JP2006037209A - スパッタ装置及びそれを用いたスパッタ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のスパッタ装置1は、ターゲット3とシャッタ15の間に、スパッタ粒子を制御するためのスパッタ粒子制御板16が配置されている。このスパッタ粒子制御板16はステンレス等の材質からなり、その中央部に開口部17が形成されている。この開口部17は、ターゲット3から飛散するスパッタ粒子の放出分布に対応した形状を有している。
【選択図】 図1
Description
2 真空チャンバ
3 ターゲット
4 ターゲット支持部
5 ウェーハ
6 パレット
7 マグネット
8 直流電源
9 ガス供給源
10 ガス供給バルブ
11 ガス供給口
12 真空ポンプ
13 ガス排気バルブ
14 ガス排気口
15 シャッタ
16 スパッタ粒子制御板
17 開口部
21 ステンレス板
22 開口部
22a〜22e 細分割された開口部
23 ダミー基板
24 スパッタ膜
24a〜24e 細分割されたスパッタ膜
31 矢印
41 本発明の第2実施例のスパッタ装置
42 ターゲット
43a〜43c スパッタ粒子制御板
44a〜44c 開口部
51 本発明の第3実施例のスパッタ装置
52a、52b ターゲット
53a、53b スパッタ粒子制御板
54a、54b 開口部
55 回転機構
56 回転軸
61 本発明の第4実施例のスパッタ装置
62 ターゲット
63 スパッタ粒子制御板
64 開口部
64a 第1開口領域
64b 第2開口領域
64c 第3開口領域
65a〜65c 円形状の孔
66a〜66c 線状の孔
81 スパッタ粒子制御板
81a ターゲット面側
82 凹凸部
83 銅膜
84 凹凸部
91 従来のスパッタ装置
92 真空チャンバ
93 ターゲット
94 ターゲット保持部
95 ウェーハ
96 パレット
97 マグネット
98 直流電源
99 ガス供給源
100 ガス供給バルブ
101 ガス供給口
102 真空ポンプ
103 ガス排気バルブ
104 ガス排気口
105 シャッタ
106 矢印
111 従来の他のスパッタ装置
112 シャッタ
113 矢印
114 矩形状のスリット
Claims (12)
- 真空チャンバ内に少なくともターゲット、シャッタ、半導体ウェーハを配置し、前記半導体ウェーハ上に薄膜を形成するスパッタ装置において、前記ターゲットと前記半導体ウェーハの間に、前記ターゲットから飛散するスパッタ粒子の放出分布に対応した開口部を有するスパッタ粒子制御板を配置し、前記半導体ウェーハを前記ターゲットに対して平行にスキャンさせながら、前記スパッタ粒子制御板の開口部を介して薄膜を形成することを特徴とするスパッタ装置。
- 前記スパッタ粒子制御板の開口部は、中央部が外周部よりも開口面積が小さいことを特徴とする請求項1記載のスパッタ装置。
- 大きさの異なる相似形の開口部を有する複数の前記スパッタ粒子制御板が、互いの中心と開口部の形成方向が一致するように重ねて配置されていることを特徴とする請求項2記載のスパッタ装置。
- 種類の異なる複数のターゲットから飛散するスパッタ粒子の放出分布に対応した開口部を有する複数の前記スパッタ粒子制御板が、配置されていることを特徴とする請求項2記載のスパッタ装置。
- 前記スパッタ粒子制御板は、中央部に径の小さい孔と、外周部に径の大きい孔を有することを特徴とする請求項1記載のスパッタ装置。
- 前記スパッタ粒子制御板を、ステンレス、又はチタン、タングステン、及びそれらの合金のいずれかで構成したことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のスパッタ装置。
- 前記スパッタ粒子制御板の前記ターゲットに対向する面側に、膜剥離防止処理を施したことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のスパッタ装置。
- 前記膜剥離防止処理が、サンドブラスト処理、銅溶射処理、レーザ加工処理、エッチング処理のいずれかであることを特徴とする請求項7記載のスパッタ装置。
- 真空チャンバ内に少なくともターゲット、シャッタ、半導体ウェーハを配置する工程と、前記ターゲットと前記半導体ウェーハの間に、スパッタ粒子の放出分布に対応した開口部を有するスパッタ粒子制御板を挿入する工程と、前記ターゲットと前記半導体ウェーハの間から前記シャッタを移動させる工程と、前記半導体ウェーハを前記ターゲットに対して平行にスキャンさせながら、前記スパッタ粒子制御板の開口部を介して薄膜を形成する工程とを有することを特徴とするスパッタ方法。
- 大きさの異なる相似形の開口部を有する複数の前記スパッタ粒子制御板を、互いの中心と開口部の形成方向が一致するように重ねて配置し、前記ターゲットのスパッタレートの低下に応じて、開口部のより大きい前記スパッタ粒子制御板に切り替えることを特徴とする請求項9記載のスパッタ方法。
- 種類の異なる複数のターゲットから飛散するスパッタ粒子の放出分布に対応した開口部を有する複数の前記スパッタ粒子制御板を配置し、前記ターゲットの種類に応じて、前記スパッタ粒子制御板を切り替えることを特徴とする請求項9記載のスパッタ方法。
- 中央部に径の小さい孔と、外周部に径の大きい孔を有する前記スパッタ粒子制御板を配置し、前記径の小さい孔と、前記径の大きい孔を介して薄膜を形成することを特徴とする請求項9記載のスパッタ方法。
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