JP4214693B2

JP4214693B2 - 変位検出装置

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Publication number: JP4214693B2
Application number: JP2001343001A
Authority: JP
Inventors: 光宏岡崎
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2000-12-21
Filing date: 2001-11-08
Publication date: 2009-01-28
Anticipated expiration: 2021-11-08
Also published as: JP2002250638A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可動部材の変位を磁気により検出する磁気エンコーダ等の変位検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、多くの機械装置では、フィードバック制御等を行うための情報として、可動部材の変位や速度を精密に検出することが行われている。例えば、オートフォーカスカメラ用のレンズ鏡筒においては、電動モータ等の回転駆動力を直線駆動力に変換して、合焦用レンズを進退させるフォーカスカム機構が内部に設けられている。このようなレンズ鏡筒では、特開平７−１２８５６６号公報や特開平７−３２４９４６号公報等に記載されたように、フォーカスカム機構を構成する回転筒の回転変位を検出する変位検出装置を有するものが多数存在する。
【０００３】
図５は、従来の変位検出装置を有するレンズ鏡筒１を示す図である。
図５に示す変位検出装置では、磁気パターン３０が形成されたプラスチックマグネット等の磁気部材２１を回転筒５の外周面に貼り付け、この磁気部材２１に近接して配置された磁気抵抗素子（ＭＲ素子）４７によって磁気パターン３０（すなわち、回転筒５）の回転変位を検出する。固定筒３は、回転筒５を回転自在に保持し、加圧ばね４１がビス止めされる固定部材である。ホルダ４５は、ＭＲ素子４７を加圧ばね４１に固定するための保持部材である。
ＭＲ素子４７によって磁気部材２１の磁気パターン３０を正確に検出するためには、磁気部材２１の表面とＭＲ素子４７の検出面との間隔を極めて高精度に設定・保持する必要がある。このため、磁気部材２１とＭＲ素子４７との間に低摩擦係数の間隔規制部材を設け、弾性部材である加圧ばね４１によってＭＲ素子４７を磁気部材２１側に圧接させる技術が実用化されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来のレンズ鏡筒用の変位検出装置では、加圧ばね４１として製造コストが低くかつ量産性に優れることから、板ばねが用いられる場合が多いが、板ばねによって、磁気部材２１とＭＲ素子４７との平行度が阻害されるという問題があった。
【０００５】
図６は、加圧ばね４１、ＭＲ素子４７及び磁気部材２１の拡大側面図である。ＭＲ素子４７には、ＭＲ素子４７と磁気部材２１との間隙を規制するスペーサフィルム４９が設けられており、ＭＲ素子４７が磁気部材２１に対して正しく接触した場合に、両者の間隔が最適な間隔となるようになっている。尚、図６においては、理解を容易にするため、ＭＲ素子４７と磁気部材２１との間の傾斜を誇張して示している。
【０００６】
図６に示したように、加圧ばね４１は、二点鎖線で示す無負荷形状に対し、大きく撓んだ状態で取り付けられ、これにより、ＭＲ素子４７を磁気部材２１に圧接させる押圧力を発生している。
しかし、加圧ばね４１の微細な形状誤差や取付誤差、回転筒５の外径誤差等により、ＭＲ素子４７と磁気部材２１との相対位置関係が所定の関係とならない場合があった。例えば、図６に示す状態では、ＭＲ素子４７と磁気部材２１の間に微小な傾斜角αが生じ、ＭＲ素子４７の先端が磁気部材２１から間隔δだけ浮き上がってしまう。
【０００７】
このような場合、磁気部材２１からその大部分が密着していないため、ＭＲ素子４７からの検出信号が非常に微弱になり、検出誤差が大きくなったり、検出もれが生じる等の問題があった。また、検出信号が微弱で不安定であるために、その後の信号処理においても、不都合が多かった。
このような問題を解決するため、加圧ばね４１の固定端からＭＲ素子４７までの距離（有効長）を長くする方法も一部に試みられているが、レンズ鏡筒内等の限られたスペース内に、そのためのスペースを確保することは、困難であった。また、この方法を採った場合にも、磁気部材２１に対するＭＲ素子４７の傾斜は、軽減されるが、完全に解消することはできなかった。
【０００８】
一方、特開２０００−２０５８０８号公報には、ホルダと加圧ばねとの接続部に改良を加えた変位検出装置が提案されている。
図７は、特開２０００−２０５８０８号公報に提案されている従来の変位検出装置を有するレンズ鏡筒１’を示す図である。
レンズ鏡筒１’は、先に示したレンズ鏡筒１における加圧ばね４１とホルダ４５に代えて、加圧ばね２４１とホルダ２４５を設けている。
図８は、加圧ばね２４１及びホルダ２４５付近の拡大側面図である。
加圧ばね２４１は、その先端に略Ｖ字状に屈曲成形されたピポット６１を有しており、このピポット６１がホルダ２４５に形成されたＶ字溝６３に係合している。このような形態とすることによりホルダ２４５は、回転筒５の回転方向に略平行な揺動中心軸Ｐをもち、加圧ばね２４１に対して揺動することができる。よって、レンズ鏡筒１’に設けられた従来の変位検出装置では、スペーサフィルム４９及びＭＲ素子４７が磁気部材２１に密着できるようになり、ＭＲ素子４７からの検出信号が非常に微弱になることを防ごうとしていた。
【０００９】
しかし、この手法を用いた場合でも、加圧ばね２４１を固定筒３にビス４３によって固定するときに取り付け角度がずれると、ＭＲ素子４７が磁気部材２１に正しい向きで接触することができないという問題があった。
また、一般に板ばねの加工精度を高精度にすることは難しく、その上、組み立て中に変形させてしまうという問題があった。
更に、ホルダ２４５に加圧ばね２４１を組み付ける必要があり、そのときにワッシャ５３が使用され、係止ピン６９の先端を熱溶融等の方法により変形させる工程も必要であり、組み立て難く製造コストが高いという問題があった。
【００１０】
本発明の課題は、スケール部材に対して検出部材が傾くことなく、正確にスケールを読み取ることができる変位検出装置を、組み立てが簡単で低コストで提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。すなわち、請求項１の発明は、固定部材（１３０）と、前記固定部材に対して相対的に変位可能に設けられた可動部材（１０５）と、前記可動部材に固定され、前記可動部材と一体的に変位可能なスケール部材（１３０）と、前記固定部材に支持されるとともに、前記スケール部材と接触し前記スケール部材の目盛を検出する検出部材（１４５，１４７）と、前記検出部材を前記スケール部材に対して加圧する加圧部材（１４１）と、を備える変位検出装置において、前記検出部材と前記スケール部材との相対的な変位方向をＸ軸とし、前記検出部における前記スケール部材の移動面に対して平行で、前記Ｘ軸に対して直交する方向をＹ軸とし、前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸に直交する方向をＺ軸としたときに、前記検出部材の前記Ｚ軸回りの回転方向の位置を規制する第１の規制部（Ａ）を前記検出部材、前記スケール部材、及び前記可動部材の少なくとも１つに設け、前記検出部材を前記固定部材に対して前記Ｘ軸方向に加圧する第２の加圧部材を備えたことを特徴とする変位検出装置である。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１に記載の変位検出装置において、前記検出部材（１４５，１４７）は、前記Ｚ軸に沿った方向であって、前記検出部材が前記加圧部材によって前記スケール部材（１３０）に加圧される向きの位置と、前記Ｘ軸回りの回転方向の位置とを規制する第２の規制部（Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３）を前記スケール部材と接触する位置に設けたことを特徴とする変位検出装置である。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の変位検出装置において、前記検出部材（１４５，１４７）は、前記Ｘ軸方向の位置を規制する第３の規制部（Ｃ）を前記検出部材の前記固定部材（１０３）と接触する位置に設けたことを特徴とする変位検出装置である。
【００１４】
請求項４の発明は、請求項１又は請求項２に記載の変位検出装置において、前記検出部材（１４５，１４７）の前記Ｙ軸方向の位置は、前記第１の規制部（Ａ）によって規制され、前記Ｙ軸回りの回転方向の位置は、前記第２の規制部（Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３）によって規制されることを特徴とする変位検出装置である。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、前記検出部材（１４５，１４７）は、検出素子本体（１４７）と、前記第１〜第４の規制部の少なくとも１つを有する素子保持部材（１４５）とを有することを特徴とする変位検出装置である。
【００１７】
請求項６の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、前記スケール部材（１３０）は、磁気によりスケールが形成されており、前記検出部材（１４５，１４７）は、前記スケール部材の磁気を検出することを特徴とする変位検出装置である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照しながら、本発明の実施の形態について、更に詳しく説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明による変位検出装置の第１実施形態の主要部を示す正面図である。尚、説明のため、図１中で、紙面左方向にＸ軸，紙面上方向にＺ軸，紙面奥方向にＹ軸（図１中には、不図示）とする座標系を設ける（以下、図１〜４について同一の座標系を適用する）。
本実施形態における変位検出装置は、カメラのレンズ鏡筒に設けられ、固定筒１０３に対して相対的に回転移動する回転筒１０５の変位を検出する磁気エンコーダであり、磁気スケール１３０，ＭＲ素子１４７，ホルダ１４５，加圧ばね１４１等を備えている。
【００１９】
固定筒１０３は、図示しないカメラ本体に固定される固定部材である。固定筒１０３には、ホルダ１４５のＸ方向の長さ（突起１４５Ｃにより決まる長さ）と嵌合する壁１０３ａが設けられ、この壁１０３ａと突起１４５Ｃとの接触部Ｃ（第３の規制部）は、ホルダ１４５のＸ方向の位置を規制する役割を果たしている。
【００２０】
回転筒１０５は、固定筒１０３に回転自在に設けられ、図示しない駆動源から駆動力を得て回転し、図示しないレンズ群をカム機構等によって駆動する可動部材である。
図２は、第１実施形態における変位検出装置をＹＺ平面で切断した断面図である。
回転筒１０５には、磁気スケール１３０と平行にガイド部１０５ａが設けられている。
【００２１】
磁気スケール１３０は、回転筒１０５の外周面に接着により固定され、円周方向に磁気によってスケールが設けられているスケール部材である。
【００２２】
ＭＲ素子（磁気抵抗素子）１４７は、ホルダ１４５に接着され、磁気スケール１３０の磁気を検出する検出素子本体である。
【００２３】
ホルダ１４５は、ＭＲ素子１４７を保持する素子保持部材であり、自らの位置を規制するために複数の突起を有している。
図３は、変位検出装置をホルダ１４５の中心付近で切断した断面図であり、図４は、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７を磁気スケール１３０と接触する側から見た図である。
図２〜図４を用いて、ホルダ１４５が有する突起１４５Ａ，１４５Ｂ，１４５Ｃ，１４５Ｄを説明する。
【００２４】
突起１４５Ａは、回転筒１０５のガイド部１０５ａに嵌合する２対の突起である。突起１４５Ａとガイド部１０５ａとの接触部Ａ（第１の規制部）は、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７のＺ軸回りの回転（ヨーイング）を規制すると共に、Ｙ軸方向の位置を規制している。
一般にＭＲ素子１４７が磁気スケール１３０に対してＺ軸回りの回転方向で傾いた（回転した）位置となっていると、打ち消し合う磁気を同時に検出する場合があり、結果として得られる出力信号が弱まってしまう。
そこで、本実施形態では、Ｚ軸回りの回転方向の位置規制を、この接触部Ａのみによって行い、途中に別の部品が介在していないので、Ｚ軸回りの回転方向の位置を精度よく規制でき、出力信号が弱くなることがない。
【００２５】
突起１４５Ｂは、ＭＲ素子１４７の相対運動方向の前後に設けられた球突起である。ＭＲ素子１４７と磁気スケール１３０の表面との接触部Ｂ１（第２の規制部）、及び、突起１４５Ｂと磁気スケール１３０の表面との接触部Ｂ１，Ｂ２（第２の規制部）によって、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７が磁気スケール１３０に接触する向き（−Ｚの向き）の位置規制と、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７のＹ軸回りの回転方向の位置が規制されている。
また、ＭＲ素子１４７と磁気スケール１３０の表面との接触部Ｂ１は、Ｙ軸に沿った方向に所定の長さが確保されているので、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７のＸ軸回りの回転方向の位置も規制している。
さらに、２つの突起１４５Ｂのうち一方とＭＲ素子１４７とが磁気スケール１３０の表面に接触すると、突起１４５Ｂのもう一方は、磁気スケール１３０との間にごくわずかな隙間が生ずるようになっている。したがって、ＭＲ素子１４７は、確実に磁気スケール１３０の表面に接触することができる。
ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７が磁気スケール１３０に接触する向き（−Ｚの向き）の位置の規制と、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７のＸ軸回りにおける回転方向の位置の規制は、この接触部Ｂ１〜Ｂ３のみによって行われているので、ＭＲ素子１４７が確実に磁気スケール１３０に接触することができるようになっている。
【００２６】
突起１４５Ｃは、固定筒１０３の壁１０３ａと嵌合する突起であり、先に説明したように、壁１０３ａと突起１４５Ｃとの接触部Ｃ（第３の規制部）は、ホルダ１４５のＸ軸方向の位置を規制する役割を果たしている。
Ｘ軸方向の位置の規制は、接触部Ｃのみによって行われているので、他の部材の影響を受けずに固定筒１０３に対してホルダ１４５が直接位置決めされており、ＭＲ素子１４７の検出方向の位置が精度よく規制され、高精度の測定が行える。
【００２７】
突起１４５Ｄは、ホルダ１４５の磁気スケール１３０と反対側の面に設けられた突起であり、加圧ばね１４１が加圧力を作用させる部分である。
突起１４５Ｄと加圧ばね１４１との接触部Ｄは、Ｚ軸に沿った方向であって、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７が磁気スケール１３０から離れる向きに変位するのを加圧力によって押さえている部分である。
【００２８】
加圧ばね１４１は、固定筒１０３のピン１０３ｂに孔１４１ａが嵌合して保持された板ばねであって、固定筒１０３とホルダ１４５との間にチャージされた状態で組み込まれることによって、自己の加圧力を利用して保持されている。
加圧ばね１４１は、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７を磁気スケール１３０に対して加圧する加圧部材の役割を果たしており、突起１４５Ｄを押圧する接触部Ｄにより、ホルダ１４５に加圧力を加え、ＭＲ素子１４７が磁気スケール１３０と線接触する（接触部Ｂ１）。
ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７が磁気スケール１３０から離れる向きの位置の規制は、この接触部Ｄのみによって行われているので、加圧ばね１４１によってホルダ１４５及びＭＲ素子１４７を確実に押さえることができるようになっている。
【００２９】
以上のように、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７のＸ軸方向（相対運動方向）の動きは、固定筒１０３によって拘束され（接触部Ｃによって規制され）、それ以外の動きは、回転筒１０５又は磁気スケール１３０によって拘束（接触部Ａ，Ｂ１〜Ｂ３によって規制）される。
従来の位置検出装置では、ＭＲ素子が加圧ばねに保持（固定）されているので、ＭＲ素子のＸ軸回りのローリングは、加圧ばねによって拘束され、ＭＲ素子の一端が磁性部材から浮き上がることがある。しかし、本実施形態では、加圧ばね１４１は、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７に加圧接触しているだけであり、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７は、Ｘ軸回りのローリングが加圧ばね１４１による拘束を受けていない。したがって、ＭＲ素子１４７は、加圧ばね１４１の微細な形状誤差や取付誤差、回転筒１０５の外径誤差等によらず、常に磁気スケール１３０に密着し、大きい出力信号を得ることができる。
【００３０】
また、本実施形態では、加圧ばね１４１を組み立てるときに、加圧ばね１４１を弾性変形させて固定筒１０３とホルダ１４５との間に入れ、加圧ばね１４１の復元力によって固定筒１０３の内側に設けたピン１０３ｂと加圧ばね１４１の孔１４１ａとを嵌合させて位置決めさせることが可能である。
したがって、従来の位置検出装置と比較すると、加圧ばねを固定筒に固定する部品が不要になり、組立も容易に行うことができる。
【００３１】
本実施形態によれば、磁気スケール１３０の表面に円周振れが生じてもＭＲ素子１４７と磁気スケール１３０とを確実に密着させることができるため、常に安定した大きい出力信号を得ることができる。また、部品点数が少なく、組立も容易に行うことができる。
【００３２】
（第２実施形態）
図９は、第２実施形態におけるホルダ１４５及びＭＲ素子１４７の周辺を磁気スケール１３０と接触する側から見た図である。
第２実施形態は、第１実施形態に第２の加圧ばね１５０を追加した形態であるので、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
【００３３】
第２の加圧ばね１５０は、壁１０３ｂに固定された第２の加圧部材である。第２の加圧ばね１５０は、突起１４５Ｅに接触してホルダ１４５をＸ軸方向に加圧する板ばねである。
なお、本実施形態では、説明の便宜上、第１実施形態において２箇所ある突起１４５Ｃの一方を、突起１４５Ｅとしているが、ホルダ１４５自体は、第１実施形態と同一である。
【００３４】
第１実施形態では、ホルダ１４５のＸ軸方向の位置決めは、嵌合する壁１０３ａにより行っている。そのため、この部分の隙間（嵌合がた）の影響により磁気スケール１３０の移動方向が変わるときに、嵌合がたが寄せられることから検出精度が低下することがある。
そこで、本実施形態では、突起１４５Ｅに接触する第２の加圧ばね１５０を追加し、ホルダ１４５をＸマイナス方向に付勢するようにしている。これにより、反対側の突起１４５Ｃは、常に壁１０３ａに接触し、嵌合がたが無くなり、高い検出精度を保持することができる。
【００３５】
第２の加圧ばね１５０を追加して嵌合がたを防止するには、ＭＲ素子１４７と磁気スケール１３０との間に発生する摩擦力よりも第２の加圧ばね１５０の加圧力を大きくする必要がある。
【００３６】
また、ＭＲ素子１４７と磁気スケール１３０とが常に密着するためには、Ｚ軸方向に動きやすくする必要がある。そのため、第２の加圧ばね１５０の加圧力、及び、第２の加圧ばね１５０と突起１４５Ｅ，壁１０３ａと突起１４５Ｃとの接触部の摩擦係数については、Ｚ軸方向の動作を阻害しないように設定する必要がある。例えば、突起１４５Ｅ及び突起１４５Ｃの先端を摩擦係数の少ないＰＯＭ（ポリオキシメチレン）又はＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等としたり、突起１４５Ｅ及び突起１４５Ｃの先端にグリス又は固体潤滑剤を塗布する等を行い、第２の加圧ばね１５０と突起１４５Ｅとの間の摩擦力及び突起１４５Ｃと壁１０３ａとの間の摩擦力を加圧ばね１４１の加圧力よりも小さくする必要がある。
【００３７】
本実施形態によれば、Ｘ軸方向の嵌合がたの影響を排除することができ、さらに高精度の位置検出を行うことができる。
【００３８】
（変形形態）
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
（１）各実施形態において、位置検出装置は、回転運動を行う可動部材の変位を検出する例を示したが、これに限らず、直進運動を行う可動部材の変位を検出してもよい。
【００３９】
（２）各実施形態において、位置検出装置をカメラのレンズに適用した例を示したが、これに限らず、磁気を検出することにより微細な変位を検出する場合であれば、他の装置に用いてもよい。
【００４０】
（３）各実施形態において、磁気検出部材は、ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７を有する例を示したが、これに限らず、例えば、検出素子本体と素子保持部材が一体となっていてもよい。
【００４１】
（４）各実施形態において、ＭＲ素子１４７は、磁気スケール１３０に対して直接接触する例を示したが、これに限らず、例えば、両者の間にスペーサフィルム等を設けてもよい。
【００４２】
（５）各実施形態において、変位検出装置として、磁気スケール１３０に磁気により目盛られたスケールを検出するＭＲ素子１４７を用いる例を示したが、これに限らず、例えば、反射板により目盛を設けたスケールに検出光を投受光し、反射光を検出するフォトリフレクタを用いてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、請求項１の発明によれば、検出部材のＺ軸回りの回転方向の位置を規制する第１の規制部を検出部材、スケール部材、及び可動部材の少なくとも１つに設けたので、途中に別の部材が介在していない。したがって、Ｚ軸回りの回転方向の位置を精度よく規制でき、検出部材の出力信号が弱くなることがなく、安定して大きな出力信号を得ることができる。
【００４４】
請求項２の発明によれば、検出部材は、Ｚ軸に沿った方向であって、検出部材が加圧部材によってスケールに加圧される向きの位置と、Ｘ軸回りの回転方向の位置とを規制する第２の規制部をスケール部材と接触する位置に設けたので、検出部材を他の部材が拘束することがなく、検出部材が確実にスケール部材に密着することができ、安定して大きな出力信号を得ることができる。
【００４５】
請求項３の発明によれば、検出部材は、Ｘ軸方向の位置を規制する第３の規制部を検出部材の固定部材と接触する位置に設けたので、検出部材の検出方向の位置が精度よく規制され、高精度の測定が行える。
【００４６】
請求項４の発明によれば、検出部材のＹ軸方向の位置は、第１の規制部によって規制され、Ｙ軸回りの回転方向の位置は、第２の規制部によって規制されるので、新たな位置規制部を設けなくとも、検出部材の位置を拘束することができる。
【００４７】
請求項５の発明によれば、検出部材は、検出素子本体と、第１〜第４の規制部の少なくとも１つを有する素子保持部材とを有するので、位置規制部の形状を装置に応じて最適な形状にすることができる。
【００４８】
請求項６の発明によれば、検出部材（１４５，１４７）を固定部材（１３０）に対してＸ軸方向に加圧する第２の加圧部材（１５０）を備えるので、検出部材と固定部材との間の嵌合がたの影響を受けることなく、より高精度に位置検出を行うことができる。
【００４９】
請求項７の発明によれば、スケール部材（１３０）は、磁気によりスケールが形成されており、検出部材（１４５，１４７）は、スケール部材の磁気を検出するので、安価で確実に目盛の検出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による変位検出装置の第１実施形態の主要部を示す正面図である。
【図２】第１実施形態における変位検出装置をＹＺ平面で切断した断面図である。
【図３】変位検出装置をホルダ１４５の中心付近で切断した断面図である。
【図４】ホルダ１４５及びＭＲ素子１４７を磁気スケール１３０と接触する側から見た図である。
【図５】従来の変位検出装置を有するレンズ鏡筒１を示す図である。
【図６】加圧ばね４１、ＭＲ素子４７及び磁気部材２１の拡大側面図である。
【図７】従来の変位検出装置を有するレンズ鏡筒１’を示す図である。
【図８】加圧ばね２４１及びホルダ２４５付近の拡大側面図である。
【図９】第２実施形態におけるホルダ１４５及びＭＲ素子１４７の周辺を磁気スケール１３０と接触する側から見た図である。
【符号の説明】
１０３固定筒
１０５回転筒
１３０磁気スケール
１４１加圧ばね
１４５ホルダ
１４７ＭＲ素子
１５０第２の加圧ばね

Claims

固定部材と、
前記固定部材に対して相対的に変位可能に設けられた可動部材と、
前記可動部材に固定され、前記可動部材と一体的に変位可能なスケール部材と、
前記固定部材に支持されるとともに、前記スケール部材と接触し前記スケール部材の目盛を検出する検出部材と、
前記検出部材を前記スケール部材に対して加圧する加圧部材と、
を備える変位検出装置において、
前記検出部材と前記スケール部材との相対的な変位方向をＸ軸とし、
前記検出部における前記スケール部材の移動面に対して平行で、前記Ｘ軸に対して直交する方向をＹ軸とし、
前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸に直交する方向をＺ軸としたときに、
前記検出部材の前記Ｚ軸回りの回転方向の位置を規制する第１の規制部を前記検出部材、前記スケール部材、及び前記可動部材の少なくとも１つに設け、
前記検出部材を前記固定部材に対して前記Ｘ軸方向に加圧する第２の加圧部材を備えたこと、を特徴とする変位検出装置。
請求項１に記載の変位検出装置において、
前記検出部材は、前記Ｚ軸に沿った方向であって、前記検出部材が前記加圧部材によって前記スケール部材に加圧される向きの位置と、前記Ｘ軸回りの回転方向の位置とを規制する第２の規制部を前記スケール部材と接触する位置に設けたこと、
を特徴とする変位検出装置。
請求項１又は請求項２に記載の変位検出装置において、
前記検出部材は、前記Ｘ軸方向の位置を規制する第３の規制部を前記検出部材の前記固定部材と接触する位置に設けたこと、
を特徴とする変位検出装置。
請求項２又は請求項３に記載の変位検出装置において、
前記検出部材の前記Ｙ軸方向の位置は、前記第１の規制部によって規制され、前記Ｙ軸回りの回転方向の位置は、前記第２の規制部によって規制されること、
を特徴とする変位検出装置。
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、
前記検出部材は、検出素子本体と、前記第１〜第４の規制部の少なくとも１つを有する素子保持部材とを有すること、
を特徴とする変位検出装置。
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の変位検出装置において、
前記スケール部材は、磁気によりスケールが形成されており、
前記検出部材は、前記スケール部材の磁気を検出すること、
を特徴とする変位検出装置。