JP2006047238A - 変位検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】スケールが検出方向以外の方向に大きく移動してしまう場合であっても、スケールに対して検出部材が傾くことなく、十分な検出信号を得ることができ、また、ガタもなく、正確にスケールを読み取ることができる変位検出装置を提供する。
【解決手段】磁気ヘッド１を支持する支持板４には、腕部４ｂ，接続部４ｃ，磁気ヘッド取付部４ｄを設ける。そして磁気ヘッド取付部４ｄに取り付けられた磁気ヘッド１は、接続部４ｃを支点として遥動することができるように設ける。さらに、加圧ばね５の加圧点５ａを、接続部４ｃよりも＋Ｘ方向にずれた位置（Ｘ方向において、固定部４ａと接続部４ｃとの間）に配置する。
【選択図】図２

Description

本発明は、可動部材の変位を磁気により検出する磁気エンコーダ等の変位検出装置に関するものである。

近年、多くの機械装置では、フィードバック制御等を行うための情報として、可動部材の変位や速度を精密に検出することが行われている。例えば、オートフォーカスカメラ用のレンズ鏡筒においては、電動モータ等の回転駆動力を直線駆動力に変換して、合焦用レンズを進退させるフォーカスカム機構が内部に設けられている。
このようなオートフォーカス機構又はズーム機構を有するレンズ鏡筒では、例えば、特許文献１に記載されたように、レンズ駆動時に移動光学系の移動位置を検出するために、磁気スケールと磁気抵抗素子（以下、ＭＲ素子）を有する磁気エンコーダを変位検出装置として備えているものがある。

従来から、これらの磁気エンコーダでは、加圧ばねとして製造コストが低くかつ量産性に優れることから、板ばねが用いられる場合が多いが、板ばねによって、磁気スケール部材とＭＲ素子との平行度が阻害され、磁気スケール部材に対してＭＲ素子が浮き上がってしまう場合があった。

このような場合、磁気スケール部材に対してＭＲ素子の大部分が密着していないため、ＭＲ素子からの検出信号が非常に微弱になり、検出誤差が大きくなったり、検出もれが生じたりする等の問題があった。また、検出信号が微弱で不安定であるために、その後の信号処理においても、不都合が多かった。

そこで、上述の特許文献１では、変位検出部を接触平面に略直交する方向に移動可能で、それ以外の方向の移動を規制する支持部材により支持し、さらに加圧部材を設けることにより、スケールに対して変位検出部を密着させる手法が開示されている。

特許文献１に記載の手法では、加圧方向におけるスケールの位置が安定しているときには、支持部材が、ほぼ接触平面上となる位置に設けられているので、スケールの移動によりスケールとＭＲ素子との間で生じる摩擦力に起因して支持部材を撓ませるように働く曲げモーメントは小さく、支持部材が撓むことなく、正確な位置検出を行うことができる。
しかし、スケールが設けられている可動部材が偏芯している等により加圧方向におけるスケールの位置が大きく移動してしまう場合には、スケールとＭＲ素子との間で生じる摩擦力に起因して支持部材を曲げようとする曲げモーメントが大きくなり、その結果、変位検出部がスケールに対して傾いて接触してしまうという問題があった。
特開２００３−１３９５６７号公報

本発明の課題は、スケールが検出方向以外の方向に大きく移動してしまう場合であっても、スケールに対して検出部材が傾くことなく、十分な検出信号を得ることができ、また、ガタもなく、正確にスケールを読み取ることができる変位検出装置を提供することである。

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施例に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
請求項１の発明は、固定部材（８）と、前記固定部材に対して変位可能な可動部材（９）と、前記可動部材と一体的に変位可能に設けられたスケール（３）と、前記スケールに直接的又は間接的に接触し、前記スケールの変位を検出する変位検出部（１）と、前記固定部材に固定され、前記変位検出部を前記スケールに接する接触平面に略直交する方向（Ｙ）に移動可能に支持する支持部材（４）と、前記固定部材に固定され、前記変位検出部を前記スケールに対して加圧する加圧部材（５）と、を備え、前記固定部材に対して相対的に変位可能に設けられた前記可動部材の変位を検出する変位検出装置であって、前記支持部材は、前記固定部材に対して固定される固定部（４ａ）と、前記加圧部材の加圧方向（Ｙ）に略直交する方向（Ｘ）に前記固定部から延在する腕部（４ｂ）と、前記腕部の前記固定部と反対側にある腕先端部（４ｅ）から折り返して前記固定部方向へ突出して形成され前記変位検出部を取り付けられた検出部取付部（４ｄ）と、を備え、前記加圧部材が前記変位検出部を加圧する加圧点（５ａ）は、前記腕部の延在する方向において、前記固定部と前記腕先端部との間に位置すること、を特徴とする変位検出装置である。

請求項２の発明は、請求項１に記載の変位検出装置において、前記腕先端部（４ｅ）と前記検出部取付部（４ｄ）との間には、前記腕部（４ｂ）が延在する方向に対して直交する方向に延在する接続部（４ｃ）が設けられており、前記検出部取付部（４ｄ）は、前記接続部が捩れることにより遥動できること、を特徴とする変位検出装置である。

請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の変位検出装置において、前記腕部（４ｂ）は、前記スケール（３）の可動方向（Ｚ）に対して略直行する方向（Ｘ）に延在すること、を特徴とする変位検出装置である。

請求項４の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、前記変位検出部（１０１）に関する信号を伝達する配線部材（１１１）を有し、前記腕部（１０４ｂ）が延在する方向（Ｘ）において、前記加圧点（１０５ａ）と前記接続部（１０４ｃ）との距離は、前記配線部材が前記変位検出部に接続される配線接続部と前記接続部との距離よりも長いこと、を特徴とする変位検出装置である。

請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、前記変位検出部（１）は、前記スケール（３）の変位を検出するセンサ部（１ｂ）と、検出部取付部に取り付けられると共に前記センサ部を保持する保持部（１ａ）と、を有し、前記加圧点（５ａ）は、前記センサ部に近接する位置にあること、を特徴とする変位検出装置である。

請求項６の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、前記支持部材（４）及び前記加圧部材（５）は、変形により付勢力を発生する弾性体により形成され、前記加圧部材の変形により前記加圧点において作用する付勢力は、前記支持部材の変形により前記加圧点において作用する付勢力よりも大きいこと、を特徴とする変位検出装置である。

本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）支持部材は、加圧部材の加圧方向に略直交する方向に固定部から延在する腕部と、腕部の固定部と反対側にある腕先端部から折り返して固定部方向へ突出して形成され変位検出部を取り付けられた検出部取付部とを備え、加圧部材が変位検出部を加圧する加圧点は、腕部の延在する方向において、固定部と腕先端部との間に位置するので、スケールの位置が加圧方向に大きく移動しても、スケールに対して検出部材が傾くことなく、変位検出部をスケールに密着させることができ、ガタもなく、正確にスケールを読み取ることができる。

（２）腕先端部と検出部取付部との間には、腕部が延在する方向に対して直交する方向に延在する接続部が設けられており、検出部取付部は、接続部が捩れることにより遥動できること、簡単な形状であっても、変位検出部を遥動させることができ、また、変位検出部を確実に取り付けることができる。

（３）腕部は、スケールの可動方向に対して略直行する方向に延在するので、スケールが可動部材とともに移動することにより変位検出部とスケールとの間に摩擦力が生じても、支持部材が変形しにくく、安定した検出を行うこことができる。

（４）腕部が延在する方向において、加圧点と接続部との距離は、配線部材が変位検出部に接続される配線接続部と接続部との距離よりも長いので、変位検出部が配線から受けるモーメントよりも加圧部材から受けるモーメントの方が大きくなり、変位検出部をスケールに対して安定して密着させることができる。

（５）加圧点は、センサ部に近接する位置にあるので、センサ部を確実にスケールに密着させることができ、十分な検出信号を得ることができる。

（６）加圧部材の変形により加圧点において作用する付勢力は、支持部材の変形により加圧点において作用する付勢力よりも大きいので、変位検出部を確実に支持しながら、十分な加圧力により変位検出部をスケールに対して加圧することができ、精度の高い検出をすることができる。

スケールが検出方向以外の方向に大きく移動してしまう場合であっても、スケールに対して検出部材が傾くことなく、十分な検出信号を得ることができるようにするという目的を、支持部材の形状を改良することにより、コストアップすることなく実現した。

以下、図面等を参照しながら、本発明の実施例について、更に詳しく説明する。
なお、説明のため、以下に示す各図及び説明文中において、Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸からなる座標系を設ける（以下、図１〜５について同一の座標系を適用する）。
図１は、本発明による変位検出装置の実施例を用いたレンズ鏡筒の断面図である。
本実施例におけるレンズ鏡筒は、不図示のカメラ本体に装着して使用する、一眼レフカメラ用のオートフォーカスレンズ鏡筒である。
移動レンズ群１０は、撮影レンズの一部であって、合焦動作を行なうときに光軸Ｌに沿う方向（Ｘ方向）に移動するレンズである。
カム筒９は、移動レンズ群１０を移動させるときに固定筒８のまわりを回転する筒状の可動部材であり、カム溝９ａが形成されている。カム筒９は、係合部が不図示の連結部材に係合し、連結部材から伝えられるアクチュエータの回転力により、回転する。したがって、カム筒９が回転することにより移動レンズ群１０がＸ方向に移動する。

カム筒９の回転量（変位）を検出し、不図示の制御部に伝えるために、ＭＲエンコーダが設けられている。本実施例におけるＭＲエンコーダは、磁気ヘッド１，スケール３，支持板４，加圧ばね５，フレキシブルプリント配線板１１（以下、ＦＰＣ）を有している。
スケール３は、カム筒９に対して、カム筒９の回転方向に沿って貼り付けられた磁気テープであり、カム筒９の回転と一体となって回転し、異なる極性の磁性が回転方向に沿って交互に配置されている。

図２は、本実施例におけるＭＲエンコーダの斜視図である。
図２において、＋Ｘ方向が不図示のカメラ本体側である。
図３は、本実施例におけるＭＲエンコーダを説明する図である。図３（ａ）は、レンズ鏡筒の外周側（Ｙ方向）から見た図であり、＋Ｘ方向が不図示のカメラ本体側である。図３（ｂ）は、レンズ鏡筒の横側（−Ｚ方向）から見た図である。
図４は、本実施例における支持板４と加圧ばね５の形状を詳細に示した図である。なお、図４中に示す寸法の単位は、ミリメートルである。また、図１から３に示す図では、簡単のため適宜形状を簡略化して示しているので、図４に示した形状と部分的に形状が異なっている。
固定筒８は、不図示のカメラ本体に固定される固定部材であり、後述の支持板４と加圧ばね５を固定する台座８ａを有している。

磁気ヘッド１は、支持板４に対して固定されている変位検出部であり、スケール３の磁気を検出するセンサ部である磁気抵抗素子１ｂと、磁気抵抗素子１ｂを保持しながら磁気ヘッド取付部４ｄに取り付けられる保持部１ａとを有し、加圧ばね５の加圧力によりスケール３に対して−Ｙ方向に押しつけられて（加圧されて）いる。従って、カム筒９が回転すると、スケール３が磁気ヘッド１に摺動しながら回転し、カム筒９の回転量を検出することができる。

加圧ばね５は、磁気ヘッド１をスケール３に対して加圧する加圧部材であり、固定部４ａ側を支点として撓むように、ばね性（弾性）を有した金属薄板により形成されている。加圧ばね５は、固定部５ｂ側が固定ねじ７により支持板４とスペーサ６を挟んで台座８ａ上に固定されている。また、加圧ばね５は、固定部５ｂから−Ｘ方向の先端近傍に加圧点５ａが設けられている。この加圧点５ａは、球凸状に形成されており、支持板４の磁気ヘッド取付部４ｄを介して磁気ヘッド１の特定の点に加圧力を加えることができるようになっている。加圧ばね５は、加圧点５ａ側が−Ｙ方向に向かって曲げ加工を施されており、図１から３に示したように組み立てられた状態において、支持板４の磁気ヘッド取付部４ｄに対して加圧力を−Ｙ方向に加えることができるように、撓んだ状態（チャージされた状態）となっている。

支持板４は、磁気ヘッド１をＹ方向に沿って移動可能、かつ、Ｙ方向以外の方向の移動を規制するように支持する支持部材である。
支持板４は、固定部４ａ，腕部４ｂ，接続部４ｃ，磁気ヘッド取付部４ｄを有している。
固定部４ａは、固定ねじ７によって加圧ばね５及びスペーサ６と共に固定筒８の台座８ａに固定される部分である。

腕部４ｂは、固定部４ａから−Ｘ方向に突出するように２箇所平行に延在しており、固定部４ａ側を支点として撓むようになっている。腕部４ｂは、−Ｘ方向に延在しているので、スケール３の変位方向（Ｚ方向）に略直交する方向に延在していることになり、スケール３がカム筒９とともに回転変位することにより、磁気ヘッド１とスケール３との間に生じる摩擦力を受けても、変形しにくいようになっている。

接続部４ｃは、腕部４ｂの先端部分である腕先端部４ｅと磁気ヘッド取付部４ｄとを接続する部分であり、１対の腕部４ｂ先端からＺ方向に延在している。
磁気ヘッド取付部４ｄは、−Ｘ方向に廷在する腕部４ｂに対して略折り返す形で、接続部４ｃによって支えられて＋Ｘ方向に突出して設けられている検出部取付部である。
接続部４ｃは、図４に示すように、幅が０．７ｍｍと狭いので、僅かな加圧力によって簡単に捩れる。したがって、腕部４ｂが撓むことによる磁気ヘッド取付部４ｄの固定部４ａ側を支点とした遥動に加えて、磁気ヘッド取付部４ｄが腕先端部４ｅ側を支点として遥動することができる。

支持板４は、ばね性（弾性）を有する一枚の金属板により形成されており、加圧ばね５が無い自由な状態では、固定部４ａ、腕部４ｂ、接続部４ｃ、磁気ヘッド取付部４ｄは、すべて同一平面上に存在する。
支持板４、高さ調整用のスペーサ６、加圧ばね５は、台座８ａ上に１対の固定ねじ７によって固定されている。そのため、支持板４、スペーサ６、加圧ばね５のＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置は、調整の必要なく一意的に決定される。このとき、図３（ｂ）に示すように、加圧点５ａから支持板４へ加えられる加圧ばね５の加圧力により、磁気ヘッド１は、スケール３に密着する。

磁気ヘッド１は、磁気ヘッド取付部４ｄに接着等によって固定されている。磁気ヘッド１には、先に述べたように磁気抵抗素子１ｂが設けられており、スケール３が磁気抵抗素子１ｂに接触して摺動するとき、スケール３の変位を検出する。磁気抵抗素子１ｂには、ＦＰＣ１１が接続されている。
ＦＰＣ１１は、磁気ヘッド１から＋Ｘ方向へ設けられており、不図示の制御部に磁気抵抗素子１ｂによって検出された変位データ（信号）を伝達する配線部材である。
また、本実施例における磁気抵抗素子１ｂは、磁気ヘッド１のＸ方向幅の中心付近、及び、Ｚ方向幅の中心付近に設けられており、加圧ばね５の加圧点５ａは、この磁気抵抗素子１ｂに近接する位置を磁気ヘッド取付部４ｄを介して加圧している。したがって、加圧点５ａは、腕部４ｂの延在するＸ方向において、固定部４ａと接続部４ｃとの間に位置している。

ここで、カム筒９に偏芯が存在し、カム筒９の回転運動とともにスケール３がＹ方向にも変位してしまう場合を考える。
図５は、スケール３が設けられているカム筒９の偏芯により、スケール３が初期位置よりも−Ｙ方向に変位し支持板４が撓んだ状態を、磁気ヘッド１部分のみ拡大・誇張して示した図である。図５（ａ）は、加圧ばね５の加圧点５ａが磁気抵抗素子１ｂに近接する位置を加圧する本実施例の場合を示し、図５（ｂ）は、加圧ばね５の加圧点５ａが磁気抵抗素子１ｂから−Ｘ方向にずれた位置を加圧する場合を示している。

図５（ｂ）に示した場合では、カム筒９の偏芯によるスケール３の−Ｙ方向変位に対して、腕部４ｂが加圧力によって撓んでいる。そのため、磁気ヘッド１のＹ方向高さはスケール３の−Ｙ方向変位に追従しているが、腕部４ｂのたわみによって磁気ヘッド１が傾き、磁気抵抗素子１ｂがスケール３に密着せず、隙間が生じてしまっている。

一方、図５（ａ）に示した本実施例の場合では、図５（ｂ）の場合と同様、カム筒９の偏芯によるスケール３の−Ｙ方向変位に対して、腕部４ｂが加圧力によって撓んでいる。しかし、加圧点５ａは、接続部４ｃから＋Ｘ方向にずれた位置を加圧しているため、加圧点５ａから加わる加圧ばね５の力が、接続部４ｃを中心とした回転モーメントとして磁気ヘッド１に作用し、接続部４ｃを揺動中心として磁気ヘッド１が図５（ａ）中で右方向に回転する。その結果、加圧ばね５の加圧力によって支持板４の腕部４ｂが−Ｙ方向に撓むと共に、磁気ヘッド１が接続部４ｃを中心にして回転（遥動）することで、磁気ヘッド１は、スケール３に密着することができる。さらに、加圧ばね５の加圧点５ａは、磁気抵抗素子１ｂに近接する位置（図５中における真上）に位置するため、少ない加圧力であっても、磁気抵抗素子１ｂをスケール３に確実に密着させることができる。

なお、本実施例では、加圧ばね５の加圧力により、支持板４がスケール３のＹ方向変位に追従するようにして撓むことで、磁気ヘッド１をスケール３に密着させている。したがって、加圧ばね５の弾性力（加圧力）は、支持板４の弾性力より十分強くなるように設定されており、磁気ヘッドがスケール３に密着追従することができる。
また、腕部４ｂは、スケール３の変位方向に略直交する方向に延在しており、スケール３がカム筒９と共に回転変位しても、変形しにくいようになっている。

さらに、２本設けられている腕部４ｂは、スケール３の回転により生じる摩擦力が磁気ヘッド１に加わっても、支持板４が変形しないように、その２本の腕部４ｂ同士のＺ方向の間隔が十分広くなっている。したがって、スケール３と磁気ヘッド１との間の摩擦力によっては、支持板４が変形しにくく、磁気ヘッド１とスケール３との間に隙間が生じることもない。
さらにまた、接続部４ｃは、磁気ヘッド１の揺動中心となるので、Ｘ方向の幅を狭くし、磁気ヘッド１が揺動しやすく（接続部４ｃがねじれやすく）することが望ましい。その一方で、支持板４の磁気ヘッド取付部４ｄは、腕部４ｂから接続部４ｃを介して略折り返す形で設けられている。そのため、Ｘ方向の寸法が小さくて、全体として小型な構造となっており、スペース効率がよく、小型レンズ鏡筒にも搭載することができる。

以上のように、本実施例の変位検出装置は、構成部品点数が少なく、さらに支持板４、板ばね５共に一枚の板より形成されるため、加工がしやすく、製造コストを低く抑えることができる。また、簡単な機構で、確実に磁気ヘッド１をスケール３に密着させることが可能なので、製造工程において支持板４の位置等の微調整を必要とせず、単に組み立てただけで必要な性能を発揮することができる。

本実施例によれば、加圧ばね５の加圧点５ａは、接続部４ｃよりも＋Ｘ方向にずれた位置（Ｘ方向において、固定部４ａと接続部４ｃとの間）に配置されているので、スケール３が設けられたカム筒９に偏芯がある場合でも、接続部４ｃを揺動中心として磁気ヘッド１をスケール３に密着させることができる。
また、腕部４ｂは、スケール３の回転変位方向（Ｚ方向）に略直交する方向（Ｘ方向）に延在しており、略平行に設けられた２本の腕部４ｂの間隔が十分長いため、スケール３の回転変位することによるスケール３と磁気ヘッド１との間に摩擦力が生じても支持板４が変形しにくく、より確実に磁気ヘッド１をスケール３に密着させることができる。
さらに、コンパクトな構造のためスペース効率が高く、また、構造が簡単なため低コストで加工することができ、しかも製造ラインにおいて、調整作業が不要であり、製造コストも低減することができる。

（変形例）
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
例えば、本実施例において、図５（ａ）に示すように磁気抵抗素子１ｂに接続されるＦＰＣ１１を、固定部４ａ側（＋Ｘ方向）に延びるようにした例を示したが、これに限らず、例えば、図６に示すように接続部１０４ｃ側から−Ｘ方向に延びるように接続してもよい。このようにすると、加圧点１０５ａと接続部１０４ｃとの距離が、ＦＰＣ１１１が磁気ヘッド１０１に接続される配線接続部と接続部１０４ｃとの距離よりも長くなり、加圧ばね１０５により磁気ヘッド１０１に加わる回転モーメントが、ＦＰＣ１１１により磁気ヘッド１０１に加わる回転モーメントよりも大きくなる。特に、ＦＰＣ１１１が磁気ヘッド１０１に接続される配線接続部と接続部１０４ｃとの距離がゼロとみなせる程度の距離であれば、カム筒の偏芯によってスケール１０３がＹ方向で変位したとしても、接続部１０４ｃを揺動中心とした回転モーメントを磁気ヘッド１０１に対してＦＰＣ１１１が発生しなくなる。そのため、加圧ばね１０５の加圧力による磁気ヘッド１０１の回転モーメントが、ＦＰＣ１１１から受ける力によって阻害されることがなくなり、より効率よく加圧ばね１０５が磁気ヘッド１０１をスケール１０３に密着することができる。

また、本実施例において、支持板４と磁気ヘッド１との固定は、接着により行う例を示したが、これに限らず、例えば熱カシメ、インサート成型など、他の固定方法でもよい。

さらに、本実施例において、一眼レフカメラ用のオートフォーカスレンズ鏡筒に本発明の変位検出装置を用いた例を示したが、これに限らず、相対的に移動する物体の位置を検出する場合であれば、どのような装置に用いてもよい。

本発明による変位検出装置の実施例を用いたレンズ鏡筒の断面図である。 本実施例におけるＭＲエンコーダの斜視図である。 本実施例におけるＭＲエンコーダを説明する図である。 本実施例における支持板４と加圧ばね５の形状を詳細に示した図である。 スケール３が設けられているカム筒９の偏芯により、スケール３が初期位置よりも−Ｙ方向に変位し支持板４が撓んだ状態を、磁気ヘッド１部分のみ拡大・誇張して示した図である。 変形例を示す図である。

符号の説明

１ 磁気ヘッド
１ａ 保持部
１ｂ 磁気抵抗素子
３ スケール
４ 支持板
４ａ 固定部
４ｂ 腕部
４ｃ 接続部
４ｄ 磁気ヘッド取付部
４ｅ 腕先端部
５ 加圧ばね
５ａ 加圧点
５ｂ 固定部
６ スペーサ
７ 固定ねじ
８ 固定筒
８ａ 台座
９ カム筒
９ａ カム溝
１０ 移動レンズ群
１１ フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）

Claims (6)

1. 固定部材と、
   前記固定部材に対して変位可能な可動部材と、
   前記可動部材と一体的に変位可能に設けられたスケールと、
   前記スケールに直接的又は間接的に接触し、前記スケールの変位を検出する変位検出部と、
   前記固定部材に固定され、前記変位検出部を前記スケールに接する接触平面に略直交する方向に移動可能に支持する支持部材と、
   前記固定部材に固定され、前記変位検出部を前記スケールに対して加圧する加圧部材と、
   を備え、前記固定部材に対して相対的に変位可能に設けられた前記可動部材の変位を検出する変位検出装置であって、
   前記支持部材は、前記固定部材に対して固定される固定部と、
   前記加圧部材の加圧方向に略直交する方向に前記固定部から延在する腕部と、
   前記腕部の前記固定部と反対側にある腕先端部から折り返して前記固定部方向へ突出して形成され前記変位検出部を取り付けられた検出部取付部と、
   を備え、
   前記加圧部材が前記変位検出部を加圧する加圧点は、前記腕部の延在する方向において、前記固定部と前記腕先端部との間に位置すること、
   を特徴とする変位検出装置。
2. 請求項１に記載の変位検出装置において、
   前記腕先端部と前記検出部取付部との間には、前記腕部が延在する方向に対して直交する方向に延在する接続部が設けられており、
   前記検出部取付部は、前記接続部が捩れることにより遥動できること、
   を特徴とする変位検出装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の変位検出装置において、
   前記腕部は、前記スケールの可動方向に対して略直行する方向に延在すること、
   を特徴とする変位検出装置。
4. 請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、
   前記変位検出部に関する信号を伝達する配線部材を有し、
   前記腕部が延在する方向において、前記加圧点と前記接続部との距離は、前記配線部材が前記変位検出部に接続される配線接続部と前記接続部との距離よりも長いこと、
   を特徴とする変位検出装置。
5. 請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、
   前記変位検出部は、前記スケールの変位を検出するセンサ部と、
   検出部取付部に取り付けられると共に前記センサ部を保持する保持部と、
   を有し、
   前記加圧点は、前記センサ部に近接する位置にあること、
   を特徴とする変位検出装置。
6. 請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、
   前記支持部材及び前記加圧部材は、変形により付勢力を発生する弾性体により形成され、
   前記加圧部材の変形により前記加圧点において作用する付勢力は、前記支持部材の変形により前記加圧点において作用する付勢力よりも大きいこと、
   を特徴とする変位検出装置。
   

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