JP2006051576A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 基材とその表面に開口部を有したナノ径の細孔に対して固体粒子が充填され、その固体粒子は、充填前に予め粒子化されていてその形状を変えずに充填されてなることを特徴とするナノ構造体。
2. 請求項１に記載のナノ構造体において、細孔のそれぞれに複数の固体粒子が孔の深さ方向に一列状に充填されてなることを特徴とするナノ構造体。
3. 請求項１に記載のナノ構造体において、細孔内のそれぞれに充填されている複数の固体粒子が相互に一体化されてなることを特徴とするナノ構造体。
4. 請求項１から３のいずれかに記載のナノ構造体において、前記固体粒子は、金属、酸化物半導体、有機物であることを特徴とする。
5. 請求項１から４のいずれかに記載のナノ構造体において、基材の細孔は、陽極酸化により作製されたものであることを特徴とする。
6. 請求項１から５のいずれかに記載のナノ構造体を製造する方法であって、被充填固体粒子がコロイド粒子として液体中に分散しているコロイド溶液を入れた容器の底部に、表面を上方に向けて前記基材を配置し、これらに容器の上面側を回転中心として遠心力を負荷することを特徴とする固体粒子充填方法。