JP2006030024A - 光学的測定方法及び光学的測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象GLに光を照射し、検査対象GLから得られる光を受光して最終的に2次元的な光強度信号S1に変換し、光強度信号S1のなかから、表面状態IBを測定するに際して必要な信号である注目信号SBと表面状態を測定するに際して不要な信号であるノイズ信号SNとを分離することにより注目信号SBのみを抽出し、抽出された注目信号SBと所定の閾値T1とを比較する。実質上、光強度信号S1とノイズ信号SNに追随した閾値とを比較していることになり、検査対象の表面特性によるノイズから生じる測定精度の劣化を回避できる。
【選択図】 図1
Description
11 照光手段
13 受光手段
23 比較部(比較手段)
30 異物信号抽出部(注目信号抽出手段)
31 記憶部
32 異物画素抽出部(注目画素抽出部)
33 ノイズ減算部
42 左端部(一方端部)
44 右端部(他方端部)
GL ガラス基板(検査対象)
IB 異物(表面状態)
S1 光強度信号
SB 異物信号(注目信号)
SN ノイズ信号
T1 閾値
40 異物画素、異物領域(注目画素)
P1 第1パラメータ
P2 第2パラメータ
Claims (8)
- 検査対象の表面状態を光学的に測定するための光学的測定方法であって、前記検査対象に光を照射し、前記検査対象から得られる光を受光して最終的に2次元的な光強度信号に変換し、前記光強度信号のなかから、前記表面状態を測定するに際して必要な信号である注目信号と前記表面状態を測定するに際して不要な信号であるノイズ信号とを分離することにより注目信号のみを抽出し、抽出された注目信号と所定の閾値とを比較することを特徴とする光学的測定方法。
- 前記注目信号の存在する画素である注目画素を抽出し、抽出した前記注目画素の光強度信号から当該注目画素におけるノイズ信号を取り除くことにより前記注目信号を抽出する請求項1記載の光学的測定方法。
- 第1パラメータと第2パラメータとを記憶部に予め記憶しておき、隣接する画素の光強度信号に順次差分処理を行い、該隣接する画素間の差分値と第1パラメータとの大小比較に基づいて注目画素の一方端部の画素を認識し、つづいて、隣接する画素間の差分値と第2パラメータとの大小比較に基づいて注目画素の他方端部の画素を認識することで注目画素の位置を認識し、認識された注目画素の両端部の光強度信号からノイズ信号を補間し、補間したノイズ信号を各注目画素の光強度信号から差し引いてなる請求項2記載の光学的測定方法。
- 注目画素の一方端部を認識した後、注目画素の他方端部を認識できなかった場合に、前記一方端部から所定画素幅だけ離れた位置を強制的に他方端部とするか、または、前記一方端部をはじめから認識しなかったとみなすかのどちらかの処理を実施可能とする請求項3記載の光学的測定方法。
- 検査対象の表面状態を光学的に測定するための光学的測定装置であって、前記検査対象に光を照射する照光手段と、前記検査対象から得られる光を受光して最終的に2次元的な光強度信号に変換可能な受光手段と、前記光強度信号のなかから、前記表面状態を測定するに際して必要な信号である注目信号と前記表面状態を測定するに際して不要な信号であるノイズ信号とを分離することにより注目信号のみを抽出する注目信号抽出手段と、抽出された注目信号と所定の閾値とを比較する比較手段とを有することを特徴とする光学的測定装置。
- 前記注目信号抽出手段は、前記注目信号の存在する画素である注目画素を抽出する注目画素抽出部と、抽出した前記注目画素の光強度信号から当該注目画素におけるノイズ信号を取り除くことにより前記注目信号を抽出するノイズ減算部とを有してなる請求項5記載の光学的測定装置。
- 前記注目信号抽出手段は、第1パラメータと第2パラメータとを予め記憶した記憶部を有し、前記注目画素抽出部は、前記受光手段で得られた隣接する画素の光強度信号に順次差分処理を行い、該隣接する画素間の差分値と第1パラメータとの大小比較に基づいて注目画素の一方端部の画素を認識し、つづいて、隣接する画素間の差分値と第2パラメータとの大小比較に基づいて注目画素の他方端部の画素を認識することで注目画素の位置を認識し、認識された注目画素の両端部の光強度信号からノイズ信号を補間し、前記ノイズ減算部は、補間したノイズ信号を各注目画素の光強度信号から差し引いてなる請求項6記載の光学的測定装置。
- 前記注目画素抽出部は、注目画素の一方端部を認識した後、注目画素の他方端部を認識できなかった場合に、前記一方端部から所定画素幅だけ離れた位置を強制的に他方端部とするか、または、前記一方端部をはじめから認識しなかったとみなすかのどちらかの処理を実施可能である請求項7記載の光学的測定装置。
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