JP3484915B2 - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
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- JP3484915B2 JP3484915B2 JP08101497A JP8101497A JP3484915B2 JP 3484915 B2 JP3484915 B2 JP 3484915B2 JP 08101497 A JP08101497 A JP 08101497A JP 8101497 A JP8101497 A JP 8101497A JP 3484915 B2 JP3484915 B2 JP 3484915B2
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は工作機械、産業機械
等における、直線の位置検出（相対位置検出）に使用さ
れる位置検出器、デジタルスケール、ゲージ、エンコー
ダ等の位置検出装置に関するものである。
等における、直線の位置検出（相対位置検出）に使用さ
れる位置検出器、デジタルスケール、ゲージ、エンコー
ダ等の位置検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁電変換素子（以下、「センサ」
という）を磁気センサとして利用するリニアエンコーダ
において、センサの磁気検出面は、金属薄膜および薄い
保護材とで形成されている。
という）を磁気センサとして利用するリニアエンコーダ
において、センサの磁気検出面は、金属薄膜および薄い
保護材とで形成されている。
【０００３】よって、一般に位置信号を磁気で記録した
磁気記録媒体と、センサを接触させて使用することがで
きない。したがって、磁気記録媒体とセンサは、一定の
隙間（以下、「クリアランス」という）を保ったまま相
対移動するように配置されてエンコーダを構成する。
磁気記録媒体と、センサを接触させて使用することがで
きない。したがって、磁気記録媒体とセンサは、一定の
隙間（以下、「クリアランス」という）を保ったまま相
対移動するように配置されてエンコーダを構成する。
【０００４】また、棒状の磁気記録媒体とセンサによっ
て構成される磁気式リニアエンコーダでは、センサは軸
受を有する部材に、はめあいや接着等で接合または板ば
ね等で固定され、磁気記録媒体は軸受を通して挿入され
る。磁気記録媒体とセンサの隙間は、軸受によって一定
に保たれる。
て構成される磁気式リニアエンコーダでは、センサは軸
受を有する部材に、はめあいや接着等で接合または板ば
ね等で固定され、磁気記録媒体は軸受を通して挿入され
る。磁気記録媒体とセンサの隙間は、軸受によって一定
に保たれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】実際の使用環境では、
クリアランス内には様々な異物が入り込む可能性がある
ために、図１２に示すように、センサ検出面側に別の保
護カバーを接着等により取付けたり、センサの移動方向
両端にゴムやフェルト等のごみよけを取付けているた
め、コストアップとなるという問題があった。
クリアランス内には様々な異物が入り込む可能性がある
ために、図１２に示すように、センサ検出面側に別の保
護カバーを接着等により取付けたり、センサの移動方向
両端にゴムやフェルト等のごみよけを取付けているた
め、コストアップとなるという問題があった。
【０００６】次に、磁気記録媒体とセンサは、一定のク
リアランスを保ったまま相対移動するように配置されて
エンコーダを構成するため、クリアランスを簡単に精度
よく保つことが重要である。
リアランスを保ったまま相対移動するように配置されて
エンコーダを構成するため、クリアランスを簡単に精度
よく保つことが重要である。
【０００７】また、工作機械等に取付ける場合は、機械
に取付ける部分とセンサ保持部が一体であると、取付け
時のずれが直接センサ保持部に負荷を与えるため、誤差
の要因となる。よって、図１３に示すように、板ばね等
を用い若干の取付けのための自在性を持たせるが、やは
り、取付けによるずれや磁気記録媒体の曲がりなどによ
り、誤差が発生するという問題があった。
に取付ける部分とセンサ保持部が一体であると、取付け
時のずれが直接センサ保持部に負荷を与えるため、誤差
の要因となる。よって、図１３に示すように、板ばね等
を用い若干の取付けのための自在性を持たせるが、やは
り、取付けによるずれや磁気記録媒体の曲がりなどによ
り、誤差が発生するという問題があった。
【０００８】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであり、センサと磁気記録媒体のクリアランスを一
定に保ち、かつセンサ表面を保護し、さらにセンサの姿
勢変化に対応して誤差を少なくすることができる位置検
出装置を提供することを目的とする。
ものであり、センサと磁気記録媒体のクリアランスを一
定に保ち、かつセンサ表面を保護し、さらにセンサの姿
勢変化に対応して誤差を少なくすることができる位置検
出装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の位置検出装置
は、その長手方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して記録する棒
状の磁気記録媒体と、磁気記録媒体に磁化された磁界を
関知し電気信号に変換するセンサを固定するとともに、
磁気記録媒体に摺動する軸受部を有するセンサ保持部と
を有する位置検出装置において、センサの検出部はセン
サ保持部の軸受部に対応する位置に固定され、軸受部の
摺動方向の長さの範囲には、センサの検出部が包含され
るものである。
は、その長手方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して記録する棒
状の磁気記録媒体と、磁気記録媒体に磁化された磁界を
関知し電気信号に変換するセンサを固定するとともに、
磁気記録媒体に摺動する軸受部を有するセンサ保持部と
を有する位置検出装置において、センサの検出部はセン
サ保持部の軸受部に対応する位置に固定され、軸受部の
摺動方向の長さの範囲には、センサの検出部が包含され
るものである。
【００１０】また、本発明の位置検出装置は、その長手
方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して記録する棒状の磁気記録
媒体と、磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信
号に変換するセンサを固定するとともに、磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、センサ保持部が、摺動方向に対し垂
直な平面からなる１つの端面を有し、この端面を、セン
サ検出部を略中心として回転可能な回転支持部の平面部
に、圧接するものである。
方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して記録する棒状の磁気記録
媒体と、磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信
号に変換するセンサを固定するとともに、磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、センサ保持部が、摺動方向に対し垂
直な平面からなる１つの端面を有し、この端面を、セン
サ検出部を略中心として回転可能な回転支持部の平面部
に、圧接するものである。
【００１１】また、本発明の位置検出装置は、その長手
方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して記録する棒状の磁気記録
媒体と、磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信
号に変換するセンサを固定するとともに、磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、センサ保持部が、摺動方向に対し垂
直な平面からなる２つの端面を有し、これらの端面が、
センサ検出部を略中心として回転可能な２つの回転支持
部のそれぞれ平面部により、圧接挟持されるものであ
る。
方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して記録する棒状の磁気記録
媒体と、磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信
号に変換するセンサを固定するとともに、磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、センサ保持部が、摺動方向に対し垂
直な平面からなる２つの端面を有し、これらの端面が、
センサ検出部を略中心として回転可能な２つの回転支持
部のそれぞれ平面部により、圧接挟持されるものであ
る。
【００１２】また、本発明の位置検出装置は、その長手
方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して記録する棒状の磁気記録
媒体と、磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信
号に変換するセンサを固定するとともに、磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、センサ保持部は、センサ検出部を略
中心とする球面からなる１つの端面を有し、この端面
を、摺動方向に対し垂直に移動可能な自在支持部の皿面
に、圧接するものである。
方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して記録する棒状の磁気記録
媒体と、磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信
号に変換するセンサを固定するとともに、磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、センサ保持部は、センサ検出部を略
中心とする球面からなる１つの端面を有し、この端面
を、摺動方向に対し垂直に移動可能な自在支持部の皿面
に、圧接するものである。
【００１３】また、本発明の位置検出装置は、その長手
方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して記録する棒状の磁気記録
媒体と、磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信
号に変換するセンサを固定するとともに、磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、センサ保持部は、センサ検出部を略
中心とする球面からなる２つの端面を有し、これらの端
面が、摺動方向に対し垂直に移動可能な自在支持部と押
圧部材のそれぞれの皿面により、圧接挟持されるもので
ある。
方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して記録する棒状の磁気記録
媒体と、磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信
号に変換するセンサを固定するとともに、磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、センサ保持部は、センサ検出部を略
中心とする球面からなる２つの端面を有し、これらの端
面が、摺動方向に対し垂直に移動可能な自在支持部と押
圧部材のそれぞれの皿面により、圧接挟持されるもので
ある。
【００１４】また、本発明の位置検出装置は、磁気記録
媒体が、摺動方向に垂直な断面の全周に磁気記録をする
上記構成の位置検出装置である。
媒体が、摺動方向に垂直な断面の全周に磁気記録をする
上記構成の位置検出装置である。
【００１５】センサを取付けるセンサ保持部において、
センサ検出面を基準とした取付け面を設け、この面に対
してセンサと磁気記録媒体の隙間が所定の値になる位置
に磁気記録媒体を通す穴を設け軸受部とすれば、この穴
に磁気記録媒体を通すことで、リニアエンコーダを構成
することができる。センサは軸受部を有するセンサ保持
部に、はめあいや接着等で接合される。
センサ検出面を基準とした取付け面を設け、この面に対
してセンサと磁気記録媒体の隙間が所定の値になる位置
に磁気記録媒体を通す穴を設け軸受部とすれば、この穴
に磁気記録媒体を通すことで、リニアエンコーダを構成
することができる。センサは軸受部を有するセンサ保持
部に、はめあいや接着等で接合される。
【００１６】本発明では、ここで磁気記録媒体を通す穴
を少なくともセンサの検出部の範囲に設け、かつ穴の外
周がセンサ検出面を基準とした取付け面まで達しないよ
うにすれば、センサ取付け部と軸受部とセンサ検出部が
一体構成されたセンサ保持部とすることができる。
を少なくともセンサの検出部の範囲に設け、かつ穴の外
周がセンサ検出面を基準とした取付け面まで達しないよ
うにすれば、センサ取付け部と軸受部とセンサ検出部が
一体構成されたセンサ保持部とすることができる。
【００１７】例えば、再生波長が２００μｍのセンサで
磁気記録媒体の直径がΦ２０００μｍの場合、設定する
クリアランスは約８０μｍであり、その許容範囲は２０
〜１２０μｍ程度である。
磁気記録媒体の直径がΦ２０００μｍの場合、設定する
クリアランスは約８０μｍであり、その許容範囲は２０
〜１２０μｍ程度である。
【００１８】ここで、センサ検出面を基準とした取付け
面から１０８０μｍの位置を中心とした半径１００５μ
ｍの穴を軸受とする保持部を製作すれば、７５〜８５μ
ｍのクリアランスが保たれ、このクリアランス量の保護
部材が一体形成されたことになる。
面から１０８０μｍの位置を中心とした半径１００５μ
ｍの穴を軸受とする保持部を製作すれば、７５〜８５μ
ｍのクリアランスが保たれ、このクリアランス量の保護
部材が一体形成されたことになる。
【００１９】また、軸受部となる長さは、センサ検出部
以上あればよく、センサの検出方向長さ以上形成すれ
ば、事実上センサの検出側の面で、磁気記録媒体に対す
る部分は保護されるので、さらに信頼性が向上する。
以上あればよく、センサの検出方向長さ以上形成すれ
ば、事実上センサの検出側の面で、磁気記録媒体に対す
る部分は保護されるので、さらに信頼性が向上する。
【００２０】次に、このセンサ保持部の端面を検出方向
に対し垂直に形成し、この保持部の端面と平行に接する
面とセンサ検出部略中心で回転可能となるための球面を
有する回転支持部と、回転支持部の球面部と接する皿面
を有し回転支持部を介してセンサ保持部を被相対移動部
と連結するための連結部が、ばね力により密着させれ
ば、センサ保持部の姿勢が傾いても、回転支持部を介し
てセンサ検出部中心での回転となるので、誤差は発生し
ない。
に対し垂直に形成し、この保持部の端面と平行に接する
面とセンサ検出部略中心で回転可能となるための球面を
有する回転支持部と、回転支持部の球面部と接する皿面
を有し回転支持部を介してセンサ保持部を被相対移動部
と連結するための連結部が、ばね力により密着させれ
ば、センサ保持部の姿勢が傾いても、回転支持部を介し
てセンサ検出部中心での回転となるので、誤差は発生し
ない。
【００２１】ばねは、上記構成が密着するように力を働
かせれば、圧縮タイプでも引っ張りタイプでもよい。セ
ンサ保持部および連結部が取付け誤差等で検出方向に対
する直角方向への移動はセンサ保持部端面と回転支持部
平行面が滑ることで許容される。連結部は、最終的に連
結部取付け穴等を用いて被相対移動部に固定される。
かせれば、圧縮タイプでも引っ張りタイプでもよい。セ
ンサ保持部および連結部が取付け誤差等で検出方向に対
する直角方向への移動はセンサ保持部端面と回転支持部
平行面が滑ることで許容される。連結部は、最終的に連
結部取付け穴等を用いて被相対移動部に固定される。
【００２２】また、他の構成として、センサ保持部の端
面をセンサ検出部略中心を中心とする球面として一体形
成し、この球面と接する皿面と検出方向に対し垂直とな
る面を有する自在支持部、自在支持部の平面部と接する
平面を有し自在支持部を介してセンサ保持部を被相対移
動部と連結するための連結部が、ばね力により密着され
ている構成でも同様の効果が得られる。センサ保持部の
姿勢が傾いた場合は、端面の球面と自在支持部の皿面と
が接しながらセンサ保持部が回転する。
面をセンサ検出部略中心を中心とする球面として一体形
成し、この球面と接する皿面と検出方向に対し垂直とな
る面を有する自在支持部、自在支持部の平面部と接する
平面を有し自在支持部を介してセンサ保持部を被相対移
動部と連結するための連結部が、ばね力により密着され
ている構成でも同様の効果が得られる。センサ保持部の
姿勢が傾いた場合は、端面の球面と自在支持部の皿面と
が接しながらセンサ保持部が回転する。
【００２３】自在支持部は、ばねにより押圧されるのみ
で固定されていないので、検出方向に対し直角方向へ移
動が可能なため、連結部の取付け許容範囲が大きく、し
かも誤差にならない。ばねは、上記構成が密着するよう
に力を働かせれば、圧縮タイプでも引っ張りタイプでも
よい。
で固定されていないので、検出方向に対し直角方向へ移
動が可能なため、連結部の取付け許容範囲が大きく、し
かも誤差にならない。ばねは、上記構成が密着するよう
に力を働かせれば、圧縮タイプでも引っ張りタイプでも
よい。
【００２４】センサ保持部は、センサ取付け部と軸受部
とセンサ検出面の保護部と姿勢変化に対応するための機
能を一体化して形成されているものである。
とセンサ検出面の保護部と姿勢変化に対応するための機
能を一体化して形成されているものである。
【００２５】材質としては磁気記録媒体を摺動するた
め、非磁性の材料を使用しなければならない。材質は、
例えば樹脂を用いてもよいし、非磁性金属を用いてもよ
い。樹脂材料は、特に制限がないが、それ自体潤滑性に
優れたもの、例えばポリアセタール、ポリアミド等が好
ましい。
め、非磁性の材料を使用しなければならない。材質は、
例えば樹脂を用いてもよいし、非磁性金属を用いてもよ
い。樹脂材料は、特に制限がないが、それ自体潤滑性に
優れたもの、例えばポリアセタール、ポリアミド等が好
ましい。
【００２６】非磁性金属では、ベリリウム銅やオーステ
ナイト系等の材料が使用でき、硬度が必要な場合は、熱
硬化処理を施してもよい。また、セラミック系の材料で
もよい。
ナイト系等の材料が使用でき、硬度が必要な場合は、熱
硬化処理を施してもよい。また、セラミック系の材料で
もよい。
【００２７】自在支持部等の材料も上記非磁性の材料が
望ましいが、例えば、磁気記録媒体の直径に対して自在
支持部等の内径が十分大きくなっていれば、自在支持部
等は磁気記録媒体に接触しないので、このような場合
は、非磁性材料にこだわらなくてもよいことになる。
望ましいが、例えば、磁気記録媒体の直径に対して自在
支持部等の内径が十分大きくなっていれば、自在支持部
等は磁気記録媒体に接触しないので、このような場合
は、非磁性材料にこだわらなくてもよいことになる。
【００２８】本発明における磁気式リニアエンコーダ用
のセンサ支持構造は、センサ取付け部と軸受部とセンサ
検出部の保護部を一体化した保持部を形成し、かつ姿勢
変化に対して誤差のない構成が達成できる。
のセンサ支持構造は、センサ取付け部と軸受部とセンサ
検出部の保護部を一体化した保持部を形成し、かつ姿勢
変化に対して誤差のない構成が達成できる。
【００２９】センサ取付け部と軸受状支持部が一体構成
されていることは、あらかじめ軸受部とセンサ取付け部
とのクリアランスを希望の値に、かつ均一に設定するこ
とができる。このことにより、この保持部にセンサを装
着し、磁気記録媒体を軸受部に通すとき、自動的に両者
の間に微小で均一な隙間を確保することができ、かつ、
この隙間は保持部で構成されているので、隙間に異物が
混入してセンサ検出部を壊すことがない。
されていることは、あらかじめ軸受部とセンサ取付け部
とのクリアランスを希望の値に、かつ均一に設定するこ
とができる。このことにより、この保持部にセンサを装
着し、磁気記録媒体を軸受部に通すとき、自動的に両者
の間に微小で均一な隙間を確保することができ、かつ、
この隙間は保持部で構成されているので、隙間に異物が
混入してセンサ検出部を壊すことがない。
【００３０】さらに、リニアエンコーダの取付け誤差・
振動・磁気記録媒体の曲がり等、保持部の姿勢変化が発
生する要因はいくつかあるが、センサ検出中心を回転中
心にすることが可能なため、姿勢変化による誤差は発生
しない。
振動・磁気記録媒体の曲がり等、保持部の姿勢変化が発
生する要因はいくつかあるが、センサ検出中心を回転中
心にすることが可能なため、姿勢変化による誤差は発生
しない。
【００３１】このように、本発明で構成された磁気式リ
ニアエンコーダは、組立性向上・耐環境性向上・高精度
化・取付け性向上が容易に、しかも最小の部品点数で達
成できるものである。
ニアエンコーダは、組立性向上・耐環境性向上・高精度
化・取付け性向上が容易に、しかも最小の部品点数で達
成できるものである。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る位置検出装置
の実施例について図１〜図１１を参照しながら説明す
る。
の実施例について図１〜図１１を参照しながら説明す
る。
【００３３】実施例１
図１，２，および３は、センサ取付け面と軸受部とセン
サ検出部の保護が一体形成され、磁気記録媒体と組み合
わされている例を示す説明図である。図１において、磁
気記録媒体１は、長手方向に対し、磁界Ｎ極・磁界Ｓ極
がＮ−Ｓ，Ｓ−Ｎ，Ｎ−Ｓ，Ｓ−Ｎのように記録されて
いる棒状（断面は、円、四角などの形状からなる）の磁
気記録媒体である。
サ検出部の保護が一体形成され、磁気記録媒体と組み合
わされている例を示す説明図である。図１において、磁
気記録媒体１は、長手方向に対し、磁界Ｎ極・磁界Ｓ極
がＮ−Ｓ，Ｓ−Ｎ，Ｎ−Ｓ，Ｓ−Ｎのように記録されて
いる棒状（断面は、円、四角などの形状からなる）の磁
気記録媒体である。
【００３４】また、センサ２は、磁電変換素子（例え
ば、磁気抵抗素子、磁気インピーダンス素子、ホール素
子などからなる）で磁界感知素子であり、磁気記録媒体
１に磁化された磁界を関知し、この関知した磁界に関す
る情報を電気信号に変換するものである。
ば、磁気抵抗素子、磁気インピーダンス素子、ホール素
子などからなる）で磁界感知素子であり、磁気記録媒体
１に磁化された磁界を関知し、この関知した磁界に関す
る情報を電気信号に変換するものである。
【００３５】センサ保持部３は、図１からもわかるよう
に、センサ２を固定するとともに、磁気記録媒体１に摺
動する軸受部２１を有している。
に、センサ２を固定するとともに、磁気記録媒体１に摺
動する軸受部２１を有している。
【００３６】ここで、センサ２の検出部９はセンサ保持
部の軸受部２１に対応する位置に固定されている。すな
わち、センサ２を取付けるセンサ保持部３において、セ
ンサ検出面を基準とした取付け面を設け、この面に対し
てセンサ２と磁気記録媒体１の隙間が所定の値になる位
置に磁気記録媒体１を通す穴を設け軸受部とすれば、こ
の穴に磁気記録媒体１を通すことで、リニアエンコーダ
を構成することができる。
部の軸受部２１に対応する位置に固定されている。すな
わち、センサ２を取付けるセンサ保持部３において、セ
ンサ検出面を基準とした取付け面を設け、この面に対し
てセンサ２と磁気記録媒体１の隙間が所定の値になる位
置に磁気記録媒体１を通す穴を設け軸受部とすれば、こ
の穴に磁気記録媒体１を通すことで、リニアエンコーダ
を構成することができる。
【００３７】図１からわかるように、軸受部２１は、セ
ンサ検出部９と同じ幅に設定されている。すなわち、図
中のＷ１はセンサ検出部９の幅を示し、Ｗは軸受部２１
の幅を示すものである。ここで、Ｗ１≒Ｗとなってい
る。
ンサ検出部９と同じ幅に設定されている。すなわち、図
中のＷ１はセンサ検出部９の幅を示し、Ｗは軸受部２１
の幅を示すものである。ここで、Ｗ１≒Ｗとなってい
る。
【００３８】このように、図１においては、センサ２と
磁気記録媒体１のクリアランスを規制するのに、必要最
小限の長さで形成した軸受部２１を示している。ここで
は、軸受部２１の長さが短いので、軸受部の穴の加工が
容易であるという利点がある。
磁気記録媒体１のクリアランスを規制するのに、必要最
小限の長さで形成した軸受部２１を示している。ここで
は、軸受部２１の長さが短いので、軸受部の穴の加工が
容易であるという利点がある。
【００３９】なお、センサ２は、センサ保持部３に、は
めあいや接着等で接合または板ばね等で固定される。
めあいや接着等で接合または板ばね等で固定される。
【００４０】図２は、軸受部２１がセンサ幅と同じ幅に
設定された例を示すものである。図中のＷ２はセンサ２
の幅を示すものである。ここでは、Ｗ２≒Ｗとなってい
る。
設定された例を示すものである。図中のＷ２はセンサ２
の幅を示すものである。ここでは、Ｗ２≒Ｗとなってい
る。
【００４１】図３は、軸受部２１がセンサ幅より大きな
幅に設定された例を示すものである。ここでは、Ｗ＞Ｗ
２となっている。
幅に設定された例を示すものである。ここでは、Ｗ＞Ｗ
２となっている。
【００４２】以上の図１，２，および３からわかるよう
に、軸受部２１の摺動方向の長さの範囲には、センサ２
の検出部９が包含されている。図２および３の例では、
軸受部２１の長さがセンサ２の幅以上あるので、センサ
２と磁気記録媒体１のクリアランスを安定して規制でき
るばかりでなく、センサ２全体を機械的衝撃などから十
分に保護することができるという効果を有する。
に、軸受部２１の摺動方向の長さの範囲には、センサ２
の検出部９が包含されている。図２および３の例では、
軸受部２１の長さがセンサ２の幅以上あるので、センサ
２と磁気記録媒体１のクリアランスを安定して規制でき
るばかりでなく、センサ２全体を機械的衝撃などから十
分に保護することができるという効果を有する。
【００４３】図１，２，および３によって示されている
ように、センサ検出面と磁気記録媒体１の間には、必ず
センサ保持部の一部が存在し、保護材の役割をしてい
る。図中のｘ１は、その厚みを示したものである。
ように、センサ検出面と磁気記録媒体１の間には、必ず
センサ保持部の一部が存在し、保護材の役割をしてい
る。図中のｘ１は、その厚みを示したものである。
【００４４】以上のことから本実施例によれば、センサ
２の真下の軸受部において、センサ２と磁気記録媒体１
のクリアランスが規制されているので、安定した、かつ
確実なクリアランスを確保することができる。また、セ
ンサ保持部３を一体で形成できるので、部品点数を減少
させることができる。また、センサ検出部９が外にさら
されていないので、異物などのごみがセンサ検出部９の
表面に付着するといった事態を防止することができる。
なお、軸受部２１の端面は面取りをすることで、摺動性
はさらに良くなる。
２の真下の軸受部において、センサ２と磁気記録媒体１
のクリアランスが規制されているので、安定した、かつ
確実なクリアランスを確保することができる。また、セ
ンサ保持部３を一体で形成できるので、部品点数を減少
させることができる。また、センサ検出部９が外にさら
されていないので、異物などのごみがセンサ検出部９の
表面に付着するといった事態を防止することができる。
なお、軸受部２１の端面は面取りをすることで、摺動性
はさらに良くなる。
【００４５】実施例２
図４，５，６は、センサ保持部３を実際に被測定物の移
動部に連結するための、本発明による構成の説明図であ
る。
動部に連結するための、本発明による構成の説明図であ
る。
【００４６】図４において、磁気記録媒体１は、それ自
身では固定できないため、固定するための部材（スケー
ルブラケット）に取付けなければならない。図４におい
て磁気記録媒体１を通す穴とブラケット取付け穴と磁気
記録媒体１を押し付け固定するネジ部を有するスケール
ブラケットを用いる場合で説明する。
身では固定できないため、固定するための部材（スケー
ルブラケット）に取付けなければならない。図４におい
て磁気記録媒体１を通す穴とブラケット取付け穴と磁気
記録媒体１を押し付け固定するネジ部を有するスケール
ブラケットを用いる場合で説明する。
【００４７】スケールブラケットに磁気記録媒体１を通
し、押しネジで押し付ければ磁気記録媒体１は簡単に固
定できる。また、補助部材（スリーブ）を介して押し付
ければ、より安定に取付けられる。スケールブラケット
はブラケット取付け穴を用いて、ネジ・ボルト等で固定
される。この固定は、磁気記録媒体１をスケールブラケ
ットに取り付けてからでもよいし、先に固定した後から
磁気記録媒体１を固定してもよい。また、磁気記録媒体
１を張力をかけながら固定してもよい。いずれにせよ、
検出方向に対して動かない方法ならば、その方法は限定
されるものではない。
し、押しネジで押し付ければ磁気記録媒体１は簡単に固
定できる。また、補助部材（スリーブ）を介して押し付
ければ、より安定に取付けられる。スケールブラケット
はブラケット取付け穴を用いて、ネジ・ボルト等で固定
される。この固定は、磁気記録媒体１をスケールブラケ
ットに取り付けてからでもよいし、先に固定した後から
磁気記録媒体１を固定してもよい。また、磁気記録媒体
１を張力をかけながら固定してもよい。いずれにせよ、
検出方向に対して動かない方法ならば、その方法は限定
されるものではない。
【００４８】センサ保持部３においても、いかなる自在
性もなく、直接取付けると検出時の摺動抵抗が大きくな
り、軸受部２１の摩耗も早く、良好な位置検出はできな
い。よって、センサ保持部３を自在性を持たせて支持す
る必要がある。
性もなく、直接取付けると検出時の摺動抵抗が大きくな
り、軸受部２１の摩耗も早く、良好な位置検出はできな
い。よって、センサ保持部３を自在性を持たせて支持す
る必要がある。
【００４９】図４では、センサ保持部３は、摺動方向に
対し垂直な平面からなる１つの端面１８を有し、この端
面１８を、センサ検出部９を略中心として回転可能な回
転支持部４の平面部１９に、圧接している。
対し垂直な平面からなる１つの端面１８を有し、この端
面１８を、センサ検出部９を略中心として回転可能な回
転支持部４の平面部１９に、圧接している。
【００５０】すなわち、このセンサ保持部３の端面を検
出方向に対し垂直に形成し、このセンサ保持部３の端面
と平行に接する面とセンサ検出部９略中心で回転可能と
なるための球面を有する回転支持部４と、回転支持部４
の球面１７と接する皿面１６を有し回転支持部４を介し
てセンサ保持部３を被相対移動部と連結するための連結
部５が、ばね６の力により密着されている。
出方向に対し垂直に形成し、このセンサ保持部３の端面
と平行に接する面とセンサ検出部９略中心で回転可能と
なるための球面を有する回転支持部４と、回転支持部４
の球面１７と接する皿面１６を有し回転支持部４を介し
てセンサ保持部３を被相対移動部と連結するための連結
部５が、ばね６の力により密着されている。
【００５１】ばね６は、センサ保持部３の端面の回転支
持部４と接しない面を押しているが、図に示すようにこ
の面に凸部を設けて、ばねが簡単にとりつくようにして
もよい。また、連結部５は、最終的に連結部取付け穴等
を用いて被相対移動部に固定される。
持部４と接しない面を押しているが、図に示すようにこ
の面に凸部を設けて、ばねが簡単にとりつくようにして
もよい。また、連結部５は、最終的に連結部取付け穴等
を用いて被相対移動部に固定される。
【００５２】この構成では、例えばセンサ保持部３の姿
勢が傾いても、センサ検出部９中心での回転となるの
で、誤差は発生しない。また、センサ保持部３および連
結部の取付け誤差等による検出方向に対する直角方向へ
の移動は、センサ保持部端面と回転支持部平面部が滑る
ことで許容される。よって、本発明による構成は、セン
サ２のいかなる姿勢変化にも対応でき、しかも誤差とな
らない。
勢が傾いても、センサ検出部９中心での回転となるの
で、誤差は発生しない。また、センサ保持部３および連
結部の取付け誤差等による検出方向に対する直角方向へ
の移動は、センサ保持部端面と回転支持部平面部が滑る
ことで許容される。よって、本発明による構成は、セン
サ２のいかなる姿勢変化にも対応でき、しかも誤差とな
らない。
【００５３】なお、本実施例においても、センサの検出
部はセンサ保持部の軸受部に対応する位置に固定され、
また、軸受部の摺動方向の長さの範囲には、センサの検
出部が包含されていることについては、実施例１と同様
であり極めて有効であるが、これらは必須要件ではな
く、軸受部の形状を問わず、本実施例は上記の効果を奏
するものである。
部はセンサ保持部の軸受部に対応する位置に固定され、
また、軸受部の摺動方向の長さの範囲には、センサの検
出部が包含されていることについては、実施例１と同様
であり極めて有効であるが、これらは必須要件ではな
く、軸受部の形状を問わず、本実施例は上記の効果を奏
するものである。
【００５４】図５は、磁気記録媒体１が、摺動方向に垂
直な断面の全周に磁気記録をした例を示したものであ
る。すなわち、図５は、センサ２の取付け位置を変えた
ものである。磁気記録を磁気記録媒体１の全周に行え
ば、円周上のどの位置に配置されてもよい。このため、
センサ２の設定位置を自由に選べるので、組立が容易に
なるという効果がある。
直な断面の全周に磁気記録をした例を示したものであ
る。すなわち、図５は、センサ２の取付け位置を変えた
ものである。磁気記録を磁気記録媒体１の全周に行え
ば、円周上のどの位置に配置されてもよい。このため、
センサ２の設定位置を自由に選べるので、組立が容易に
なるという効果がある。
【００５５】図６は、センサ保持部３が、摺動方向に対
し垂直な平面からなる２つの端面を有し、これらの端面
が、センサ検出部を略中心として回転可能な２つの回転
支持部４，４のそれぞれ平面部１９，１９により、圧接
挟持される例を示したものである。
し垂直な平面からなる２つの端面を有し、これらの端面
が、センサ検出部を略中心として回転可能な２つの回転
支持部４，４のそれぞれ平面部１９，１９により、圧接
挟持される例を示したものである。
【００５６】すなわち、図６においては、センサ保持部
３の端面に回転支持部４，４を設けたものである。この
ような構成を採ることにより、センサ保持部３の回転運
動がよりスムーズになり、安定性がより向上するという
効果がある。
３の端面に回転支持部４，４を設けたものである。この
ような構成を採ることにより、センサ保持部３の回転運
動がよりスムーズになり、安定性がより向上するという
効果がある。
【００５７】実施例３
図７，８，９，および１０は、実施例２に対して構成を
変えた例の説明図である。図７は、センサ保持部３が、
センサ検出部を略中心とする球面１７からなる１つの端
面を有し、この端面１７を、摺動方向に対し垂直に移動
可能な自在支持部３１の皿面１６に、圧接する例を示し
たものである。
変えた例の説明図である。図７は、センサ保持部３が、
センサ検出部を略中心とする球面１７からなる１つの端
面を有し、この端面１７を、摺動方向に対し垂直に移動
可能な自在支持部３１の皿面１６に、圧接する例を示し
たものである。
【００５８】すなわち、図７では、センサ保持部３の端
面をセンサ検出部９略中心を中心とする球面１７を一体
で形成し、この球面１７と接する皿面１６と検出方向に
対し垂直となる面を有する自在支持部３１と、自在支持
部３１の平面部３２と接する平面を有し自在支持部を介
してセンサ保持部３を被相対移動部と連結するための連
結部５が、ばね６の力により密着させているものであ
る。
面をセンサ検出部９略中心を中心とする球面１７を一体
で形成し、この球面１７と接する皿面１６と検出方向に
対し垂直となる面を有する自在支持部３１と、自在支持
部３１の平面部３２と接する平面を有し自在支持部を介
してセンサ保持部３を被相対移動部と連結するための連
結部５が、ばね６の力により密着させているものであ
る。
【００５９】図８に示すように、センサ保持部３の姿勢
が傾いた場合は、端面の球面と自在支持部３１の皿面と
が接しながらセンサ保持部３が回転する。自在支持部３
１は、ばねにより押圧されるのみで固定されていないの
で、検出方向に対し直角方向へ移動が可能なため、連結
部の取付け許容範囲が大きく、しかも誤差にならない。
が傾いた場合は、端面の球面と自在支持部３１の皿面と
が接しながらセンサ保持部３が回転する。自在支持部３
１は、ばねにより押圧されるのみで固定されていないの
で、検出方向に対し直角方向へ移動が可能なため、連結
部の取付け許容範囲が大きく、しかも誤差にならない。
【００６０】センサ保持部は、センサ取付け部と軸受部
とセンサ検出面の保護部と姿勢変化に対応するための機
能を一体化して形成されているものである。
とセンサ検出面の保護部と姿勢変化に対応するための機
能を一体化して形成されているものである。
【００６１】なお、本実施例においても、センサの検出
部はセンサ保持部の軸受部に対応する位置に固定され、
また、軸受部の摺動方向の長さの範囲には、センサの検
出部が包含されていることについては、実施例１と同様
であり極めて有効であるが、これらは必須要件ではな
く、軸受部の形状を問わず、本実施例は上記の効果を奏
するものである。
部はセンサ保持部の軸受部に対応する位置に固定され、
また、軸受部の摺動方向の長さの範囲には、センサの検
出部が包含されていることについては、実施例１と同様
であり極めて有効であるが、これらは必須要件ではな
く、軸受部の形状を問わず、本実施例は上記の効果を奏
するものである。
【００６２】図９は、磁気記録媒体１が、摺動方向に垂
直な断面の全周に磁気記録をした例を示したものであ
る。すなわち、図９は、センサ２の取付け位置を変えた
ものである。磁気記録を磁気記録媒体１の全周に行え
ば、円周上のどの位置に配置されてもよい。このため、
センサ２の設定位置を自由に選べるので、組立が容易に
なるという効果がある。
直な断面の全周に磁気記録をした例を示したものであ
る。すなわち、図９は、センサ２の取付け位置を変えた
ものである。磁気記録を磁気記録媒体１の全周に行え
ば、円周上のどの位置に配置されてもよい。このため、
センサ２の設定位置を自由に選べるので、組立が容易に
なるという効果がある。
【００６３】図１０は、センサ保持部３が、センサ検出
部を略中心とする球面からなる２つの端１７，１７を有
し、これらの端面が、摺動方向に対し垂直に移動可能な
自在支持部３１と押圧部材７のそれぞれの皿面１６，１
６により、圧接挟持されている例を示したものである。
部を略中心とする球面からなる２つの端１７，１７を有
し、これらの端面が、摺動方向に対し垂直に移動可能な
自在支持部３１と押圧部材７のそれぞれの皿面１６，１
６により、圧接挟持されている例を示したものである。
【００６４】すなわち、図１０は、センサ保持部両端に
センサ検出部９略中心を中心とする球面１７，１７を設
けたものである。このような構成を採ることにより、セ
ンサ保持部３の回転運動がよりスムーズになり、安定性
がより向上するという効果がある。
センサ検出部９略中心を中心とする球面１７，１７を設
けたものである。このような構成を採ることにより、セ
ンサ保持部３の回転運動がよりスムーズになり、安定性
がより向上するという効果がある。
【００６５】以上のことから、本実施例によれば、セン
サ保持部３を、センサ取付け部と磁気記録媒体１との隙
間を一定にするための軸受部２１とセンサ検出面の保護
を一体形成したことにより、従来のように精密な調整作
業を要することなく、容易に磁気記録媒体１とセンサと
してのセンサ２との微小でしかも均一な隙間を確保で
き、同時に薄膜で形成された磁気検出部を保護する部分
も構成できる。
サ保持部３を、センサ取付け部と磁気記録媒体１との隙
間を一定にするための軸受部２１とセンサ検出面の保護
を一体形成したことにより、従来のように精密な調整作
業を要することなく、容易に磁気記録媒体１とセンサと
してのセンサ２との微小でしかも均一な隙間を確保で
き、同時に薄膜で形成された磁気検出部を保護する部分
も構成できる。
【００６６】また、センサ２の姿勢変化による誤差の発
生を抑える機能を、前記センサ保持部３に一体形成する
ことにより、簡単な部品構成で、姿勢変化に対し誤差の
ない自在性を有することができる。
生を抑える機能を、前記センサ保持部３に一体形成する
ことにより、簡単な部品構成で、姿勢変化に対し誤差の
ない自在性を有することができる。
【００６７】また、このように、本発明で構成された磁
気式リニアエンコーダは、精度・組立て性・耐環境性・
取付け性が向上し、しかも最小の部品点数で達成できる
ものである。
気式リニアエンコーダは、精度・組立て性・耐環境性・
取付け性が向上し、しかも最小の部品点数で達成できる
ものである。
【００６８】なお、本発明は、図４に示したようなセミ
ユニットタイプでもよいし、図１１のように磁気記録媒
体１やセンサ２を筐体内に納めたユニットタイプでもよ
い。
ユニットタイプでもよいし、図１１のように磁気記録媒
体１やセンサ２を筐体内に納めたユニットタイプでもよ
い。
【００６９】また、本発明は上述の実施例に限らず本発
明の要旨を逸脱することなくその他種々の構成を採り得
ることはもちろんである。
明の要旨を逸脱することなくその他種々の構成を採り得
ることはもちろんである。
【００７０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
センサ保持部を、センサ取付け部と磁気記録媒体との隙
間を一定にするための軸受部とセンサ検出面の保護を一
体形成したことにより、容易に磁気記録媒体とセンサと
してのセンサとの微小でしかも均一な隙間を確保でき、
同時に薄膜で形成された磁気検出部を保護する部分も構
成できる。
センサ保持部を、センサ取付け部と磁気記録媒体との隙
間を一定にするための軸受部とセンサ検出面の保護を一
体形成したことにより、容易に磁気記録媒体とセンサと
してのセンサとの微小でしかも均一な隙間を確保でき、
同時に薄膜で形成された磁気検出部を保護する部分も構
成できる。
【００７１】また、センサの姿勢変化による誤差の発生
を抑える機能を、センサ保持部に一体形成することによ
り、簡単な部品構成で、姿勢変化に対し誤差のない自在
性を有することができる。
を抑える機能を、センサ保持部に一体形成することによ
り、簡単な部品構成で、姿勢変化に対し誤差のない自在
性を有することができる。
【００７２】また、本発明で構成された位置検出装置
は、精度・組立て性・耐環境性・取付け性が向上し、し
かも最小の部品点数で達成できる。
は、精度・組立て性・耐環境性・取付け性が向上し、し
かも最小の部品点数で達成できる。
【図１】本発明の実施例によるセンサ保持部の断面図で
ある。
ある。
【図２】本発明の実施例による軸受部の長さがセンサの
幅と等しく構成されている場合の断面図である。
幅と等しく構成されている場合の断面図である。
【図３】本発明の実施例による軸受部がセンサの幅以上
に構成されている場合の断面図である。
に構成されている場合の断面図である。
【図４】本発明の実施例の位置検出装置の構成を示す図
である。
である。
【図５】図４例においてセンサの向きを変えた場合を示
す図である。
す図である。
【図６】図４例において押圧の構成を変えた場合を示す
図である。
図である。
【図７】本発明の実施例の位置検出装置の構成を示す図
である。
である。
【図８】本発明の実施例によるセンサ保持部が姿勢変化
を起こしたときの例を示す図である。
を起こしたときの例を示す図である。
【図９】図７例においてセンサの向きを変えた場合を示
す図である。
す図である。
【図１０】図７例において押圧の構成を換えだ場合を示
す図である。
す図である。
【図１１】本発明の実施例によるユニットタイプの位置
検出装置の例を示す図である。
検出装置の例を示す図である。
【図１２】従来の位置検出装置の説明に供した図であ
る。
る。
【図１３】従来の位置検出装置の説明に供した図であ
る。
る。
１ 磁気記録媒体、２ センサ、３ センサ保持部、４
回転支持部、５ 連結部、６ ばね、７ 押圧部材、
８ フレキシブル基板、９ センサ検出部、１０ 保護
カバー、１１ 板ばね、１２ 筐体、１３ 磁気記録媒
体保持部、１４ 筐体取付け面、１５ 連結部取付け
面、１６ 皿面、１７ 球面、１８ 保持部端面、１９
回転支持部平面部、２０ 連結部取付け穴、２１ 軸受
部、２２ センサ取付け面（センサ検出面）、２３ ケ
ーブル、２４ スケールブラケット、２５ ブラケット
取付け穴、２６ スリーブ、２７ ダストリップ、２８
固定ピン、２９ 筐体部取付けボルト、３０ 押しネ
ジ、３１ 自在支持部、３２ 自在支持部平面部
回転支持部、５ 連結部、６ ばね、７ 押圧部材、
８ フレキシブル基板、９ センサ検出部、１０ 保護
カバー、１１ 板ばね、１２ 筐体、１３ 磁気記録媒
体保持部、１４ 筐体取付け面、１５ 連結部取付け
面、１６ 皿面、１７ 球面、１８ 保持部端面、１９
回転支持部平面部、２０ 連結部取付け穴、２１ 軸受
部、２２ センサ取付け面（センサ検出面）、２３ ケ
ーブル、２４ スケールブラケット、２５ ブラケット
取付け穴、２６ スリーブ、２７ ダストリップ、２８
固定ピン、２９ 筐体部取付けボルト、３０ 押しネ
ジ、３１ 自在支持部、３２ 自在支持部平面部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−71980（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−204320（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−160315（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−79410（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−238223（ＪＰ，Ａ)
実開 昭57−8513（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01D 5/00 - 5/62
G01B 7/00 - 7/34
Claims (6)
- 【請求項１】 その長手方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して
記録する棒状の磁気記録媒体と、 上記磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信号に
変換する磁電変換素子（以下、「センサ」という）を固
定するとともに、上記磁気記録媒体に摺動する軸受部を
有するセンサ保持部とを有する位置検出装置において、 上記センサの検出部は、センサ保持部の軸受部に対応す
る位置に固定され、 上記軸受部の摺動方向の長さの範囲には、上記センサの
検出部が包含されることを特徴とする位置検出装置。 - 【請求項２】 その長手方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して
記録する棒状の磁気記録媒体と、 上記磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信号に
変換するセンサを固定するとともに、上記磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、 上記センサ保持部は、摺動方向に対し垂直な平面からな
る１つの端面を有し、この端面を、センサ検出部を略中
心として回転可能な回転支持部の平面部に、圧接するこ
とを特徴とする位置検出装置。 - 【請求項３】 その長手方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して
記録する棒状の磁気記録媒体と、 上記磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信号に
変換するセンサを固定するとともに、上記磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、 上記センサ保持部は、摺動方向に対し垂直な平面からな
る２つの端面を有し、これらの端面が、センサ検出部を
略中心として回転可能な２つの回転支持部のそれぞれ平
面部により、圧接挟持されることを特徴とする位置検出
装置。 - 【請求項４】 その長手方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して
記録する棒状の磁気記録媒体と、 上記磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信号に
変換するセンサを固定するとともに、上記磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、 上記センサ保持部は、センサ検出部を略中心とする球面
からなる１つの端面を有し、この端面を、摺動方向に対
し垂直に移動可能な自在支持部の皿面に、圧接すること
を特徴とする位置検出装置。 - 【請求項５】 その長手方向に、Ｎ極・Ｓ極を配列して
記録する棒状の磁気記録媒体と、 上記磁気記録媒体に磁化された磁界を関知し電気信号に
変換するセンサを固定するとともに、上記磁気記録媒体
に摺動する軸受部を有するセンサ保持部とを有する位置
検出装置において、 上記センサ保持部は、センサ検出部を略中心とする球面
からなる２つの端面を有し、これらの端面が、摺動方向
に対し垂直に移動可能な自在支持部と押圧部材のそれぞ
れの皿面により、圧接挟持されることを特徴とする位置
検出装置。 - 【請求項６】 磁気記録媒体は、摺動方向に垂直な断面
の全周に磁気記録をすることを特徴とする請求項１、
２、３、４、または５記載の位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08101497A JP3484915B2 (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08101497A JP3484915B2 (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10274547A JPH10274547A (ja) | 1998-10-13 |
| JP3484915B2 true JP3484915B2 (ja) | 2004-01-06 |
Family
ID=13734654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08101497A Expired - Fee Related JP3484915B2 (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3484915B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4167139B2 (ja) | 2003-07-22 | 2008-10-15 | アイシン精機株式会社 | シート状態検出装置及び保護カバー |
| US8629675B2 (en) * | 2008-01-08 | 2014-01-14 | Borgwarner Beru Systems Gmbh | Linear sensor |
| DE102008011615A1 (de) * | 2008-02-28 | 2009-10-29 | Beru Ag | Linearsensor |
| CN110031031B (zh) * | 2019-04-04 | 2021-06-04 | 西京学院 | 一种光导纤维传感器的探头固定装置 |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP08101497A patent/JP3484915B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10274547A (ja) | 1998-10-13 |
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