JP2006043497A

JP2006043497A - 液滴吐出装置のワークテーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器

Info

Publication number: JP2006043497A
Application number: JP2004224037A
Authority: JP
Inventors: Kenji Kojima; 健嗣小島
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2004-07-30
Filing date: 2004-07-30
Publication date: 2006-02-16
Anticipated expiration: 2024-07-30
Also published as: JP4534650B2

Abstract

【課題】分割形式の吸着テーブルであっても、これに吸着載置したワークＷの平面度を、精度良く維持可能な液滴吐出装置のワークテーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置を課題とする。
【解決手段】ワークＷに対して、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド３をＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させながら、ワークＷ上に機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置１のワークテーブル１２であって、ワークＷを吸着載置するセラミック製の吸着テーブル３７を備え、吸着テーブル３７は、複数のテーブル片５８を相互に一体的に接合して形成されている。
【選択図】図３

Description

本発明は、ワークに対して、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置のワークテーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

従来、この種のワークテーブルを搭載したダイコータとして、カラーフィルタの製造装置に適用したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このダイコータは、ワークテーブルを介してワーク（ガラス基板）を載置したＸ軸移動テーブルと、塗布ヘッドを搭載したＹ軸移動テーブルと、を備えている。ワークテーブルは、枠状のフレームとフレームの４箇所にはめ込んだセラミック製の４枚の多孔質体とから成る吸着テーブルを有している。そして、機能液（ダイ）を導入した塗布ヘッドに対し、ワークを吸着載置するワークテーブルがＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動することにより、ワーク上に塗膜が形成される。
このダイコータでは、多孔質体（特にセラミック）の大型化が困難であることに鑑み、大型のワークに対応するため、小さな４枚の多孔質体をフレームにはめ込み、全体として大きなワークテーブルを形成している。
特開平１１−３００２５８号公報

しかし、上記従来のワークテーブルでは、材質の異なるフレームおよび多孔質体からなる吸着テーブルの平面度を出すことができても、フレーム部分ではワークを吸着できないため、多孔質体の部分とフレーム部分との境界部分で吸着したワーク盛り上がるようにわずかに撓み、ワークの平面度を精度よく出すことができない問題があった。

本発明は、分割形式の吸着テーブルであっても、これに吸着載置したワークの平面度を、精度良く維持可能な液滴吐出装置のワークテーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。

本発明の液滴吐出装置のワークテーブルは、ワークに対して、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置のワークテーブルであって、ワークを吸着載置するセラミック製の吸着テーブルを備え、吸着テーブルは、複数のテーブル片を相互に一体的に接合して形成されていることを特徴とする。

また、この場合、複数のテーブル片は、縦横２枚計４枚のもので構成されていることが、好ましい。

通常、焼成タイプのセラミックは、焼成作業のためにそのサイズが限られており、これを大型化することは難しい。
この構成によれば、吸着テーブルを分割して構成しているため、大型化の難しいセラミックを用いて、大きなワークテーブルを形成することができる。また、複数のテーブル片を一体的に接合しているため、セラミックの特長を生かした軽量、かつ剛性のあるワークテーブルを形成することができる。また、単一の材質（セラミック）で吸着テーブルを構成しているため、材質間の吸着力の違いでワークに撓みを生ずることも無く、これに吸着されるワークの平面度を高めることができる。

この場合、支持ベースと、支持ベースに立設され吸着テーブルを支持する３本の支柱と、を更に備えると共に、吸着テーブルは、支持ベースに３本の支柱を介して３点で支持されており、３本の支柱は、テーブル片同士の接合部分を外れた位置に配設されていることが、好ましい。

この構成によれば、３本の支柱により３点で支持されるため、吸着テーブルを厳密に位置決めすることができ、支持ベースに支持・固定した状態において、吸着テーブルの平面度を高めることができる。また、３本の支柱は、テーブル片同士の接合部分を外れた位置に配設しているため、吸着テーブルの接合部分において応力集中が起こることがなく、これを安定に支持することができる。また、接合部の裏面に接合の為のねじや補強板等を設けても邪魔になることが無い。

この場合、隣接するテーブル片同士は、一方の前記テーブル片の接合端面に形成した凸部と、他方の前記テーブル片の接合端面に形成され凸部に係合する凹部と、を有し、凸部および凹部は、係合した状態でねじ止めされていることが、好ましい。

この場合、凸部および凹部から成る接合部は、合じゃくり形式またはさねはぎ形式で接合されていることが、好ましい。

この構成によれば、凸部と凹部とが係合するため、隣接するテーブル片同士が上下に位置ずれするのを有効に防止することができる。

この場合、複数のテーブル片は、その接合端面同士を突き合わせた状態で、テーブル片同士の接合部に対応する部位に桟を有する格子枠状のフレームに載置固定されていることが、好ましい。

この構成によれば、十字状の桟を有する格子枠状のフレームで複数のテーブル片を支持するようにしているため、各テーブル片の周縁部をそれぞれフレームによって支持させることができる。これにより、吸着テーブルの自重による撓みを有効に防止することができる。また、テーブル片同士は、その接合端面を突き合わせた状態で接合されているため、各テーブル片に一体の面材としての剛性を発揮させることができる。以上の２つの観点から、吸着テーブルの剛性を向上させることができ、より一層、吸着テーブルの平面度を高めることができる。

この場合、隣接するテーブル片同士は、その接合端辺を突き合わせると共に、その接合部分に下側からあてがった連結板でねじ止め固定されていることが、好ましい。

この構成によれば、接合端面を突き合わせた状態で接合されることにより、各テーブル片同士が一体の面材としての剛性を発揮するため、隣接するテーブル片同士を連結板で固定する簡単な方法で、十分な強度をもってテーブル片同士を接合させることができる。

この場合、吸着テーブルには、これに載置したワークを吸着するための複数の吸着溝と、複数の吸着溝に連通する複数の吸着孔と、が形成されており、複数の吸着溝と複数の吸着孔とは、テーブル片毎に独立していることが、好ましい。

この構成によれば、隣接するテーブル片にまたがって吸着溝や吸着孔が形成されることがなく、テーブルを分割した影響でワークの吸着力が減少することを防止して、テーブル片ごとに十分な吸着力を持たせることができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記の液滴吐出装置のワークテーブルを備えたことを特徴とする。

この構成によれば、セラミック製の大型の吸着テーブルを有するワークテーブルを提供することができるため、精度良く描画を行うことができる。このため、液滴吐出装置で製造される大型の製品の信頼性を高めることができる。具体的には、製品の成膜不良、発光不良等を生じることがない。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の機能液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置は、上記の機能液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、信頼性の高い大型の電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明の液滴吐出装置のワークテーブルを適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機能液滴吐出ヘッド３を有し機台２の上側中央に十字状に配設された描画装置４と、機台２上に描画装置４と並列に設置され機能液滴吐出ヘッド３の保守等に用いる各種の装置から成るメンテナンス装置５と、機能液を描画装置４に供給する機能液供給機構（図示省略）と、これらを覆うように機台２上に載せこんだチャンバ装置（図示省略）と、上記の各構成装置を統括的に制御する図外の制御装置と、を備えている。

描画装置４、メンテナンス装置５、および機能液供給機構は、チャンバ装置の内にそれぞれ収容されている。そして、ワークＷがチャンバ装置内部に運び込まれると、ドライエアーや不活性ガスの雰囲気において、機能液供給機構から機能液の供給を受けた機能液滴吐出ヘッド３による機能液滴の吐出、すなわち描画が行われる。また、液滴吐出装置１の稼動開始時等にあっては機能液滴吐出ヘッド３の機能回復を図るべく、これをメンテナンス装置５に臨ませる。

描画装置４は、機台２上に設置したＸ・Ｙ移動機構６を有している。Ｘ・Ｙ移動機構６は、機能液滴吐出ヘッド３に対して、ワークＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるものであり、ワークＷをワークテーブル１２を介して搭載するとともにこれをＸ軸方向に移動させるＸ軸移動テーブル７と、これを跨いで直交するように設置されて、各機能液滴吐出ヘッド３を搭載するとともにこれをＹ軸方向に移動させるＹ軸移動テーブル８と、を備えている。また、描画装置４には、各機能液滴吐出ヘッド３の位置認識を行うヘッド認識カメラ（図示省略）や、ワークＷの位置認識を行うための一対のワーク認識カメラ１１の各種の装置が備えられている。

Ｘ軸移動テーブル７は、ワークＷを吸着載置するワークテーブル１２と、ワークテーブル１２をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ１５と、Ｘ軸スライダ１５のスライドがガイドされる石材製のスライドガイドと、Ｘ軸スライダ１５を駆動するＸ軸モータ（図示省略）とを有している。ワークＷはワークテーブル１２上に載置され、Ｘ軸スライダ１５がスライドガイドに沿ってスライドすることにより、主走査方向であるＸ軸方向に往復移動される。なお、ワークテーブル１２の詳細については、後述する。

図２に示すように、Ｙ軸移動テーブル８は、Ｘ軸移動テーブル７を挟んで機台２に立設された左右一対の支柱１７と、両支柱に掛渡されたＹ軸フレーム１８と、Ｙ軸フレーム１８にスライド自在に支持されるＹ軸スライダ２１と、Ｙ軸スライダ２１を駆動するＹ軸モータ（図示省略）と、Ｙ軸スライダ２１に支持され機能液滴吐出ヘッド３を搭載するメインキャリッジ２２とを有している。機能液滴吐出ヘッド３はメインキャリッジ２２とともに、Ｙ軸スライダ２１を介してＹ軸方向に往復移動、すなわち副走査が行われる。

そして、ワークＷに描画を行う場合には、各機能液滴吐出ヘッド３を所定のワークＷギャップを存してワークＷに臨ませておいて、Ｘ軸移動テーブル７による主走査（ワークＷの往復移動）に同期して、機能液供給機構から機能液の供給を受けた機能液滴吐出ヘッド３を吐出駆動させる。また、Ｙ軸移動テーブル８により適宜、副走査（機能液滴吐出ヘッド３の移動）が行われる。この一連の動作により、ワークＷの描画領域に所望の描画が行われる。

同図に示すように、メインキャリッジ２２は、Ｙ軸スライダ２１に固定したスライドベース２３と、スライドベース２３に垂設した垂設フレーム２４と、垂設フレーム２４の下部に組み込んだθ軸回転機構２５と、θ軸回転機構２５の下端に設けたキャリッジ本体２６と、を有している。θ軸回転機構２５を介した垂設フレーム２４により、キャリッジ本体２６がθ軸廻りに回転自在に支持される。

キャリッジ本体２６は、方形枠状のサブキャリッジと、サブキャリッジに装着される方形のヘッドプレート２６ａと、サブキャリッジに対向するとともにθ軸回転機構２５の下端に装着される装着プレートと、サブキャリッジと装着プレートを連結する複数の連結支柱と、を有している。ヘッドプレート２６ａには、ヘッド保持部材（図示省略）を介して、機能液滴吐出ヘッド３がその下部を下方に突出させるようにして搭載される。

また、ヘッドプレート２６ａには、図２に示すように、機能液を内部に貯留する機能液タンクと、機能液タンクに連なり機能液タンク−機能液滴吐出ヘッド３間の水頭差を調整する圧力調整弁と、これらを機能液吐出ヘッドに直列に接続する機能液チューブと、からなる機能液供給機構が搭載されている。これにより、機能液滴吐出ヘッド３には、機能液タンク−機能液吐出ヘッド間の水頭差が調整された機能液が供給され、機能液吐出ヘッドからの液ダレが防止されている。

機能液滴吐出ヘッド３は、機能液滴を吐出する多数（例えば１８０個）のノズル２７をそのノズル面２８に有しており、それら多数のノズル２７が２列のノズル列３１を形成している（図１参照）。具体的には、機能液滴吐出ヘッド３は、これらのノズル列３１に対応した一対のヘッド内流路（図示省略）と、ヘッド内流路に面して設けられたキャビティ（ピエゾ圧電素子）（図示省略）と、ヘッド内流路に連なる一対の機能液導入口と、を有している。ノズル吸引による初期充填工程において、機能液は機能液滴吐出ヘッド３の各機能液導入口から導入されて、ヘッド内流路に満たされる。そして機能液滴吐出ヘッド３が吐出駆動されると、キャビティがポンプ作用を発揮してヘッド内流路の機能液をノズル２７から吐出させる（機能液滴の吐出）。これにより、機能液滴吐出ヘッド３では機能液が消費され、それに伴いヘッド内流路には新たな機能液が機能液供給機構から供給される。

次に、図１を参照して、メンテナンス装置５について説明する。メンテナンス装置５は、液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面２８を封止してノズル２７の乾燥を防止すると共に、機能液滴吐出ヘッド３のノズル２７から増粘した機能液を吸引除去する保管・吸引ユニット３２と、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面２８に付着する汚れを払拭するワイピングユニット３３とを有している。これら両ユニットは、機台２上にＸ軸方向に延在するように載置された移動テーブル３４上に搭載され、この移動テーブル３４によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。

保管・吸引ユニット３２は、機能液滴吐出ヘッド３の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる封止キャップ３５と、封止キャップ３５を昇降させるキャップ昇降機構３６と、封止キャップ３５に接続し機能液滴吐出ヘッド３を吸引する吸引ポンプやエジェクタ等の吸引機構（図示省略）と、吸引機構で吸引除去した廃液を回収する廃液タンク（図示省略）と、を有している。描画休止時には、機能液滴吐出ヘッド３は移動テーブル３４上のメンテナンス位置に移動しており、封止キャップ３５を機能液滴吐出ヘッド３から僅かに離れた位置で、機能液滴吐出ヘッド３のフラッシング（捨て吐出）を受けるようにしている。また、液滴吐出装置１の非稼働時には、封止キャップ３５を完全に上昇させて機能液滴吐出ヘッド３のノズル面２８に密着させる。これにより、機能液滴吐出ヘッド３の全ノズル２７を封止し、各ノズル２７における機能液滴の乾燥を防止する。そして、この密着状態から再稼動する際には、必要に応じ吸引機構を駆動して、ノズル２７から増粘した機能液や充填のための機能液を吸引する。これにより機能液の増粘を抑制していわゆるノズル２７詰りが防止される。この吸引作業は機能液を初期充填する際にも用いられている。

同図に示すように、ワイピングユニット３３には、ワイピングシート３３ａが繰出し自在且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート３３ａを送りながら、且つ移動テーブル３４によりワイピングユニット３３をＸ軸方向に移動させつつ、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面２８を拭き取るようになっている。このため、上記吸引動作等により機能液滴吐出ヘッド３のノズル面２８に付着した機能液が取り除かれ、機能液滴吐出時の飛行曲がり等が防止される。なお、メンテナンス装置５として、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド３から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニット（図示省略）等を、搭載することが好ましい。

次に図３および図４を参照しながら、本実施形態のワークテーブル１２について説明する。ワークテーブル１２は、ワークＷを吸着載置する吸着テーブル３７と、吸着テーブル３７を３点で支持する３点支持機構３８（３本の支柱）と、３点支持機構３８が立設される支持ベース４１と、支持ベース４１をＺ軸廻りに回転自在に支持するθテーブル３９と、支持ベース４１に立設されワークＷを吸着テーブル３７から離接させるリフトアップ機構４２と、吸着テーブル３７の横ブレを規制する位置規制部材４３と、吸着テーブル３７にワークＷを吸着させるエアー吸引装置４４（図５（ｂ）参照）と、エアー吸引装置４４の吸引を解除するエアー供給装置４５（図５（ｂ）参照）と、を有している。

支持ベース４１は、方形に形成した鉄製の板材で構成され、上記のθテーブル３９の各構成を支持している。一方、支持ベース４１自体は、ワークテーブル１２の重心がθテーブル３９の回転軸（すなわちθ軸）と略一致するようにθテーブル３９の上面に固定されている。支持ベース４１には、この重心と同心円上の等間隔の位置に３点支持機構３８が立設されており、３点支持機構３８を介して吸着テーブル３７を支持するようにしている。また、支持ベース４１の外周には、１辺に２個１組の位置規制部材４３が各辺に（合計８個）が設けられており、吸着テーブル３７が上下および左右にブレないようにしている。

３点支持機構３８は、図４に示すように、３本のテーブル支持部材４６（支柱）で構成され、これらが上面視略正三角形状に配置している。この正三角形は、上記したワークテーブル１２の重心と合致しており、各テーブル支持部材４６に略均等に吸着テーブル３７の重量がかかって、安定して吸着テーブル３７を支持できるようにしている。なお、この３点支持機構３８は、吸着テーブル３７の後述する各テーブル片５８同士が接合する接合部を避けて、吸着テーブル３７を支持している。

各テーブル支持部材４６（支柱）は、その上面中央に吸着テーブルをねじ止めするための雌ねじが螺設された円柱状のテーブル支持部（図示省略）と、上端にテーブル支持部をフランジ形式で固定したテーブル高さ調整機構（図示省略）と、を有している。各テーブル高さ調整機構は、上下に微調整可能に構成されており、これらにより吸着テーブル３７の水平面に対する平行度を精度よく調整できるようになっている。

θテーブル３９は、上記したＸ軸スライダ１５上に直接載置されている。このθテーブル３９は、内蔵する多数のボールを有するベアリング状部材（図示省略）を介して、支持ベース４１をＺ軸廻りに回転可能に支持しており、図外のモータの駆動により、支持ベース４１を適宜回転した状態で支持するようにしている。

リフトアップ機構４２は、支持ベース４１の中央に配設した第１リフトアップ機構５１と、第１リフトアップ機構５１の両脇に１基ずつ配設した第２リフトアップ機構５５と、を有している。第１リフトアップ機構５１は、２０本のリフトアップピン４９が立設された第１リフトアッププレート５３と、第１リフトアッププレート５３を昇降させるモータ駆動の第１昇降機構５７とで構成され、第１リフトアッププレート５３（リフトアップピン４９）を昇降機構により昇降可能にしている。他方、第２リフトアップ機構５５は、１０本のリフトアップピン４９が立設された第２リフトアッププレート５６と、第２リフトアッププレート５６を昇降させるモータ駆動の第２昇降機構５４とで構成され、第２リフトアッププレート５６（リフトアップピン４９）を昇降機構により昇降可能にしている。これら、第１リフトアップ機構５１および第２リフトアップ機構５５は独立して昇降可能になっている。そうして、第１リフトアップ機構５１の昇降に同期して第２リフトアップ機構５５が昇降（第１リフトアップ機構５１よりやや高い位置で）し、ワークＷの左右の両側部を上側に反らせた状態で、ワークＷを吸着テーブル３７から離接できるようにしている。これにより、ワークＷを離接させる際にワークＷと吸着テーブル３７との間に空気が残留しないようにしている。

そして、リフトアップ機構４２によりワークＷをリフトアップした状態で、図外の移載ロボットのロボットアームがこれに下側から臨み、ワークＷの装置外からの搬入および装置外への搬出が行われる。また、支持ベース４１には、ワークＷの吸着および吸着解除のためのエアー吸引装置４４およびエアー供給装置４５が配設されている（図５（ｂ）参照）。

図３、図５および図６を参照して吸着テーブル３７について説明する。図３に示すように、吸着テーブル３７は、焼成タイプのセラミックにより形成したテーブル片５８を、縦横２枚計４枚を接合して、平面視略正方形に一体的に構成されている。

４枚のテーブル片５８は、紙面右上の第１テーブル片５８ａと、紙面右下の第２テーブル片５８ｂと、紙面左下の第３テーブル片５８ｃと、紙面左上の第４テーブル片５８ｄとから成り、それぞれ平面視略正方形に形成されている。接合状態の吸着テーブル３７は、処理可能な最大のワークＷの長辺の長さに対応して一辺の長さが１８５０ｍｍとなっており、縦置きおよび横置きのいずれの向きのワークＷに対しても、これをセット可能に構成されている。

図５（ａ）に示すように、吸着テーブル３７の表面には、上記したエアー吸引装置４４に連なり、ワークＷを吸着するための吸着溝が形成されている。吸着溝は、ワークＷの主要部を吸着するための正方形の４重の主吸着溝６１と、ワークＷの周縁部を吸着するための一対の縦副吸着溝６３および一対の横副吸着溝６４から成る副吸着溝６２と、を有している。主吸着溝６１および副吸着溝６２は、吸着テーブル３７毎にそれぞれ形成されている。すなわち、第１テーブル片５８ａには、第１主吸着溝６１ａと第１縦副吸着溝６３ａと第１横副吸着溝６４ａとが形成され、同様に、第２テーブル片５８ｂには、第２主吸着溝６１ｂと第２縦副吸着溝６３ｂと第２横副吸着溝６４ｂとが、第３テーブル片５８ｃには、第３主吸着溝６１ｃと第３縦副吸着溝６３ｃと第３横副吸着溝６４ｃとが、第４テーブル片５８ｄには、第４主吸着溝６１ｄと第４縦副吸着溝６３ｄと第４横副吸着溝６４ｄとが、それぞれ形成されている。

第１ないし第４の各主吸着溝６１は、吸着テーブル３７の中心から外側にかけて等間隔に形成した、４重の上面視「Ｌ」字状の吸着溝で構成されている。また、第１ないし第４の各縦副吸着溝６３は、各主吸着溝６１の外側に縦方向に形成した吸着溝で構成され、第１ないし第４の各横副吸着溝６４は、各主吸着溝６１の外側に横方向に形成した吸着溝で構成されている。したがって、吸着テーブル３７全体としては、主吸着溝６１と副吸着溝６２とにより、吸着テーブル３７の中心から外側に向かって大きくなる（同心状の）５重の略正方形にパターニングされている。なお、ワークＷの吸着は、主としてこれら各主吸着溝６１により行い、縦置きでセットしたワークＷの吸着には各横吸着溝が用いられ、横置きでセットしたワークＷの吸着には各縦吸着溝が用いられる。

第１ないし第４の各主吸着溝６１の折れ曲がり位置には、エアー吸引装置４４に連なる吸着孔６５が、それぞれ形成されている。同様に、第１ないし第４の各縦吸着溝および各横吸着溝の中間位置には、エアー吸引装置４４に連なる吸着孔６５がそれぞれ形成されている。すなわち、吸着孔６５は、各主吸着溝６１、各縦副吸着溝６３および各横副吸着溝６４の略中間位置にそれぞれ形成され、各吸着溝全体に均一に吸引力が及ぶようになっている。

エアー吸引装置４４は、図５（ｂ）に示すように、エアー吸引を行う真空ポンプ６６と、吸着テーブル３７の吸着孔６５と真空ポンプ６６とを配管接続する吸引配管部６７と、を有しており、エアー吸引により、吸着テーブル３７に載置されたワークＷを不動に吸着セットするものである。吸引配管部６７は、上記した吸着テーブル３７の主吸着溝６１に連通する主吸着系統６８と、副吸着溝６２の縦吸着溝に連通する縦吸着系統７１と、副吸着溝６２の横吸着溝に吸着孔６５に連通する横吸着系統７２と、を有している。これにより、ワークＷのセット方向に応じて、系統毎にエアーを吸引できるようにしている。

主吸着系統６８、縦吸着系統７１および横吸着系統７２は、真空ポンプ６６に連なる個別エアー吸引チューブ６９、７０、７３、と、各個別エアー吸引チューブ６９、７０、７３を開閉する３個の吸引用開閉バルブ７４と、をそれぞれ有している。また、主吸着系統６８、縦吸着系統７１および横吸着系統７２は、各個別エアー吸引チューブ７３を真空ポンプ６６に接続するためのエアー吸引マニホールド７５を共有している。また、各個別エアー吸引チューブ６９、７０、７３には、ワークＷの吸引圧力を検出するための圧力センサが介設されている。

主吸着系統６８の個別エアー吸引チューブ７３は、ワークテーブル１２の略中央部において４本に分岐しており、これらは、第１主吸着溝６１に連通する主吸着第１分岐チューブ７３ａ、第２主吸着溝６１に連通する主吸着第２分岐チューブ７３ｂ、第３主吸着溝６１に連通する主吸着第３分岐チューブ７３ｃ、第４主吸着溝６１に連通する主吸着第４分岐チューブ７３ｄとなっている。また、縦吸着系統７１（および横吸着系統７２）の個別エアー吸引チューブ６９（７０）も同様に４本に分岐しており、第１副吸着溝６２の縦吸着溝（横吸着溝）に連通する縦吸着第１分岐チューブ６９ａ（横吸着第１分岐チューブ７０ａ）、第２副吸着溝６２の縦吸着溝（横吸着溝）に連通する縦吸着第２分岐チューブ６９ｂ（横吸着第２分岐チューブ７０ｂ）、第３副吸着溝６２の縦吸着溝（横吸着溝）に連通する縦吸着第３分岐チューブ６９ｃ（横吸着第３分岐チューブ７０ｃ）、第４副吸着溝６２の縦吸着溝（横吸着溝）に連通する縦吸着第４分岐チューブ６９ｄ（横吸着第４分岐チューブ７０ｄ）となっている。

したがって、例えば第１テーブル片５８ａには、４重の第１主吸着溝６１およびこれに形成した４個の吸着孔６５と、第１縦副吸着溝６３およびこれに形成した吸着孔６５と、第１横副吸着溝６４およびこれに形成した吸着孔６５とが形成され、第１テーブル片５８ａにおいて独立して吸着力が管理されるようになっている。その他各テーブル片５８も同様に形成されており、テーブル片５８毎に独立して吸着力が管理されるようになっている。このように、テーブル片５８毎に吸着力を管理することで、吸着テーブル３７の分割によるワークＷの吸着力の減少が生じないようにしている。

また、主吸着系統６８、縦吸着系統７１および横吸着系統７２の各吸引用開閉バルブ７４には、大気開放マニホールド７６を介して、図外の排気設備（大気開放）に接続されている。

エアー供給装置４５は、同図に示すように、エアー供給を行う図外の圧空設備に連なるエアー供給マニホールド７７と、圧空設備と各部とを配管接続するエアー配管部７８と、を有している。エアー配管部７８は、エアー吸引装置４４の主吸着系統６８、縦吸着系統７１および横吸着系統７２にそれぞれ接続するエアー供給チューブ８１と、各エアー供給チューブ８１を開閉する３個の供給用開閉バルブ８２と、で構成されている。

そして、ワークＷを吸着テーブル３７に吸着する際には、エアー吸引装置４４の真空ポンプ６６が駆動を開始すると共に、吸引用開閉バルブ７４が真空ポンプ６６側に切り替えられ、真空ポンプ６６の吸引力が主吸着溝６１および副吸着溝６２に伝達される。これにより、ワークＷが吸着テーブル３７に不動に固定される。一方、ワークＷの吸着セットを解除する際には、まず、吸引用開閉バルブ７４を排気側に切り替えて真空を解除し、供給用開閉バルブを「開」として各個別エアー吸引チューブ７３に圧縮エアーを導入し、基板をいったん浮上させて、真空を解除するようにしている。

次に、図６を参照して各テーブル片５８について説明する。各テーブル片５８は、それぞれ正方形で略同形状に形成されている。しかしながら、第１テーブル片５８ａは、組み立てた状態の吸着テーブル３７の核となるコア部を有しており、この点において他のテーブル片５８の形状と異なっている。

同図（ａ）に示すように、各テーブル片５８は、接合する２辺において一方の辺部（接合端面）に亘って形成した凸部８３と、他方の辺部（接合端面）に亘って形成した凹部８４と、有している。これら凸部８３および凹部８４には、ねじ止め用のねじ止め孔８５がそれぞれ５箇所に形成されている。吸着テーブル３７を組み立ては、１のテーブル片５８の凸部８３と、これに隣接する他のテーブル片５８の凹部８４とを、いわゆる合いじゃくり形式で係合させ、重なり合う凸部８３および凹部８４を上記したねじ止め孔８５に挿通したねじによりでねじ止めすることにより行う。この凹部８４および凸部８３において上側に位置する部位には、そのねじ止め孔８５にざぐり穴が形成され、ねじの頭が吸着テーブルの表面に突出しないようになっている。このようにして、吸着テーブル３７が、一体的に形成される。なお、吸着テーブル３７は、各テーブル片５８にいわゆるさねはぎ形式の凸部８３、およびこれに係合する凹部８４を形成し、一体的に形成してもよい。

また、吸着テーブル３７には、上記したリフトアップ機構の複数のリフトアップピンを貫通させるための縦４個×横１０個、計４０個の貫通孔８６が形成されている。さらに、吸着テーブル３７には、３点支持機構３８にねじ止め固定するための固定穴８７が３個、各テーブル片５８の接合部を外れた位置に形成されている。これにより、接合部における応力集中が回避されている。この場合も、固定穴８７は、固定ねじの頭部が吸着テーブル３７の表面から突出しないようにざぐり穴で構成されている。

吸着テーブル３７は、各テーブル片５８同士を組んだ状態のまま、上記した３点支持機構３８に載置し、液滴吐出装置１に搭載される。そうして、３点支持機構３８に載置した状態において、各テーブル片５８は、一体の吸着テーブル３７として一括して研磨され、平面度を出すようにしている。これにより、３点支持機構３８による位置決めと相まって、吸着テーブル３７の表面は水平かつ平坦に精度良く調整される。

次に図７を参照して、吸着テーブルの第２実施形態について、主に上記した第１実施形態と異なる部分を説明する。この第２実施形態の吸着テーブル３７は、４分割されたテーブル片５８と、この４枚のテーブル片５８を一括して支持するフレーム８８とを有している。各テーブル片５８は、略正方形に形成され、他のテーブル片５８との接合端面が平面に形成されている。

フレーム８８は、ステンレス等の金属材料により、平面視十字状の桟部９１と、桟部９１を支持する四周枠部９２とを有し、全体として格子枠状に一体に溶接されている。この実施形態では、４枚のテーブル片５８をその接合端面同士で突き合わせ、フレーム８８に接着あるいはねじ止めにより載置固定するようになっている。

第２実施形態によれば、テーブル片５８同士の接合部となる２辺をフレーム８８の桟部９１によって支持するようにし、また他の２辺を四周枠部９２により支持するようにしているため、各テーブル片５８を安定に支持することができ、吸着テーブル３７が自重で撓むのを防止することができる。これにより、各テーブル片５８同士が上下に位置ずれする等の、吸着テーブル３７の分割による弊害を防止することができる。また、上記した一体の面材としての剛性とフレーム８８による剛性とが相まって、全体として高い剛性を発揮させることができる。

次に図８を参照して、第３実施形態の吸着テーブル１２について、主として上記実施形態と異なる部分について説明する。第３実施形態の吸着テーブル１２は、第２実施形態と同様に形成した４枚のテーブル片５８と、各テーブル片５８を連結すると複数の連結板９３とを有している。すなわち、各テーブル片５８は、他のテーブル片５８との接合端面が平面に形成されており、隣接するテーブル片５８同士の接合端面を突き合わせるようになっている。

各連結板９３は、短冊状に形成されており、ねじ止め用の固定孔９４が四隅に形成されている。本実施形態では、この連結板９３を、隣り合うテーブル片５８同士の接合部に、下側から２枚あてがうことと共に、２枚の連結板９３を介して、テーブル片５８同士をねじ止め固定している。また、吸着テーブル３７の中央部には、一枚の連結板９３が配設され、これにより４枚のテーブル片５８を連結固定するようにしている。これら複数の連結板９３により、各テーブル片５８が一体的に接合されている。なお、本実施形態では、複数の連結板９３により、各テーブル片５８同士を接合しているが、所定の形状（例えば、十字状）の一枚の連結板９３により、各テーブル片５８同士を接合するようにしてもよい。

第３実施形態によれば、隣接するテーブル片５８同士の接合端面が突き合わされた状態で吸着テーブル３７が接合されているため、簡単に連結板９３でねじ止めするだけで、テーブル片５８同士が一体の面材としての剛性を発揮し、十分な強度を持たせることができる。

次に、図９を参照して、第４実施形態のワークテーブル１２について、上記実施形態と異なる部分について説明する。第４実施形態の吸着テーブル３７は、第１実施形態のものと同形状のテーブル片５８と、第２実施形態のものと同形状フレーム８８と、により構成されている。

第４実施形態によれば、吸着テーブル３７は、各テーブル片５８同士を合いじゃくり形式で一体的に接合しているため、それのみでも十分な剛性を有して構成することができる。さらに、テーブル片５８同士の接合部分をフレーム８８により補強しているため、テーブル片５８の自重による撓みを防止した、より一層剛性の高められた吸着テーブル３７を構成することができる。

以上が本発明のワークテーブル１２を適用した液滴吐出装置１の実施形態である。本実施形態によれば、セラミックを用いた軽量で高剛性の吸着テーブル３７を形成することができ、Ｘ軸移動テーブル７の移動負荷を軽減できると共に、液滴吐出装置１全体の軽量化を図ることができる。また、吸着テーブル３７を分割して大型のワークテーブル１２を形成できるため、より大きなワークＷに対しても対応することができる。また、吸着テーブル３７は、合いじゃくり形式等の係合形式で一体的に接合されるため、テーブル片５８毎に上下に位置ずれする等の、テーブルの分割による弊害が生じることがない。さらに、吸着テーブル３７は、３点支持で搭載され厳密に平面度が調整されるため、これに載置されるワークテーブル１２の平面度を高めることができる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。

先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図９は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１０は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１０（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１０（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド３により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１０（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１０（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１１は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１０に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１１において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。

図１２は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１３は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１４は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１５〜図２３を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１５に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１６に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１７に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のワークテーブル１２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図１８に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１９に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２０に示すように、各色のうちの何れか（図２０の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２１に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド３を用い、図２２に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２３に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２４は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のワークテーブル１２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド３から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２５は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２６（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２６（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

液滴吐出装置の平面模式図である。液滴吐出装置の正面模式図である。ワークテーブルの外観斜視図である。（ａ）ワークテーブルの上面視図、（ｂ）ワークテーブルの正面図である。（ａ）吸着テーブルの説明図、（ｂ）エアー吸引装置およびエアー供給装置の説明図である。第１実施形態に係る吸着テーブルであり、（ａ）接合した吸着テーブルの外観斜視図、（ｂ）分解した吸着テーブルの外観斜視図である。第２実施形態に係る吸着テーブルの外観斜視図である。第３実施形態に係る吸着テーブルであり、（ａ）接合した吸着テーブルの外観斜視図、（ｂ）分解した吸着テーブルの外観斜視図である。第４実施形態に係る吸着テーブルの外観斜視図である。カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。無機物バンク層の形成を説明する工程図である。有機物バンク層の形成を説明する工程図である。正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。陰極の形成を説明する工程図である。プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１液滴吐出装置３機能液滴吐出ヘッド
１２ワークテーブル３７吸着テーブル
３８３点支持機構５８テーブル片
６１主吸着溝６２副吸着溝
８３凸部８４凹部
８８フレーム９１桟部
９２四周枠部９３連結板
Ｗワーク

Claims

ワークに対して、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置のワークテーブルであって、
前記ワークを吸着載置するセラミック製の吸着テーブルを備え、
前記吸着テーブルは、複数のテーブル片を相互に一体的に接合して形成されていることを特徴とする液滴吐出装置のワークテーブル。
支持ベースと、前記支持ベースに立設され前記吸着テーブルを支持する３本の支柱と、を更に備えると共に、前記吸着テーブルは、前記３本の支柱を介して３点で支持されており、
前記３本の支柱は、前記テーブル片同士の接合部を外れた位置に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置のワークテーブル。
隣接する前記テーブル片同士は、一方の前記テーブル片の接合端面に形成した凸部と、他方の前記テーブル片の接合端面に形成され前記凸部に係合する凹部と、を有し、
前記凸部および前記凹部は、係合した状態でねじ止めされていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置のワークテーブル。
前記凸部および前記凹部から成る接合部は、合じゃくり形式またはさねはぎ形式で接合されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置のワークテーブル。
複数の前記テーブル片は、その接合端面同士を突き合わせた状態で、前記テーブル片同士の接合部に対応する部位に桟を有する格子枠状のフレームに載置固定されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置のワークテーブル。
隣接するテーブル片同士は、その接合端面同士を突き合わせると共に、その接合部分に下側からあてがった連結板でねじ止め固定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置のワークテーブル。
前記吸着テーブルには、これに載置した前記ワークを吸着するための複数の吸着溝と、前記複数の吸着溝に連通する複数の吸着孔と、が形成されており、
前記複数の吸着溝と前記複数の吸着孔とは、前記テーブル片毎に独立していることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置のワークテーブル。
前記複数のテーブル片は、縦横２枚計４枚のもので構成されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置のワークテーブル。
請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置のワークテーブルを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。