パネルを全面白表示（点灯表示）させた状態にする。

検査員は、検査すべき液晶表示パネルに表示される画像の表示状態を目視により確認し、各種検査例えば画素の表示欠陥部分の検出を行なう。この際、検査員は液晶表示パネルの画面の隅から隅まで視線を走らせながら目視で欠陥部分を探す作業を行う。

しかしながら、従来の目視検査では、各検査員の個人差により視線の走らせ方に違いが生じ、また一度に目視できる領域も検査員毎に違ってくるため、液晶表示パネルの表示欠陥などの不具合の検出率が悪くなるという問題があった。
特開平０８−２２００１４号公報

本発明の目的は、検査員の個人差による表示欠陥などの不具合の検出率に差が生じ得ず、不良品の検出率を向上させることのできる表示パネルの検査装置及び表示パネルの検査方法を提供することにある。

上記目的は、検査すべき表示パネルの一部に表示される検査領域を生成する検査領域生成部と、前記検査領域を順次移動させる表示制御を行う制御部とを含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査装置によって達成される。

本発明によれば、表示パネルの表示検査において、検査領域を一部に形成することで、検査領域枠内のみを検査員は検査すればよく、表示パネルの欠陥が検出しやすくなる。加えて、検査員の目線を誘導するように検査領域が順次移動することから、検査員は目線を合わせる位置を気にすることなく表示パネルの欠陥を発見することに集中しやすくなり、検査員の個人差による検出率に差が生じ得ず、不良品の検出率が向上する。

以下、本発明の好適な実施の形態の一例について、図面を参照して具体的に説明する。
〔第１の実施の形態〕
（１：液晶表示パネルの検査装置の全体構成）
先ず、本発明の特徴である検査領域を移動させるための構成に先立って、液晶表示パネルの検査装置の全体の概略構成について、図１を参照して説明する。図１は、本実施の形態による液晶表示パネルの検査装置１の全体の概略構成を示すブロック図である。

本実施の形態の液晶表示パネルの検査装置１は、液晶表示パネルを製造した後に液晶表示パネルを目視検査するための装置であり、図１に示すように、供給カセット１０、第１の回収カセット１２、第２の回収カセット１４、第３の回収カセット１６、ロボット部２０、検査部３０、制御装置７０、記憶部１００、表示部１２０、操作部１３０を有する。

供給カセット１０は、検査部３０にて検査される前の液晶表示パネルを複数格納するものである。第１の回収カセット１２は、検査部３０にて検査された後に、良品（ＯＫ）であると判断された液晶表示パネルを複数格納するものである。

第２の回収カセット１４は、検査部３０にて検査された後に、不良品（ＮＧ）であると判断された液晶表示パネルを複数格納するものである。第３の回収カセット１６は、検査部３０にて検査された後に、修復（リペア）が必要であると判断された液晶表示パネルを複数格納するものである。

ロボット部２０は、供給カセット１０、第１の回収カセット１２、第２の回収カセット１４、及び第３の回収カセット１６と、検査部３０との間で液晶表示パネルの受け渡しを行うための搬送機構及びＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）保持器（図１では不図示）を備えている。

検査部３０は、液晶表示パネルを所定位置にセットして液晶表示パネルの検査を行なう装置である。

制御装置７０は、ロボット部２０に対して制御信号を与えることでロボット部２０を制御すると共に、検査部３０に対して各種信号を付与することで液晶表示パネルの表示制御や各部の制御を行なう装置（例えばコンピュータ）である。

記憶部１００は、検査部３０にて検査された液晶表示パネルの検査結果に関する検査結果情報などを格納しておくものである。この他、記憶部１００には、検査員が検査時に設定する設定条件情報なども格納されている。ここでいう設定条件情報とは、検査すべき液晶表示パネル上の検査領域の移動に関する各種条件情報（例えば検査領域のサイズ、検査領域の移動速度、検査領域の移動方向、検査領域の移動開始位置、検査モード、検査領域の移動パターンの種別、各種検査表示パターン）をいう。

表示部１２０は、検査員が検査結果情報を記憶部に格納するための画面や、検査領域の設定条件を設定するための画面などを表示する。操作部１３０は、ロボット部２０や検査部本体３０の操作や、表示部１２０での各種設定入力の操作を支援するものである。例えば、キーボード、マウス、トラックボール、ボタン、レバーなどによって形成されることが好ましい。

次に、上述のような構成からなる液晶表示パネルの検査装置１の動作を説明する。液晶表示パネルは、供給カセット１０からロボット部２０の各機構により検査部３０へと搬送される。検査部３０の所定位置に液晶表示パネルがセットされると、プローブコンタクトなどにより液晶表示パネルの表示駆動が可能となる。この際、検査員は、表示部１２０及び操作部１３０を用いて設定条件情報を入力する。

制御装置７０は、入力された設定条件情報と、予め用意された検査領域移動用の演算プログラムとに基づいて、検査部３０内の液晶表示パネルを表示制御する。液晶表示パネル上には、特定の検査領域が白表示（点灯表示）となり、他の非検査領域が黒表示（消灯表示）となるように表示される。特定の検査領域は順次間欠移動し、液晶表示パネルの表面上をくまなく移動する。

検査員は、表示された検査領域を目視し、検査領域の移動に案内されるように目線をずらしていくことで液晶表示パネルの表示検査を行う。

（２：各部の詳細について）
（２―１：検査部３０について）
次に、検査部３０の詳細について、図２を参照しつつ説明する。図２は、図１における検査部３０、制御装置７０、記憶部１００、表示部１２０、操作部１３０の詳細を示す説明図である。

図２に示すように、ロボット部２０は、検査される液晶表示パネル３２を保持するＬＣＤ保持器２２と、ＬＣＤ保持器２２をＸ、Ｙ、Ｚ、θの各方向に各々独立して駆動することができる搬送機構２４と、搬送機構２４を制御する搬送ロボット制御部６２とを有している。

検査部３０は、検査すべき液晶表示パネル３２を載置するステージ３１と、液晶表示パネル３２のゲート側端子にコンタクトするプローブ（不図示）を備えたゲート側プローブブロック群３５と、液晶表示パネル３２のデータ側端子にコンタクトするプローブを備えたデータ側プローブブロック群３３と、液晶表示パネル３２の裏面側から光を照射するバックライトユニット３８と、液晶表示パネル３２を撮像するＣＣＤカメラ（撮像素子）３９とを有する。

また、データ側プローブブロック群３３は、プローブを含む複数のデータ側ドライバ３４を備えている。ゲート側プローブブロック群３５は、プローブを含む複数のゲート側ドライバ３６を備えている。データ側ドライバ３４、ゲート側ドライバ３５には、実際の製品に使用されるものと同等の駆動回路が設けられている。本実施の形態の検査装置１は、実使用時のものと同等の駆動回路を有しているので、被検査対象の液晶表示パネル３２の全端子にプローブ接触させることで、種々の表示パターンで表示検査を実施することが可能であり、微妙な欠陥を検出することができる。

さらに、検査部３０は、ステージ３１をＸ、Ｙ、Ｚ、θの各方向に各々独立して駆動することができるステージ駆動機構４２と、データ側ブローブブロック群３３、ゲート側ブローブブロック群３５を各々駆動してデータ側プローブブロック群３３、ゲート側プローブブロック群３５と液晶表示パネル３２との相対位置の位置調整を行うプローブ位置調整機構４４とを有する。

また、検査部３０は、複数のデータ側ドライバ３４と複数のゲート側ドライバ３６を制御するコントロール基板５４と、各種信号を生成しコントロール基板５４に対して供給する信号発生器５６と、ステージ駆動機構４２及びブローブ位置調整機構４４を制御してプローブコンタクト位置を制御する位置調整制御部６４と、バックライトユニット３８のオンオフないしは光学系を制御するバックライト制御部６３と、ＣＣＤカメラ３９にて取得された画像情報を処理する画像処理部６５とを有している。なお、本実施の形態では、コントロール基板５４と信号発生器５６とにより液晶コントローラ５２を構成している。液晶コントローラ５２は、液晶表示パネル３２側に対し各種の信号を供給し、各ドライバを制御する。なお、液晶コントローラ５２には、この他、表示情報処理回路、同調回路などを含んで構成され、表示情報処理回路は、表示情報を処理して出力し、例えば増幅・極性反転回路、相展開回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路あるいはクランプ回路等を含むことができる。

このような構成からなる検査部３０の動作を説明する。ＬＣＤ保持器２２にて保持された液晶表示パネル３２は、搬送機構２４によりステージ３１上の所定位置に載置される。次に、ステージ駆動機構４２、プローブ位置調整機構４４によりアライメント動作が行われる。そして、液晶表示パネル３２上の複数のゲート側端子にはゲート側プローブブロック群３５のゲート側ドライバ３６の複数のプローブが各々コンタクトされ、液晶表示パネル３２上の複数のデータ側端子にはデータ側プローブブロック群３３のデータ側ドライバ３４の複数のプローブが各々コンタクトされる。このとき、プローブピンを被検査対象の液晶表示パネル３２の全端子に接触させる。これらの一連の機械的動作は、位置調整制御部６４、搬送ロボット制御部６２により制御される。

次に、所定の検査が行われる際には、バックライトユニット３８を発光させると共に、検査すべき液晶表示パネル３２の表示駆動制御が行われる。信号発生器５６から各種信号が生成されると、コントロール基板５４を介してゲート側ドライバ３６及びデータ側ドライバ３４に各々走査信号、階調信号を含む各種信号が供給される。

より詳細には、階調信号がコントロール基板５４からデータ側ドライバ３４に送られ、データ側ドライバ３４がこの階調信号を階調電圧に変換して液晶表示パネル３２のデータバスラインに所定のタイミングで階調電圧を供給する。また、コンロール基板５４からの走査信号がゲート側ドライバ３６に送られ、ゲート側ドライバ３６がこの走査信号を走査電圧（ゲートパルス）に変換して液晶表示パネル３２のゲートバスラインに供給することができる。

これにより、液晶表示パネル３２上には、特定の表示態様が表示される。そして、人間の目視検査により、液晶表示パネル３２の表示欠陥を検出して液晶表示パネル３２の良否判定を行う。ここで、目視検査を行うには、液晶表示パネル３２を直接目視する他、ＣＣＤカメラ３９を介して表示部１２０により目視することもできる。さらには、液晶表示パネル３２の上方に設置されたＣＣＤカメラ３９により液晶表示パネル３２に表示される画像を表示部１２０に表示させた上で検査領域の移動を表示させてもよい。

（２―２：表示部１２０および設定画面について）
表示部１２０は、コンピュータなどのディスプレイ上に表示を行うものであり、以下に示す各設定部が表示画面上に表示される。即ち、表示部１２０は、検査される液晶表示パネル３２上に表示される検査領域のサイズを設定するサイズ表示設定部（サイズ設定部）１２２と、検査領域の移動速度を設定する移動速度表示設定部（移動速度表示設定部）１２３と、検査領域の移動方向を設定する移動方向表示設定部（移動方向設定部）１２４と、検査領域の移動開始位置を設定する移動開始位置表示設定部（移動開始位置設定部）１２５と、検査領域を白表示とする第１のモードないしは検査領域を黒表示とする第２のモードを切り替える設定を行う検査モード表示設定部（モード設定部）１２６と、検査領域の各種移動パターンを設定するための移動パターン表示設定部（移動パターン設定部）１２７とを有している。なお、以下の各設定部の説明は図２を用い、各設定部の具体例となる各設定画面の説明は図６乃至図９を用いる。

図２に示すサイズ表示設定部１２２は、検査すべき液晶表示パネル３２上に表示される検査領域のサイズを設定するものであり、表示部１２０の表示画面上に表示されてＵＩ（ユーザインターフェース）により視覚的に設定可能に形成され、例えば図６に示すような検査領域サイズ設定画面１６０が挙げられる。

図６に示す検査領域サイズ設定画面１６０では、Ｘ方向の長さ及びＹ方向の長さを各々入力可能となっており、入力された数値に対応する検査領域が図６中左上方に表示されるようになっている。これにより、検査を行う検査員は、検査領域のサイズを視覚的に認知できる。

また、この他の設定方法としては、矩形状に表示された検査領域に対してポインタを指示してマウス操作でドラックしながら境界を摘むようにして検査領域の面積を拡大または縮小し、ドロップすることで境界位置を決定できる方法が挙げられる。この場合、矩形状の検査領域の境界を操作している間に、Ｘ方向の長さおよびＹ方向の長さの具体的数値も連動して表示されることとなる。これによって、より拡大縮小操作が容易となり、検査員の負担を低減できる。

図２に示す移動速度表示設定部１２３は、検査すべき液晶表示パネル３２上に表示される検査領域の移動速度を設定するものであり、表示部１２０の表示画面上に表示されてＵＩにより視覚的に設定可能に形成され、例えば図７に示すような検査領域速度設定画面１７０が挙げられる。

図７に示す検査領域速度設定画面１７０では、Ｘ方向の移動速度或いはＹ方向の移動速度を数値により入力可能となっている。なお、移動速度の数値を入力すると、矩形状に表示された検査領域が、入力された数値の移動速度にて移動するシミュレーション表示を行うようにしてもよい。これにより、入力された数値に対応する検査領域の移動速度を視覚的に認知できることとなる。

図２に示す移動方向表示設定部１２４は、検査すべき液晶表示パネル３２上に表示される検査領域の移動方向を設定するものであり、表示部１２０の表示画面上に表示されてＵＩにより視覚的に設定可能に形成され、例えば図８に示すような移動方向設定画面１８０が挙げられる。

図８に示す移動方向設定画面１８０では、Ｘ方向の移動方向又はＹ方向の移動方向を示す矢印を選択することで、移動スタート時の方向を設定可能になるようになっている。

図２に示す移動開始位置表示設定部１２５は、検査される液晶表示パネル３２上に表示される検査領域の移動開始位置を設定するものであり、表示部１２０の表示画面上に表示されてＵＩにより視覚的に設定可能に形成される。

図２に示す検査モード表示設定部１２６は、検査すべき液晶表示パネル３２上に表示される検査領域が所定の輝度（明るさ）で表示される第１のモードとするか、若しくは検査領域が所定の輝度と異なる輝度（例えば所定の輝度より暗い輝度）で表示される第２のモードとするかを切り換え設定するものであり、表示部１２０の表示画面上に表示されてＵＩにより視覚的に設定可能に形成され、例えば図９に示すような検査モード設定画面１９０が挙げられる。

図９に示す検査モード設定画面１９０では、第１のモードとするか又は第２のモードとするかをチェックボックス等により選択することで、モード設定が可能となっている。第１のモードに設定された場合には、検査領域が白表示となり非検査領域が黒表示となって白表示（点灯）の部分が移動する。第２のモードに設定された場合には、検査領域が黒表示となり非検査領域が白表示となって黒表示（消灯）の部分が移動する。なお、ここで「点灯」としたのは、検査領域を白表示とし非検査領域を黒表示とした場合に、検査領域が明るく表示され視覚的に点灯しているように見えるからである。また、電圧印加（オン）が点灯であるとは限らず、ノーマリブラックタイプでは電圧印加で白表示、ノーマリホワイトタイプでは電圧無印加で白表示となる。本明細書の以下の説明では、「検査領域を白表示とする」場合を「点灯」あるいは「点灯表示」といい、「検査領域を黒表示とする」場合を「消灯」あるいは「消灯表示」という。

図２に示す移動パターン表示設定部１２７は、検査すべき液晶表示パネル３２上に表示される検査領域の移動パターンを設定するものであり、表示部１２０の表示画面上に表示されてＵＩにより視覚的に設定可能に形成される。この移動パターンは、予め用意された移動パターンを利用してもよいし、新たに所望の移動パターンを設定してもよいし、予め用意された移動パターンを変更したものでもよい。移動パターンの例としては、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すような第１の移動パターン２１０、第２の移動パターン２２０が挙げられる。

図１０（Ａ）に示す第１の移動パターン２１０では、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の水平方向にて順又は逆方向のいずれかの方向に複数回移動した後、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の垂直方向にて順又は逆方向のいずれかの方向に１回移動することを繰り返すパターンである（詳細は後述する）。図１０（Ｂ）に示す第２の移動パターン２２０では、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の垂直方向にて順又は逆方向のいずれかの方向に複数回移動した後、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の水平方向にて順又は逆方向のいずれかの方向に１回移動することを繰り返すパターンである（詳細は後述する）。第１の移動パターン２１０、第２の移動パターン２２０のいずれも、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の水平方向にて順又は逆方向のいずれかの方向に移動する水平方向移動ステップと、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の垂直方向にて順又は逆方向のいずれかの方向に移動する垂直方向移動ステップとを含む。第１の移動パターン２１０では、水平方向移動ステップを複数回行った後に、垂直方向移動ステップを１回行うステップを含む。第２の移動パターン２２０では、垂直方向移動ステップを複数回行った後に、水平方向移動ステップを１回行うステップを含む。

（２―３：記憶部１００について）
記憶部１００は、検査部３０にて検査された液晶表示パネル３２の良、不良、要リペアなどの検査結果情報を格納しておく検査結果情報格納部１０２を有する。検査結果情報は、検査員が目視検査を行った後に、表示部１２０および操作部１３０（図１参照）を用いて操作入力を行うと、操作入力制御部８６により制御装置７０を介して記憶部１００内の検査結果情報格納部１０２に格納される。記憶部１００は、例えば液晶表示パネルの識別番号（製造番号）毎に、良なら１、不良なら２、要リペアなら３などの数値を対応させた検査結果に関するテーブルを有する。

さらに、記憶部１００には、表示部１２０および操作部１３０（図１参照）を通じて設定入力された設定条件情報が制御装置７０の設定条件情報処理部７１により格納される。設定条件情報には、検査モード設定情報（点灯表示または消灯表示）、サイズ設定情報（Ｘ方向の画素数、Ｙ方向の画素数）、移動速度設定情報、移動方向設定情報（移動パターン情報）、移動開始位置設定情報、移動パターン設定情報などがある。これらが、検査モード設定情報格納部１０４、サイズ設定情報格納部１０５、移動速度設定情報格納部１０６、移動方向設定情報格納部１０７、移動開始位置設定情報格納部１０８、移動パターン情報格納部１０９に格納される。

加えて、記憶部１００は、表示部１２０に表示される設定画面に関する設定画面情報などを格納する設定画面情報格納部１１０を有する。設定画面情報としては、例えば、検査領域サイズ設定画面情報、検査領域速度設定画面情報、移動方向設定画面情報、検査モード設定画面情報、移動パターン設定画面情報などがある。

（２―４：制御装置７０について）
次に、制御装置７０のソフトウエア構成の詳細について説明する。図２に示すように、制御装置７０は、表示部１２０および操作部１３０（図１参照）を通じて設定入力された設定条件情報を記憶部１００に書き込んで格納すると共に、検査領域を移動する制御を行う際に、設定条件情報を記憶部１００から読み出して所定の演算処理を行うための設定条件情報処理部７１を有する。

設定条件情報処理部７１は、具体的には、サイズ情報処理部７２、移動速度情報処理部７３、移動方向情報処理部７４、移動開始位置情報処理部７５、検査モード設定情報処理部７６を含む。

サイズ設定情報処理部７２は、サイズ表示設定部１２２により設定されたサイズ設定情報を記憶部１００のサイズ設定情報格納部１０５に書き込んで格納すると共に、検査領域を移動する制御を行う際に、サイズ設定情報を記憶部１００のサイズ設定情報格納部１０５から読み出して所定の演算処理を行うための制御を行う。すなわち、サイズ設定情報処理部７２は、情報書込機能と情報読出取得機能とを兼用している。

移動速度情報処理部７３は、移動速度表示設定部１２３により設定された移動速度設定情報を記憶部１００の移動速度設定情報格納部１０６に書き込んで格納すると共に、検査領域を移動する制御を行う際に、移動速度設定情報を記憶部１００の移動速度設定情報格納部１０６から読み出して所定の演算処理を行うための制御を行う。

移動方向情報処理部７４は、移動方向表示設定部１２４により設定された移動方向設定情報を記憶部１００の移動方向設定情報格納部１０７に書き込んで格納すると共に、検査領域を移動する制御を行う際に、移動方向設定情報を記憶部１００の移動方向設定情報格納部１０７から読み出して所定の演算処理を行うための制御を行う。

移動開始位置情報処理部７５は、移動開始位置表示設定部１２５により設定された移動開始位置設定情報を記憶部１００の移動開始位置設定情報格納部１０８に書き込んで格納すると共に、検査領域を移動する制御を行う際に、移動開始位置設定情報を記憶部１００の移動開始位置設定情報格納部１０８から読み出して所定の演算処理を行うための制御を行う。

検査モード設定情報処理部７６は、検査モード設定部１２６により設定された検査モード設定情報を記憶部１００の検査モード設定情報格納部１０４に書き込んで格納すると共に、検査領域を移動する制御を行う際に、検査モード設定情報を記憶部１００の検査モード設定情報格納部１０４から読み出して所定の演算処理を行うための制御を行う。

制御装置７０は、さらに、図２に示すように、検査領域生成部８１、検査領域移動演算処理部８２、検査パネル表示制御部８４、設定画面情報処理部８５、操作入力制御部８６、その他、ロボット部２０および検査部３０の制御を行うその他の制御部９０、およびこれらの各制御を司る中央制御部９８を有する。なお、本実施の形態の設定条件情報処理部７１、検査領域移動演算処理部８２、検査パネル表示制御部８４、設定画面情報処理部８５、操作入力制御部８６、その他の制御部９０、中央制御部９８とで、本発明にいう「制御部」が形成される。この「制御部」は、検査領域を順次移動させる表示制御を行う機能を有する。さらに、「制御部」は、検査モード表示設定部（モード設定部）１２６にて設定された第１又は第２のモードにて液晶表示パネル３２の表示制御を行う機能と、サイズ表示設定部（サイズ設定部）１２２にて設定された所定サイズの検査領域を順次移動させる表示制御を行う機能と、移動速度表示設定部（移動速度設定部）１２３にて設定された所定速度に基づいて、検査領域を移動させる表示制御を行う機能と、移動方向表示設定部（移動方向設定部）１２４にて設定された所定の移動方向に基づいて、検査領域を移動させる表示制御を行う機能と、移動開始位置表示設定部（移動開始位置設定部）１２５にて設定された所定の移動開始位置を起点として検査領域を移動させる表示制御を行う機能と、予め用意された所定の移動パターンに基づいて検査領域を移動させる制御を行う機能と、移動パターン表示設定部（移動パターン設定部）１２７にて設定された移動パターンに基づいて検査領域を移動させる制御を行う機能と、移動前後の検査領域が一部重複する表示制御を行う機能と、検査領域が移動した後の検査済み領域を検査領域（例えば白）未検査領域（例えば黒）と異なる表示態様（例えば灰色）で表示するように表示制御を行う機能とを含む。

検査領域生成部８１は、検査すべき液晶表示パネル３２の一部に表示される検査領域を生成する機能を有し、サイズ設定情報格納部１０５からサイズ設定情報を受け取り、特定サイズの検査領域を生成する処理を行う。この際、検査領域生成部８１は、サイズ設定情報に基づき、液晶コントローラ５２に対してドライバを駆動する信号を制御するよう指示する。

検査領域移動演算処理部８２は、検査領域を視覚的に移動させる特定演算アルゴリズムの演算をする処理を行うプログラム等にて形成される。例えば、検査モードが点灯、検査領域の大きさが特定サイズで、移動速度が特定速度で、移動方向がＸ方向、移動開始位置がＸ＝０、Ｙ＝０である場合には、サイズ設定情報処理部７２、移動速度情報処理部７３、移動方向情報処理部７４、移動開始位置情報処理部７５、検査モード設定情報処理部７６を通じて、検査モード設定情報（点灯表示）、サイズ設定情報（Ｘ方向の画素数、Ｙ方向の画素数）、移動速度設定情報、移動方向設定情報、移動開始位置設定情報（Ｘ＝０、Ｙ＝０）を取得して、例えば図１０（Ａ）に示す移動パターンを形成する演算処理を行う。

検査パネル表示制御部８２は、検査領域移動演算処理部８２にて演算される移動パターンに応じた検査領域を液晶表示パネル３２上に再現するための制御を信号発生器５６に対して行う。例えば、検査領域を点灯表示とし、非検査領域を消灯表示とするような階調情報を送る。この場合、検査員は、検査領域は点灯しているように見え、非検査領域は消灯しているように見える。

設定画面情報処理部８５は、操作部１３０（図１参照）での操作入力に基づき、表示部１２０に対して各種設定画面を特定の画面展開パターンに応じて表示を行うように制御する。具体的には、設定画面情報処理部８５は、検査領域サイズ設定画面１６０（図６）を表示部１２０に表示するよう操作部１３０から指令があると、設定画面情報格納部１０９より、移動領域サイズ設定画面情報を取得して、表示部１２０に対して表示するように表示制御する。

また、設定画面情報処理部８５は、検査領域速度設定画面１７０（図７）を表示部１２０に表示するよう操作部１３０から指令があると、設定画面情報格納部１０９より移動領域速度設定画面情報を取得して、表示部１２０に対して表示するように表示制御する。同様にして、設定画面情報処理部８５は、移動方向設定画面１８０（図８）を表示部１２０に表示するよう操作部１３０から指令があると、設定画面情報格納部１０９より、移動方向設定画面情報を取得して、表示部１２０に対して表示するように表示制御する。さらに、設定画面情報処理部８５は、検査モード設定画面１９０（図９）を表示部１２０に表示するよう操作部１３０から指令があると、設定画面情報格納部１０９より、検査モード設定画面情報を取得して、表示部１２０に対して表示するように表示制御する。

操作入力制御部８６は、操作部１３０からの例えばキー操作入力に基づいて、各部にキー操作に基づく指令を出すように制御するものである。すなわち、キー操作入力に基づくキー制御信号を、各制御部を動作させるための特定の命令に変換して、各制御部に出力する。

その他の制御部９０としては、例えば、ロボット制御部、ステージ制御部、プローブ制御部、バックライト制御部、画像処理制御部などが挙げられる。

上記のような構成からなる制御装置７０の動作を説明する。先ず、操作部１３０からの操作入力が行われると、操作入力制御部８６は設定画面情報処理部８５に対して指令を行う。設定画面情報処理部８５は、例えば設定画面情報格納部１０９から検査領域サイズ設定画面情報を取得して、表示部１２０に対して表示するように制御する。操作部１３０から特定のサイズが入力されると、サイズ情報処理部７２は、入力されたサイズ設定情報をサイズ設定情報格納部１０５に格納する。他の設定画面に対しても同様の処理が行われる。

設定処理の終了後、操作入力に基づき、検査を開始する旨の指示が行われると、検査領域生成部８１は、サイズ設定情報格納部１０５からサイズ設定情報を受け取り、特定サイズの検査領域を生成する処理を行う。そして、検査領域移動演算処理部８２は、例えば、検査モードが点灯、検査領域の大きさが特定サイズで、移動速度が特定速度で、移動方向がＸ方向、移動開始位置がＸ＝０、Ｙ＝０である場合には、検査領域生成部８１、サイズ情報処理部７２、移動速度情報処理部７３、移動方向情報処理部７４、移動開始位置情報処理部７５、検査モード設定情報処理部７６を通じて、検査モード設定情報（点灯表示）、サイズ設定情報（Ｘ方向の画素数、Ｙ方向の画素数）、移動速度設定情報、移動方向設定情報、移動開始位置設定情報（Ｘ＝０、Ｙ＝０）を取得して、例えば図１０（Ａ）に示す移動パターンを形成する演算処理を行う。さらに、検査領域移動演算処理部８２は、移動前の一方の検査領域と移動後の他方の検査領域とを一部重複する表示制御を行い、この際、検査領域の移動後の検査済み領域を検査領域と異なる表示態様で表示するための演算処理を行う。

そして、検査パネル表示制御部８２は、検査領域移動演算処理部８２にて演算される移動パターンに応じた検査領域を液晶表示パネル３２上に再現するための各種信号を生成するように信号発生器５６に対して行う。

（２―５：液晶表示パネルの表示態様について：第１のモード）
ここで、本実施の形態の特徴、すなわち、液晶表示パネル３２の表示画面上に表示される検査領域の移動パターンの具体例について図３〜図５を用いて説明する。図３は、液晶表示パネル３２上の検査領域の一例を示す説明図である。なお、以下の説明では、「検査領域を白表示とする」場合は「点灯」といい、「検査領域を黒表示とする」場合は「消灯」という。

先ず、第１のモードの表示例について、図３および図４を参照して説明する。先ず、液晶表示パネル３２を全面消灯した状態にする。検査開始で、検査を行う領域のある一部分だけ分割表示させ、その検査領域を目視検査する。具体的には、液晶表示パネル３２の表示画面上には、図３に示すように、検査スタート時には略矩形状の点灯する検査領域ＡＸ１が表示される。このとき、検査領域ＡＸ１以外の非検査領域は、全て消灯表示となる。この際、検査を行う検査員は、目線を移動させて点灯している検査領域内の画素の検査を行う。例えば、（点灯）検査領域内に黒点のある部分に異常があることとなる。

次に、検査領域ＡＸ１は所定の方向に移動し、重複領域ΔＡＸが形成されるように検査領域ＡＸ２が点灯表示される。同様にして、重複領域ΔＡＸを形成しながら、時間が経つ毎に矢印Ｍ１方向（＋Ｘ方向）に順次検査領域が移動していく。検査領域ＡＸ７が液晶表示パネルの他端側に至ると、矢印Ｍ２方向（＋Ｙ方向）に１段下がる。この際、Ｙ方向にも重複領域ΔＡＹが表示形成される。

同様にして、２段目に至ると、図４に示すように、１段目とは逆の矢印Ｍ３方向（−Ｘ方向）に順次移動することとなる。２段目にて液晶表示パネル３２の一端側に検査領域ＡＸ１４が至ると、矢印Ｍ４方向（＋Ｙ方向）に検査領域ＡＸ１５は１段下がる。３段目は１段目と同様の移動（＋Ｘ方向）を行う。このように、検査が終わると、検査領域が任意の方向に移動し、次の検査領域を目視検査する。これを繰り返し行ない液晶表示パネル３２の表示領域Ｆ中の全面検査を行なう。なお、検査が終了した検査済み領域Ｂでは、異なる表示態様（輝度、色、模様など）で表示するように形成される。

このような検査領域の移動奇跡を全体としてみると図１０（Ａ）のような第１の移動パターン２１０が形成される。図１０（Ａ）に示す第１の移動パターン２１０では、先ず、検査領域が表示領域Ｆ内の水平方向にて順方向（図中＋Ｘ方向）に複数回順次移動する。次に、表示領域Ｆ内の垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）に１回移動する。さらに、水平方向にて逆方向（図中−Ｘ方向）に複数回順次移動する。次に、垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）に１回移動する。そして、表示領域Ｆの全面にわたって検査が終了するまで、以上の＋Ｘ方向移動、＋Ｙ方向移動、−Ｘ方向移動、＋Ｙ方向移動を繰り返す。繰り返す回数は、検査領域のサイズによる。検査領域のサイズが大きい場合には、繰り返す回数は少ない。検査領域のサイズが小さい場合には、繰り返す回数は多い。

なお、移動パターンの例としては、図１０（Ａ）に示すような第１の移動パターン２１０に限らず、図１０（Ｂ）に示すような第２の移動パターン２２０であってもよい。具体的には、図１０（Ｂ）に示す第２の移動パターン２２０では、先ず、検査領域が表示領域Ｆ内の垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）に複数回順次移動する。次に、表示領域Ｆ内の水平方向にて順方向（図中＋Ｘ方向）に１回移動する。さらに、垂直方向にて逆方向（図中−Ｙ方向）に複数回順次移動する。次に、水平方向にて順方向（＋Ｘ方向）に１回移動する。そして、表示領域Ｆの全面にわたって検査が終了するまで、以上の＋Ｙ方向移動、＋Ｘ方向移動、−Ｙ方向移動、＋Ｘ方向移動を繰り返す。なお、図１０（Ａ）の第１の移動パターン２１０、図１０（Ｂ）の第２の移動パターン２２０の例では、検査領域の移動開始位置をＵ１（図中左上）としたが、これに限らず、移動開始位置をＵ２（図中右上）、Ｕ３（図中右下）、Ｕ４（図中左下）としてもよい。

従来のように液晶表示パネル３２を全面点灯した状態で目視検査を行なった場合には、検査員の視線を移動させる距離が長くなる。これに対し本実施の形態では、検査領域を狭めた状態で目視検査を行なうので、検査員の視線を移動させる距離が短くなるため表示欠陥等の不具合の検出率を向上させることができる。なお、検査領域が移動する際に一部重複表示させるのは、検査領域の境界近傍では欠陥が検出しづらく、境界近傍での検出漏れを防ぐためである。

（２―６：液晶表示パネルの表示態様について：第２のモード）
次に、第２のモードの表示例について、図５を参照して説明する。液晶表示パネル３２を全面点灯した状態にする。検査開始で、図５に示すように、スポットライトの様な小さな（消灯）検査領域Ｄが現われ、検査領域Ｄが、検査員の視線を誘導する様に一定速度で移動し、液晶表示パネル３２の全面検査を行なう。この際、他の非検査領域Ｅは点灯状態となる。

従来のように、液晶表示パネル３２の検査領域を全面点灯した状態で目視検査する場合、検査員による個人差で検査領域に違いが生じる。これに対し本実施の形態では、検査員の視線を誘導するように、小さな消灯検査領域Ｄが移動することで検査員の視線を一定させることができる。従って、スポットライトが検査員の視線を誘導するように移動することで、検査精度が向上する。

また、本実施の形態では、点灯表示、消灯表示の各モードの検査機能を有し、いずれかのモードを選択設定できるように形成されている。このような、２モードの検査機能を持つことで、極小範囲ごとに重点的な検査を行なえる機能と全画面を一度に検査する機能を有し、不具合の検出率を向上させることができる。

さらに、移動する検査領域の大きさや移動速度などを可変に設定可能としている。また、移動する検査領域の開始位置及び移動方向も幾つか用意したパターンの中から選択できるようになっている。これにより、検査員の検査能力に合わせた設定が可能となり、検査能力に応じた検査を行うことで、検査員による不良検出率の差を解消できる。

（３―１：検査装置を用いた全体の工程について）
次に、上述のような構成を有する液晶表示パネルの検査装置を用いた液晶表示パネルの検査工程の具体例について、図１１を参照しつつ説明する。

先ず、検査対象となる液晶表示パネル（検査基板）３２を供給カセット１０にセットする（ステップ＜以下単に「Ｓ」という＞１０１）。そして、検査部３０を起動する起動ボタンを押下することにより、液晶表示パネル３２の検査動作が開始される（Ｓ１０２）。

次に、液晶表示パネル３２は供給カセット３２より検査部３２に向けて搬送機構により搬送される（Ｓ１０３）。搬送された液晶表示パネル３２は、挟持機構によりステージ（検査台）３１上にセットされる（Ｓ１０４）。

次いで、ステージ３１上にセットされた液晶表示パネル３２の端部に対して、プローブによりプローブコンタクトを行う。この際に検査装置１の表示部１２０には、初期画面が表示される（Ｓ１０５）。

Ｓ１０５において表示部１２０に初期画面が表示されると、検査員が所定の操作入力を行うことで、検査モード選択画面１９０（図９）が表示されることとなるが、この際に各種設定を行うこととなる。これにより、検査モードの選択処理が行われる（Ｓ１０６）。

選択された特定の検査モードにより、液晶表示パネル３２に対してする表示駆動動作が行われる。この間に、検査員は、液晶表示パネル３２上に表示され、順次移動する分割検査領域に案内されるようにして液晶表示パネル３２の検査を行う。ここで行われる検査とは、表示欠陥、表示むらなど見ることとなる。

そして、検査装置１では、液晶表示パネル３２の検査結果の是非、すなわち、検査結果が正常であるか、若しくは、検査結果が異常であるかの判断処理が行われる（Ｓ１０７）。Ｓ１０７の判断処理において、検査結果が異常であると判断された場合、すなわち、液晶表示パネル３２の液晶セルに表示欠陥や表示むらなどが発見された場合には、Ｓ１０９に進む。一方、Ｓ１０７の判断処理において、検査結果が異常であると判断された場合には、Ｓ１０８に進む。

Ｓ１０８においては、検査が終了したか否かの判断処理が行われる。液晶表示パネル３２の検査工程では、複数種類例えば７種類の検査項目があり、これら全ての検査項目毎に、順次検査モードを切り換えて各検査を行わなければならないからである。この判断処理は、それらの各検査モードの終了毎に判断処理が行われることとなる。Ｓ１０８の判断処理において、全検査項目、すなわち、全ての検査が終了したと判断された場合には、Ｓ１０９に進む。

一方、Ｓ１０８の判断処理において、全検査項目の検査が終了せずに、いずれかの検査項目しか終了していないと判断された場合には、Ｓ１０６に戻って、次の検査モードを選択処理を行う。この際、検査員は、各検査モードにて表示される各検査画面にて、各検査項目に対応する検査結果情報を操作入力することとなる。例えば、第１検査項目に対しては良、第２検査項目に対しては否、第３検査項目に対しては良、という具合に順次入力する。さらには、ゲートバスラインなどの修復（リペア）が必要か否かの検査結果情報も入力されることとなる。

次に、全ての検査項目に対する各々の検査結果情報は、コンピュータ等の制御装置７０にネットワークを介して接続されたデータベース（ＤＢ）等の記憶部１００に書込むような処理が行われる（Ｓ１０９）。また、このＳ１０９においては、これらの検査結果情報（液晶表示パネル３２が良品か或いは不良品か若しくはリペアすべきものか）に基づいて、搬送機構によりそれぞれに対応した各カセットに個別に格納されることとなる。具体的には、良品の液晶表示パネル３２は、第１の回収カセット１２に搬送されて格納され、不良品の液晶表示パネル３２は、第２の回収カセット１４に搬送されて収納され、リペアが必要な液晶表示パネル３２は、第３の回収カセット１６に搬送されて格納される。

１つの液晶表示パネル３２に対する検査が終了し、各種カセットに格納されたことが不図示のセンサー等で検出されると、次に検査すべき液晶表示パネル３２があるか否かの判断処理が行われる（Ｓ１１０）。

Ｓ１１０の判断処理において、次に検査すべき液晶表示パネル３２があると判断された場合には、Ｓ１０３に戻って、次の液晶表示パネル３２がステージ３１に向けて搬送機構により搬送される処理を行う。一方、Ｓ１１０の判断処理において、次に検査すべき液晶表示パネル３２がないと判断された場合には、検査を終了する処理が行われる（Ｓ１１１）。

（３―２：検査時の設定処理の詳細について）
以上、検査工程の全体の処理について説明したが、以下には、検査モードを選択した後のより詳細な処理手順について、図１２のフローチャートを参照しつつ説明する。図１２は、設定処理の詳細を示すフローチャートである。

図１１に示すＳ１０６において検査モードの選択など各種の設定を検査員が行う場合には、以下に示す処理が行われる。すなわち、図１２に示すように、先ず、メニュー画面の表示処理が行われる（Ｓ１２１）。

次に、画面展開によって検査モード設定画面１９０（図９）の表示処理が行われる（Ｓ１２２）。そして、検査モードを選択したか否かを判断する処理が行われる（Ｓ１２３）。Ｓ１２３では、検査領域を点灯表示とする第１のモードか、或いは検査領域を消灯表示とする第２のモードかのいずれかのモードが検査員によって選択されるまで待機処理が行われることとなる。いずれかのモードの選択設定が行われるまでＳ１２３からＳ１２２が繰り返される。

検査モードの設定が行われ、表示部１２０からのモード設定情報が制御装置７０に受信されると、Ｓ１２３では、検査モードの選択が行われたものと判断される。そして、検査モード設定処理が行われる（Ｓ１２４）。例えば、検査モード設定画面１９０（図９）にて点灯表示のモードが選択された場合には、第１のモードを「１」、第２のモードを「２」とすると、モード設定情報としては１が検査モード設定情報格納部１０４（図２）にセットされる。

同様にして、他の設定項目の選択待機処理並びに設定処理についても同様に行われる。すなわち、検査領域サイズ設定画面１６０（図６）の表示処理が行われる（Ｓ１２５）。そして、検査領域のサイズ設定が行われたか否かの判断処理が行われる（Ｓ１２６）。Ｓ１２６にてサイズ設定が行われたものと、すなわち、設定されたサイズ設定情報を受け取ると判断されると、検査領域のサイズ設定処理が行われる（Ｓ１２７）。例えば、検査領域サイズ設定画面１６０（図６）にてＸ＝８０画素、Ｙ＝５０画素と設定入力された場合には、サイズ設定情報としてＸ＝８０、Ｙ＝５０がサイズ設定情報格納部１０５（図２）に格納される。なお、Ｓ１２６の判断処理において検査領域のサイズ設定が未だ行われていないものと判断された場合には、Ｓ１２５からＳ１２６が繰り返される。

次に、検査領域の速度設定画面の表示処理が行われる（Ｓ１２８）。そして、検査領域の速度設定が行われたか否かの判断処理が行われる（Ｓ１２９）。Ｓ１２９にて速度設定が行われたものと、すなわち、設定された速度設定情報を受け取ると判断されると、検査領域の速度設定処理が行われる（Ｓ１３０）。例えば、検査領域速度設定画面１７０（図７）にて１０［ｍｍ／ｓ］（約５秒間に５０画素）と設定入力された場合には、速度設定情報として５０が速度設定情報格納部１０６（図２）に格納される。なお、Ｓ１２９の判断処理において検査領域の速度設定が未だ行われていないものと判断された場合には、Ｓ１２８からＳ１２９が繰り返される。

さらに、検査領域の移動方向設定画面１８０（図８）の表示処理が行われる（Ｓ１３１）。そして、検査領域の移動方向設定が行われたか否かの判断処理が行われる（Ｓ１３２）。Ｓ１３２にて移動方向設定が行われたものと、すなわち、設定された移動方向設定情報を受け取ると判断されると、検査領域の移動方向設定処理が行われる（Ｓ１３３）。例えば、移動方向設定画面にてＸ方向と設定入力された場合には、移動方向設定情報としてＸ方向を１、Ｙ方向を２とすると１が移動方向設定情報格納部１０７（図２）にセットされる。なお、Ｓ１３２の判断処理において検査領域の移動方向設定が未だ行われていないものと判断された場合には、Ｓ１３１からＳ１３２が繰り返される。

また、検査領域の移動開始位置設定画面（不図示）の表示処理が行われる（Ｓ１３４）。そして、検査領域の開始位置設定が行われたか否かの判断処理が行われる（Ｓ１３５）。Ｓ１３５にて開始位置設定が行われたものと、すなわち、設定された開始位置設定情報を受け取ると判断されると、検査領域の開始位置設定処理が行われる（Ｓ１３６）。例えば、移動開始位置設定画面にて開始位置が指定された場合には、開始位置設定情報としてＸ、Ｙ座標値（Ｘ、Ｙ）＝（０、０）が移動開始位置設定情報格納部１０８（図２）に格納される。なお、Ｓ１３５の判断処理において検査領域の開始位置設定が未だ行われていないものと判断された場合には、Ｓ１３４からＳ１３５が繰り返される。

次いで、全ての検査設定項目についての設定処理が終了したか否かの判断処理が行われる（Ｓ１３７）。Ｓ１３７において、設定処理が未だ終了していないものと判断されるとＳ１２２に戻る。各種設定項目のチェックを行うためである。一方、Ｓ１３７において、全ての設定項目について設定処理が行われたものと判断されると、Ｓ１３８に進む。そして、各設定情報に基づいて、検査領域を移動させるための演算処理を行いつつ、パネルの表示制御を行うよう信号発生器５６（図２）に対して指令を行う処理を行う（Ｓ１３８）。

（３―３：演算処理の詳細）
次に、Ｓ１３８での検査領域を移動させる演算処理の詳細について、図１３のフローチャートを参照しつつ説明する。図１３は、演算処理の詳細を示すフローチャートである。この演算処理は、主として、図２における検査領域移動演算処理部８２にて行われる演算処理を示している。なお、以下には、図１０（Ａ）に示すような第１の移動パターン２１０を検査すべき液晶表示パネル上に表示させるための演算処理の場合の例を示している。また、図１５では、ＸＹ座標系を検査領域が移動する様子を示している。

具体的には、演算処理を行うために前提条件として必要な情報を取得することから開始される。すなわち、先ず、各設定情報を取得する処理が行われる（Ｓ２０１）。ここでいう設定情報とは、検査モード設定情報、サイズ設定情報、移動速度設定情報、移動方向設定情報、移動開始位置設定情報などをいう。例えば検査モード設定情報に基づき、移動すべき検査領域が点灯表示とするように処理される。

次に、各設定情報に基づき、特定の移動パターンを生成する処理を行う（Ｓ２０２）。具体的には、移動開始位置設定情報と移動方向設定情報とから移動パターンを生成するか、予め用意された移動パターン情報を抽出するなどの処理を行うこととなる。

さらに、サイズ設定情報と、移動パターン情報とに基づいて、各移動パターン情報とに基づいて、各移動位置での検査領域に関する座標情報を演算する処理を行う（Ｓ２０３）。

この処理の過程では、以下のような演算が行われることが好ましい。先ず、座標情報を移動開始位置設定情報格納部１０８（図２）より取得し特定の演算を行う処理を行う。例えば、図１５に示すように、移動開始位置における検査領域Ｓ１の４点の座標値をＰ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４とする。移動開始位置設定情報格納部１０８（図２）には、Ｐ１に相当する開始位置の座標値（Ｘ、Ｙ）＝（０、０）が格納されている。Ｐ１の座標値と、サイズ設定情報格納部１０５のサイズ設定情報とに基づいて、Ｐ２の座標値、Ｐ３の座標値、Ｐ４の座標値を各々演算する。

さらに、移動方向情報を移動方向設定情報格納部１０７（図２）より取得する。これにより、移動方向が＋Ｘ方向で、重畳領域の幅ΔＸを規定する。また、移動速度設定情報から最初の検査領域から次の検査領域までに＋Ｘ方向にどれだけ移動させればよいか（何フィールドで次の検査領域の出力をするか）が規定される。

次に、具体的な移動演算処理を行う。図１５に示すように、開始位置での検査領域をＳ１とし、移動された次の検査領域をＳ２とし、検査領域Ｓ１、Ｓ２のＸ方向のサイズをＸ、移動前の検査領域Ｓ１と移動後の検査領域Ｓ２とが重なる重畳領域のＸ方向の幅をΔＸとすると、移動すべき距離はＸ−ΔＸとなる。従って、一般に、移動後の検査領域Ｓｎ＋１は、移動前の検査領域Ｓｎを用いて、Ｓｎ＋１＝Ｓｎ＋（Ｘ−ΔＸ）と表すことができ、Ｓｎ＋１の演算処理を行う。

例えば、移動前の検査領域Ｓ１の４点の座標値Ｐ１（Ｘ、Ｙ）、Ｐ２（Ｘ、Ｙ）、Ｐ３（Ｘ、Ｙ）、Ｐ４（Ｘ、Ｙ）と移動すべき距離（Ｘ−ΔＸ）から移動後の４点の座標値Ｑ１（Ｘ、Ｙ）、Ｑ２（Ｘ、Ｙ）、Ｑ３（Ｘ、Ｙ）、Ｑ４（Ｘ、Ｙ）を各々算出することとなる。

次に、Ｓｎ＋１のうちＱ２又はＱ４に相当する端点のＸ座標値が、液晶表示パネル３２の画素数ＸＧより小さいか否かの判断処理を行い、検査領域Ｓｎが液晶表示パネル３２の他端側に移動するまで検査領域Ｓｎを＋Ｘ方向へ移動させた場合の各々の検査領域Ｓｎにおける各々の座標位置の演算をする。

そして、図１５に示すように、検査領域Ｓｎが液晶表示パネルの他端側に到達すると、重畳領域ΔＹを形成しつつ＋Ｙ方向へ移動させた場合の座標位置の演算を行う。一般的には、Ｓｎ＋１をＳｎ＋（Ｙ−ΔＹ）により算出する。

次いで、図１５に示すように、検査領域Ｓｎが２段目を−Ｘ方向に移動するような演算処理を行う。一般的には、Ｓｎ＋１をＳｎ―（Ｘ―ΔＸ）により算出する。そして、Ｓｎ＋１のうちＱ１又はＱ３に相当する端点のＸ座標値が、０より大きいか否かの判断処理を行ないつつ、各検査領域Ｓｎの各座標位置の演算を行う。

さらに、Ｓｎ＋１のうちＱ２又はＱ４に相当する端点のＹ座標値が、液晶表示パネル３２のＹ方向の画素数ＹＧより小さいか否かの判断処理を行いつつ、ＹＧよりも小さいと判断された場合には、再び＋Ｘ方向移動、＋Ｙ方向移動、−Ｘ方向移動、＋Ｙ方向移動の順でパターンを繰り返す演算（パターンＡ）を行う。一方、ＹＧより等しい若しくは大きいと判断された場合には、次に進む。

次に、検査領域Ｓ１の移動開始位置の端点がＰ１（０、０）であるか否かの判断処理が行われる。この判断処理において、Ｐ１（０、０）でないと判断された場合には、開始位置の座標値まで（パターンＡ）を繰り返す演算を行う。この際には、各検査領域Ｓｎでの各座標値が算出されることになる。一方、判断処理において、Ｐ１（０、０）でないと判断された場合には、検査領域を移動させる処理を終了する。移動開始位置がＰ１（０、０）でない場合には、移動開始位置に戻るまで、パターンＡを繰り返す必要があるからである。

なお、予め用意された移動パターンを用いる場合であっても、検査領域Ｓ１の大きさによって４点の座標値は異なるから以上述べた演算は必要となる。

次いで、移動速度情報と、各検査領域Ｓｎでの各座標情報とに基づいて、ドライバに供給する信号を制御する処理を行う（Ｓ２０４）。このようにして算出された座標値をもとに、信号生成器５６（図２）は、液晶表示パネル３２に特定の信号を出力し、検査領域Ｓｎの表示が行われる。

（３―４：検査工程の詳細について）
次に、上述した設定処理の後に、演算処理に従って検査領域が移動しながら具体的検査を行う検査工程の詳細について、図１４に示すフローチャートを参照しつつ説明する。図１４は、図１２に示すＳ１３８の後の処理を示している。先ず、図１４に示すように、液晶表示パネルに信号を供給し、検査領域内の全画素を点灯させる（Ｓ２１０）。

Ｓ２１０では、例えば図１５に示すように検査領域Ｓ１内の全画素を点灯させる。この点灯させた状態で、人間の目により、またはＣＣＤカメラで画像を撮り込み画像解析により検査領域Ｓ１内の検査を行う（Ｓ２１１）。この点灯表示検査では、検査領域Ｓ１内の点灯してない画素の有無を検査する。

次に、検査領域Ｓ１内の全画素が消灯し（Ｓ２１２）、同じ検査領域Ｓ１の枠内で検査のすべてが完了すると、予め設定された移動速度に基づき、特定期間が過ぎ、次の検査領域Ｓ２に移動する（Ｓ２１３）。Ｓ２１３では、移動前の検査領域Ｓ１と重畳領域を形成しつつ、次の位置に検査領域Ｓ２を＋Ｘ方向に移動させる。

次に、同様にして、次の検査領域Ｓ２内においても、Ｓ２１０〜Ｓ２１２の処理を行う（Ｓ２１４）。すなわち、液晶表示パネル３２に信号を供給し、次の検査領域Ｓ２内の全画素を点灯させる。この点灯させた状態で、人間の目により、またはＣＣＤカメラで画像を撮り込み画像解析により次の検査領域Ｓ２内の検査を行う。この点灯表示検査では、検査領域Ｓ２内の点灯してない画素の有無を検査する。そして、次の検査領域Ｓ２内の全画素が消灯する。
このようにして、Ｘ＝ＸＧ（Ｘ方向の画素数）となるまで検査領域Ｓｎを＋Ｘ方向に移動させる（Ｓ２１５）。検査領域Ｓｎが液晶表示パネル３２の長手方向に沿って液晶表示パネル３２の一端側から他端側に向けて順次移動する。

次に、移動前の検査領域Ｓｎと重畳領域を形成しつつ、検査領域Ｓｎを＋Ｙ方向に１ブロック移動させる（Ｓ２１６）。検査領域Ｓｎが他端側に至ると、液晶表示パネル３２の短手方向に沿って一段移動する。そして、Ｓ２１０〜Ｓ２１２の処理を行う（Ｓ２１７）。

さらに、移動前の検査領域Ｓｎと重畳領域を形成しつつ、次の位置に検査領域Ｓｎを−Ｘ方向に移動させる（Ｓ２１８）。そして、Ｓ２１０〜Ｓ２１２の処理を行う（Ｓ２１９）。このようにして、Ｘ＝０となるまで検査領域Ｓｎを−Ｘ方向に移動させる（Ｓ２２０）。前記移動経路と異なる段にて、検査領域Ｓｎが他端側から一端側に向けて長手方向に沿って順次移動する。

次に、移動前の検査領域Ｓｎと重畳領域を形成しつつ、検査領域Ｓｎを−Ｙ方向に１ブロック移動させる（Ｓ２２１）。検査領域Ｓｎが一端側に至ると、液晶表示パネル３２の短手方向に沿って１段移動する。そして、Ｓ２１０〜Ｓ２１２の処理を行う（Ｓ２２２）。

また、Ｓ２１０〜Ｓ２１４までを繰り返しながら、Ｘ＝ＸＧ（Ｘ方向の画素数）となるまで検査領域Ｓｎを＋Ｘ方向に移動させる（Ｓ２２３）。そして、液晶表示パネル３２全面の画素の検査を終了するまでＳ２１０からＳ２２３までを繰り返す（Ｓ２２４）。

以上のように本実施の形態によれば、検査領域Ｓｎを狭めた状態で目視検査を行なった場合、検査員の視線を可動させる距離が短くなるため不具合の検出率が向上する。

また、検査領域Ｓｎを一部に形成することで、検査領域Ｓｎ枠内のみを検査員は検査すればよく、液晶表示パネル３２の表示欠陥が検出しやすくなる。加えて、検査員の目線を誘導するように検査領域Ｓｎが順次移動することから、検査員は目線を合わせる位置を気にすることなく液晶表示パネル３２の欠陥を発見することに集中しやすくなり、検査員の個人差による検出率に差が生じ得ず、不良品の検出率が向上する。

また、検査領域Ｓｎが移動する際、各検査領域の境界周辺は不具合が検出しづらいので、一部重複するように表示させることで、検出漏れを防ぐことができる。さらに、２モードの検査方式を持つことで、極小範囲ごとに重点的な検査を行なえる機能と全画面を一度に検査する機能を有し、不具合の検出率を向上させることができる。また、移動する領域の大きさや移動速度を可変に設定可能とすることで、検査員の検査能力に合わせた設定が可能となる。

なお、本実施の形態の検査工程の詳細説明では、図１０（Ａ）に示す第１の移動パターン２１０の例を図１４のフローチャートを用いて説明したが、図１０（Ｂ）に示す第２の移動パターン２２０の例では、以下に示すようにすればよい。すなわち、図１４のフローチャートにおいて、Ｓ２１３を＋Ｙ方向移動の処理とし、Ｓ２１５をＹ＝ＹＧとなるまで＋Ｙ方向移動の処理とし、Ｓ２１６を＋Ｘ方向移動の処理とし、Ｓ２１８を−Ｙ方向移動の処理とし、Ｓ２２０をＹ＝０となるまで＋Ｙ方向移動の処理とし、Ｓ２２１を＋Ｘ方向移動の処理とし、Ｓ２２３をＹ＝ＹＧとなるまで＋Ｙ方向移動の処理とすればよい。

〔第２の実施の形態〕
次に、本発明にかかる第２の実施の形態について、図１６乃至図２１に基づいて説明する。なお、以下には、第１の実施の形態の実質的に同様の構成に関しては説明を省略し、異なる部分についてのみ述べる。図１６は、本発明の検査装置を利用した本実施の形態において検査される液晶表示パネルの表示態様の一例を示す図である。

上述の第１の実施の形態では、検査領域枠内の画素を全て点灯（白表示）とする方式としたが、本実施の形態では、検査領域枠内にてＲＧＢに対応する各画素を個別に点灯とする方式としている。すなわち、ＲＧＢの各々の色について検査する際に、検査領域枠内でＲＧＢの各検査を行った後に、他の検査領域内でＲＧＢの各検査を行うものである。

本実施の形態の液晶表示パネルでは、水平方向に並んだ画素には、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）、Ｒ、Ｇ、Ｂ、…の順番でカラーフィルタが配置されており、垂直方向に並んだ画素には同色のカラーフィルタが配置されているものとする。水平方向に並んだＲ画素、Ｇ画素及びＢ画素の３個の画素が１組になって、１つのピクセルが構成される。

（表示態様について）
図１６に示すように、液晶表示パネル３００上の検査領域Ｓ１の枠内では、Ｒ画素のみが点灯表示されている。検査領域Ｓ１内のＲ検査を行い、Ｒ検査が終了すると、次の検査領域Ｓ２に移動して同様にＲ画素のみを点灯するようにして順次Ｒ検査を行っていく。

液晶表示パネル３００の全画面についてＲ検査が終了すると、同様にして次にＧ検査を行う。すなわち、検査領域は、最初の位置に戻って、液晶表示パネル３００上の検査領域Ｓ１の枠内にて、Ｇ画素のみを点灯表示する。検査領域Ｓ１内のＧ検査を行い、Ｇ検査が終了すると、次の検査領域Ｓ２に移動して同様にＧ画素のみを点灯するようにして順次Ｇ検査を行っていく。

液晶表示パネル３００の全画面についてＧ検査が終了すると、同様にして次にＢ検査を行う。すなわち、検査領域は最初の位置に戻って、液晶表示パネル３００上の検査領域Ｓ１の枠内にてＢ画素のみを点灯表示する。検査領域Ｓ１内のＢ検査を行い、Ｂ検査が終了すると、次の検査領域Ｓ２に移動して同様にＢ画素のみを点灯するようにして順次Ｂ検査を行っていく。液晶表示パネル３００の全画面についてＢ検査が終了する。

（検査装置の構成について）
次に、上述のようなＲＧＢ画素を個別に点灯させる検査装置の構成について、図１７を参照して説明する。図１７は、本実施の形態の検査装置を示す機能ブロック図である。検査装置４００は、図１７に示すように、第１の実施の形態同様、制御装置７０に含まれる検査領域移動演算処理部８２、検査パネル表示制御部８４を備えている。この他、検査装置４００は、第１の実施の形態同様の構成を有するが、図１７においては本実施の形態を説明する上で関係する構成要件のみ記載し、他の構成要件については図示を省略する。

さらに加えて、検査装置４００は、図１７に示すように、表示色表示設定部（表示色設定部）１２８、図２に示す記憶部１００に含まれる表示色設定情報格納部１１０、制御装置７０に含まれる色設定情報処理部７８、移動パターン情報格納部１１１を備えている。

表示色表示設定部１２８は、検査領域の枠内にて検査すべきＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を点灯させることを個別に設定するものであり、検査領域の表示色を各色に対応する画素の検査（例えばＲ画素の検査、Ｇ画素の検査、Ｂ画素の検査）毎に個別に設定する機能を有し、ＵＩを用いて設定可能となっている。例えば、図１８に示す表示色設定画面１９０が挙げられる。

図１８に示す表示色設定画面１９０では、チェックボックス１９１Ｒ、１９１Ｇ、１９１Ｂにより色検査（Ｒ検査、Ｇ検査、Ｂ検査）の選択を個別に選択できるとともに、検査順序設定入力部１９２Ｒ、１９２Ｇ、１９２Ｂにより、色検査（Ｒ検査、Ｇ検査、Ｂ検査）の順番をも設定可能に形成されている。また、表示色設定画面１９０では、検査領域内のみを先に検査する場合（検査領域内の全てのＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を検査した後に次の検査領域に移動する場合）のチェックボックス１９３により、検査領域内を先に検査する場合と、検査領域内の特定色の画素（Ｒ画素）のみについて検査をして次の検査領域に移動する場合とで選択的に設定できるようになっている。さらに、移動パターン選択設定部１９４により予め用意された複数種類の移動パターンの中から一つの移動パターンを選択設定できるようになっている。なお、チェックボックス１９５により任意に移動パターンを設定可能に形成されている。この場合、不図示の移動パターン任意設定画面に移行する。

図１７に説明を戻すと、表示色設定情報格納部１１０は、表示色表示設定部１２８にて表示された色設定情報を色設定情報処理部７８を通じて格納する。移動パターン情報格納部１１１は、各種移動パターンの一部を部品化して設定条件に応じて利用できる部品移動パターン情報を格納している。

色設定情報処理部７８は、表示色表示設定部１２８により設定された表示色設定情報を表示色設定情報格納部１１０に書き込んで格納すると共に、検査領域を移動する制御を行う際に、表示色設定情報を記憶部に含まれる表示色設定情報格納部１１０から読み出して所定の演算処理を行うための制御を行う。すなわち、情報書込機能と情報読出取得機能とを兼用している。

また、色設定情報処理部７８は、色検査のＲ検査、Ｇ検査、Ｂ検査あるいはそれらの組み合わせの色が指定された場合に、対応する色の画素のみを選択するような信号を生成するよう、信号発生器５６（図２）に対して指令を行う。

検査領域移動演算処理部８４は、検査領域を視覚的に移動させる特定演算アルゴリズムの演算をする処理を行うプログラム等にて形成される。例えば、本実施の形態の場合には、検査モードが点灯、検査領域の大きさが特定サイズで、移動速度が特定速度で、移動方向がＸ方向、移動開始位置がＸ＝０、Ｙ＝０、Ｒ検査のみを行う場合には、サイズ情報処理部７２、移動速度情報処理部７３、移動方向情報処理部７４、移動開始位置情報処理部７５、検査モード設定情報処理部７６（いずれも第１の実施の形態の図２を参照、本実施の形態では構成要件を省略）、色設定情報処理部７８を通じて、検査モード設定情報（点灯表示）、サイズ設定情報（Ｘ方向の画素数、Ｙ方向の画素数）、移動速度設定情報、移動方向設定情報、移動開始位置設定情報（Ｘ＝０、Ｙ＝０）、表示色設定情報（Ｒ）を取得して、例えば図１６に示すＲ画素の点灯表示での検査領域Ｓ１の移動パターンを形成する演算処理を行う。

検査パネル表示制御部８４は、検査領域移動演算処理部８２にて演算される移動パターンに応じた検査領域内での特定色（Ｒ）画素の点灯表示を液晶表示パネル３２上に再現するための各種駆動信号を生成する制御を信号発生器５６（図２）に対して行う。
なお、本発明にいう「制御部」は、本実施の形態の色設定情報処理部７８、検査領域移動演算処理部８２、検査パネル表示制御部８４を含む。この制御部は、検査領域内にて表示色表示設定部（表示色設定部）１２８で設定された所定の表示色を表示する制御を行う機能を含む。

次に、検査装置４４０のうち本実施の形態に関係する部分の動作を説明する。表示色設定部１２８から特定の色が設定入力されると、表示色設定情報処理部７８は、入力された表示色設定情報を表示色設定情報格納部１１０に格納する。

設定処理の終了後、操作入力に基づき、検査を開始する旨の指示が行われると、検査領域移動演算処理８２は、例えば、検査モードが点灯、検査領域の大きさが特定サイズで、移動速度が特定速度で、移動方向がＸ方向、移動開始位置がＸ＝０、Ｙ＝０、表示色がＲ検査である場合には、サイズ情報処理部７２、移動速度情報処理部７３、移動方向情報処理部７４、移動開始位置情報処理部７５、検査モード設定情報処理部７６（いずれも第１の実施の形態の図２を参照、本実施の形態では構成要件を省略）、色設定情報処理部７８を通じて、検査モード設定情報（点灯表示）、サイズ設定情報（Ｘ方向の画素数、Ｙ方向の画素数）、移動速度設定情報、移動方向設定情報、移動開始位置設定情報（Ｘ＝０、Ｙ＝０）、表示色設定情報（Ｒ）を取得して、例えば図１６に示す検査領域内のＲ画素の表示パターンを形成する演算処理を行う。

そして、検査パネル表示制御部８４は、検査領域移動演算処理部８２にて演算される移動パターンに応じた検査領域内の特定色画素（Ｒ画素）の点灯表示を液晶表示パネル３２上に再現するための各種駆動信号を生成するように信号発生器５６に対して行う。

（検査工程について）
次に、本実施の形態の検査装置を用いた特定色画素の検査工程を図１９乃至図２１を参照しつつ説明する。図１９は、本実施の形態の検査装置を用いた点灯表示検査でのＲ検査の手順の一例を示すフローチャートである。

先ず、図１９に示すように、液晶表示パネルに信号を供給し、検査領域内でＲ画素のみを点灯させる（Ｓ３０１）。例えば図１６に示す検査領域Ｓ１内のＲ画素（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）のみを全て点灯表示させる。この点灯させた状態で、人間の目により、またはＣＣＤカメラで画像を撮り込み画像解析により検査領域内のＲ検査を行う（Ｓ３０２）。点灯表示検査では、点灯してないＲ画素の有無を検査する。

予め設定された移動速度に基づき、所定期間が過ぎると、検査領域Ｓ１内のＲ画素が消灯し（Ｓ３０３）、次の検査領域に移動する（Ｓ３０４）。液晶表示パネル３００全面のＲ画素の検査を終了するまでＳ３０１からＳ３０４までを繰り返す（Ｓ３０５）。ただし、Ｓ３０５において、Ｒ画素の最終検査の工程（検査領域が最後の位置に到達した場合）では、Ｓ３０１からＳ３０３までを繰り返し、Ｓ３０４は実施する必要はない。

次に、図２０に示すように、液晶表示パネルに信号を供給し、検査領域内でＧ画素のみを点灯させる（Ｓ３１１）。例えば図１６に示す検査領域Ｓ１内のＧ画素（Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３）のみを全て点灯表示させる。この点灯させた状態で、人間の目により、またはＣＣＤカメラで画像を撮り込み画像解析により検査領域内のＧ検査を行う（Ｓ３１２）。点灯表示検査では、点灯してないＧ画素の有無を検査する。

予め設定された移動速度に基づき、特定期間が過ぎると、検査領域Ｓ１内のＧ画素が消灯し（Ｓ３１３）、次の検査領域に移動する（Ｓ３１４）。液晶表示パネル全面のＧ画素の検査を終了するまでＳ３１１からＳ３１４までを繰り返す（Ｓ３１５）。ただし、Ｓ３１５において、Ｇ画素の最終検査の工程（検査領域が最後の位置に到達した場合）では、Ｓ３１１からＳ３１３までを繰り返し、Ｓ３１４は実施する必要はない。

次に、図２１に示すように、液晶表示パネルに信号を供給し、検査領域内でＢ画素のみを点灯させる（Ｓ３２１）。例えば図１６に示す検査領域Ｓ１内のＢ画素（Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３）のみを全て点灯表示させる。この点灯させた状態で、人間の目により、またはＣＣＤカメラで画像を撮り込み画像解析により検査領域内のＢ検査を行う（Ｓ３２２）。点灯表示検査では、点灯してないＢ画素の有無を検査する。

予め設定された移動速度に基づき、特定期間が過ぎると、検査領域内のＢ画素が消灯し（Ｓ３２３）、次の検査領域に移動する（Ｓ３２４）。液晶表示パネル全面のＢ画素の検査を終了するまでＳ３２１からＳ３２４までを繰り返す（Ｓ３２５）。ただし、Ｓ３２５において、Ｂ画素の最終検査の工程（検査領域が最後の位置に到達した場合）では、Ｓ３２１からＳ３２３までを繰り返し、Ｓ３２４は実施する必要はない。

以上のように本実施の形態によれば、ＲＧＢの各画素を個別に点灯表示検査できるので、検査を行うものが目視すべき画素を特定しやすくしているので、点灯していない画素の検出を効率良く行うことができる。

〔第３の実施の形態〕
次に、本発明にかかる第３の実施の形態について、図２２に基づいて説明する。なお、以下には、第１の実施の形態の実質的に同様の構成に関しては説明を省略し、異なる部分についてのみ述べる。図２２は、本発明の検査装置を利用した本実施の形態での点灯検査の手順の一例を示すフローチャートである。

上述の第２の実施の形態では、検査領域内の特定色の画素（Ｒ画素）のみについて検査をして次の検査領域に移動する場合の検査手順を示したが、本実施の形態では、検査領域内のみを先に検査する場合（検査領域内の全てのＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を検査した後に次の検査領域に移動する場合）の検査手順を示している。

先ず、図２２に示すように、液晶表示パネルに信号を供給し、検査領域内でＲ画素のみを点灯させる（Ｓ４０１）。例えば図１６に示す検査領域Ｓ１内のＲ画素（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）のみを全て点灯表示させる。この点灯させた状態で、人間の目により、またはＣＣＤカメラで画像を撮り込み画像解析により検査領域内のＲ検査を行う（Ｓ４０２）。点灯表示検査では、点灯してないＲ画素の有無を検査する。

次に、検査領域内のＲ画素が消灯し（Ｓ４０３）、液晶表示パネルに信号を供給し、同じ検査領域内においてＧ画素のみを点灯させる（Ｓ４０４）。この点灯させた状態で、人間の目により、またはＣＣＤカメラで画像を撮り込み画像解析により同じ検査領域内の点灯してないＧ画素を探す検査を行う（Ｓ４０５）。

さらに、検査領域内のＧ画素が消灯し（Ｓ４０６）、液晶表示パネルに信号を供給し、同じ検査領域内においてＢ画素のみを点灯させる（Ｓ４０７）。この点灯させた状態で、人間の目により、またはＣＣＤカメラで画像を撮り込み画像解析により同じ検査領域内の点灯してないＢ画素を探す検査を行う（Ｓ４０８）。

そして、検査領域内のＢ画素が消灯し（Ｓ４０９）、同じ検査領域Ｓ１の枠内でＲ検査、Ｇ検査、Ｂ検査のすべてが完了すると、予め設定された移動速度に基づき、特定期間が過ぎ、次の検査領域に移動する（Ｓ４１０）。同様にして、次の検査領域内においてもＳ４０１からＳ４０９を繰り返して、液晶表示パネルに信号を供給し、次の検査領域内でＲ検査、Ｇ検査、Ｂ検査を順次行う。このようにして、液晶表示パネル全面の検査を終了するまでＳ４０１からＳ４１０までを繰り返す（Ｓ４１１）。ただし、Ｓ４１１において、最終検査の工程（検査領域が最後の位置に到達した場合）では、Ｓ４０１からＳ４０９までを繰り返し、Ｓ４１０は実施する必要はない。

以上のように本実施の形態によれば、一つの検査領域の枠内でＲ検査、Ｇ検査、Ｂ検査を個別に実施でき、検査するものの負担を低減できる。

〔第４の実施の形態〕
次に、本発明にかかる第４の実施の形態について、図２３乃至図２４に基づいて説明する。なお、以下には、第２の実施の形態の実質的に同様の構成に関しては説明を省略し、異なる部分についてのみ述べる。図２３は、本発明の検査装置を利用した本実施の形態において検査される液晶表示パネルの表示態様の一例を示す図である。

上述の第２の実施の形態では、検査領域枠内のＲ画素を全て点灯する方式としたが、本実施の形態では、検査領域枠内において点灯させるＲ画素と点灯させないＲ画素を形成する方式としている。

具体的には、図２３に示すように、検査領域Ｓ１の枠内にて、奇数番目の走査線に対応するＲ画素のみを点灯表示させ、奇数番目の走査線に対応するＲ画素の点灯表示検査を行う。次に、図２４に示すように、検査領域Ｓ２の枠内にて、偶数番目の走査線に対応するＲ画素のみを点灯表示させ、偶数番目の走査線に対応するＲ画素の点灯表示検査を行う。

Ｒ画素の検査が終了すると、図２３に示すように、同じ検査領域Ｓ１の枠内にて、奇数番目の走査線に対応するＧ画素のみを点灯表示させ、奇数番目の走査線に対応するＧ画素の点灯表示検査を行う。次に、図２４に示すように、検査領域Ｓ２の枠内にて、偶数番目の走査線に対応するＧ画素のみを点灯表示させ、偶数番目の走査線に対応するＧ画素の点灯表示検査を行う。

Ｇ画素の検査が終了すると、図２３に示すように、同じ検査領域Ｓ１の枠内にて、奇数番目の走査線に対応するＢ画素のみを点灯表示させ、奇数番目の走査線に対応するＢ画素の点灯表示検査を行う。次に、図２４に示すように、検査領域Ｓ２の枠内にて、偶数番目の走査線に対応するＢ画素のみを点灯表示させ、偶数番目の走査線に対応するＢ画素の点灯表示検査を行う。

以上のように本実施の形態によれば、種々の検査表示パターンを形成することができ、また、検査領域内を細部にわたり検査できる。なお、第１乃至第４の実施の形態及び本実施の形態では、カラーフィルタのＲＧＢ配列をストライプ配列にて形成したが、この他、モダイク配列やクワッド配列の場合でも、各種移動パターンを用意しておくことによって容易に検出を行うことができる。例えば、図２５に示すように、ＲＧＢ配列をモザイク配列にて形成する場合、繰り返しステップは、モザイク配列に応じた移動パターンにて移動されることが好ましい。さらに、図２６に示すように、ＲＧＢ配列をクワッド配列にて形成する場合、繰り返しステップは、モザイク配列に応じた移動パターンにて移動されることが好ましい。

〔第５の実施の形態〕
次に、本発明にかかる第５の実施の形態について、図２７に基づいて説明する。なお、以下には、第１の実施の形態の実質的に同様の構成に関しては説明を省略し、異なる部分についてのみ述べる。図２７は、本発明の検査装置を示す本実施の形態の一例を示す機能ブロック図である。

上述の第１の実施の形態では、各種設定を表示部上にて行うソフトウエア設定部を利用する方式としたが、本実施の形態では操作部を用いた専用のハードウエア設定部を利用する場合を示している。

図２７には、検査装置５００の主な構成要件が示されている。検査装置５００は、第１の実施の形態同様の構成を有するが、図２７においては本実施の形態を説明する上で関係する構成要件のみ記載し、他の構成要件については図示を省略する。

検査装置５００は、操作部５３０を備えている。操作部５３０は、ハードウエアキーなどの各種操作ボタンやキーボードあるいはマウスなどにより形成されるものである。操作部５３０は、サイズ操作設定部５３２、移動速度操作設定部５３３、移動方向操作設定部５３４、移動開始位置操作設定部５３５、検査モード操作設定部５３６、表示色操作設定部５３６、停止操作部５３９や不図示の移動開始操作部などを備えている。なお、これらの全ての機能を例えばマウス操作だけでできるように形成してもよい。また、これらの各部は、いずれも第１の実施の形態の表示設定部と同様の機能を備え、各々「設定部」として形成できる。

サイズ操作設定部５３２は、検査される液晶表示パネル３２上に表示される点灯検査領域（移動領域）のサイズを設定するものであり、Ｘ方向の長さ及びＹ方向の長さを各々調整可能なスライダなどによって形成される。

移動速度操作設定部５３３は、検査される液晶表示パネル３２上に表示される点灯検査領域の移動速度を設定するものであり、予め目盛りに用意された移動速度に対応する位置に移動調整可能な位置調整機構を備えたスライダ等によって形成される。もちろん、Ｘ方向の移動速度或いはＹ方向の移動速度を各々調整可能に形成してよい。

なお、移動速度を設定すると、矩形状に表示された検査領域が、入力された数値の移動速度にて移動するシミュレーション表示を行う他の専用のボタンを形成してもよい。これにより、入力された数値に対応する点灯検査領域の移動速度を視角的に認知できることとなる。また、検査領域が移動する途中に検査員が任意で移動速度を変更可能に形成してもい。

移動方向操作設定部５３４は、検査される液晶表示パネル３２上に表示される点灯検査領域の移動方向を設定するものである。例えばＸ方向の移動方向やＹ方向の移動方向など３６０度のいずれにも移動可能なジョイスティックやトラックボール等にて形成されることが好ましい。

移動開始位置操作設定部５３５は、点灯検査領域の移動開始位置を設定するものであり、上下方向および左右方向を含む全方向に移動可能であって、昇降可能なボタンを搭載したジョイスティックなどにて形成されることが好ましい。ジョイスティックを上下左右に動作させることで所望の移動開始位置にまでポインタを移動させ、指定したい位置にてボタンを押下することで移動開始位置を設定できるようになっている。

検査モード操作設定部５３６は、表示される検査領域を点灯表示とする点灯表示モードないしは消灯表示モードを切り替える設定を行うものである。

表示色操作設定部５３８は、白ないしはＲ検査、Ｇ検査、Ｂ検査の検査内容に応じて表示色を切り替え設定し、検査領域の枠内にて検査すべきＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を点灯させることを個別に設定できる。例えば、色検査（Ｒ検査、Ｇ検査、Ｂ検査）の選択を個別に選択できるスイッチや、色検査色検査（Ｒ検査、Ｇ検査、Ｂ検査）の順番をも設定可能なダイヤルなどにて形成されることが好ましい。

また、検査領域内のみを先に検査する場合（検査領域内の全てのＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を検査した後に次の検査領域に移動する場合）や、検査領域内の特定色の画素（Ｒ画素）のみについて検査をして次の検査領域に移動する場合とで選択的に設定できる各種ボタンを形成してもよい。さらに、予め用意された複数種類の移動パターンの中から一つの移動パターンを選択設定できるスイッチを備えてよい。なお、マウス等により任意に移動パターンを設定可能に形成してもよい。

停止操作部５３９は、特定の検査領域の移動パターンにて移動している最中に、途中で検査領域の移動を停止させる機能を有する。これにより、検査最中に、移動パターンやサイズなどを途中で変更することができるように構成することができる。

なお、検査装置５００は、上述の第１の実施の形態同様の制御装置７０を備えている。制御装置７０には、図２５に示すように、操作入力制御部８６と、検査領域移動演算処理部８２を含む。

操作入力制御部８６は、サイズ操作設定部５３２、移動速度操作設定部５３３、移動方向操作設定部５３４、移動開始位置操作設定部５３５、検査モード操作設定部５３６、表示色操作設定部５３６、停止操作部５３９での各々の操作入力にに基づいて、検査領域に関する設定を行う制御処理を行うとともに、検査領域の移動の際には、検査領域移動演算処理部８２に対して演算処理を行うよう制御する。

上記のような構成からなる検査装置５００の作用を説明する。サイズ操作設定部５３２、移動速度操作設定部５３３、移動方向操作設定部５３４、移動開始位置操作設定部５３５、検査モード操作設定部５３６、表示色操作設定部５３６、停止操作部５３９にて操作入力が行われると、操作入力制御部８６は、設定条件情報を各情報格納部に格納する。

検査領域の移動を開始する旨の指示が入力されると、操作入力制御部８６は、検査領域移動演算処理部８２に対して特定の移動パターンに基づいて、演算処理を行うよう指示する。これに基づき、検査領域移動演算処理部８２での演算処理により液晶コントローラに対して情報が供給される。

なお、操作部としては、この他、検査領域の移動と連動して動作できるように構成することが好ましい。すなわち、移動する検査領域の移動速度、方向及びパターンなどをリアルタイムに任意に設定できる機能（リアルタイム設定操作部）を有してよい。この際、検査領域を間欠的に移動させる他、検査領域を滑らかに移動する場合であってもよい（検査領域円滑移動操作部）。あるいは、検査領域を間欠的に移動させる場合と滑らかに移動させる場合とで任意に切り換えたりする切り換え操作部を設けてもよい。

以上のように本実施の形態によれば、ハードウエア操作部を構成したことにより、表示部のように表示画面を見て設定する必要がないので、被検査パネル（液晶表示パネル）から目線をはずすことなく、移動する検査領域の大きさ、移動速度、移動方向などをリアルタイムに任意に設定でき、操作性が向上し、製品検査の検出率も向上する。

（各種変形例）
なお、検査装置、検査方法に関し、いくつかの特定の実施の形態に従って説明してきたが、本発明の主旨および範囲から逸脱することなく前記各実施の形態に対して種々の変形が可能である。例えば、上述の各実施の形態では、検査領域の移動パターンとして、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すような移動パターンを説明したが、図２８（Ａ）（Ｂ）に示すような各移動パターンにて表示するように形成してもよい。

図２８（Ａ）では、最上段を＋Ｘ方向に移動した後、Ｘ＝０となる位置に戻り２段目以降も＋Ｘ方向に順次移動していく移動パターン６０１を示している。より詳細には、図２８（Ａ）の移動パターン６０１では、先ず、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の水平方向にて順方向（図中＋Ｘ方向）に複数回順次移動する。移動する際には、移動前後の検査領域が一部重複する重畳領域を形成しながら移動する。次に、Ｘ＝０の位置に戻り垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）に１段下がった状態でＸ＝ＸＧまで水平走査を行う。このようにして表示領域Ｆの全面にわたって検査が終了するまで、＋Ｘ方向移動の水平走査を繰り返す。

図２８（Ｂ）では、１列目において＋Ｙ方向に移動した後、Ｙ＝０となる位置に戻り２段目以降も＋Ｙ方向に順次移動していく移動パターン６０２を示している。より詳細には、図２８（Ａ）の移動パターン６０２では、先ず、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）に複数回順次移動する。移動する際には、移動前後の検査領域が一部重複する重畳領域を形成しながら移動する。次に、Ｙ＝０の位置に戻り水平方向にて順方向（図中＋Ｘ方向）に１行右に移動した状態でＹ＝ＹＧまで水平走査を行う。このようにして表示領域Ｆの全面にわたって検査が終了するまで、＋Ｙ方向移動の垂直走査を繰り返す。

なお、図２８（Ａ）、図２８（Ｂ）の場合においても、検査領域の移動開始位置は、液晶表示パネルの図２８（Ａ）、図２８（Ｂ）中右上方端Ｕ１、図中左上方端Ｕ２、図中左下方端Ｕ３、図中右下方端Ｕ４のいずれから開始するように形成してもよいことは言うまでもない。

加えて、図２９（Ａ）（Ｂ）に示すような移動パターン６０３、６０４を形成してもよく、さらには、図３０（Ａ）（Ｂ）に示すような移動パターン６０５．６０６を形成してもよい。

より詳細には、図２９（Ａ）の移動パターン６０３では、検査領域が２つの移動経路Ｚ１、Ｚ２を有する。一方の移動経路Ｚ１では、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の水平方向にて順方向（図中＋Ｘ方向）にＸ＝ＸＧ／２の位置まで複数回順次移動する。移動する際には、移動前後の検査領域が一部重複する重畳領域を形成しながら移動する。さらに、検査領域Ｓ１が移動した後の検査済み領域を検査領域Ｓ１と異なる表示態様（例えば第３の階調情報）で表示することが好ましい。次に、Ｘ＝ＸＧ／２の位置にて表示領域Ｆ内の垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）に１回移動する。さらに、水平方向にて逆方向（図中−Ｘ方向）に複数回Ｘ＝ＸＧ／２の位置よりＸ＝０の位置まで順次移動する。次に、Ｘ＝０の位置にて垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）に１回移動する。そして、表示領域Ｆの１／２の領域にわたって検査が終了するまで、以上の＋Ｘ方向移動、＋Ｙ方向移動、−Ｘ方向移動、＋Ｙ方向移動を繰り返す。

次に、他方の移動経路Ｚ２では、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の水平方向にて順方向（図中＋Ｘ方向）にＸ＝ＸＧ／２の位置よりＸ＝ＸＧの位置まで複数回順次移動する。移動する際には、移動前後の検査領域が一部重複する重畳領域を形成しながら移動する。次に、Ｘ＝ＸＧの位置にて表示領域Ｆ内の垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）に１回移動する。さらに、水平方向にて逆方向（図中−Ｘ方向）に複数回Ｘ＝ＸＧの位置よりＸ＝ＸＧ／２の位置まで順次移動する。次に、Ｘ＝ＸＧ／２の位置にて垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）に１回移動する。そして、表示領域Ｆの残りの１／２の領域にわたって検査が終了するまで、以上の＋Ｘ方向移動、＋Ｙ方向移動、−Ｘ方向移動、＋Ｙ方向移動を繰り返す。このようにして表示領域Ｆの全面の検査を行う。

図２９（Ｂ）の移動パターン６０４では、検査領域が２つの移動経路Ｚ３、Ｚ４を有する。一方の移動経路Ｚ１では、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）にＹ＝ＹＧ／２の位置まで複数回順次移動する。移動する際には、移動前後の検査領域が一部重複する重畳領域を形成しながら移動する。さらに、検査領域Ｓ１が移動した後の検査済み領域を検査領域Ｓ１と異なる表示態様（例えば第３の階調情報）で表示することが好ましい。次に、Ｙ＝ＹＧ／２の位置にて表示領域Ｆ内の水平方向にて順方向（図中＋Ｘ方向）に１回移動する。さらに、垂直方向にて逆方向（図中−Ｙ方向）に複数回Ｙ＝ＹＧ／２の位置よりＹ＝０の位置まで順次移動する。次に、Ｙ＝０の位置にて水平方向にて順方向（図中＋Ｘ方向）に１回移動する。そして、表示領域Ｆの１／２の領域にわたって検査が終了するまで、以上の＋Ｙ方向移動、＋Ｘ方向移動、−Ｙ方向移動、＋Ｘ方向移動を繰り返す。

次に、他方の移動経路Ｚ３では、検査領域Ｓ１が表示領域Ｆ内の垂直方向にて順方向（図中＋Ｙ方向）にＹ＝ＹＧ／２の位置よりＹ＝ＹＧの位置まで複数回順次移動する。移動する際には、移動前後の検査領域が一部重複する重畳領域を形成しながら移動する。次に、Ｙ＝ＹＧの位置にて表示領域Ｆ内の水平方向にて順方向（図中＋Ｘ方向）に１回移動する。さらに、垂直方向にて逆方向（図中−Ｙ方向）に複数回Ｙ＝ＹＧの位置よりＹ＝ＹＧ／２の位置まで順次移動する。次に、Ｙ＝ＹＧ／２の位置にて水平方向にて順方向（図中＋Ｘ方向）に１回移動する。そして、表示領域Ｆの残りの１／２の領域にわたって検査が終了するまで、以上の＋Ｙ方向移動、＋Ｘ方向移動、−Ｙ方向移動、＋Ｘ方向移動を繰り返す。このようにして表示領域Ｆの全面の検査を行う。

さらには、図３０（Ａ）に示す移動パターン６０５では、１段目の水平走査と２段目の水平走査とで、異なる検査領域のサイズを構成するパターンを示している。また、図３０（Ｂ）に示す移動パターン６０６では、検査領域の移動方向を斜めにして移動させる移動パターンを示している。以上説明した各移動パターンは、後述する各種の検査表示パターン（斜め縞表示、上半分白下半分黒表示など）において有効となる場合があるからである。さらには、これらの各移動パターンを予め用意しておき、検査員は、必要に応じて選択できるように形成してもよい。

また、第１の実施の形態では、撮像素子としてのＣＣＤカメラを搭載する構成としたが、ＣＣＤカメラを搭載せずに、目視検査のための種々の顕微鏡などの光学系を備えた構成としても構わない。この際、光学系は液晶表示パネルの全体を見ることができるように形成されている。これにより、光学系を介して目視検査を行うことができる。一方、ＣＣＤカメラを搭載する場合にも、ＣＣＤカメラを介して表示部に表示される画像を目視する目視検査を行う場合であっても一向に構わない。

また、各実施の形態では、液晶表示パネル製造後において、接続端子にプローブが接続（コンタクト）されて表示検査を行う場合の検査装置の例を示したが、駆動用ＩＣが搭載されたＴＡＢ基板が接合された後の液晶表示パネル、あるいはＣＯＧの場合の液晶表示パネルを検査する検査装置においても、同様の構成を採用するができる。すなわち、モジュール工程後に検査装置にて検査を実施する場合であっても、検査領域の移動パターンを用いることができる。種々の異なる機種の検査装置においても、検査領域の移動パターンを用いることができる。

さらに、第１の実施の形態では、「検査領域を白表示とする」場合を第１のモード、「検査領域を黒表示とする」場合を第２のモードとしたが、これに限らず、第１及び第２のモードにてそれぞれ設定される階調は、種々の階調であってよい。例えば、透過率の高い（光量の多い）第１の階調（輝度又は明るさ）となる場合を「第１のモード」、第１の階調より透過率の低い（光量の少ない）第２の階調となる場合を「第２のモード」としてもよい。また、第１のモードの第１の階調、第２のモードの第２の階調をそれぞれ設定できるようにしてもよい（第１、第２の階調設定部）。加えて、第１のモードの第１の色、第２のモードの第２の色をそれぞれ設定できるようにしてもよい（第１、第２のモード色設定部）。また、ノーマリブラックタイプ、ノーマリホワイトタイプのいずれの液晶表示パネルにおいても、移動する検査領域を採用できることは言うまでもない。

さらに、以下に示すような検査表示パターンにおいても、移動する（点灯又は消灯の分割）検査領域を採用することができる。すなわち、（１）全画素を白表示（透過率１００％）とする。（２）全画素を中間階調表示（透過率１００％〜０％の間のＴ−Ｖ特性において、電圧値を例えば１６分割し、１００％と０％の電圧以外の電圧を順次印加する）とする。（３）全画素を黒表示（透過率０％）とする。（４）全画素の中央部に黒のウインドウ表示、その周りを白表示とする。（５）横縞表示（黒表示ラインと白表示ラインを繰り返した表示、次に黒表示ラインと白表示ラインを入れ替え）とする。この場合、例えば奇数番目を白表示、偶数番目を黒表示とするか、奇数番目を黒表示、偶数番目を白表示とするか、また、先に偶数番目を白表示とし、その後に奇数番目を黒表示とするかは任意である。これにより、上下の画素の画素電極同士が短絡した場合の欠陥を検出できる。（６）縦縞表示（黒表示ラインと白表示ラインを繰り返した表示、次に黒表示ラインと白表示ラインを入れ替え）とする。（７）斜め縞表示（黒表示の斜めラインと白表示の斜めラインを繰り返した表示、次に黒表示ラインと白表示ラインを入れ替え）とする。これらの各検査表示パターンにおいて、各々各実施の形態の検査領域の移動パターンを利用することができる。

加えて、液晶表示パネルの上半分を黒表示及び下半分を白表示、並びに上半分を白表示及び下半分を黒表示にした検査表示パターン（８）において利用してもよい。すなわち、液晶表示パネルの上半分を白表示及び下半分を黒表示とした後、上半分を黒表示及び下半分を白表示させることにより、液晶表示パネルの表示部全体の欠陥種に係る欠陥検査を行う。

また、表示パネルとしては、ＥＬＤ（Electroluminescence display、エレクトロルミネセンスディスプレイ）、プラズマ発光体（ＰＤＰ）等の自己発光物体や、背面から照射される照明光を選択的に透過させて像を表示する液晶ディスプレイ（ＬＣＤ，Liquid crystal display）パネル等を含む。

また、制御装置は、情報処理装置として、検査部及びロボット部とからなる検査装置本体とネットワークを介して独立して形成してもよい。この際、情報処理装置は、複数の検査装置本体を管理する管理装置（ホストコンピュータ）として形成してもよく、各検査装置本体は、各々異なる種類のタイプ（工程別に応じた各種検査装置）であってもよい。さらに、表示部および操作部を情報端末として構成し、記憶部および制御装置を管理装置として構成してもよい。これら情報処理装置、情報端末、管理装置は、デスクトップ、ラップトップコンピュータ、その他無線・有線通信機能を有する情報機器、またはこれに類するコンピュータなどいかなるコンピュータでもよく、移動式・固定式を問わない。

加えて、管理装置で複数台の検査部の各液晶表示パネルに対して、検査領域の設定を各々設定できるように構成してもよい。この場合、管理装置は、図示しないが、表示部側に検査用のメニュー画面等の各種画面が表示されるように促す例えばＣＧＩプログラム等により形成された表示処理手段、検査部、ロボット部との間で例えば各種制御情報などの各種データの送受信を行う送受信手段、管理者用の表示部及び操作部、各種制御プログラム、演算実行プログラムなどを記憶しておく記憶部などを含んで構成してもよい。これらの各部の構成は、種々のハードウエア及びソフトウエアによって実現できるよう構成される。ハードウエア構成の具体例としては、図示しないが、通信機能の制御を行う通信用インターフェース、ハードディスク等の記憶装置、端末からのデータ入出力を行う入出力インターフェース、及びそれらの制御を司る中央演算処理装置（ＣＰＵ）等が挙げられる。

なお、ネットワークとしては、例えばＴＣＰ・ＩＰプロトコルを用いた通信態様や、他の種々の通信プロトコルを用いたネットワーク、無線（衛星通信等を含む）ネットワークであっても構わず、他のネットワークと接続されたシステムであってもよい。

加えて、上述の実施の形態の制御装置、データベースなどにおいて処理される処理プログラム、説明された処理（各図の処理手順及び本明細書で全般的に記述される手順）、データ（例えば、移動パターン情報、各種マスタ、設定画面情報等）の全体もしくは各部を情報記録媒体に記録した構成であってもよい。さらに、上述の処理プログラムを、一般のパソコンや情報処理端末に組み込まれる情報記録媒体も含む。この情報記録媒体としては、例えばＲＯＭ、ＲＡＭ、フラッシュメモリ等の半導体メモリ並びに集積回路、光ディスク、光磁気ディスク、磁気記録媒体等を用いてよい。

また、情報記録媒体を上記各実施の形態による検査装置以外の他の情報処理装置で用い、その装置が記録媒体に格納されたプログラムコードを読み出し、実行することによっても、上記各実施の形態と同等の機能を実現できると共に、同等の効果を得ることができる。

なお、情報処理装置としては、例えばパーソナルコンピュータに限らず、各種サーバー、ＥＷＳ（エンジニアリングワークステーション）、中型コンピュータなどが挙げられ、サーバとして利用する際にはこれらをアクセス可能な情報端末としても利用できる構成としても構わない。あるいは、これらの情報端末に表示されるアプリケーションとして改良されたものも含めることができる。さらに、制御装置などは、サーバーのみならず、データベースやその他のサーバなどの各種サーバを含んで構成され、これらを含むシステムの総称として機能してもよい。

さらに、上記実施形態には種々の段階が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。つまり、上述の各実施の形態同士、あるいはそれらのいずれかと各変形例のいずれかとの組み合わせによる例をも含むことは言うまでもない。この場合において、本実施形態において特に記載しなくとも、各実施の形態及び変形例に開示した各構成から自明な作用効果については、当然のことながら本例においても当該作用効果を奏することができる。また、実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除された構成であってもよい。

そして、これまでの記述は、本発明の実施の形態の一例のみを開示しており、所定の範囲内で適宜変形及び／又は変更が可能であるが、各実施の形態は例証するものであり、制限するものではない。

以上説明した本発明の第１乃至第５の実施の形態による表示パネルの検査装置及び表示パネルの検査方法は、以下のようにまとめられる。
（付記１）
検査すべき表示パネルの一部に表示される検査領域を生成する検査領域生成部と、
前記検査領域を順次移動させる表示制御を行う制御部と、
を含むことを特徴とする表示パネルの検査装置。
（付記２）
付記１記載の表示パネルの検査装置において、
前記検査領域を所定の輝度で表示する第１のモードと、前記検査領域を前記所定の輝度より暗い輝度で表示する第２のモードとを切り換え設定を行うモード設定部を有し、
前記制御部は、前記モード設定部にて設定された前記第１又は第２のモードにて前記表示パネルの表示制御を行うことを特徴とする表示パネルの検査装置。
（付記３）
付記１又は２に記載の表示パネルの検査装置において、
前記検査領域のサイズを設定するサイズ設定部をさらに有し、
前記制御部は、前記サイズ設定部にて設定された所定サイズの検査領域を順次移動させる表示制御を行うことを特徴とする表示パネルの検査装置。
（付記４）
付記１乃至３のいずれか１項に記載の表示パネルの検査装置において、
前記検査領域の移動速度を設定する移動速度設定部をさらに有し、
前記制御部は、前記移動速度設定部にて設定された所定速度に基づいて、前記検査領域を移動させる表示制御を行うことを特徴とする表示パネルの検査装置。
（付記５）
付記１乃至４のいずれか１項に記載の表示パネルの検査装置において、
前記検査領域の移動方向を設定する移動方向設定部をさらに有し、
前記制御部は、前記移動方向設定部にて設定された所定の移動方向に基づいて、前記検査領域を移動させる表示制御を行うことを特徴とする表示パネルの検査装置。
（付記６）
付記１乃至５のいずれか１項に記載の表示パネルの検査装置において、
前記検査領域の移動開始位置を設定する移動開始位置設定部をさらに有し、
前記制御部は、前記移動開始位置設定部にて設定された所定の移動開始位置を起点として前記検査領域を移動させる表示制御を行うことを特徴とする表示パネルの検査装置。
（付記７）
検査すべき表示パネルの一部に検査領域を表示する表示ステップと、
表示された前記検査領域を移動させる移動ステップと、
を含むことを特徴とする表示パネルの検査方法。
（付記８）
付記７記載の表示パネルの検査方法において、
前記移動ステップは、
前記検査領域が表示領域内の水平方向にて順又は逆方向のいずれかの方向に移動する水平方向移動ステップと、
前記検査領域が前記表示領域内の垂直方向にて順又は逆方向のいずれかの方向に移動する垂直方向移動ステップと、
を含むことを特徴とする表示パネルの検査方法。
（付記９）
付記８記載の表示パネルの検査方法において、
前記移動ステップは、
前記水平方向移動ステップを複数回行った後に、前記垂直方向移動ステップを１回行うステップを含むことを特徴とする表示パネルの検査方法。
（付記１０）
付記８記載の表示パネルの検査方法において、
前記移動ステップは、
前記垂直方向移動ステップを複数回行った後に、前記水平方向移動ステップを１回行うステップを含むことを特徴とする表示パネルの検査方法。

本発明の第１の実施の形態による液晶表示パネルの検査装置の全体の概略構成の一例を示すブロック図である。 本発明の第１の実施の形態による液晶表示パネルの検査装置の一部の詳細な構成の一例を示すブロック図である。 本発明の第１の実施の形態による検査装置において検査対象となる液晶表示パネルの表示態様の一例を示す説明図である。 本発明の第１の実施の形態による検査装置において検査対象となる液晶表示パネルの表示態様の一例を示す説明図である。 本発明の第１の実施の形態による検査装置において検査対象となる液晶表示パネルの表示態様の一例を示す説明図である。 本発明の第１の実施の形態による検査装置の表示部に表示される表示画面の一例を示す説明図である。 本発明の第１の実施の形態による検査装置の表示部に表示される表示画面の一例を示す説明図である。 本発明の第１の実施の形態による検査装置の表示部に表示される表示画面の一例を示す説明図である。 本発明の第１の実施の形態による検査装置の表示部に表示される表示画面の一例を示す説明図である。 同図（Ａ）（Ｂ）は、本発明の第１の実施の形態による検査装置にて検査される液晶表示パネルに表示される検査領域の移動パターンの一例を示す説明図である。 本発明の第１の実施の形態による液晶表示パネルの検査装置を用いた全体の検査工程の一例を示すフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態による検査装置での設定処理の詳細を示すフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態による検査装置での移動パターンの演算処理の詳細を示すフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態による検査装置を用いた検査工程の詳細を示すフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態による検査装置において検査対象となる液晶表示パネルの表示態様を説明するための説明図である。 本発明の第２の実施の形態による検査装置において検査対象となる液晶表示パネルの表示態様の一例を示す説明図である。 本発明の第２の実施の形態による液晶表示パネルの検査装置の一部の詳細な構成の一例を示すブロック図である。 本発明の第２の実施の形態による検査装置の表示部に表示される表示画面の一例を示す説明図である。 本発明の第２の実施の形態による検査装置を用いた検査工程の詳細を示すフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態による検査装置を用いた検査工程の詳細を示すフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態による検査装置を用いた検査工程の詳細を示すフローチャートである。 本発明の第３の実施の形態による検査装置を用いた検査工程の詳細を示すフローチャートである。 本発明の第４の実施の形態による検査装置において検査対象となる液晶表示パネルの表示態様の一例を示す説明図である。 本発明の第４の実施の形態による検査装置において検査対象となる液晶表示パネルの表示態様の一例を示す説明図である。 本発明の第４の実施の形態による検査装置において検査対象となる液晶表示パネルの表示態様の一例を示す説明図である。 本発明の第４の実施の形態による検査装置において検査対象となる液晶表示パネルの表示態様の一例を示す説明図である。 本発明の第５の実施の形態による液晶表示パネルの検査装置の一部の詳細な構成の一例を示すブロック図である。 同図（Ａ）（Ｂ）は、本発明の実施の形態による検査装置にて検査される液晶表示パネルに表示される検査領域の移動パターンの一例を示す説明図である。 同図（Ａ）（Ｂ）は、本発明の実施の形態による検査装置にて検査される液晶表示パネルに表示される検査領域の移動パターンの一例を示す説明図である。 同図（Ａ）（Ｂ）は、本発明の実施の形態による検査装置にて検査される液晶表示パネルに表示される検査領域の移動パターンの一例を示す説明図である。

符号の説明

１ 検査装置
１０ 供給カセット
１２ 第１の回収カセット
１４ 第２の回収カセット
１６ 第３の回収カセット
２０ ロボット部
２２ ＬＣＤ保持器
２４ 搬送機構
３０ 検査部
３１ ステージ
３２ 液晶表示パネル
３３ データ側プローブブロック群
３４ データ側ドライバ
３５ ゲート側プローブブロック群
３６ ゲート側ドライバ
３８ バックライト
３９ ＣＣＤカメラ
５２ 液晶コントローラ
５４ コントロール基板
５６ 信号発生器
６３ バックライト制御部
６４ 位置調整制御部
６５ 画像処理部
７０ 制御装置
７１ 設定条件情報処理部
７２ サイズ情報処理部
７３ 移動速度情報処理部
７４ 移動方向情報処理部
７５ 移動開始位置情報処理部
７６ 検査モード設定情報処理部
８１ 検査領域生成部
８２ 検査領域移動演算処理部
８４ 検査パネル表示制御部
８５ 設定画面情報処理部
８６ 操作入力制御部
９８ 中央制御部
１００ 記憶部
１０２ 検査結果情報格納部
１０３ 設定条件情報格納部
１１０ 設定画面情報格納部
１２０ 表示部
１２２ サイズ表示設定部
１２３ 移動速度表示設定部
１２４ 移動方向表示設定部
１２５ 移動開始位置表示設定部
１２６ 検査モード表示設定部
１２７ 移動パターン表示設定部
１３０ 操作部
１６０ 検査領域サイズ設定画面
１７０ 検査領域速度設定画面
１８０ 移動方向設定画面
１９０ 検査モード設定画面
５３０ サイズ操作設定部
５３３ 移動速度操作設定部
５３４ 移動方向操作設定部
５３５ 移動開始位置操作設定部
５３６ 検査モード操作設定部
５３８ 表示色操作設定部

Claims (5)

1. 検査すべき表示パネルの一部に表示される検査領域を生成する検査領域生成部と、
   前記検査領域を順次移動させる表示制御を行う制御部と、
   を含むことを特徴とする表示パネルの検査装置。
2. 請求項１記載の表示パネルの検査装置において、
   前記検査領域を所定の輝度で表示する第１のモードと、前記検査領域を前記所定の輝度より暗い輝度で表示する第２のモードとを切り換え設定を行うモード設定部を有し、
   前記制御部は、前記モード設定部にて設定された前記第１又は第２のモードにて前記表示パネルの表示制御を行うことを特徴とする表示パネルの検査装置。
3. 請求項１又は２に記載の表示パネルの検査装置において、
   前記検査領域のサイズを設定するサイズ設定部をさらに有し、
   前記制御部は、前記サイズ設定部にて設定された所定サイズの検査領域を順次移動させる表示制御を行うことを特徴とする表示パネルの検査装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の表示パネルの検査装置において、
   前記検査領域の移動速度を設定する移動速度設定部をさらに有し、
   前記制御部は、前記移動速度設定部にて設定された所定速度に基づいて、前記検査領域を移動させる表示制御を行うことを特徴とする表示パネルの検査装置。
5. 検査すべき表示パネルの一部に検査領域を表示する表示ステップと、
   表示された前記検査領域を移動させる移動ステップと、
   を含むことを特徴とする表示パネルの検査方法。
   
   

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