JP2006048067A - 極端相互作用ピッチ領域を識別する方法、マスクパターンを設計する方法およびマスクを製造する方法、デバイス製造方法およびコンピュータプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学近接効果(OPE)は主フィーチャと隣接するフィーチャの間の構造的相互作用に起因する。隣接するフィーチャによって生成される電界の位相に応じて、主フィーチャの臨界寸法およびプロセスラチチュードを、強め合う光電界干渉によって改善するか、または弱め合う光電界干渉によって劣化させることができる。隣接するフィーチャによって生成される電界の位相はピッチならびに照明角に依存する。所与の照明角に対して、禁制ピッチ領域は、隣接するフィーチャによって生成される電界が主フィーチャの電界と弱め合うように相互作用する位置である。本発明は、任意のフィーチャサイズおよび照明条件に対して禁制ピッチ領域を識別し、除去するための方法を提供する。
【選択図】図1a
Description
放射投影ビームを供給するための放射システムと、
所望のパターンに従って投影ビームをパターニングする働きをするパターニング手段を支持するための支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターニングされたビームを基板のターゲット部分に投影するための投影システムとを備える方法に関する。
照明である。さらに、調整可能な開口ストップを投影レンズ18の裏面焦点面に配置した場合、裏面焦点面と像平面の間に光学エレメントがないので、裏面焦点面は射出瞳になる。1対のオンアクシス(on−axis)像点からの射出瞳を検査すると、射出瞳20における各幾何学的点は1対の角座標(θ、φ)に対応し、これは、式(1)
kx=sinθcosφ、ky=sinθsinφ (1)
によって記述され、図1bおよび図1cに示される、以下の変換によって二次元周波数平面内の対応する点に変換することができる。
のように表される。aは主フィーチャ(中心フィーチャ)の幅であり、cは副フィーチャの幅であり、bは主フィーチャと副フィーチャの間のエッジ間分離距離である。図2に示される物体は一般化したマスクパターンを表す。α=0のとき、それはバイナリマスクとなり、6%減衰位相シフトマスクの場合にはα=sqrt(0.06)=0.24となり、クロムレス位相シフトマスクの場合にはα=1.0となる。
となる。上式で、kx=sinθはkx軸に沿った主平面内の空間周波数である。擬似単色光源によって、光のコヒーレンス長は、考慮中の任意の光線対間の光学経路差よりもはるかに長くなることに留意されたい。この近似は、フォトリソグラフィにおいて使用される光源、特に帯域幅が1.0ピコメートル未満のKrFエキシマ光源によく当てはまる。
のようになる。上式で、kx0=sinθ0であり、θ0は照明角である。位相項
は、簡単な幾何学的解釈を有し、図3cに示すように、異なる物体点における照明電界の位相差を説明するものである。式(2)を式(5)中に挿入すると、結果は
となる。上式で、p=b+a/2+c/2はパターンのピッチと定義される。フーリエ光学による像平面における電界は、
となる。式(6)および式(7)中に記載されている量は、すべての幾何学的寸法がλ/NAに対して正規化され、かつkxおよびkx0がNAに対して正規化されるように再スケーリングできることに留意されたい。明示的に、これらの再スケーリングした量は
と表すことができる。これらの再スケーリングした量を使用すると、像平面における電界は
または
となる。上式で、sは照明角である。式(9’)から、副フィーチャによって生成される電界は位相項
を有することが明らかである。禁制ピッチ領域の決定および除去において中心的な役割を果たすのは、この位相項である。
のように容易に導出される。式(10)中のNAは、使用するリソグラフィ投影装置において設定する開口数である。
を有しなければならない。
d(Itotalの対数傾斜)/d(ピッチ)〜0 (11)
を利用して識別することができる。特に、上記式を満足する位置に実質的に近接する位置は極端ピッチ相互作用位置である。言い換えれば、極端ピッチ相互作用位置の位置を特定するための上記条件は特定の位置を指定するが、実際の禁制ピッチはこの位置の周りの範囲である。実際の範囲は波長および露光装置のNAに依存する。実験的研究から、所与の特定の位置の周りの禁制ピッチ範囲は約+/−0.12波長/NAであることが確定された。例えば、露光装置が248nm光源およびNA=0.65を利用する場合、極端相互作用ピッチ範囲は約+/−45nmとなる。さらに、極端相互作用ピッチ位置は比較的安定しているが、固定ではないことに留意されたい。極端相互作用ピッチ位置は照明角の変動によってわずかにシフトすることができる。
12 単色光源
14 コンデンサ
16 レチクル
18 投影レンズ
20 射出瞳
22 像平面
Claims (13)
- リソグラフィ装置を使用して基板上に形成すべき集積デバイスを設計するときにフィーチャ間の望ましくないピッチを識別する方法であって、
(a)複数の予め決められたピッチの所与の照明角に対する照明強度レベルを決定することによって極端相互作用ピッチ領域を識別するステップと、
(b)照明角のある範囲にわたって所与の極端相互作用ピッチ領域に対する照明強度を決定することによって、ステップ(a)において識別された各極端相互作用ピッチ領域に対する前記望ましくないピッチを識別するステップとを含む方法。 - 前記極端相互作用ピッチ領域が、実質的に強め合う光学干渉かまたは実質的に弱め合う光学干渉を示す領域を規定する、請求項1に記載の方法。
- 前記望ましくないピッチが、所定の値を超える対応する照明強度を有する、請求項1または請求項2に記載の方法。
- 前記フィーチャが主フィーチャおよび光学近接補正エレメントを含む、請求項1、請求項2または請求項3に記載の方法。
- マスクを利用するリソグラフィ装置の使用によって基板に形成される一体デバイスを設計する時にフィーチャ間の不所望なピッチを識別することによって前記マスクを生成する方法であって、
(a)複数の所定ピッチ用の所定照射角の照度レベルを決定することによって極端相互作用ピッチ領域を識別するステップと、
(b)照射角の範囲を越えて所定の極端相互作用ピッチ領域の照度を決定することによってステップ(a)で特定される各極端相互作用ピッチ領域の前記不所望なピッチを識別するステップと、
(c)前記所望照射スキームの照射角が望ましくない極端相互作用ピッチ領域に前記マスクパターンのフィーチャの組合せがピッチを有さないようにフィーチャを取決めることによりマスクパターンを生成するステップとを含む方法。 - 前記極端相互作用ピッチ領域が実質的に強め合う光学干渉または実質的に弱め合う光学干渉を示す領域を形成する請求項5に記載の方法。
- 前記不所望ピッチが所定値を超えた対応照度である請求項5に記載の方法。
- 前記フィーチャが主フィーチャおよび光学近接補正エレメントを有する請求項5に記載の方法。
- リソグラフィックイメージ処理に使用されるマスクに対応するファイルを生成するためにコンピュータ管理用記録媒体に記録される手段であるコンピュータによって読取りできる記録媒体を有するコンピュータを制御するコンピュータプログラムプロダクトであって、
(a)複数の所定ピッチ用の所定照射角の照度レベルを決定することによって極端相互作用ピッチ領域を識別するステップと、
(b)照射角の範囲を越えて所定の極端相互作用ピッチ領域の照度を決定することによってステップ(a)で特定される各極端相互作用ピッチ領域の前記不所望なピッチを識別するステップとを含むコンピュータプログラムプロダクト。 - 前記極端相互作用ピッチ領域が実質的に強め合う光学干渉または実質的に弱め合う光学干渉を示す領域を形成する請求項9に記載のコンピュータプログラムプロダクト。
- 前記不所望ピッチが所定値を超えた対応照度である請求項9に記載のコンピュータプログラムプロダクト。
- 前記所望照射スキームの照射角が望ましくない極端相互作用ピッチ領域に前記マスクパターンのフィーチャの組合せがピッチを有さないようにフィーチャを取決めることによりマスクパターンを設計するステップをさらに含む請求項9に記載のコンピュータプログラムプロダクト。
- 前記フィーチャがイメージされるフィーチャおよび非解析光学近接補正フィーチャを含む請求項9に記載のコンピュータプログラムプロダクト。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US27172201P | 2001-02-28 | 2001-02-28 | |
US09/840,305 US6519760B2 (en) | 2001-02-28 | 2001-04-24 | Method and apparatus for minimizing optical proximity effects |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002103105A Division JP3779637B2 (ja) | 2001-02-28 | 2002-02-28 | 極端相互作用ピッチ領域を識別する方法、マスクパターンを設計する方法およびマスクを製造する方法、デバイス製造方法およびコンピュータプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006048067A true JP2006048067A (ja) | 2006-02-16 |
JP4430595B2 JP4430595B2 (ja) | 2010-03-10 |
Family
ID=26955087
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002103105A Expired - Fee Related JP3779637B2 (ja) | 2001-02-28 | 2002-02-28 | 極端相互作用ピッチ領域を識別する方法、マスクパターンを設計する方法およびマスクを製造する方法、デバイス製造方法およびコンピュータプログラム |
JP2005239640A Expired - Fee Related JP4430595B2 (ja) | 2001-02-28 | 2005-08-22 | 極端相互作用ピッチ領域を識別する方法、マスクを製造する方法、およびコンピュータプログラム |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002103105A Expired - Fee Related JP3779637B2 (ja) | 2001-02-28 | 2002-02-28 | 極端相互作用ピッチ領域を識別する方法、マスクパターンを設計する方法およびマスクを製造する方法、デバイス製造方法およびコンピュータプログラム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6519760B2 (ja) |
EP (1) | EP1237046B1 (ja) |
JP (2) | JP3779637B2 (ja) |
KR (1) | KR100459090B1 (ja) |
DE (1) | DE60209306T2 (ja) |
TW (1) | TW539912B (ja) |
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- 2002-02-28 JP JP2002103105A patent/JP3779637B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-03-12 TW TW091104598A patent/TW539912B/zh not_active IP Right Cessation
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---|---|
EP1237046A2 (en) | 2002-09-04 |
US20020152451A1 (en) | 2002-10-17 |
TW539912B (en) | 2003-07-01 |
KR100459090B1 (ko) | 2004-12-03 |
EP1237046B1 (en) | 2006-02-22 |
EP1237046A3 (en) | 2003-11-19 |
DE60209306D1 (de) | 2006-04-27 |
JP2003015273A (ja) | 2003-01-15 |
US6519760B2 (en) | 2003-02-11 |
DE60209306T2 (de) | 2006-10-12 |
JP3779637B2 (ja) | 2006-05-31 |
KR20020070157A (ko) | 2002-09-05 |
JP4430595B2 (ja) | 2010-03-10 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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