JP2007065397A - 鏡枠、電子撮像ユニットおよびカメラ - Google Patents

Abstract

【課題】光学系進退駆動時、姿勢差による応答性の変化を抑えることができる鏡枠を提供すること。
【解決手段】鏡枠装置１は、円環状の固定枠２と、固定枠２の内周部に進退可能に嵌合し、撮影レンズ４を保持する円環状の移動枠３とを有しており、固定枠２には、移動枠３を進退駆動するための駆動源としての振動子３５を有する超音波アクチュエータ３０が装着され、さらに、鏡枠装置１の姿勢（傾斜）を検出する姿勢センサ１４が固着されている。撮影時に鏡枠装置１が傾斜した状態にあった場合、振動子３５に印加する駆動電圧を姿勢センサ１４の出力に応じて増減し、重力による移動枠３の進退移動に対する負荷抵抗の変化なくして、常に所定の応答速度で移動枠３の進退を行わせる。
【選択図】図２

Description

本発明は、鏡枠、または、撮像素子を変位駆動する駆動機構を内蔵する鏡枠、電子撮像ユニット、または、カメラに関する。

従来、各種カメラの撮影レンズ駆動機構において、振動波アクチュエータを駆動源とするもので仰瞰撮影や俯瞰撮影を行うと、重力の影響によりレンズ駆動速度に差が発生する。また、イメージャシフト型ブレ補正方式の電子カメラにおいても姿勢差に起因するブレ補正レスポンスの差が発生する。

特許文献１に開示されたレンズ駆動制御装置は、姿勢差により変化するボイスコイルモータであるフォーカスモータの応答性を補償し、常時、安定したレンズ制御を可能とするものである。すなわち、姿勢が変化するとフォーカスモータドライバに加えられるフォーカスモータ制御信号の直流成分が姿勢差により変化することからその直流成分を検出し、姿勢差によって応答特性に最適な位相補償フィルタを選択し、上記フォーカスモータを常時安定して制御するものである。

特許文献２に開示されたレンズ駆動制御装置は、レンズ駆動源としてボイスコイルモータを適用し、トラッキング状態の制御操作量から重力の影響分を抽出して姿勢差による補正量を算出する手段を設け、駆動開始直前のトラッキング状態における積分補償部の出力を、駆動中のＰＤ補償部の出力に加算することにより重力の影響を打ち消すような技術を適用した制御装置である。

特許文献３に開示されたカメラは、レンズ駆動源としてボイスコイルモータを適用するレンズ駆動制御装置を組み込まれたものであり、水銀スイッチ等の姿勢検出手段によりカメラの正位置、縦位置、上向、下向きを検出し、焦点距離毎にベストな光学性能を達成するための補正光学系の移動量を各姿勢毎に記憶しておく技術が適用されたものである。
特許文献１は、特開平６−２０１９７５号公報である。 特許文献２は、特許第２９６４９１５号公報である。 特許文献３は、特開平９−９０４５６号公報である。

上述した特許文献１に開示されたレンズ駆動制御装置では、フォーカスモータ制御信号の直流成分変化より姿勢を検知しているので制御装置の回路が複雑化する可能性がある。また、姿勢変化でない別の負荷要因も姿勢変化に加えて検知してしまうおそれがあり、精度のよい姿勢検知が困難である。

また、特許文献１，２，３に開示された駆動制御装置は、ボイスコイルモータを駆動源とするものであり、それらの構成は、駆動信号に直流成分を持たない制御方式の異なる振動波アクチュエータ（例えば、超音波モータ）を適用する駆動装置には適用することができない。

本発明は、上述の問題を解決するためになされたものであり、光学系進退駆動時、また、ブレ補正駆動時、姿勢差による応答性への影響を抑えることができる鏡枠、電子撮像ユニット、および、カメラを提供することを目的とする。

本発明の請求項１記載の鏡枠は、固有の撮影光軸を有するカメラ用鏡枠であって、光学素子を保持し、撮影光軸方向に移動可能な移動枠と、鏡枠取付け部に取付けられ、上記移動枠を移動可能に保持する固定枠と、上記固定枠に取付けられ、上記移動枠を駆動する振動波アクチュエータと、上記固定枠に取付けられ、鏡枠姿勢を検出する姿勢センサと、振動波アクチュエータに関する複数の制御パラメータ設定値に応じて上記振動波アクチュエータを駆動するアクチュエータドライバと、上記姿勢センサの出力に基いて、上記移動枠の移動方向と鉛直軸とのなす角の余弦を算出し、この余弦が零を含む所定範囲にない場合、上記制御パラメータの少なくとも１つを変更するコントローラとを具備する。

本発明の請求項２に記載の鏡枠は、請求項１に記載の鏡枠において、上記複数の制御パラメータは、駆動電圧、駆動周波数、または、駆動電圧と駆動電流と間の位相差のうち、少なくともいずれか一つを含む。

本発明の請求項３に記載の鏡枠は、アクチュエータと姿勢を検知するセンサとを有する固定枠と、上記固定枠内部で軸方向に移動可能に収納され、レンズを保持する移動枠と、上記姿勢を検知するセンサの出力に応答して上記アクチュエータヘの入力信号を制御する制御手段とを具備する。

本発明の請求項４に記載の鏡枠は、楕円振動を発生する振動子と、上記振動子を押圧保持するホルダと、姿勢を検知するセンサとを有する固定枠と、上記振動子との接触面を有する摺動部材を備え、上記固定枠内部で軸方向に移動可能に収納され、レンズを保持する移動枠と、上記姿勢を検知するセンサの出力に応答して上記振動子への入力信号を制御する制御手段とを具備する。

本発明の請求項５に記載の鏡枠は、請求項４に記載の鏡枠において、上記振動子は、縦屈曲振動する。

本発明の請求項６に記載の鏡枠は、請求項３乃至５に記載の鏡枠において、上記姿勢を検知するセンサは、傾斜センサである。

本発明の請求項７に記載の鏡枠は、請求項３乃至５に記載の鏡枠において、上記姿勢を検知するセンサは、３軸加速度センサである。

本発明の請求項８に記載の鏡枠は、請求項４乃至７に記載の鏡枠において、上記振動子への入力信号の制御は、電圧を制御する。

本発明の請求項９に記載の鏡枠は、請求項４乃至７に記載の鏡枠において、上記入力電圧は、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似形状の電圧波形を振動子駆動基準電圧に対して加減する。

本発明の請求項１０に記載の鏡枠は、請求項４乃至７に記載の鏡枠において、上記入力電庄は、振動子の駆動方向が座標軸のプラス方向の場合は、上記３軸加速度センサから出力信号と略相似形状の電圧波形を振動子駆動基準電圧にプラスし、振動子の駆動方向が座標軸のマイナス方向の場合は、上記３軸加速度センサから出力信号と略相似波形の逆位相の電圧波形を振動子駆動基準電圧にプラスする。

本発明の請求項１１に記載の鏡枠は、請求項４乃至７に記載の鏡枠において、上記振動子への入力信号の制御は、電流を制御する。

本発明の請求項１２に記載の鏡枠は、請求項４乃至７に記載の鏡枠において、上記振動子への入力信号の制御は、位相差を制御する。

本発明の請求項１３に記載の鏡枠は、楕円振動を発生する複数個の振動子と上記複数個の振動子を押圧保持するホルダと、姿勢を検知するセンサとを有する固定枠と、上記複数個の振動子に対向する接触面を有する摺動部材を備え、上記固定枠内部で軸方向に移動可能に収納され、レンズを保持する移動枠と、上記姿勢を検知するセンサの出力に応答して上記複数個の振動子への入力信号を制御する制御手段とを具備する。

本発明の請求項１４に記載の鏡枠は、請求項１３に記載の鏡枠において、上記振動子は、縦屈曲振動する。

本発明の請求項１５に記載の鏡枠は、請求項１３、または、１４に記載の鏡枠において、上記姿勢を検知するセンサは、傾斜センサである。

本発明の請求項１６に記載の鏡枠は、請求項１３、または、１４に記載の鏡枠において、上記姿勢を検知するセンサは、３軸加速度センサである。

本発明の請求項１７に記載の鏡枠は、請求項１３乃至１６に記載の鏡枠において、上記振動子への入力信号の制御は、電圧を制御する。

本発明の請求項１８に記載の鏡枠は、請求項１３乃至１６に記載の鏡枠において、上記入力電圧は、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似形状の電圧波形を振動子駆動基準電圧に対して加減する。

本発明の請求項１９に記載の鏡枠は、請求項１３乃至１６に記載の鏡枠において、上記入力電圧は、モータの駆動方向が重力作用成分方向と逆方向の場合は、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似形状の電圧波形に応じた値をモータ駆動基準電圧にプラスし、モータの駆動方向が重力作用成分方向と同方向の場合は、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似波形の逆位相の電圧波形に応じた値をモータ駆動基準電圧にプラスする。

本発明の請求項２０に記載の鏡枠は、請求項１３乃至１６に記載の鏡枠において、上記振動子への入力信号の制御は、電流を制御する。

本発明の請求項２１に記載の鏡枠は、請求項１３乃至１６に記載の鏡枠において、上記振動子への入力信号の制御は、位相差を制御する。

本発明の請求項２２に記載の電子撮像ユニットは、固体撮像素子が固着され、この固体撮影素子の受光面と平行な面内において移動可能な移動枠と、上記移動枠を移動可能に保持する地板と、上記地核に固定され、上記移動枠を第一の方向に駆動する第一リニア駆動手段と、上記地板に固定され、上記移動枠を第一の方向と略直交する第二の方向に駆動する第二リニア駆動手段と、上記地板に固定され、上記固体撮影素子の受光面と平行な面内の地板の傾きを検知する傾斜センサと、上記傾斜センサの出力に応答して、上記第一、第二のリニア駆動手段の駆動態様を変更する制御手段とを具備する。

本発明の請求項２３に記載の電子撮像ユニットは、上記第一、第二のリニア駆動手段は、共に振動波アクチュエータであることを特徴とする請求項２２に記載の電子撮像ユニット。

本発明の請求項２４に記載のカメラは、撮影光軸のブレを検出するブレセンサと、請求項２２に記載の電子撮像ユニツトとを備えた電子カメラであって、上記制御手段は、上記ブレセンサの出力に応答して、上記固体撮像素子の出力のブレによる変動が最小となるように上記第一、第二のリニア駆動手段を駆動する。

本発明の請求項２５に記載のカメラは、楕円振動を発生する第一の振動子と該第一の振動子を押圧保持する第一のホルダからなる所定の方向である第一の方向の駆動部と、該第一の振動子とは略直交した状態で設けられ、楕円振動を発生する第二の振動子と該第二の振動子を押圧保持する第二のホルダからなり、上記第一の方向と直交する第二の方向の駆動部と、姿勢を検知するセンサを有する固定枠と、上記各振動子との接触面を有する摺動部材を備え、上記固定枠内部で互いに略直交する方向に移動可能に収納され、撮像素子を保持する移動枠と、上記姿勢を検知するセンサの出力に応答して上記第一、第二の振動子への入力信号を制御する制御手段とを具備する。

本発明の請求項２６に記載のカメラは、請求項２５に記載のカメラにおいて、上記振動子は、縦屈曲振動する。

本発明の請求項２７に記載のカメラは、請求項２５、または、２６に記載のカメラにおいて、上記姿勢を検知するセンサは、傾斜センサである。

本発明の請求項２８に記載のカメラは、請求項２５、または、２６に記載のカメラにおいて、上記姿勢を検知するセンサは、３軸加速度センサである。

本発明の請求項２９に記載のカメラは、請求項２５乃至２８に記載のカメラにおいて、上記振動子への入力信号の制御は、電圧を制御する。

本発明の請求項３０に記載のカメラは、請求項２５乃至２８記載のカメラにおいて、上記第一の方向の入力信号となる入力電圧と上記第二の方向の入力信号となる入力電圧は、上記傾斜センサ、または、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似形状の電圧波形を振動子駆動基準電圧に対して加減する。

本発明の請求項３１に記載のカメラは、請求項２５乃至２８に記載のカメラにおいて、上記第一の方向の入力信号となる入力電圧と第二の方向の入力信号となる入力電圧は、振動子の駆動方向が重力作用成分の方向と逆方向の場合は、上記傾斜センサ、または、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似形状の電圧波形に応じた値を振動子駆動基準電圧にプラスし、振動子の駆動方向が重力作用成分の方向と同方向の場合は、略相似波形の逆位相の電圧波形に応じた値を振動子駆動基準電圧にプラスする。

本発明の請求項３２に記載のカメラは、請求項２５乃至２８に記載のカメラにおいて、上記振動子への入力信号の制御は、電流を制御する。

本発明の請求項３３に記載のカメラは、請求項２５乃至２８に記載のカメラにおいて、上記振動子への入力信号の制御は、位相差を制御する。

本発明によれば、姿勢差による移動速度応答性の変化を低減することができる鏡枠、電子撮像ユニット、および、カメラを提供することができる。

以下、図を用いて本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の第一の実施形態の鏡枠装置が組み込まれたカメラの外観を示す斜視図である。

本実施形態のカメラ６０は、レリーズスイッチ釦６２が配されるカメラ本体６１と、カメラ本体６１に対して着脱可能に装着されている鏡枠としての鏡枠装置１とを有している。本カメラ６０では撮影を行う状態でのカメラ本体６１の姿勢、詳しくは、鏡枠装置１の光軸Ｏ方向が水平方向に対する傾斜姿勢を検出し、その検出信号に基づき、鏡枠装置１のフォーカシング駆動部の駆動力を制御して重力の影響による鏡枠装置１のフォーカシング速度変化が抑えられる。

カメラ本体６１には、カメラ全体の制御を司る制御部（制御手段）であるＣＰＵからなるボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｂμｃｏｍと記載する）５０と、被写体像を取り込み、電気的撮像信号に変換するための撮像素子５５と、その他の制御要素が内蔵されている。

鏡枠装置１には、移動枠３に保持される光学素子であるフォーカス用撮影レンズ４を内蔵しており、さらに、レンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｌμｃｏｍと記載する）５１と、振動子駆動回路部５２と、カメラ本体６１および鏡枠装置１の姿勢を検出する姿勢センサ１４を含む姿勢検出部５３とが内蔵されている。

鏡枠装置１は、本実施形態においてはカメラ本体６１に対して着脱可能とするが、固定支持されていてもよい。

なお、カメラ本体６１のＯ，Ｘ，Ｙ軸のうち、Ｏ軸は、撮影レンズ光軸（被写体方向を＋方向とする）であって、撮像素子５５の中心を通り、Ｘ，Ｙ軸は、撮像素子５５の撮像面を通り光軸Ｏに直交する軸であり、そのうち、上下方向（通常撮影姿勢）の軸をＹ軸とし、左右方向（通常撮影姿勢）の軸をＸ軸とする。また、鉛直方向をＶ方向（上方向＋）とし、水平方向をＨ方向とする。

鏡枠装置１の構造詳細について図２〜図６を用いて説明する。
図２は、上記鏡枠装置の分解斜視図である。図３は、上記鏡枠装置の斜視図である。図４は、上記鏡枠装置の正面図である。図５は、上記鏡枠装置の超音波アクチュエータ取り付け部まわりの部分拡大断面図である。図６は、上記鏡枠装置の固定枠に取り付けられた姿勢センサの斜視図である。

鏡枠装置１は、図２に示すようにカメラ装着状態でカメラ本体６１側に固定支持される固定枠２と、固定枠２に対して光軸Ｏ方向に進退可能に支持されている移動枠３と、固定枠２の上部に固着される姿勢センサ（傾斜センサ）１４と、固定枠２の上部に取り付けられ、振動波アクチュエータである超音波アクチュエータ３０を含むアクチュエータ部とを有してなる。

固定枠２は、筒状枠部材であって、カメラ本体６１の鏡枠取り付け部に取り付け可能であり、上部に開口部２ａが配されている。

移動枠３は、筒状枠部材であって、回動が規制された状態で固定枠２の内周部に光軸Ｏ方向に進退可能に嵌入している。前方に光軸Ｏを有する撮影レンズ４を保持しており、該撮影レンズ４４をフォーカシング駆動する。そして、固定枠２に嵌入した状態で固定枠開口部２ａに対応する外周壁部に摺動面３ａが設けられる。また、移動枠３は、固定枠２との嵌合摺動部に固定枠２の内周部に装着される良摺動性の１つ、または、２つの潤滑シート部材５（図４）を介して嵌入している。

姿勢センサ１４は、図３，６に示すようにフレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣと記載する）１３を介して固定枠２の上部に固着される。この姿勢センサ１４は、少なくとも一つの軸方向の傾きを検出可能なセンサであって、本実施形態の場合、３軸（ａ0 ，ｂ0 ，ｃ0 ）加速度センサを適用する。この３軸加速度センサは、例えば、半導体式のものであり、ピエゾ抵抗からなるブリッジ回路が配された変位可能なダイアフラムと錘部を有しており、ａ0 ，ｂ0 ，ｃ0 軸方向に振動、または、変位した場合、その加速度に応じた３軸加速度出力が得られ、さらに、重力作用方向を検出することにより変位姿勢状態における定常的な３軸傾斜角出力（鉛直方向Ｖ、または、水平方向Ｈに対する成分）が得られる。

上記３軸加速度センサを適用する姿勢センサ１４は、センサ軸の１つであるｂ0 軸を移動枠３の移動方向である光軸Ｏと平行な状態で固定枠２に取り付ける（図６）。従って、カメラ６０が各方向に傾斜した場合（すなわち、鏡枠が傾斜した場合）、特に姿勢センサ１４のｂ0 軸方向の傾斜出力は、カメラ６０の光軸Ｏの水平方向Ｈに対する傾斜角度を与えることになる。言い換えれば、移動枠の移動方向（進退方向）の水平方向Ｈに対する傾きが姿勢センサ１４のｂ0 軸方向傾斜出力によって検出されることになる。

上記アクチュエータ部は、主に振動波アクチュエータである超音波アクチュエータ３０と、固定枠２の取り付けられ、該アクチュエータ３０を支持し、押圧するホルダであるアクチュエータ支持板６とからなる。

アクチュエータ支持板６は、金属板で形成される部材であって、外方斜めに延び、Ｙ方向に弾性変形可能な４つの腕部６ｂと、腕部６ｂの先端部に配されるビス挿通穴６ａと、中央部にて折り曲げて径方向に起立して形成される２つの起立部６ｃと、該起立部先端に配され、超音波アクチュエータ３０の支持軸３６（後述）を支持するための切り欠き６ｄとを有している。このアクチュエータ支持板６は、ビス挿通穴６ａを挿通させたビス７をビス穴２ｂに螺着して固定枠２の開口部２ａを跨いで取り付けられる。

超音波アクチュエータ３０は、図２，４に示すように形式的にはリニア型の超音波アクチュエータであって、振動子３５と、接続基板であるフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）４２とからなる。

振動子３５は、図２，５に示すように積層圧電体３５Ａと、該積層圧電体３５Ａを貫通し、振動子の振動の節に固着配置される支持軸（ピン）３６と、振動子３５の下面側楕円振動の腹部に支持軸方向と垂直な方向の端面に固着される一対の駆動子３８とを有している。

なお、超音波アクチュエータ３０は、その支持軸３６をアクチュエータ支持板６の切り欠き６ｄに係合させた状態でアクチュエータ支持板６に取り付られる。そして、一対の駆動子３８の２つの接触面が移動枠３の外周の摺動面３ａに対して所定の押圧力でＹ軸方向に接触する。その押圧力は、アクチュエータ支持板６の腕部６ｂの弾性変形により得られる。また、超音波アクチュエータ３０は、支持軸３６によって回動可能に支持される。

駆動子３８が移動枠の摺動面３ａと接触する上記接触面は、平面で形成してもよいが凹面であってもよく、その凹面の曲率は、移動枠３の摺動面３ａの曲率と同一であることが望ましい。アクチュエータ支持板６に支持される超音波アクチュエータ３０の振動子３５側の駆動子３８は、移動枠３の摺動面３ａにアクチュエータ支持板６の腕部６ｂによる付勢力を受けてＹ方向に圧接される。

上述した鏡枠装置１において、フォーカシング駆動時には、Ｂμｃｏｍ５０の制御のもとで超音波アクチュエータ３０の振動子３５に後述するような駆動電圧が印加されると、縦屈曲振動が励起され、駆動子３８が楕円振動すると、駆動子３８が接触している摺動面３ａを介して移動枠３が固定枠２に対して光軸Ｏ方向に進退駆動される。また、カメラ本体６１のホールド姿勢における移動枠３の移動方向である光軸Ｏの水平方向Ｈ（または、鉛直方向Ｖ）に対するの傾斜を姿勢センサ１４により検出し、後述するような傾斜に基づいた駆動電圧補正を行って駆動力を制御することにより上記傾斜姿勢に伴う（移動枠３の重力の影響による）フォーカシング速度の変化を抑えた鏡枠装置１の進退駆動が行われる。

ここで、超音波アクチュエータ３０の詳細な構成について図７〜１４を用いて説明する。
図７は、上記超音波アクチュエータの振動子にフレキシブルプリント基板を固着した状態を支持軸方向からみた図である。図８は、図７のＡ矢視図である。図９は、図７の振動子からフレキシブルプリント基板を外した状態を支持軸方向から見た図である。図１０は、図９のＢ矢視図である。図１１は、図９のＣ矢視図である。図１２は、上記振動子を構成する圧電素子部と絶縁板の焼結前の分解斜視図である。図１３は、上記振動子の屈曲振動と縦振動との合成振動時の変形状態を拡大して示した図であって、振動子が図１３（Ａ）の屈曲状態から図１３（Ｂ）の伸張状態、図１３（Ｃ）の屈曲状態、図１３（Ｄ）の収縮状態の順に変形する様子を示している。図１４は、本実施形態の鏡枠にて振動子を駆動するための駆動制御部のブロック構成図である。

上記超音波アクチュエータ３０を構成する振動子３５は、図９，１２に示すようにそれぞれが複数の２種類の圧電シート３７Ｘ，３７Ｙと２枚の絶縁板３７Ａ，３７Ｂからなる積層圧電体３５Ａと、導電性銀ペーストからなる電極４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ，４１ａ′，４１ｂ′とで形成され、さらに、支持軸３６と一対の駆動子３８とを有している。

２種類の圧電シート３７Ｘ，３７Ｙは、それぞれ厚さ１００μｍ程度の矩形の圧電素子からなる。圧電シート３７Ｘには、その前面に厚さ１０μｍ程度の銀−パラジウム合金が塗布された第一内部電極３７Ｘａ，３７Ｘｃ，３７Ｘｃ′，３７Ｘａ′が絶縁された４つの領域に分割されて配置されている。圧電素子の長手方向（Ｏ方向）の端面位置まで上記各内部電極の上側端部が伸びている（図１２）。

一方、圧電シート３７Ｙには、その前面に厚さ１０μｍ程度の銀−パラジウム合金が塗布された第二内部電極３７Ｙｂ，３７Ｙｄ，３７Ｙｄ′，３７Ｙｂ′が絶縁された４つの領域に分割されて配置されている。圧電素子の長手方向（Ｏ方向）の端面位置まで上記内部電極の下側端部が伸びている（図１２）。

互いに隣接する上記圧電シート３７Ｘ，３７Ｙ同士の第一内部電極３７Ｘａ，３７Ｘｃ，３７Ｘｃ′，３７Ｘａ′と第二内部電極３７Ｙｂ，３７Ｙｄ，３７Ｙｄ′，３７Ｙｂ′とは形状が同じで、電極端部が上下が逆になり、積層されたときに矩形電極面が互いに重なる位置に配置されている。このような内部電極が施された２種類の圧電シート３７Ｘ，３７Ｙを交互に４０層程度積層される。

積層された圧電素子の左側端面には、第一内部電極３７Ｘａ，３７Ｘｃおよび第二内部電極３７Ｙｂ，３７Ｙｄの端部が積層状態で露呈する内部電極露呈部が形成されている。積層された圧電素子の右側端面には、第一内部電極３７Ｘｃ′，３７Ｘａ′および第二内部電極３７Ｙｄ′，３７Ｙｂ′の端部が積層状態で端面に露呈する内部電極露呈部が形成される。さらに、上記内部電極露呈部上にそれぞれ導電性銀ペーストからなる各４つの独立した外部電極が両側面部に形成され、該内部電極と導通するようになっている（図１０）。

上記積層された圧電素子の前後面に圧電シート３７Ｘ，３７Ｙと同一矩形形状の絶縁板３７Ａ，３７Ｂが配され、積層圧電体３５Ａが形成される。前面側の絶縁板３７Ａの表面には図９に示されるように導電銀ペーストからなる電極４１ａ（Ａ１＋），４１ｂ（Ａ１−），４１ｃ（Ａ２＋），４１ｄ（Ａ２−），４１ａ′（Ｂ１＋），４１ｂ′（Ｂ１−）が形成される。

上記絶縁板３７Ａ上の電極４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ，４１ａ′，４１ｂ′は、上記各積層された圧電シート毎の両側に露呈した積層状態の両側面内部電極にそれぞれにより電気接続される。すなわち、電極４１ａには、第一内部電極３７Ｘａが電気接続される。電極４１ｂは、第二内部電極３７Ｙｂと電気接続される。電極４１ｃには、第一内部電極３７Ｘｃおよび第一内部電極３７Ｘｃ′が電気接続される。電極４１ｄには、第二内部電極３７Ｙｄおよび第二内部電極３７Ｙｄ′が電気接続される。電極４１ａ′には、第一内部電極３７Ｘａ′が電気接続される。電極４１ｂ′には、第二内部電極３７Ｙｂ′が電気接続される。

上記電極接続状態の積層された圧電シート３７Ｘ，３７Ｙに絶縁板３７Ａ，３７Ｂを重ねた状態の積層圧電体３５Ａを焼結処理し、上記各電極を利用して分極を行うと振動子３５となる。

前述したように振動子３５の積層方向と直交する方向（Ｙ方向）の下端面上であって、長手方向（Ｏ方向）の振動の腹位置に一対の駆動子３８が接着固着される。なお、該駆動子３８は、高分子材料にアルミナを分散して形成されている。

振動子３５の略中央部、すなわち、振動子の振動中立点である節となる位置には積層方向（Ｘ方向）に貫通穴が穿設されており、該貫通穴には、ステンレス材等よりなる支持軸３６が貫通して接着固定されている（図１０）。

一方、振動子３５の絶縁板３７Ａに設けられた各電極４１ａ（Ａ１＋相），４１ｂ（Ａ１−相），４１ｃ（Ａ２＋相），４１ｄ（Ａ２−相），４１ａ′（Ｂ１＋相），４１ｂ′（Ｂ１−相）上には、接続パターンを有する接続基板である接続ＦＰＣ４２が各電極と電気接続された状態で装着される（図７）。

詳しくは、接続ＦＰＣ４２は、図７に示すように信号ライン４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄの接続パターンを有しており、信号ライン４２ａ（Ａ１＋側）には、絶縁板３７Ａの電極４１ａ（Ａ１＋）と４１ａ′（Ｂ１＋）とが共に接続される。信号ライン４２ｂ（Ａ１−側）には、絶縁板３７Ａの電極４１ｂ（Ａ１−）と４１ｂ′（Ｂ１−）とが共に接続される。信号ライン４２ｃ（Ａ２＋側）には、絶縁板３７Ａの電極４１ｃ（Ａ２＋）が接続される。信号ライン４２ｄ（Ａ２−側）には、絶縁板３７Ａの電極４１ｄ（Ａ２−）が接続される。そして、該信号ライン４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄは、駆動制御部に含まれる振動子駆動回路部５２（図１４）に接続される。

なお、振動子駆動回路部５２は、発振部４５，移相部４６，駆動部（アクチュエータドライバ）４７等を有してなり、後述するように駆動部４７を介して位相制御された駆動電圧が振動子３５に印加される。

上記駆動電圧が印加された振動子３５は、図１３（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）に示す屈曲定在波振動と縦振動が合成された振動が生じ、駆動子３８の先端に位相のずれた楕円振動（図７に示す軌跡Ｅ1 ，Ｅ2 の楕円振動、または、その逆方向の楕円振動）を発生させる。駆動子３８の接触面には移動枠３側の摺動面３ａがＹ方向に押圧されているので、上記楕円振動によって移動枠３が相対的にＯ方向に進退移動する。

次に超音波アクチュエータ３０の振動子３５の駆動制御部およびその動作について、図１３，１４等を用いて説明する。

超音波アクチュエータ３０の振動子３５は、図１４の駆動制御部により駆動制御される。すなわち、鏡枠装置１が装着されるカメラ本体６１に内蔵されるＢμｃｏｍ５０の制御部からの制御信号と、鏡枠装置１側に内蔵されるレＬμｃｏｍ５１の振動情報検出部である位相差検出部４８および電流検出部４９の検出信号に基づいて制御され、図１４に示す発振部４５，移相部４６，駆動部４７からなる振動子駆動回路部５２によって駆動制御される。

また、Ｂμｃｏｍ５０には、姿勢センサ１４を含む姿勢検出部５３の姿勢検出信号が取り込まれ、該姿勢検出信号に基づき、振動子３５の駆動電圧を制御する。このように駆動電圧を制御することにより、超音波アクチュエータ３０の駆動力を増減し、カメラの姿勢によって移動枠に作用する重力の変化を打ち消し、カメラの姿勢差によるフォーカシング速度の変化が抑えられる。

以下、その制御動作を詳しく説明すると、図１４の駆動回路において、発振部４５からの信号は、１つの信号ライン４２ａ，４２ｂ（Ａ１＋，−）にはそのままの信号を、他方の信号ライン４２ｃ，４２ｄ（Ａ２＋，−）には移相部４６により９０°位相を変えた信号が駆動部４７に入力される。

すなわち、移相部４６を通らない信号入力のうち、１つは、そのままの位相で電圧増幅された信号が第一の信号（Ａ１＋）として接続ＦＰＣ４２の信号ライン４２ａに出力される。他の１つは、第一の出力に対して時間的に位相を１８０°ずらして電圧増幅された出力が第二の信号（Ａ１−）として信号ライン４２ｂに出力される。

一方、移相部４６を通った９０°位相を変えた信号入力のうち、１つはそのままの位相で電圧増幅された信号が第三の信号（Ａ２＋）として信号ライン４２ｃに出力され、他の１つは第三の信号に対して時間的に位相を１８０°ずらして電圧増幅された出力が第四の信号（Ａ２−）として信号ライン４２ｄに出力される。

上述した第一〜四の信号を振動子３５に入力することによって、振動子３５は屈曲振動と縦振動が合成された振動が生じ（図１３（Ａ）〜（Ｄ））、駆動子３８の先端に位相のずれた楕円振動（図７の軌跡Ｅ1 ，Ｅ2 に示される）を発生させる。振動子３５の駆動子３８の先端には被駆動体である移動枠３の摺動面３ａが押圧されているので、駆動子３８による上記楕円振動の回転方向に沿ったＯ方向の相対駆動力が摺動面３ａを介して移動枠３に与えられる。

なお、上記駆動子３８の楕円振動の回転方向によって移動枠３に与える駆動力の方向が定まるが上記楕円振動の回転方向は、移相部４６における位相ずれによって設定される。

振動子３５の駆動信号ラインには振動状態を表すパラメータである振動子に印加される周波信号の電流を検出するＬμｃｏｍ５１内の電流検出部４９が接続されている。さらに、電流検出部４９には発振部４５からの周波信号の電圧と電流検出部４９で検出した電流との位相差を検出するＬμｃｏｍ５１内の位相差検出部４８が接続されている。また、位相差検出部４８には、検出した電流と電圧との位相差信号を取り込むためにＢμｃｏｍ５０内の制御部が接続されている。上記制御部には、発振部４５が接続されている。

位相差検出部４８により、振動子３５の振動状態のパラメータである電流と電圧との位相差が検出され、検出された電流と電圧との位相差を利用して上記制御部では、外部環境により振動状態が変化した振動子３５の共振周波数付近の周波数を検出することができる。また、検出された共振周波数付近の周波数を発振部４５にフィードバックする。

なお、本実施形態の場合、振動子３５に印加する駆動信号を周波信号としたが、矩形波、正弦波信号、または、鋸波信号とすることもできる。また、本実施形態の場合、位相差検出部４８で検出される位相差は、発振部４５の周波信号の電圧と振動子に印加される周波信号の電流との位相差としたが、これに限定するものではなく振動子に印加する周波信号の電圧と電流との位相差であっても良い。

上述したように、本実施形態における超音波アクチュエータ３０では、位相差検出部４８で検出した振動子３５に印加する周波信号の電流と発振部４５からの周波信号の電圧との位相差を上記Ｂμｃｏｍ５０の制御部に入力して、周波数検出動作を行った時点での振動子３５の共振周波数近傍の周波数が検出される。その結果を発振部４５にフィードバックすることにより、外部要因の変化に伴い振動子３５の共振状態が変化した場合でも共振周波数付近の周波数を検出して該周波数で駆動することができるため、駆動効率の良い状態で振動子３５を駆動できるという効果が得られる。

一方、Ｂμｃｏｍ５０には、図１４の駆動制御部に示すようにカメラの姿勢（光軸Ｏの水平方向Ｈに対する傾斜量）を検出するための姿勢センサ１４を含む姿勢検出部５３からの姿勢検出信号が取り込まれる。Ｂμｃｏｍ５０は、上記姿勢検出信号に基づき、上記カメラの姿勢によって生じる（重力の影響）、移動枠３の移動速度（フォーカシング速度）の変化を抑えるように振動子３５の上記駆動電圧が制御される。

上記カメラ姿勢による振動子駆動制御動作の詳細を図１５〜１７を用いて説明する。
図１５は、カメラ姿勢に対する振動子駆動制御部の要部ブロック構成図である。図１６は、上記カメラをＸ軸まわりに回転させた場合の回転角度（回転姿勢）に対する姿勢センサの出力信号の変化を示す図である。図１７は、上記カメラの回転姿勢に対する姿勢センサ出力に基づいた振動子の補正駆動電圧の変化を示す図である。

図１５に示すように姿勢検出部５３は、姿勢センサ１４と検出部５４とからなり、姿勢センサ１４の検出信号（出力）は、検出部５４を介してＢμｃｏｍ５０に入力される。Ｂμｃｏｍ５０は、フォーカシング時に振動子駆動電圧に対して上記カメラ姿勢による検出信号による移動枠重力補正分を加算、または、減算して補正駆動電圧を演算し、該補正駆動電圧により振動子駆動回路部５２の駆動部４７を介して超音波アクチュエータ３０を駆動し、移動枠３の進退駆動を行う。

カメラ本体６１を水平方向Ｈに沿ったＸ軸まわりに左まわり（＋Ｘ側からみて）回転させた場合、カメラ本体６１の回転角度θ（水平方向Ｈと光軸Ｏのなす角度、図１）に対する姿勢センサ１４のセンサａ0 ，ｂ0 ，ｃ0 軸に関する出力（出力電圧波形の値）Ｓａ0 ，Ｓｂ0 ，Ｓｃ0 は、図１６に示すように変化する。この出力Ｓａ0 ，Ｓｂ0 ，Ｓｃ0 は、カメラが傾斜したとき、センサａ0 ，ｂ0 ，ｃ0 軸に作用する移動枠３の単位重力の鉛直方向Ｖ（下向き）の補正成分を与える。本実施形態の場合、移動枠３の進退方向（光軸Ｏ）は、センサｂ0 軸に沿っているので出力Ｓｂ0 のみを検出し、出力Ｓｂ0 による移動枠３の重力の鉛直方向Ｖの成分の影響をなくすように制御する。

カメラ本体６１が通常撮影状態、すなわち、光軸Ｏが水平方向Ｈに沿った姿勢（回転角度θ＝０°）にある場合、上述した振動子駆動電圧を通常の基準駆動電圧ＶD0とする。

移動枠３が繰り込み方向動作状態にある場合、カメラ本体６１が傾斜した（回転角度θだけ回転した状態）状態では、移動枠３の自重の影響を考慮し、繰り込み速度を通常撮影状態と同様の速度で行わせるため、移動枠３の自重が傾斜の度合いにより、繰り出し方向に作用するのでその影響をなくすために出力（補正成分）Ｓｂ0 による補正量Ｋ×Ｓｂ0 を基準駆動電圧ＶD0に加算する。すなわち、振動子補正駆動電圧ＶDRは、
ＶDR＝ＶD0 ＋Ｋ×Ｓｂ0 ……（１）
で与えられる。上記係数Ｋは、移動枠３の自重や進退機構により決定される係数である。

一方、移動枠３が繰り出し動作状態にある場合、カメラ本体６１が傾斜した状態（回転角度θだけ回転した状態）では、同様に移動枠３の自重の影響を考慮し、繰り出し速度を通常撮影状態と同様の速度で行わせるため、移動枠３の自重が傾斜の度合いにより、繰り出し方向に作用するのでその影響をなくすために補正量Ｋ×Ｓｂ0 を基準駆動電圧ＶD0から減算する。すなわち、振動子補正駆動電圧ＶDRは、
ＶDR＝ＶD0 −Ｋ×Ｓｂ0 ……（２）
で与えられる。

なお、（１）式，（２）式に示すよううに振動子補正駆動電圧ＶDRは、移動枠３の繰り込み時に対して繰り出し時では、センサ出力Ｓｂ0 の相似形状の逆位相の値を加算することになる。

上述したように補正駆動電圧ＶDRのための補正成分Ｓｂ0 は、傾斜姿勢を示す角度として水平方向Ｈと光軸Ｏ方向とのなす回転角θを適用した場合は、図１６に示すように正弦波形で与えられる。しかし、傾斜姿勢を示す角度として鉛直方向Ｖと光軸Ｏ方向とのなす角、（９０°−θ）を適用する場合は、補正成分Ｓｂ0 は、余弦成分で与えられる。結果的には同様の補正がなされる。

本実施形態のカメラ６０におけるカメラ本体６１の姿勢の変化にともなう超音波アクチュエータ３０への駆動電圧の補正処理について、図１８のアクチュエータ駆動処理（Ａ）のフローチャートを用いて説明する。

本補正処理は、Ｂμｃｏｍ５０の制御のもとで実行される。まず、ステップ１にて姿勢センサ１４の出力Ｓｂ0 を取り込み、カメラ本体６１の姿勢、すなわち、光軸Ｏ方向の水平方向Ｈとの傾斜状態（カメラ姿勢）を判定する。

ステップ２にて鏡枠装置１が繰り込み方向への駆動を行うか、すなわち、無限遠（∞）距離に対する合焦動作を行うかを判定し、駆動方向が繰り込み方向であれば、ステップ３へ、繰り込み方向でなければ、ステップ４に進む。

ステップ３では、基準駆動電圧ＶD0にセンサ出力と相似値となるＫ×Ｓｂ0 なる補正量を加算した補正駆動電圧ＶDRを求める（（１）式による）。一方、ステップ４では、基準駆動電圧ＶD0からセンサ出力と相似値となるＫ×Ｓｂ0 なる補正量を減算した補正駆動電圧ＶDRを求める（（２）式による）。

そして、ステップ５に進み、振動子３５に上記補正駆動電圧ＶDRを印加して超音波アクチュエータ３０を駆動する。なお、カメラ本体６１の光軸Ｏ方向の水平方向Ｈとの傾斜がなかった場合、姿勢センサ１４の出力Ｓｂ0 は、０であり、補正駆動電圧ＶDRは、基準駆動電圧ＶD0と等しい。

なお、上述した補正駆動電圧ＶDRは、カメラ本体６１のＸ軸を水平方向Ｈに沿って保持した状態について説明しているが、上記Ｘ軸が水平方向に対して傾斜している状態でカメラ本体６１の光軸Ｏが水平方向Ｈに対して傾斜した場合、姿勢センサ１４の出力（補正成分）Ｓｂ0 による上記（１），（２）式を適用して振動子補正駆動電圧ＶDRを求めることができる。

また、上述した制御方式では、補正駆動電圧ＶDRを求める式（１），（２）が各回転角度θに対応しているが、これに限らず補正成分Ｓｂ0 を所定幅の回転角度θに対して段階的な値として求め、段階的な補正量Ｋ×Ｓｂ0 を適用することも可能である。この場合、カメラ本体６１の光軸Ｏの傾斜が水平方向Ｈに対して所定幅の範囲内にあれば、駆動電圧の補正は行われず、基準駆動電圧ＶD0がそのまま印加されることになる。

また、上述したカメラ姿勢による影響を補正するための振動子駆動制御は、制御パラメータの１つとして振動子３５に印加する駆動電圧を補正するように制御して超音波アクチュエータ３０の駆動力を制御したが、これに限らず上記振動子駆動制御の制御パラメータとしての駆動周波数を補正したり、駆動電圧と駆動電流との間の位相差を補正する駆動制御も可能である。また、上記制御パラメータの複数を同時に適用することも可能である。なお、式（１），（２）においては、補正量としてＫ×Ｓｂ0 を加減したが、他の各制御パラメータを適用する場合には、上記駆動周波数や位相差を補正成分Ｓｂ0 の関数Ｆ（Ｓｂ0 ）によって補正することになる。

本実施形態のカメラ６０によれば、仰瞰撮影状態、または、俯瞰撮影状態などのカメラ撮影状態にて超音波アクチュエータ３０により移動枠３の進退駆動（繰り込み、繰り出しを含むフォーカシング駆動）を行う場合、鏡枠装置１の光軸Ｏ方向を与える姿勢センサ１４の出力Ｓｂ0 に基づき、超音波アクチュエータの制御パラメータとしての駆動電圧の他に、駆動電流、駆動信号位相差や駆動周波数を補正して振動子に供給する電力を制御することによって移動枠３の自重による進退速度の低下、または、増加を抑え、常に一定の応答速度で移動枠３を進退駆動することができる。

また、姿勢センサ１４として、極めて小さい外形の３軸加速度センサを適用することにより鏡枠装置１が大型化することなく、カメラのコンパクト化も可能となる。

なお、上述した第一の実施形態の鏡枠装置１は、カメラ本体６１に着脱可能な交換式レンズ鏡筒としたが、これに代えて非交換式のレンズ鏡筒を適用し、該レンズ鏡筒、または、カメラ本体に姿勢センサ１４を配した構成とすれば、同様の効果を得ることができる。

次に、上記実施形態における姿勢センサ１４と異なる態様の傾斜センサを適用した変形例について説明する。

本変形例において姿勢センサとして適用される傾斜センサは、傾斜検出可能な１つの検出軸、または、複数の検出軸を有するセンサであって、同様に固定枠２に固着して装着され、１つの軸が光軸Ｏと平行な方向に支持される。この傾斜センサは、例えば、可動錘を内蔵しており、傾斜センサのある軸が水平方向Ｈに対して傾斜した場合、上記可動錘の移動によって上軸の傾きに関するオンオフのセンサ出力Ｓｂ0 が得られるものとする。

本変形例におけるカメラ本体６１の姿勢の変化にともなう超音波アクチュエータ３０への駆動電圧の補正処理について、図１９のアクチュエータ駆動処理（Ｂ）のフローチャートを用いて説明する。

本補正処理もＢμｃｏｍ５０の制御のもとで実行される。まず、ステップ１１，１２にて傾斜センサの出力Ｓｂ0 を取り込み、カメラ本体６１の姿勢、すなわち、光軸Ｏ方向が所定角度以上、上向きであるか、あるいは、下向きであるか（カメラ姿勢）を判定する。上向きであれば、ステップ１３へ進み、下向きであれば、ステップ１６に進む。また、光軸Ｏ方向が水平方向に対して所定の角度範囲内にあって、出力Ｓｂ0 が０であった場合、ステップ１８に進み、駆動電圧を基準値として、ステップ１９に進む。

ステップ１３では、レンズ駆動方向が繰り出し方向であるかを判定し、繰り出し方向であれば、ステップ１４へ、繰り出し方向でなければステップ１５に進む。

ステップ１６では、レンズ駆動方向が繰り込み方向であるかを判定し、繰り込み方向であれば、ステップ１７へ、繰り込み方向でなければステップ１８に進む。

ステップ１４，１７では、カメラ本体６１の姿勢とレンズ移動方向との関係から移動枠３の自重が駆動速度を下げる方向に作用することから駆動電圧を所定値だけ上げる。ステップ１５，１８では、駆動電圧は、基準値のままとする。

ステップ１９において上記各駆動電圧を振動子３５に印加し、移動枠３の進退駆動を行う。

本変形例の場合、カメラ本体６１の姿勢が移動枠３の移動速度が遅くなる方向に傾斜したときのみ、駆動電圧を上げるように制御し、移動速度が速くなる方向に傾斜したときには、特に駆動電圧の変更を行わない。従って、本変形例によれば、カメラ本体６１の姿勢によってフォーカシング速度が速くなることがあっても遅くなることは防止される。また、姿勢センサとして安価な傾斜センサを利用することからコストアップも抑えられる。

次に本発明の第二の実施形態の鏡枠としてのレンズ鏡筒について、図２０〜２２を用いて説明する。
図２０は、本実施形態のレンズ鏡筒の光軸上の断面図である。図２１は、上記レンズ鏡筒に組み込まれる超音波アクチュエータ部の分解斜視図である。図２２は、上記超音波アクチュエータの振動子ユニットまわりの回転軸上の要部断面図である。

なお、以下の説明において、超音波アクチュエータ部の回転軸Ｏは、本実施形態のレンズ鏡筒に該超音波アクチュエータ部を組み込んだ場合、撮影レンズの光軸Ｏと一致（上記レンズ鏡筒の構造によっては、略一致）する。そして、回転軸Ｏと平行な方向を光軸Ｏ方向とする。光軸Ｏ方向でレンズ鏡筒のレンズ側方向を前方とし、レンズマウント側を後方とする。レンズ鏡筒１６０がカメラ本体に装着された状態で光軸Ｏと直交する上下方向の軸をＹ軸とし、左右方向の軸をＸ軸とする。

本実施形態のレンズ鏡筒１６０は、一眼レフカメラ用の交換式レンズ鏡筒であり、図２１，２２に示す超音波アクチュエータ部１０１がフォーカシング用駆動源として組み込まれる。レンズ鏡筒１６０にも第一の実施形態の場合と同様に姿勢センサ１１４が配されており、カメラ本体に装着された状態でカメラの撮影姿勢を検出し、カメラ制御部は、上記検出姿勢に応じて超音波アクチュエータ部１０１の駆動トルクの増減を行い、フォーカシング速度が上記撮影姿勢によって変化しないように制御される。

レンズ鏡筒１６０は、カメラボディ（例えば、図１のカメラ本体６１）に着脱可能なズーミングおよびフォーカシングが可能なレンズ鏡筒である。レンズ鏡筒１６０は、図２０に示すように固定枠１６１と、固定枠１６１に装着される駆動源としての超音波アクチュエータ１０１と、固定枠１６１に対して回動可能に支持されるズーム操作環１６２および距離操作環１６３と、光軸Ｏを有するレンズ群であって、前方側から第一群レンズ１７１，フォーカスレンズを構成する第二群レンズ１７２，第三群レンズ１７３，絞り１７６を内蔵する第四群レンズ１７４，第五群レンズ１７５と、進退可能な第一群レンズ１７１を保持する第一群枠（図示せず）と、同じく進退可能な第二群レンズ１７２を保持する移動枠としての第二ズーム枠１６５と、固定枠１６１に固定支持され、かつ、後述するカムフォロア１６７の直進ガイド１６６ａを有し、進退移動しない第三群レンズ１７３を保持する第三群枠１６６と、進退可能な第四群レンズ１７４および第五群レンズ１７５を保持する第四群枠（図示せず）と、回動可能なカム枠１６４と、第二ズーム枠１６５，カム枠１６４のカム溝に係合するカムフォロア１６７と、固定枠１６１に回転可能に支持され、連結ロッド１２８が固着されるレンズ駆動環（ＬＤ環と記載する）１２７と、固定枠１６１に対してベアリング受ケ１１１を介して支持され、前述したハウジング１０２，ロータ１０３，振動子ユニット１１５等からなる超音波アクチュエータ部１０１と、ハウジング１０２の後端面にビス止めされるレンズマウント１２９を有してなる。

レンズ鏡筒１６０の駆動源としての超音波アクチュエータ部１０１は、ユニット化した状態で適用することが可能な回転駆動型アクチュエータ部であって、図２１に示すようにハウジング１０２と、回転型被駆動体であるロータ１０３と、ハウジング１０２に組み込まれる２組の振動子ユニット１１５および１つの転動体であるローラ１２２と、付勢部材（バネ部材，板状弾性部材）であって、支持機構部を構成する板バネ１１８，１２３と、３つに分割された押さえ板１２５と、振動子ユニット１１５，ローラ１２２により押圧されるロータ１０３のスラスト力を受けるベアリング部材１０８と、固定枠１６１にハウジング１０２とともに一体支持され、ベアリング部材１０８のスラスト力を受ける受け部材であるベアリング受ケ１１１を有しており、アクチュエータとしてユニット化されている。

なお、超音波アクチュエータ部１０１が図２０のレンズ鏡筒１６０に組み込まれる場合には、該レンズ鏡筒１６０のＬＤ環１２７に固着される連結ロッド１２８がロータ１０３に係合して取り付けられる。

ハウジング１０２は、環状支持部材であり、その環状部の周方向略３等分位置（略１２０°間隔）に回転軸の光軸Ｏ方向に貫通する振動子，ローラ挿入用の３つの挿入開口部１０２ａを有している。各挿入開口部１０２ａの中央のラジアル方向で対向する状態で光軸Ｏ方向に沿って挿通する２つのガイド溝１０２ｂ（図２２）が設けられる。このガイド溝１０２ｂは、振動子の支持軸をガイドするためのガイド支持部となる嵌入溝である。

ハウジング１０２の外周には、第一の実施形態の場合と同様に姿勢センサ１１４が取り付け基板１１３を介して取り付けられている。この姿勢センサ１１４は、第一の実施形態に適用した姿勢センサ１４と同様のセンサであって、３軸（ａ0 ，ｂ0 ，ｃ0 の軸）加速度センサを適用する。そして、姿勢センサ１４は、ａ0 軸をカメラ本体６１のＸ軸方向に、ｂ0 軸を光軸Ｏ方向に、ｃ0 軸をＹ軸にそれぞれ平行な状態としてハウジング１０２上に取り付けられる。

ロータ１０３は、円環状の摩擦部材であるロータ板１０６と、板状弾性部材であって、かつ、スペーサ部材となるリング状スペーサ１０７と、円環状の移動部材であるロータ本体１０４とが一体化された部材であり、ベアリング部材１０８により回転軸Ｏまわり回動可能に支持される。

ロータ板１０６は、例えば、ジルコニア等のセラミック材料で耐摩性良好、かつ、高硬度の板部材で形成され、振動子ユニット１１５の振動子３５（具体的には、駆動子３８（図２２））が当接することにより振動子３５で励起される縦振動と屈曲振動との合成による楕円振動により回転軸Ｏ中心の回転運動を行う。このロータ板１０６の光軸Ｏ方向後面側（振動子側）は摩擦接触面１０６ａであり、板バネ１１８で押圧付勢された振動子３５の摩擦接触部となる駆動子３８がスラスト方向（光軸Ｏ方向）、言い換えると、被駆動体の移動方向に垂直な方向に当接する。一方、該接触面１０６ａは、板バネ１２３で押圧付勢されたローラ１２２が転動状態でスラスト方向（光軸Ｏ方向）に当接する。なお、このロータ板１０６は、振動子３５からの振動を確実にロータの回転力に変換するために振動子３５の振幅より十分小さな変形、または、撓みを呈するような剛性を有するものとし、安定した回転が得られるようになっている。

リング状スペーサ１０７は、エラストマー，フェルト等の防振性の高い弾性板部材で形成され、表面に両面接着テープが貼付され、ロータ板１０６およびロータ本体１０４に圧接し、接着固定される。上記両面接着テープも防振性の高い部材であり、単独でリング状スペーサーを形成してもよい。

このリング状スペーサ１０７は、振動子３５による振動を絶縁するための部材であるが、さらに、それ以外に押圧力調節手段としても機能する。すなわち、該スペーサ１０７の厚みを選択することによって、２つの振動子３５とロータ板１０６との当接力を調節して適切な摩擦接触力とし、同時にローラ１２２とロータ板１０６との当接力が適切になるように、同時に調節することが可能である。また、リング状スペーサ１０７は、ロータ本体１０４に圧接されており、圧接により発生する摩擦力が超音波アクチュエータ部１０１が出力する駆動力より十分大きな場合は、上記両面接着テープは不要である。

ロータ本体１０４は、耐摩性良好、かつ、高硬度の板部材で形成され、前面側円周に沿ってボール１０９が転動するＶ溝１０４ｂが配され、さらに、リング内周部の内側に突出する連結用突起１０４ａが配される。さらに、ロータ本体１０４の外周部には、ハウジング１０２の内周部に固着されるロータ回転量検出用磁気センサが摺接する磁気シート１０５が貼付されている（図２２）。

連結用突起１０４ａには、レンズ鏡筒１６０側の出力取り出し用連結ロッド１２８の後方二又部１２８ｂが係合される。連結ロッド１２８は、そして、レンズ鏡筒１６０側の回転可能なＬＤ環１２７にビス止めされており、連結ロッド１２８によってロータ本体１０４の回転がレンズ鏡筒１６０の第二ズーム枠１６５に伝達される。

なお、ロータ１０３は、本実施形態の場合、３つの部材で構成されているが、これに限らず一体成形された単一の樹脂製リング形状部材をロータとして適用することも可能である。

ベアリング部材１０８は、複数のボール１０９とリング状のリテーナ１１０とからなる。リテーナ１１０には、ボール１０９が挿入される穴部が形成されているがその穴の数は、ボールの数より多くてもよい。このベアリング部材１０８は、回転軸方向の力を受けるスラストタイプであるが、回転軸方向と回転軸に垂直な方向の力を受けることができるスラストラジアルボールベアリングを適用することも可能である。

ベアリング受ケ１１１は、リング形状の部材であり、耐摩性良好、かつ、高硬度の板部材で形成される。そして、ベアリング受ケ１１１は、後面側円周に沿ってボール１０９が転動するＶ溝１１１ａを有しており、ハウジング１０２の前端面にビスにより固定され、一体化される（図２２）。そして、ベアリング受ケ１１１は、そのＶ溝１１１ａにベアリング部材１０８のボール１０９がスラスト方向（光軸Ｏ方向）に当接し、該ボール１０９の後方にロータ本体１０４，リング状スペーサ１０７，ロータ板１０６が配される。

上記ロータ板１０６には、図２０，２２に示すようにハウジング１０２の開口部１０２ａに挿入されている振動子３５の駆動子３８、または、ローラ１２２が当接しており、それぞれの部材を押圧する板バネ１１８、１２３が配されている。それらの各部材を後方の押さえ板１２５と前方のベアリング受ケ１１１とによって挟持する状態となる。その挟持状態のもとでロータ１０３は、上記Ｖ溝に嵌入するボール１０９を介した状態でハウジング１０２，ベアリング受ケ１１１に対して回転可能な状態で支持される。なお、ベアリング受ケ１１１、および、リテーナ１１０には、樹脂成形部材を適用することも可能である。

振動子ユニット１１５は、屈曲定在波振動と縦振動との合成による楕円振動を励起させる振動子３５と、振動子３５を保持する振動子ホルダ１１６とを有してなる。

振動子３５は、第一の実施形態に適用した振動子３５と同様の構成のものであり積層圧電体３５Ａと、該圧電体の一方の面に固着され、駆動時に上記楕円振動を行う２つの駆動部としての駆動子３８とを有してなる。但し、支持軸１１７は、振動子ホルダ１１６側に固着されている。また、振動子３５の駆動部への接続は、接続ＦＰＣ４２に代えて接続用リード線が使用される。

振動子ホルダ１１６は、コの字形状のステンレス板部材であって振動子３５の積層圧電体３５Ａにラジアル方向両側面に嵌入し、接着等により固着される（図２２）。そして、振動子ホルダ１１６には、フランジ部１１７ａを有し、中立軸部となる丸軸状支持軸１１７が同一軸心上に両側（ラジアル方向）に突出した状態で嵌入し、カシメ等により固着されている。この支持軸１１７は、ステンレス材で形成され、上記振動子ホルダ１１６の接着固定時に振動子３５の振動の節位置のラジアル方向延長線上に位置するように位置決めされて固着される。

２組の振動子ユニット１１５は、それぞれハウジング１０２の２つの挿入開口部１０２ａに挿入される（光軸Ｏ方向前後いずれの方向からでも挿入可能である）。そして、振動子ホルダ１１６の支持軸１１７がガイド溝１０２ｂにガタなく摺動、かつ、回動可能な状態で嵌入され、振動子３５は、ハウジング１０２に対して光軸Ｏ方向以外が位置規制された状態で保持される。そして、上記嵌入状態では、各振動子３５の２つの駆動子３８は、周のラジアル方向，接線方向に沿った平面上で接線方向に沿って位置し、ロータ１０３のロータ板１０６の回転軸Ｏに垂直（ラジアル方向，接線方向に沿った面上）な摩擦接触面１０６ａに光軸Ｏ方向後方から当接可能な状態に保持される。

振動子ユニット１１５がハウジング１０２に挿入された状態で振動子ホルダ１１６のフランジ部１１７ａ外側とハウジング１０２の挿入開口部１０２ａ内側との間にラジアル方向の隙間Ｓ（図２２）がある場合、摺動性のよい材料の隙間調節ワッシャ（図示せず）が挿入され、ラジアル方向に隙間（ガタ）のない状態に保持される。勿論、振動子ホルダ１１６の支持軸方向の幅を広げることによっても上記隙間をなくすことは可能である。振動子３５に設けられる電力，制御信号供給のための接続用リード線は、ハウジング１０２の２つのリード線溝１０２ｃ（図２１）から外部に導出される。

なお、上述した振動子３５の保持状態のもとでは、支持軸１１７の方向とロータ１０３の回転方向とが直交する関係にあるのでロータ１０３の回転が振動子３５によって阻害されにくい状態である。

板バネ１１８は、周の接線方向に延びる弾性変形可能な２つの金属製板バネ部材である（図２１）。

板バネ１１８は、それぞれ２つの押さえ板１２５の前面にそれぞれ固定ネジ１１９，支持用段ネジ１２０で取り付けられる。板バネ支持機構としての第一の端部は、固定ネジ１１９を丸穴に挿通させて押さえ板１２５に固着される。他方の板バネ支持機構としての第二の端部は、段ネジ１２０を長穴に挿通させて押さえ板１２５に接線方向に滑り移動可能に支持される。

板バネ１１８が装着された押さえ板１２５は、ハウジング１０２の後面にビスで固定される。押さえ板１２５のハウジング１０２への固定によって板バネ１１８は、ハウジング１０２に挿入されている各振動子ユニット１１５の振動子ホルダ１１６の端面の中央部に板バネの凸部を所定の押圧力で当接させた状態て取り付けられる。その当接状態で板バネ１１８は、振動子ユニット１１５と同様にハウジング１０２の挿入開口部１０２ａ内に収まった状態に挿入され、保持される。

超音波アクチュエータ部１０１の駆動時には、板バネ１１８により押圧される振動子３５が前述した図１３（Ａ）〜（Ｄ）に示すような屈曲定在波振動と縦振動が合成された振動が励起される。その振動状態で振動子側の振動子ホルダ１１６もその姿勢が変動する。しかし、常に振動子ホルダ１１６の端面１１６ａの略中央部に板バネ１１８の凸部が当接するので、振動子３５の２つの駆動子３８に対する板バネ１１８の押圧力の作用状態が図１３（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）の状態でほとんど変化しない。したがって、駆動子３８が当接するロータ板１０６は、両駆動子３８の楕円振動による摩擦力を安定した状態で均等に受け、回転ムラや正逆方向の力量差の発生、また、駆動トルクのムラのない良好な駆動力の伝達状態が得られる。

ローラ１２２は、両端部に支持軸部が突出して設けられるローラ部材であり、ハウジング１０２の１つの挿入開口部１０２ａに挿入され、支持軸部がガイド溝１０２ｂにガタなく摺動、かつ、回転可能な状態で嵌入され、ハウジング１０２に挿入される。その挿入状態では、ローラ１２２は、板バネ１２３によって光軸Ｏ方向後方から押圧され、ロータ１０３のロータ板１０６の回転軸Ｏに垂直な摩擦接触面１０６ａに当接する。

板バネ１２３は、接線方向に延びる弾性変形可能な金属製板バネ部材であり、板バネ１１８と略同様な形状を有するが、中央凸部がなく、それに代えて中央部に光軸Ｏ方向前方に突出する２つの突起部を有している。その突起部の先端にはローラ１２２の支持軸部に係合する凹部が配される。

板バネ１２３は、板バネ１１８と同様に押さえ板１２５の前面にそれぞれ固定ネジ１１９，支持用段ネジ１２０で取り付けられる。すなわち、固定ネジ１１９を丸穴に挿通させて押さえ板１２５に固着される。他方の長穴には段ネジ１２０を挿通させて押さえ板１２５に接線方向に滑り移動可能に取り付けられる。板バネ１２３が装着された押さえ板１２５は、ハウジング１０２の後面にビスで固定される。さらに、押さえ板１２５は、ハウジング１０２に固着される。

取り付け状態の板バネ１２３の突起部は、ハウジング１０２の挿入開口部１０２ａ、または、ガイド溝１０２ｂに挿入され、ハウジング１０２に挿入されているローラ１２２の支持軸部を凹部で押圧し、ローラ１２２をロータ板１０６に所定の押圧力で当接させる。

３つの押さえ板１２５は、上述したようにハウジング１０２の後面にそれぞれビスで固着されるが、ハウジング１０２と３つの押さえ板１２５の間には、必要に応じて選択される適切な厚みを有する調節ワッシャ１２６がそれぞれ挿入される。該調節ワッシャ１２６によって２つの板バネ１１８による２つの振動子３５の押圧力を振動子毎に、また、板バネ１２３によるローラ１２２の押圧力をそれぞれ微調節することができる。

上述した構成を有する超音波アクチュエータ部１０１は、図２２に示すようにユニット化され、レンズ鏡筒１６０のフォーカシング駆動用のアクチュエータとして組み込まれる。その組み込み状態では超音波アクチュエータ部１０１のロータ本体１０４の突起部１０４ａにＬＤ環１２７に支持される連結ロッド１２８の二又部１２８ｂが係合する。連結ロッド１２８の前方端部の二又部１２８ａは、第二ズーム枠１６５に対して相対的に光軸Ｏ方向にのみ摺動自在に係合した状態で組み込まれる。したがって、ロータ１０３が回転駆動した場合、ＬＤ環１２７とともに連結ロッド１２８が回動し、第二ズーム枠１６５が回動駆動される。該回動により第二ズーム枠１６５は、後述するようにカムフォロア１６７を介して該カムフォロア１６７と係合するカム溝に沿って進退駆動されることになる。

なお、第一の実施形態の場合と同様に超音波アクチュエータ部１０１振動子３５は、図１４の振動子駆動回路部５２によって駆動される。振動子駆動回路部５２は、第一の実施形態の場合と同様にカメラボディ６１側のＢμｃｏｍ５０によって制御される。そして、駆動子３８に楕円振動が生じた場合、駆動子３８が当接するロータ１０３のロータ板１０６がロータ本体１０４と共に回転軸Ｏ中心に所望の回転方向に回転駆動される。

上述したレンズ鏡筒１６０において、カメラボディ装着状態にて、ズーム操作環１６２が回動操作されるとズーミング駆動がなされる。すなわち、上記ズーム操作環１６２の操作によってカム枠１６４が回動駆動され、カムフォロア１６７を介して第二ズーム枠１６５が進退移動し、第二群レンズ１７２が各ズーム位置に移動する。同時に図示しないカムフォロアを介して第一群レンズ１７１，第四群レンズ１７４および第五群レンズ１７５がそれぞれのズーム位置に移動する。但し、第三群レンズ１７３は、進退移動しない。

一方、距離操作環１６３が回動操作された場合、または、カメラ側の測距装置による測距データに基づいた合焦駆動が行われる場合、フォーカシング駆動がなされる。すなわち、Ｌμｃｏｍ５１を介して得られる距離操作環１６３の回転量データ、あるいは、上記測距装置による測距データに基づき、第二群レンズ１７２の移動量データがＢμｃｏｍ５０て演算される。その移動量データに従って振動子駆動回路部５２により超音波アクチュエータ部１０１の振動子３５に対して駆動電圧が印加され、超音波振動が励起される。振動子３５の振動によってロータ本体１０４が回動駆動され、連結ロッド１２８を介して第二ズーム枠１６５が回動駆動されるがその回動に伴ってカムフォロア１６７を介して第二ズーム枠１６５が光軸Ｏ方向にも進退し、第二群レンズ１７２が進退し、所望のフォーカス位置に移動する。

上記フォーカシング駆動時において、カメラ本体６１の撮影状態における姿勢、すなわち、レンズ鏡筒１６０の光軸Ｏ方向の水平方向Ｈに対する傾斜角度がレンズ鏡筒１６０側の姿勢センサ１１４によって検出される。その傾斜角度に応じて振動子３５を駆動する印加駆動電圧が制御され、上記傾斜角度によって第二ズーム枠１６５の自重の作用量変化に伴った移動速度（フォーカシング速度）の変化が抑えられる。この姿勢センサ１１４の検出出力に応じた振動子３５に対する駆動電圧の制御方式は、第一の実施形態の場合と同様である。

上述した第二の実施形態のレンズ鏡筒１６０によっても第一の実施形態の場合と同様の効果を奏するが、特に本実施形態の場合は、回動駆動型である超音波アクチュエータ１０１によって第二ズーム枠１６５を光軸Ｏ方向にフォーカシング駆動するような構成のものに適用可能である。

次に本発明の第三の実施形態の電子撮像ユニットを内蔵する電子カメラについて説明する。
図２３は、本実施形態の電子カメラの外観図である。図２４は、上記カメラに内蔵される電子撮像ユニットの斜視図であり、図２５は、上記電子撮像ユニットの分解斜視図である。

本実施形態の電子カメラ（以下、カメラと記載する）７０は、ブレ補正機能を有しており、ブレ補正を行うため、撮影時にカメラ本体７１に内蔵される電子撮像ユニット８１の撮像素子を撮像素子駆動用モータ（振動子）により撮像平面上に沿ってブレに合わせて変位駆動する。そのとき、撮影時のカメラ７０の姿勢に合わせて上記撮像素子駆動用モータの駆動印加電圧値を制御し、上記姿勢による上記変位駆動のずれの発生を抑える制御が行われる。

本実施形態のカメラ７０は、図２３に示すようにレリーズスイッチ釦７２が配されるカメラ本体７１と、カメラ本体７１に着脱自在のレンズ鏡筒７３とを有している。

カメラ本体７１には、カメラ全体の制御を司る制御部（制御手段）であるＣＰＵからなるボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｂμｃｏｍと記載する）７５と、被写体像を取り込み、電気的撮像信号に変換するための撮像素子を有する電子撮像ユニット８１と、さらに、その他の制御要素が内蔵されている。なお、カメラ本体７１のＸ方向（後述）の左方側にグリップ部７１ａが配されている。

レンズ鏡筒７３は、撮影レンズ７４を有しており、さらに、レンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｌμｃｏｍと記載する）７６が内蔵されている。レンズ鏡筒７３は、本実施形態においてはカメラ本体７１に対して着脱可能とするが、固定支持されていてもよい。

カメラ本体７１が有する３軸（Ｏ軸，Ｘ軸，Ｙ軸）のうち、Ｏ軸は、撮影レンズ光軸（被写体方向を＋方向とする）であって、撮像素子の中心を通る。Ｘ，Ｙ軸は、撮像素子の撮像面を通り光軸Ｏと直交する軸であり、そのうち、上下方向（通常撮影姿勢の場合）の軸をＹ軸とし、左右方向（通常撮影姿勢で被写体側からみた方向）の軸をＸ軸とする。また、鉛直方向をＶ方向（上方向を＋）とし、水平方向をＨ方向とする。

電子撮像ユニット（以下、撮像ユニットと記載する）８１は、光軸Ｏ上のレンズ鏡筒７３に対向して配される。この撮像ユニット８１は、図２４，２５に示すように主に固定枠としての地板８２と、地板８２の開口部８２ａ内に第一の方向（Ｙ軸方向）に可動の移動枠としてのＹ枠８３と、Ｙ枠８３の開口部８３ａ内に第二の方向（Ｘ軸方向）に可動の移動枠としてのＸ枠８４と、Ｘ枠８４上に固定した配され、被写体像を電気信号に変換するための固体撮像素子（以下、撮像素子と記載する）８５と、地板８２に配される第一の方向の駆動部である第一リニア駆動手段と、Ｙ枠８３に配される第二の方向の駆動部である第二リニア駆動手段と、撮像素子８５およびブレ検出用のブレセンサ９４が実装される撮像素子基板９３と、地板８２に配され、カメラの姿勢を検知するセンサである姿勢センサ（傾斜センサ）９１とを有している。

地板８２は、中央開口部８２ａを有しており、複数のネジ挿通穴８２ｂにビスを挿通させて螺着し、カメラ本体７１に固定される。この地板８２の開口部８２ａの右方側にはＹ方向に沿ったＶ溝状軸ガイド部８２ｃ，側面に２つのビス穴８２ｈをもつ凹部８２ｅ，軸支用切り欠き部８２ｆが配され、左方側には上下２つの枠押さえ固定用ビス穴８２ｇが配される。上方部にはセンサ基板９２に実装された姿勢センサ９１が配されている。

姿勢センサ９１は、前記第一の実施形態に適用した姿勢センサ１４と同様に３軸（ａ0 ，ｂ0 ，ｃ0 軸）の傾斜を検出可能な３軸の加速度センサであって上記３軸の傾斜も検出可能なセンサを適用する。そして、ａ0 軸をＸ軸と平行に、ｂ0 軸をＹ軸と平行に、ｃ0 軸を光軸Ｏと平行な状態で地板８２に取り付けられる。撮影時にカメラ本体７１の傾斜姿勢を示す姿勢検出出力が姿勢センサ９１より出力され、Ｂμｃｏｍ７５に取り込まれる。Ｂμｃｏｍ７５は、上記姿勢検出出力によりカメラ本体７１の姿勢を検知し、重力作用方向によるＹ枠８３およびＸ枠８４の負荷抵抗の変化を減らして適正なブレ補正がなされるように第一の振動子（Ｙ軸モータ）８６，第二の振動子（Ｘ軸モータ）８８に印加する駆動電圧の補正制御を行う。

Ｙ枠８３は、中央開口部８３ａを有し、開口部８３ａの右方側にはＹ軸と平行なガイド軸８３ｃが固着され、その右方端面にＹ軸と平行な接触面を有する摺動部材８３ｄが配される。さらに、左側には枠押さえ用凸部８３ｂが配されている。開口部８３ａの下方側にはＸ方向に沿ったＶ溝状軸ガイド部８３ｈ，下面に２つのビス穴（図示せず）をもつ凹部８３ｅ，軸支用切り欠き部８３ｆが配され、上方側には２つの枠押さえ固定用ビス穴８３ｇが配されている。

Ｘ枠８４は、中央開口部８４ａを有しており、下方部にはＸ軸と平行なガイド軸８４ｃが固着され、その下方端面にＸ軸と平行な接触面を有する摺動部材８４ｄが配され、さらに、上方側には枠押さえ用凸部８４ｂが配されている。そして、Ｘ枠８４の開口部には、撮像素子基板９３に実装された撮像素子８５が位置決めされて装着される。なお、撮像素子基板９３のコネクタ部は、Ｂμｃｏｍ７５に接続される。

上記第一リニア駆動手段は、リニア型振動波（超音波）アクチュエータを構成し、第一の振動子（Ｙ軸モータ）８６と、第一のホルダ８７とからなる。また、上記第二リニア駆動手段は、リニア型超音波アクチュエータを構成し、第二の振動子（Ｘ軸モータ）８８と、第二のホルダ８９とからなる。

第一，二の振動子８６，８８は、共に第一の実施形態にて適用した振動子３５と略同様の構成を有しており、それぞれ圧電積層体と、該圧電積層体を貫通する支持軸８６ａ，８８ａと、一対の駆動子８６ｂ，８８ｂとを有している。

第一のホルダ８７は、金属板バネ材で形成され、Ｙ方向に延びる弾性変形可能な腕部と、第一の振動子８６の支持軸８６ａが回動可能に嵌入する切り欠き部８７ａとを有している。

第二のホルダ８９は、金属板バネ材で形成され、Ｘ方向に延びる弾性変形可能な腕部と、第二の振動子８８の支持軸８８ａが回動可能に嵌入する切り欠き部８９ａとを有している。

撮像素子８５を装着した状態のＸ枠８４は、そのガイド軸８４ｃをＹ枠８３の軸ガイド部８３ｈに挿入してＹ枠８３に装着される。そして、枠押さえバネ板８４Ａをビス穴８３ｇにバネ板用ビスをねじ込んでＹ枠８３に取り付けて、そのバネ板８４ＡでＸ枠８４の凸部８４ｂが押さえ込まれて、Ｘ枠８４は、Ｙ枠８３に組み付けられる。

振動子８８は、その支持軸８８ａの一端をＹ枠８３の切り欠き８３ｆに嵌入させ、支持軸８８ａの他端をホルダ８９の切り欠き８９ａに嵌入させた状態でＹ枠８３の凹部８３ｅに挿入される。その状態でホルダ８９をホルダ用ビスをビス穴（図示せず）にねじ込んでＹ枠８３に固定すると、振動子８８は、背面部がホルダ８９で押圧された状態でＹ枠８３の下方側に取り付けられる。上記取り付け状態で振動子８８の駆動子８８ｂは、Ｙ枠８３に取り付けられているＸ枠８４の摺動部材８４ｄに所定の圧力で接触する。その圧接力で支持軸８８ａは切り欠き８３ｆに摺動可能な状態でガタなく当接する。

Ｘ枠８４が組み付けられたＹ枠８３は、そのガイド軸８３ｃを地板８２の軸ガイド部８２ｃに摺動可能に挿入して装着される。そして、枠押さえバネ板８３Ａをビス穴８２ｇにバネ板用ビスをねじ込んで地板８２に取り付けると、バネ板８３ＡによりＹ枠８３の凸部８３ｂが押さえ込まれて、Ｙ枠８３は、地板８２に組み付けられる。

振動子８６は、その支持軸８６ａの一端を地板８２の切り欠き８２ｆに嵌入させ、また、支持軸８６ａの他端をホルダ８７の切り欠き８７ａに嵌入させた状態で地板８２の凹部８２ｅに挿入される。その状態でホルダ用ビスをビス穴８２ｈにねじ込んでホルダ８７を地板８２に固定すると、振動子８６は、背面部がホルダ８７で押圧された状態で地板８２の右側に取り付けられる。上記取り付け状態で振動子８６の駆動子８６ｂは、Ｙ枠８３の摺動部材８３ｄに所定の圧力で接触した状態となる。その圧接力で支持軸８６ａは切り欠き８２ｆに摺動可能な状態でガタなく当接する。

撮像素子基板９３に実装されるブレセンサ９４は、撮影光軸Ｏのブレを検出する少なくとも２軸の加速度センサで構成される。このブレセンサ９４の出力に基づいてＢμｃｏｍ７５は、ブレ補正を行うためにレリーズスイッチ釦７２の２段目が押圧される瞬間の撮像ユニット８１のＸ軸，Ｙ軸方向のブレ成分（ブレ方向とブレ速度）を検知し、その検知速度に応じた速度でＹ枠８３およびＸ枠８４を変位させるべく、振動子８６，８８へ印加する駆動電圧を制御する。但し、上記印加される駆動電圧は、後述するようにカメラの撮影時の姿勢によって作用する重力が上記ブレ補正駆動に影響を与えないように姿勢センサ９１により検出されるカメラの姿勢によって駆動電圧補正がなされる。

上述した構成を有する撮像ユニット８１において、ブレ補正動作時、振動子８８に駆動電圧が印加されると駆動子８８ｂが楕円振動を行い、撮像素子８５を保持するＸ枠８４は、Ｙ枠８３に対してガイド軸８４ｃを介して摺動し、Ｘ方向に沿って駆動される。また、振動子８６に駆動電圧が印加されると駆動子８６ｂが楕円振動を行い、Ｘ枠８４を保持するＹ枠８３は、地板８２に対してガイド軸８３ｃを介して摺動し、Ｙ方向に沿って駆動される。従って、撮像素子８５の受光面である光電変換面は、Ｘ枠８４とともにＸ，Ｙ平面上を振動子８６および振動子８８による駆動量だけ地板８２に対して相対的に変位することになる。

上述した撮像ユニット８１が組み込まれたカメラ７０において、ブレ補正モードが設定され、レリーズスイッチ釦７２の２段目が押圧操作されるとＢμｃｏｍ７５は、上述したようにブレ補正を行うために、ブレセンサ９４の出力により検知されるブレ速度成分に応じて振動子８６および振動子８８に印加する駆動電圧を設定する。そのとき、カメラ本体７１が上向き、または、下向き姿勢（光軸Ｏが鉛直方向（Ｖ）と一致）以外であることが姿勢センサ９１によって検知された場合、該姿勢センサ９１に出力に応じて重力による影響をなくすように振動子８６および振動子８８に印加する駆動電圧の補正が行われる。

図２６は、カメラ本体７１のＸ軸を水平に保ち、Ｘ軸（Ｘ軸と平行な軸を含む）まわりに回転させたときのカメラ回転角（傾斜角）θに対する姿勢センサ９１の３軸（ａ0 ，ｂ0 ，ｃ0 軸）の出力Ｓａ0 ，Ｓｂ0 ，Ｓｃ0 の波形を示した線図である。図２７は、カメラ本体７１のＹ軸を水平に保ち、Ｙ軸（Ｙ軸と平行な軸を含む）まわりに回転させたときのカメラ回転角（傾斜角）αに対する姿勢センサ９１の３軸（ａ0 ，ｂ0 ，ｃ0 軸）の出力Ｓａ0 ，Ｓｂ0 ，Ｓｃ0 の波形を示した線図である。

図２６に示されるカメラ本体７１の姿勢変化状態では、Ｘ軸と平行なａ0 軸方向の姿勢センサ出力Ｓａ0 は、０であり、Ｙ軸と平行なｂ0 軸方向の姿勢センサ出力Ｓｂ0 のみによる駆動電圧補正がなされる。図２７に示されるカメラ本体７１の姿勢変化状態では、ｂ0 軸方向の姿勢センサ出力Ｓｂ0 は、０であり、ａ0 軸方向の姿勢センサ出力Ｓａ0 のみによる駆動電圧補正がなされる。いずれの場合も光軸Ｏと平行な方向の姿勢センサ９１のｃ0 軸の成分の出力Ｓｃ0 は駆動電圧の補正には用いない。

表１は、カメラ本体７１の各姿勢に対する姿勢センサ９１の出力のａ0 軸，ｂ0 軸方向成分の値を図２６および図２７から読み取って示したものである。

以下、本実施形態のカメラ７０のブレ補正処理時におけるＸ，Ｙ軸モータ（振動子）駆動処理であるアクチュエータ駆動処理について、図２８〜３２のフローチャートを用いて説明する。◎ 図２８は、上記アクチュエータ駆動処理のフローチャートである。図２９は、上記アクチュエータ駆動処理で呼び出されるサブルーチン「Ｙ軸モータ駆動電圧補正（Ａ）」のフローチャートであり、図３０は、上記アクチュエータ駆動処理で呼び出されるサブルーチン「Ｙ軸モータ駆動電圧補正（Ｂ）」のフローチャートである。図３１は、上記アクチュエータ駆動処理で呼び出されるサブルーチン「Ｘ軸モータ駆動電圧補正（Ａ）」のフローチャートであり、図３２は、上記アクチュエータ駆動処理で呼び出されるサブルーチン「Ｘ軸モータ駆動電圧補正（Ｂ）」のフローチャートである。

なお、図２８のフローチャートに示すアクチュエータ駆動処理は、カメラ本体７１の姿勢が表１に示すように上向き（レンズ鏡筒上向き），通常（レンズ鏡筒水平），下向き（レンズ鏡筒下向き），逆さま（カメラ本体の上下面が逆），グリップ下方，グリップ上方の状態の何れかに限定した場合の処理である。従って、それらの姿勢の間の位置に傾斜した状態に対しては、図２６，２７の姿勢センサ出力波形から各姿勢に対応して求められるそれぞれのａ0 軸，ｂ0 軸の成分により駆動電圧の補正を行う必要がある。

図２８に示すアクチュエータ駆動処理は、Ｂμｃｏｍ７５の制御のもとで実行される。まず、ステップＳ２１で姿勢センサ９１の出力を読み取り、ステップＳ２２で上記出力に基づきカメラ本体７１の姿勢を認識する。

ステップＳ２３にてカメラ本体７１の姿勢が上向き、または、下向きであった場合は、駆動電圧の補正を行う必要がなので、そのまま、ステップＳ３１にジャンプする。姿勢が上向き、または、下向きではなかった場合は、ステップＳ２４に進む。

ステップＳ２４でカメラ本体７１の姿勢が通常撮影姿勢の場合、または、逆さまであった場合は、重力の影響を受けるＹ軸モータ（振動子８６）の駆動電圧のみを補正するためにステップＳ２５に進むが、姿勢が通常撮影姿勢、または、逆さまではなかった場合（すなわち、グリップが下方、または、上方の場合）は、重力の影響を受けるＸ軸モータ（振動子８８）の駆動電圧のみを補正するためにステップＳ２６に進む。

ステップＳ２５では、Ｙ軸モータのブレ補正による駆動方向をチェックし、＋方向である場合は、ステップＳ２７に進み，−方向である場合は、ステップＳ２８に進む。

ステップＳ２７に進んだ場合、図２９に示すサブルーチン「Ｙ軸モータ駆動電圧補正（Ａ）」が呼び出される。このＹ軸モータ駆動電圧補正（Ａ）においては、補正前のＹ軸モータ基準駆動電圧をＶYD0 とし、姿勢による補正係数をＫy とし、姿勢センサ９１のｂ0 軸成分の出力をＳb0としたとき、補正駆動電圧としてのＹ軸モータ駆動電圧ＶYDは、
ＶYD＝ＶYD0 ＋Ｋy ×Ｓb0 …（３）
により求められる。

例えば、カメラ本体７１が通常撮影姿勢にあり、ブレ補正による駆動方向が＋方向（この場合、上方向）である場合、重力による負荷が駆動方向の逆方向に作用することから（３）式に示すようにＫy ×Ｓb0を加算することになる。

ステップＳ２８に進んだ場合、図３０に示すサブルーチン「Ｙ軸モータ駆動電圧補正（Ｂ）」が呼び出される。このＹ軸モータ駆動電圧補正（Ｂ）においては、補正前のＹ軸モータ基準駆動電圧をＶYD0 とし、姿勢による補正係数をＫy とし、姿勢センサ９１のｂ0 軸成分の出力をＳb0としたとき、補正駆動電圧としてのＹ軸モータ駆動電圧ＶYDは、
ＶYD＝ＶYD0 −Ｋy ×Ｓb0 …（４）
により求められる。

例えば、カメラ本体７１が通常撮影姿勢にあり、ブレ補正による駆動方向が−方向（この場合、下方向）である場合、重力による負荷が駆動方向と同一方向に作用することから（４）式に示すようにＫy ×Ｓb0を減算することになる。

なお、上記Ｓb0の値は、本処理では、表１のＳ0 の値となる。また、上記Ｙ軸モータ基準駆動電圧ＶYD0 は、Ｙ枠，Ｘ枠，撮像素子等の部材の重力の影響を考慮しない状態での駆動電圧であって、ブレセンサ９４により検出されるブレ方向とブレ速度とにより設定されるブレ補正のためのＹ軸モータの駆動電圧である。

ステップＳ２６では、Ｘ軸モータのブレ補正による駆動方向をチェックし、＋方向である場合は、ステップＳ２９に進み，−方向である場合は、ステップＳ３０に進む。

ステップＳ２９に進んだ場合、図３１に示すサブルーチン「Ｘ軸モータ駆動電圧補正（Ａ）」が呼び出される。このＸ軸モータ駆動電圧補正（Ａ）においては、補正前のＸ軸モータ基準駆動電圧をＶXD0 とし、姿勢による補正係数をＫx とし、姿勢センサａ0 軸成分の出力をＳa0としたとき、補正駆動電圧としてのＸ軸モータ駆動電圧ＶXDは、
ＶXD＝ＶXD0 ＋Ｋx ×Ｓa0 …（５）
により求められる。

例えば、カメラ本体７１がグリップ下方の姿勢にあり、ブレ補正による駆動方向が＋方向（この場合、上方向）である場合、重力による負荷が駆動方向の逆方向に作用することから（５）式に示すようにＫx ×Ｓa0を加算することになる。

ステップＳ３０に進んだ場合、図３２に示すサブルーチン「Ｘ軸モータ駆動電圧補正（Ｂ）」が呼び出される。このＸ軸モータ駆動電圧補正（Ｂ）においては、補正前のＸ軸モータ基準駆動電圧をＶXD0 とし、姿勢による補正係数をＫx とし、姿勢センサ９１のａ0 軸成分の出力をＳa0としたとき、補正駆動電圧としてのＸ軸モータ駆動電圧ＶXDは、
ＶXD＝ＶXD0 −Ｋx ×Ｓa0 …（６）
により求められる。

例えば、カメラ本体７１がグリップ下方の姿勢にあり、ブレ補正による駆動方向が−方向（この場合、下方向）である場合、重力による負荷が駆動方向と同一方向に作用することから（６）式に示すようにＫx ×Ｓa0を減算することになる。

なお、上記Ｓa0の値は、本処理では、表１のＳ0 の値となる。また、上記Ｘ軸モータ基準駆動電圧ＶXD0 は、Ｘ枠，撮像素子等の重力の影響を考慮しない状態での駆動電圧であって、ブレセンサ９４により検出されるブレ（ブレ方向とブレ速度）により設定されるブレ補正のためのＸ軸モータの駆動電圧である。

その後、ステップＳ３１に進み、駆動電圧の補正が行われた場合は、上述した補正駆動電圧を、また、駆動電圧の補正が行わなかった場合は、補正しない基準駆動電圧をそれぞれＹ軸モータおよび／または、Ｘ軸モータに印加してＹ枠８３、および／または、Ｘ枠８４を駆動して撮像素子８５をブレ方向に変位させてブレ補正が行われる。

以上、説明したように本実施形態のカメラ７０によれば、ブレ補正を行う場合、姿勢センサ９１により検出されるカメラ本体７１の姿勢に対応するセンサ出力の波形により重力の作用方向の成分が検知される。そして、Ｙ軸モータ（振動子８６）およびＸ軸モータ（振動子８８）のブレ補正駆動方向と重力の作用成分の方向とにより加算、または、減算によりブレ駆動電圧を補正し、該駆動電圧により上記Ｙ軸モータおよびＸ軸モータを駆動することによってカメラ姿勢に伴う重力の影響の少ないブレ補正駆動を行なうことができる。

なお、本実施形態のカメラ７０においては、ブレ補正時、上記Ｙ軸モータおよびＸ軸モータの駆動電圧の補正を行うようにしたが、これに限らず駆動電流、駆動電圧の位相差や駆動周波数などを補正して上記各モータの駆動力を制御することも可能である。

上述した実施形態では、駆動源の振動波アクチュエータとして超音波振動子を用いた超音波アクチュエータを適用したが、これに限らず、超音波以外の周波数の振動波により駆動されるアクチュエータを駆動源とする撮像ユニットに対しても同様の構成を適用することが可能であり、この場合も同様の効果を奏する。

本発明による鏡枠、電子撮像ユニット、または、カメラは、姿勢差による移動速度応答性の変化を低減することができるものとして利用が可能である。

本発明の第一実施形態である鏡枠装置が組み込まれたカメラの外観を示す斜視図である。 図１のカメラの鏡枠装置の分解斜視図である。 図２の鏡枠装置の斜視図である。 図２の鏡枠装置の正面図（被写体側から見た図）である。 図２の鏡枠装置の超音波アクチュエータまわりの部分拡大断面図である。 図２の鏡枠装置の固定枠に取り付けられた姿勢センサの斜視図である。 図５の超音波アクチュエータの振動子にフレキシブルプリント基板を固着した状態を支持軸方向からみた図である。 図７のＡ矢視図である。 図７の振動子からフレキシブルプリント基板を外した状態を支持軸方向から見た図である。 図７のＢ矢視図である。 図７のＣ矢視図である。 図７の振動子を構成する圧電素子部と絶縁板の焼結前の分解斜視図である。 図７の振動子の屈曲振動と縦振動との合成振動時の変形状態を拡大して示した図であって、振動子が図１３（Ａ）の屈曲状態から図１３（Ｂ）の伸張状態、図１３（Ｃ）の屈曲状態、図１３（Ｄ）の収縮状態の順に変形する様子を示している。 図２の鏡枠装置にて振動子を駆動するための駆動制御回路のブロック構成図である。 図１４の駆動制御回路のカメラ姿勢に対する振動子駆動制御部の要部ブロック構成図である。 図１のカメラをＸ軸まわりに回転させた場合の回転角度（回転姿勢）に対する姿勢センサの出力信号の変化を示す図である。 図１のカメラの回転姿勢に対する姿勢センサ出力に基づいた振動子の補正駆動電圧の変化を示す図である。 図１のカメラにおけるアクチュエータ駆動処理（Ａ）処理のフローチャートである。 図１のカメラに適用される姿勢センサに対して異なる態様の傾斜センサを適用した変形例におけるアクチュエータ駆動処理（Ｂ）のフローチャートである。 本発明の第二実施形態である鏡枠としてのレンズ鏡筒の光軸上の断面図である。 図２０のレンズ鏡筒に組み込まれる超音波アクチュエータ部の分解斜視図である。 図２１の超音波アクチュエータに振動子ユニットまわりの回転軸上の要部断面図である。 本発明の第三実施形態である電子カメラの外観図である。 図２３の電子カメラに内蔵される電子撮像ユニットの斜視図である。 図２４の電子撮像ユニットの分解斜視図である。 図２３のカメラのＸ軸を水平に保ち、Ｘ軸まわりに回転させたときのカメラ回転角θに対する姿勢センサの３軸の出力波形を示した線図である。 図２３のカメラのＹ軸を水平に保ち、Ｙ軸まわりに回転させたときのカメラ回転角αに対する姿勢センサの３軸の出力波形を示した線図である。 図２３のカメラにおけるアクチュエータ駆動処理のフローチャートである。 図２８のアクチュエータ駆動処理で呼び出されるサブルーチン「Ｙ軸モータ駆動電圧補正（Ａ）」のフローチャートである。 図２８のアクチュエータ駆動処理で呼び出されるサブルーチン「Ｙ軸モータ駆動電圧補正（Ｂ）」のフローチャートである。 図２８のアクチュエータ駆動処理で呼び出されるサブルーチン「Ｘ軸モータ駆動電圧補正（Ａ）」のフローチャートである。 図２８のアクチュエータ駆動処理で呼び出されるサブルーチン「Ｘ軸モータ駆動電圧補正（Ｂ）」のフローチャートである。

符号の説明

２ …固定枠
３ …移動枠
４ …撮影レンズ４（光学素子）
１４ …姿勢センサ（傾斜センサ，
３軸加速度センサ）
３０ …超音波アクチュエータ
（振動波アクチュエータ）
３５ …振動子
４７ …駆動部（アクチュエータドライバ）
５０ …Ｂμｃｏｍ（コントローラ，制御手段）
７５ …Ｂμｃｏｍ（制御手段）
８２ …地板（固定枠）
８３ …Ｙ枠（移動枠）
８３ｄ，８４ｄ
…摺動部材
８４ …Ｘ枠（移動枠）
８６ …第一の振動子（超音波アクチュエータ，
第一リニア駆動手段，
第一の方向の駆動部）
８８ …第二の振動子（超音波アクチュエータ，
第二リニア駆動手段，
第二の方向の駆動部）
９１ …姿勢センサ（傾斜センサ，
３軸加速度センサ）
９４ …ブレセンサ
１６１…固定枠
１６５…第二ズーム枠（移動枠）
１７２…第二群レンズ（光学素子）
Ｏ …撮影光軸
Ｘ軸方向…第二の方向
Ｙ軸方向…第一の方向

Claims (33)

1. 固有の撮影光軸を有するカメラ用鏡枠であって、
   光学素子を保持し、撮影光軸方向に移動可能な移動枠と、
   鏡枠取付け部に取付けられ、上記移動枠を移動可能に保持する固定枠と、
   上記固定枠に取付けられ、上記移動枠を駆動する振動波アクチュエータと、
   上記固定枠に取付けられ、鏡枠姿勢を検出する姿勢センサと、
   振動波アクチュエータに関する複数の制御パラメータ設定値に応じて上記振動波アクチュエータを駆動するアクチュエータドライバと、
   上記姿勢センサの出力に基いて、上記移動枠の移動方向と鉛直軸とのなす角の余弦を算出し、この余弦が零を含む所定範囲にない場合、上記制御パラメータの少なくとも１つを変更するコントローラと、
   を具備することを特徴とする鏡枠。
2. 上記複数の制御パラメータは、駆動電圧、駆動周波数、または、駆動電圧と駆動電流と間の位相差のうち、少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする請求項１に記載の鏡枠。
3. アクチュエータと姿勢を検知するセンサとを有する固定枠と、
   上記固定枠内部で軸方向に移動可能に収納され、レンズを保持する移動枠と、
   上記姿勢を検知するセンサの出力に応答して上記アクチュエータヘの入力信号を制御する制御手段と、
   を具備することを特徴とする鏡枠。
4. 楕円振動を発生する振動子と上記振動子を押圧保持するホルダと姿勢を検知するセンサとを有する固定枠と、
   上記振動子との接触面を有する摺動部材を備え、上記固定枠内部で軸方向に移動可能に収納され、レンズを保持する移動枠と、
   上記姿勢を検知するセンサの出力に応答して上記振動子への入力信号を制御する制御手段と、
   を具備することを特徴とする鏡枠。
5. 上記振動子は、縦屈曲振動することを特徴とする請求項４に記載の鏡枠。
6. 上記姿勢を検知するセンサは、傾斜センサであることを特徴とする請求項３乃至５に記載の鏡枠。
7. 上記姿勢を検知するセンサは、３軸加速度センサであることを特徴とする請求項３乃至５に記載の鏡枠。
8. 上記振動子への入力信号の制御は、電圧を制御することを特徴とする請求項４乃至７に記載の鏡枠。
9. 上記入力電圧は、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似形状の電圧波形をモータ駆動基準電圧に対して加減することを特徴とする請求項４乃至７に記載の鏡枠。
10. 上記入力信号は、電庄であり、上記電圧は、モータの駆動方向が座標軸のプラス方向の場合は、上記３軸加速度センサから出力信号と略相似形状の電圧波形をモータ駆動基準電圧にプラスし、モータの駆動方向が座標軸のマイナス方向の場合は、上記３軸加速度センサから出力信号と略相似波形の逆位相の電圧波形をモータ駆動基準電圧にプラスすることを特徴とする請求項４乃至７に記載の鏡枠。
11. 上記振動子への入力信号の制御は、電流を制御することを特徴とする請求項４乃至７に記載の鏡枠。
12. 上記振動子への入力信号の制御は、位相差を制御することを特徴とする請求項４乃至７に記載の鏡枠。
13. 楕円振動を発生する複数個の振動子と上記複数個の振動子を押圧保持するホルダと姿勢を検知するセンサとを有する固定枠と、
    上記複数個の振動子に対向する接触面を有する摺動部材を備え、上記固定枠内部で軸方向に移動可能に収納され、レンズを保持する移動枠と、
    上記姿勢を検知するセンサの出力に応答して上記複数個の振動子への入力信号を制御する制御手段と、
    を具備することを特徴とする鏡枠。
14. 上記振動子は、縦屈曲振動することを特徴とする請求項１３に記載の鏡枠。
15. 上記姿勢を検知するセンサは、傾斜センサであることを特徴とする請求項１３、または、１４に記載の鏡枠。
16. 上記姿勢を検知するセンサは、３軸加速度センサであることを特徴とする請求項１３、または、１４に記載の鏡枠。
17. 上記振動子への入力信号の制御は、電圧を制御することを特徴とする請求項１３乃至１６に記載の鏡枠。
18. 上記入力電圧は、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似形状の電圧波形をモータ駆動基準電圧に対して加減することを特徴とする請求項１３乃至１６に記載の鏡枠。
19. 上記入力電圧は、モータの駆動方向が重力作用成分方向と逆方向の場合は、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似形状の電圧波形に応じた値をモータ駆動基準電圧にプラスし、モータの駆動方向が重力作用成分方向と同方向の場合は、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似波形の逆位相の電圧波形に応じた値をモータ駆動基準電圧にプラスすることを特徴とする請求項１３乃至１６に記載の鏡枠。
20. 上記振動子への入力信号の制御は、電流を制御することを特徴とする請求項１３乃至１６に記載の鏡枠。
21. 上記振動子への入力信号の制御は、位相差を制御することを特徴とする請求項１３乃至１６に記載の鏡枠。
22. 固体撮像素子が固着され、この固体撮影素子の受光面と平行な面内において移動可能な移動枠と、
    上記移動枠を移動可能に保持する地板と、
    上記地核に固定され、上記移動枠を第一の方向に駆動する第一リニア駆動手段と、
    上記地板に固定され、上記移動枠を第一の方向と略直交する第二の方向に駆動する第二リニア駆動手段と、
    上記地板に固定され、上記固体撮影素子の受光面と平行な面内の地板の傾きを検知する傾斜センサと、
    上記傾斜センサの出力に応答して、上記第一、第二のリニア駆動手段の駆動態様を変更する制御手段と、
    を具備することを特徴とする電子撮像ユニット。
23. 上記第一、第二のリニア駆動手段は、共に振動波アクチュエータであることを特徴とする請求項２２に記載の電子撮像ユニット。
24. 撮影光軸のブレを検出するブレセンサと、請求項２２に記載の電子撮像ユニツトとを備えた電子カメラであって、
    上記制御手段は、上記ブレセンサの出力に応答して、上記固体撮像素子の出力のブレによる変動が最小となるように上記第一、第二のリニア駆動手段を駆動することを特徴とする電子カメラ。
25. 楕円振動を発生する第一の振動子と該第一の振動子を押圧保持する第一のホルダからなる所定の方向である第一の方向の駆動部と、
    該第一の振動子とは略直交した状態で設けられ、楕円振動を発生する第二の振動子と該第二の振動子を押圧保持する第二のホルダからなり、上記第一の方向と直交する第二の方向の駆動部と、
    姿勢を検知するセンサを有する固定枠と、
    上記各振動子との接触面を有する摺動部材を備え、上記固定枠内部で互いに略直交する方向に移動可能に収納され、撮像素子を保持する移動枠と、
    上記姿勢を検知するセンサの出力に応答して上記第一、第二の振動子への入力信号を制御する制御手段と、
    を具備することを特徴とするカメラ。
26. 上記振動子は、縦屈曲振動することを特徴とする請求項２５に記載のカメラ。
27. 上記姿勢を検知するセンサは、傾斜センサであることを特徴とする請求項２５、または、２６に記載のカメラ。
28. 上記姿勢を検知するセンサは、３軸加速度センサであることを特徴とする請求項２５、または、２６に記載のカメラ。
29. 上記振動子への入力信号の制御は、電圧を制御することを特徴とする請求項２５乃至２８に記載のカメラ。
30. 上記第一の方向の入力信号となる入力電圧と上記第二の方向の入力信号となる入力電圧は、上記傾斜センサ、または、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似形状の電圧波形を振動子駆動基準電圧に対して加減することを特徴とする請求項２５乃至２８記載のカメラ。
31. 上記第一の方向の入力信号となる入力電圧と第二の方向の入力信号となる入力電圧は、振動子の駆動方向が重力作用成分の方向と逆方向の場合は、上記傾斜センサ、または、上記３軸加速度センサからの出力信号と略相似形状の電圧波形に応じた値を振動子駆動基準電圧にプラスし、振動子の駆動方向が重力作用成分の方向と同方向の場合は、略相似波形の逆位相の電圧波形に応じた値を振動子駆動基準電圧にプラスすることを特徴とする請求項２５乃至２８に記載のカメラ。
32. 上記振動子への入力信号の制御は、電流を制御することを特徴とする請求項２５乃至２８に記載のカメラ。
33. 上記振動子への入力信号の制御は、位相差を制御することを特徴とする請求項２５乃至２８に記載のカメラ。

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