JP2006026833A - フレームマウンタ - Google Patents
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Abstract
【課題】
多用な形状のフレームに貼付けられたフィルムシートを、そのフレームの形状に沿いつつ切断するようなフレームマウンタを提供することにある。
【解決手段】
サーキュラ20が円方向に回転移動し、さらにこのサーキュラ20上でテンショナ60・カッターガイド40・パイロットプレート50が半径方向に平行移動するような構成を採用し、これら回転移動と平行移動とを組み合わせて、フレーム300と同一形状のカッターガイド40に沿ってカッタ部130が倣い方式で移動し、フィルムシートを切断するようなフレームマウンタ1000とした。
【選択図】 図1
多用な形状のフレームに貼付けられたフィルムシートを、そのフレームの形状に沿いつつ切断するようなフレームマウンタを提供することにある。
【解決手段】
サーキュラ20が円方向に回転移動し、さらにこのサーキュラ20上でテンショナ60・カッターガイド40・パイロットプレート50が半径方向に平行移動するような構成を採用し、これら回転移動と平行移動とを組み合わせて、フレーム300と同一形状のカッターガイド40に沿ってカッタ部130が倣い方式で移動し、フィルムシートを切断するようなフレームマウンタ1000とした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、フレームに貼付けたフィルムシートを切り取ってフレーム用の形状にフィルムシートを調製するフレームマウンタに関するものである。
半導体製造工程では、棒状のシリコン単結晶がスライシングされて薄い円板状のウェハーが切り出される。このウェハーは、表面が研磨されて鏡面状に仕上げられた後、薄膜形成、リソグラフィ、エッチング、不純物導入、洗浄、熱処理等が施され、VLSI・CMOS等のチップが格子状に複数割り付けられたウェハーとなる。
このウェハー上で格子状に割り付けられた複数のチップから一片のチップへ分割するために、専用のカッターにより一片のチップに切り離されるダイシングが行われる。これら一片のチップがダイボンディング・ワイヤボンディング・パッケージングされ、ICチップが製造されることとなる。
さて、上記した半導体製造工程で、ウェハーに対して、薄膜形成、リソグラフィ、エッチング、不純物導入、洗浄、熱処理等を行う場合に、直に触ることが許されないウェハーの取り扱いを容易ならしめるため、製造工程途中のウェハーは、ウェハーフレームと呼ばれる治具上に取り付けられた上で取り扱われている。作業員・製造装置はこのウェハーフレームを把持・握持することでウェハーに触れることなくウェハーを取り扱うことができる。
このウェハーフレームの一般的な例について説明する。図16はウェハーフレームの構成図であり、図16(a)は表面図、図16(b)はX−X線側断面図、図16(c)は裏面図である。図16(a),図16(c)で示すように、ウェハーフレーム200は一部切り欠き(図16(a)では上側)を有する環状の板であり、中央孔には伸縮性を有するフィルムシート201が張り渡されている。このフィルムシート201には、図16(a)で示される側のみに接着剤が塗布されており、皺等がないように張り渡された状態でウェハーフレーム200に貼り付けられる。さらに、このフィルムシート201の中央部にはウェハー202が配置・固着されることとなる。このようなウェハー202ではウェハーフレーム200を把持して搬送などが行われるため、換言すればウェハー202に直接に接触することがなくなり、ウェハー202に対して塵埃の付着・過度な力が掛かるという事態の発生を回避している。
このようなウェハー202の取り付けを実現するため、図示しないが専用の装置が開発されており、フィルムシート201が張り渡されたウェハーフレーム200に対し、ウェハー202の位置決めを行いつつ取付けることが可能になされている。
また、ローラによりフィルムシートをウェハーフレーム200に押しつけてウェハーフレーム200にフィルムシートを貼付け、このフィルムシートを切断してウェハーフレーム200を完成させる装置であるフレームマウンタも各種開発がなされている。例えば特許文献1では、リングフレーム(先のウェハーフレームに相当)に貼付けられた接着テープ(先のフィルムシートに相当)を貼付け、リングフレーム上を丸カッタ状の切断機が移動して、リングフレームに沿って切断するような従来技術が開示されている。
図16で示した従来技術および特許文献1でも明らかなように、ウェハーフレーム200はリング状であって、フィルムシート201も円状に切断するのが一般的であった。
しかしながら近年では、取扱いの利便性から、各種LSI・DSPや回路基板などもこのようなウェハーフレーム200を用いて搬送するような場合がある。特に半導体製造工程では四角試料(例えばプリント基板など)を扱う機会が増えている。この場合、現状では円形用のウェハーフレーム200に角形試料を搭載して使用しているため、積載数の増加を妨げている。そこで、積載数を増加させるため、例えば、図17(a),(b)で示すような樽型のフレーム300や、図18(a),(b)で示すような四角型のフレーム400を採用することが考えられる。このような状況のため、多種形状のフレームに対応してフィルムシートを切断・貼付けするフレームマウンタが必要とされている。
しかしながら近年では、取扱いの利便性から、各種LSI・DSPや回路基板などもこのようなウェハーフレーム200を用いて搬送するような場合がある。特に半導体製造工程では四角試料(例えばプリント基板など)を扱う機会が増えている。この場合、現状では円形用のウェハーフレーム200に角形試料を搭載して使用しているため、積載数の増加を妨げている。そこで、積載数を増加させるため、例えば、図17(a),(b)で示すような樽型のフレーム300や、図18(a),(b)で示すような四角型のフレーム400を採用することが考えられる。このような状況のため、多種形状のフレームに対応してフィルムシートを切断・貼付けするフレームマウンタが必要とされている。
しかしながら、現状では円形のような単純なフレームに対応してフィルムシートを切断するフレームマウンタは存在するが、それ以外の形状のフレームに対し、フィルムシートを切断・貼付けできるフレームマウンタは存在せず、切断を手作業で行うか、積載数を減らして円形用のウェハーフレームを採用し、円形用のフレームマウンタで作業してフィルムシートを切断・貼付けしているのが実情であった。
さらに、このようなフレームマウンタでは新たな問題が生じるものであった。例えば、仮に四角形のフレームがあったとすると、直線部分では切断は容易であるが、四隅などでは連続的に切断するのが困難であり、機械化が困難であった。このような事情からも、作業員が手作業によりカッターで切断するのが実情であった。
特許文献1のような切断装置では、先に挙げたように四角型フレームの四隅や樽型フレームの円から線に変化する部分では特に対応が困難であり、新たな機構を採用する必要があった。フレーム中の基板などの積載数を増加させると共に効率的な切断作業を可能にしたいという要請があった。
特許文献1のような切断装置では、先に挙げたように四角型フレームの四隅や樽型フレームの円から線に変化する部分では特に対応が困難であり、新たな機構を採用する必要があった。フレーム中の基板などの積載数を増加させると共に効率的な切断作業を可能にしたいという要請があった。
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、多用な形状のフレームに貼付けられたフィルムシートを、そのフレームの形状に沿いつつ切断するようなフレームマウンタを提供することにある。
本発明の請求項1に係るフレームマウンタは、
フレームの開口に張り渡されたフィルムシートを機械的に切り取るフレームマウンタであって、
起倒または昇降可能になされたカッターベースと、
カッターベースに回転可能に支持されたサーキュラと、
サーキュラ上で水平方向に移動可能に支持されたスライダと、
サーキュラの外側に配置されるカッターガイドと、
スライダに取付けられ、カッターガイドにスライダを沿わせる被ガイド部と、
スライダとともに移動するカッタ部と、
を備え、フレームの形状と略一致するカッターガイドに沿ってカッタ部を移動させてフレームのフィルムシートを切り取ってマウンティングすることを特徴とする。
フレームの開口に張り渡されたフィルムシートを機械的に切り取るフレームマウンタであって、
起倒または昇降可能になされたカッターベースと、
カッターベースに回転可能に支持されたサーキュラと、
サーキュラ上で水平方向に移動可能に支持されたスライダと、
サーキュラの外側に配置されるカッターガイドと、
スライダに取付けられ、カッターガイドにスライダを沿わせる被ガイド部と、
スライダとともに移動するカッタ部と、
を備え、フレームの形状と略一致するカッターガイドに沿ってカッタ部を移動させてフレームのフィルムシートを切り取ってマウンティングすることを特徴とする。
また、本発明の請求項2に係るフレームマウンタは、
請求項1記載のフレームマウンタにおいて、
前記被ガイド部は、
スライダに取付けられるパイロットプレートと、
パイロットプレートに取付けられるフォロワと、
テンショナと、
テンショナに取付けられるフォロワと、
テンショナに固定されている第1軸と、
パイロットプレートに設けられ、第1軸を水平移動可能に収容する第1軸収容部と、
第1軸をパイロットプレート側へ引っ張るように付勢するフォロワ付勢部と、
テンショナに固定されている第2軸と、
パイロットプレートに設けられ、テンショナの位置決めをしつつ第2軸を収容する第2軸収容部と、
を備え、第2軸を第2軸収容部に入れてカッターガイドを二個のフォロワで挟持し、パイロットプレート側のフォロワでスライダの位置決めをすることを特徴とする。
請求項1記載のフレームマウンタにおいて、
前記被ガイド部は、
スライダに取付けられるパイロットプレートと、
パイロットプレートに取付けられるフォロワと、
テンショナと、
テンショナに取付けられるフォロワと、
テンショナに固定されている第1軸と、
パイロットプレートに設けられ、第1軸を水平移動可能に収容する第1軸収容部と、
第1軸をパイロットプレート側へ引っ張るように付勢するフォロワ付勢部と、
テンショナに固定されている第2軸と、
パイロットプレートに設けられ、テンショナの位置決めをしつつ第2軸を収容する第2軸収容部と、
を備え、第2軸を第2軸収容部に入れてカッターガイドを二個のフォロワで挟持し、パイロットプレート側のフォロワでスライダの位置決めをすることを特徴とする。
また、本発明の請求項3に係るフレームマウンタは、
請求項1または請求項2記載のフレームマウンタにおいて、
スライダに固定されるとともに、サーキュラを貫通してカッターベース下側まで突出しているシャフトホルダと、
シャフトホルダに回動自在に軸支されるスライドシャフトと、
スライドシャフトの軸方向を中心に回転させる回転力をスライドシャフトに付勢する回転力付勢部と、
を備え、スライドシャフトの端部に前記カッタ部が設けられ、このカッタ部は、
スライドシャフトの端部に設けられるカッタホルダと、
スライドシャフトの軸と離間した位置でカッタホルダに軸支される丸カッタと、
を備え、カッターベースを倒した際、または、カッターベースを降した際、前記カッタ部の丸カッタはフレーム側と当接してスライドシャフトが回転するとともに、回転力付勢部によりフィルムシートを切り取る押圧力が付与されることを特徴とする。
請求項1または請求項2記載のフレームマウンタにおいて、
スライダに固定されるとともに、サーキュラを貫通してカッターベース下側まで突出しているシャフトホルダと、
シャフトホルダに回動自在に軸支されるスライドシャフトと、
スライドシャフトの軸方向を中心に回転させる回転力をスライドシャフトに付勢する回転力付勢部と、
を備え、スライドシャフトの端部に前記カッタ部が設けられ、このカッタ部は、
スライドシャフトの端部に設けられるカッタホルダと、
スライドシャフトの軸と離間した位置でカッタホルダに軸支される丸カッタと、
を備え、カッターベースを倒した際、または、カッターベースを降した際、前記カッタ部の丸カッタはフレーム側と当接してスライドシャフトが回転するとともに、回転力付勢部によりフィルムシートを切り取る押圧力が付与されることを特徴とする。
また、本発明の請求項4に係るフレームマウンタは、
前記カッタホルダは、
スライドシャフトの軸方向に対して垂直方向にカッタホルダを軸支するホルダ軸と、
カッタホルダをスライドシャフトに対して略垂直となるように付勢する丸カッタ位置決め部と、
を備え、フレームの変化点では、スライドシャフトの軸方向に対する丸カッタの角度を変化点で連続的に追従させつつ変化させ、滑らかな切断形を形成することを特徴とする。
前記カッタホルダは、
スライドシャフトの軸方向に対して垂直方向にカッタホルダを軸支するホルダ軸と、
カッタホルダをスライドシャフトに対して略垂直となるように付勢する丸カッタ位置決め部と、
を備え、フレームの変化点では、スライドシャフトの軸方向に対する丸カッタの角度を変化点で連続的に追従させつつ変化させ、滑らかな切断形を形成することを特徴とする。
また、本発明の請求項5に係るフレームマウンタは、
請求項3または請求項4に記載のフレームマウンタにおいて、
前記スライドシャフトの回転方向の位置を制限する回転方向ストッパを備えることを特徴とする。
請求項3または請求項4に記載のフレームマウンタにおいて、
前記スライドシャフトの回転方向の位置を制限する回転方向ストッパを備えることを特徴とする。
また、本発明の請求項6に係るフレームマウンタは、
請求項3〜請求項5の何れか一項に記載のフレームマウンタにおいて、
前記スライドシャフトの軸方向の位置を調節する軸方向位置決め部を備えることを特徴とする。
請求項3〜請求項5の何れか一項に記載のフレームマウンタにおいて、
前記スライドシャフトの軸方向の位置を調節する軸方向位置決め部を備えることを特徴とする。
また、本発明の請求項7に係るフレームマウンタは、
請求項1〜請求項6の何れか一項に記載のフレームマウンタにおいて、
前記カッターガイドはサーキュラの半径方向において、二個のフォロワが一定間隔となるようなガイド形状を有することを特徴とする。
請求項1〜請求項6の何れか一項に記載のフレームマウンタにおいて、
前記カッターガイドはサーキュラの半径方向において、二個のフォロワが一定間隔となるようなガイド形状を有することを特徴とする。
以上のような本発明によれば、多用な形状のフレームに貼付けられたフィルムシートを、そのフレームの形状に沿いつつ切断するようなフレームマウンタを提供することができる。
続いて、本発明を実施するための最良の形態のフレームマウンタについて図に基づいて説明する。図1は本形態のフレームマウンタ1000の平面図である。図2は同じくフレームマウンタ1000のA−A線断面図である。図3は同じくフレームマウンタ1000の底面図である。図4はパイロットプレート50およびテンショナ60の拡大平面図である。図5はパイロットプレート50およびテンショナ60の拡大図であり、図5(a)はB−B線断面図、図5(b)は底面図である。図6はパイロットプレート50およびテンショナ60の動作説明図であり、図6(a)は取付前を示す図、図6(b)は取付け途中図、図6(c)は取付け図である。図7は、カッタ部130の動作説明図であり、図7(a)はカッターベース10上昇時のカッタ部130を示す図、図7(b)はカッターベース10下降時のカッタ部130を示す図である。図8は各部の説明図であり、図8(a)は回転力付勢部160を説明するC−C線断面図、図8(b)は回転方向ストッパ170を説明するD−D線断面図である。図9は、丸カッタ位置決め部180の説明図であり、図9(a)は切断時を示す図、図9(b)は切断開始時を示す図である。なお、これら図は、図面の見やすさを特に優先し、簡略な図面としている。また、フレーム300については図17で示した樽型のフレーム300であって従来技術と同じであるため、従来技術の説明と同じ符号を用いて説明する。
本形態のフレームマウンタ1000では、倣い方式でのフィルム切断を行う装置であり、図1〜図9で示すように、カッターベース10、サーキュラ20、スライダ30、カッターガイド40、パイロットプレート50、テンショナ60、サーキュラ用V溝ベアリング70、スライダ用V溝ベアリング80、スライドシャフト100、前側シャフトホルダ110、後側シャフトホルダ120、カッタ部130、軸方向付勢部140、軸方向位置決め部150、回転力付勢部160、回転方向ストッパ170、丸カッタ位置決め部180を備えている。
続いて個々の構成について説明する。
カッターベース10は、図1〜図3で示すように、平板であって孔11(図2参照)が形成されている。カッターベース10は、図示しない基台に蝶番などを介して起倒可能に取付けられていたり、または、図示しない昇降機構に取付けられて昇降可能になされている。
カッターベース10は、図1〜図3で示すように、平板であって孔11(図2参照)が形成されている。カッターベース10は、図示しない基台に蝶番などを介して起倒可能に取付けられていたり、または、図示しない昇降機構に取付けられて昇降可能になされている。
サーキュラ20は、図1〜図4で示すように、回転体(本形態では円形回転板)であり、カッターベース10の孔11の上側に回転可能に支持される。この支持は、サーキュラ20の外周に、V凸状に形成したV凸ガイド部21を配置し、また、外周にV溝を有するサーキュラ用V溝ベアリング70をサーキュラ20の周囲に配置し、サーキュラ用V溝ベアリング70がV凸ガイド部21に嵌め込まれた状態としてサーキュラ20を回動させることで支持している。特に下側のカッターベース10に孔部11があるために採用された構成であるが、本形態のような回転支持部はコスト上昇も招くことなく、円滑に回転支持できる。
なお、回転支持部は他の周知技術を用いても良く、例えばサーキュラ20を大型のスラスト軸受けで支持するようにしても良い。
なお、回転支持部は他の周知技術を用いても良く、例えばサーキュラ20を大型のスラスト軸受けで支持するようにしても良い。
スライダ30は、図1,図2,図4,図7で示すように、長方形板状であって、サーキュラ20の上側で水平方向に移動可能に支持される。この支持は、スライダ30の外周をV凸状に形成したV凸ガイド部31(特に図7(a)参照)を配置し、また、外周にV溝を有するスライダ用V溝ベアリング80を、サーキュラ20の上であってスライダ30の周囲に配置し、スライダ用V溝ベアリング80がスライダ30を平行移動させることで支持している。
なお、平行移動支持部は他の周知技術を用いても良く、例えばスライダ30を大型のスライド軸受けで両側で支持するようにしても良い。
なお、平行移動支持部は他の周知技術を用いても良く、例えばスライダ30を大型のスライド軸受けで両側で支持するようにしても良い。
カッターガイド40は、図1で示すように、図17の樽型のフレーム300と略同じ形状を有しており、カッタ部130によるフィルムシートを切断する際のガイド機能を有している。このカッターガイド40は、図2で示すように柱部41によりカッターベース10の上側であってサーキュラ20の外側に配置されている。
パイロットプレート50は、図2,図4,図5で示すように、スライダ30に取付けられている。このパイロットプレート50には、回転グリップ51(図2参照)、第1軸収容部52(図4参照)、第2軸収容部53(図4参照)、フォロワ54(図5参照)、軸55(図5参照)、ナット56(図5参照)、フォロワ付勢部57(図4参照)、抜け止めねじ58(図4参照)を備えている。図5で示すように、スライダ30の上に取付けられたパイロットプレート50には、カッターガイド40の内側を倣うための基準接触子となるフォロワ54が設けられる。このフォロワ54は、軸55が回動自在に取付けられており、この軸55はナット56によりパイロットプレート50から脱落しないようになされる。これらの動作については後述する。
テンショナ60は、図2,図4,図5で示すように、パイロットプレート50の先端に平行移動自在に配置され、第1軸61(図4参照)、第2軸62(図4参照)、フォロワ63(図5参照)、軸64(図5参照)、ナット65(図5参照)を備えている。
テンショナ60には、カッターガイド40の外側を倣うための基準接触子となるフォロワ63が設けられる。フォロワ63は、軸64が回動自在に取付けられており、この軸64はナット65によりテンショナ60から脱落しないようになされる。
図4で示すように、テンショナ60に固定された長軸の第1軸61はパイロットプレート50の第1軸収容部52に、また、テンショナ60に固定された短軸の第2軸62は、パイロットプレート50の第2軸収容部53にそれぞれ収容されている。第1軸収容部52を貫通して反対側に突出する第1軸61にはフォロワ付勢部57により付勢され、抜け止めねじ58により抜け止めされる。フォロワ付勢部57によりテンショナ60は内周側へ移動するように付勢される。
これにより、短軸の第2軸62とともにテンショナ60を引出すと長軸の第1軸61を回転軸として半回転する。この状態では、カッターガイド40の交換が可能となる。
テンショナ60には、カッターガイド40の外側を倣うための基準接触子となるフォロワ63が設けられる。フォロワ63は、軸64が回動自在に取付けられており、この軸64はナット65によりテンショナ60から脱落しないようになされる。
図4で示すように、テンショナ60に固定された長軸の第1軸61はパイロットプレート50の第1軸収容部52に、また、テンショナ60に固定された短軸の第2軸62は、パイロットプレート50の第2軸収容部53にそれぞれ収容されている。第1軸収容部52を貫通して反対側に突出する第1軸61にはフォロワ付勢部57により付勢され、抜け止めねじ58により抜け止めされる。フォロワ付勢部57によりテンショナ60は内周側へ移動するように付勢される。
これにより、短軸の第2軸62とともにテンショナ60を引出すと長軸の第1軸61を回転軸として半回転する。この状態では、カッターガイド40の交換が可能となる。
サーキュラ用V溝ベアリング70は、先に説明したが、図1で示すようにカッターベース10に回動可能となるように軸支されており、V溝内にサーキュラ20のV凸ガイド部21が嵌め込まれている。
スライダ用V溝ベアリング80は、先に説明したが、図1で示すように、サーキュラ20に回動可能となるように軸支されており、V溝内にスライダ30のV凸ガイド部31が嵌め込まれている。
スライダ用V溝ベアリング80は、先に説明したが、図1で示すように、サーキュラ20に回動可能となるように軸支されており、V溝内にスライダ30のV凸ガイド部31が嵌め込まれている。
スライドシャフト100は、図2,図3で示すように棒状に形成されている。
前側シャフトホルダ110および後側シャフトホルダ120は、図2で示すように、それぞれスライダ30に固定されるとともに、サーキュラ20の前側貫通孔22および後側貫通孔23を貫通してカッターベース10の下側まで突出している。スライドシャフト100は、樹脂軸受けなどのすべり軸受け111,121を介して、前側シャフトホルダ110および後側シャフトホルダ120に回転自在に軸支されている。
前側シャフトホルダ110および後側シャフトホルダ120は、図2で示すように、それぞれスライダ30に固定されるとともに、サーキュラ20の前側貫通孔22および後側貫通孔23を貫通してカッターベース10の下側まで突出している。スライドシャフト100は、樹脂軸受けなどのすべり軸受け111,121を介して、前側シャフトホルダ110および後側シャフトホルダ120に回転自在に軸支されている。
カッタ部130は、図2,図3で示すように、スライドシャフト100の先端部に取付けられており、詳しくは図7(a)で示すように、カッタホルダ131、ホルダ軸132、丸カッタ133を備えている。
カッタホルダ131は、スライドシャフト100の先端部で、上下のホルダ軸132により軸支され、スライドシャフト100に対して回動自在(図9(a),(b)参照)に設けられる。このカッタホルダ131には、スライドシャフト100の軸と離間した位置(図7(a)では斜め右下)で、丸カッタ133が、ベアリングを介して滑らかに回動するようにカッタホルダ131に軸支される。なお、動作については後述する。
カッタホルダ131は、スライドシャフト100の先端部で、上下のホルダ軸132により軸支され、スライドシャフト100に対して回動自在(図9(a),(b)参照)に設けられる。このカッタホルダ131には、スライドシャフト100の軸と離間した位置(図7(a)では斜め右下)で、丸カッタ133が、ベアリングを介して滑らかに回動するようにカッタホルダ131に軸支される。なお、動作については後述する。
軸方向付勢部140は、図2,図3で示すように、後側シャフトホルダ120とスライドシャフト100とに渡されて付勢する圧縮ばねであって、カッタ部130側へスライドシャフト100が移動するように付勢している。
軸方向位置決め部150は、図2,図3で示すように、スライドシャフト100の後端に螺設されたねじ部に螺挿されるナットであり、カッタ部130側へ移動しようとするスライドシャフト100へ断面ハット状の受け筒部151を介して後側シャフトホルダ120に当接して、抜け止めとなっている。この軸方向位置決め部150を回転させると、スライドシャフト100が前後方向(図2で左右方向)に移動してカッタ部130の位置を調整する。
回転力付勢部160は、図8(a)で示すように、ロッド161、ばね162、位置決め部163を備えている。このばね162は引っ張りばねとなっており、このばね162の付勢力により、カッタ部130は、通常は、図7(a)の位置で安定している。
後述するがカッターベース10を倒した際、または、カッターベース10を降した際、図7(b)で示すように、カッタ部130の丸カッタ133はフレーム300側と当接すると同時にスライドシャフト100も回転する。すると、図8(a)のロッド161も回転してばね162が伸びてフィルムシート301を切り取る押圧力が付与される。また、丸カッタ133とフレーム300との間の距離がフレーム据え付け時に異なる場合でも、高さの違いを吸収しつつ付勢するため、適正圧力でフィルムシート301を切断できる。
後述するがカッターベース10を倒した際、または、カッターベース10を降した際、図7(b)で示すように、カッタ部130の丸カッタ133はフレーム300側と当接すると同時にスライドシャフト100も回転する。すると、図8(a)のロッド161も回転してばね162が伸びてフィルムシート301を切り取る押圧力が付与される。また、丸カッタ133とフレーム300との間の距離がフレーム据え付け時に異なる場合でも、高さの違いを吸収しつつ付勢するため、適正圧力でフィルムシート301を切断できる。
回転方向ストッパ170は、図8(b)で示すように、ロッド171、第1ストッパ12、第2ストッパ173を備えている。
スライドシャフト100が回転すると同時にロッド171も回転するが、一定角度以上回転すると第1ストッパ12、第2ストッパ173に当接するため、スライドシャフト100の回転が制限される。
スライドシャフト100が回転すると同時にロッド171も回転するが、一定角度以上回転すると第1ストッパ12、第2ストッパ173に当接するため、スライドシャフト100の回転が制限される。
丸カッタ位置決め部180は、図9(a),(b)で示すように、カッタホルダ側取付け部181、スライドシャフト側取付け部182、位置付勢ばね183を備えている。
この丸カッタ位置決め部180により、カッタ部130は、通常では図9(b)のように斜め方向を向いている。フィルムシート301の切断開始時に、丸カッタ133は斜め方向に向いているため、フレーム300の外側の位置からフィルムシート301を切断することとなり、誤ってフレーム内側(中央孔側)のフィルムシート301を傷つけることがなく(フレーム内側のフィルムシートが傷つくと破断する)、不良品を発生させるおそれが少ない。
この丸カッタ位置決め部180により、カッタ部130は、通常では図9(b)のように斜め方向を向いている。フィルムシート301の切断開始時に、丸カッタ133は斜め方向に向いているため、フレーム300の外側の位置からフィルムシート301を切断することとなり、誤ってフレーム内側(中央孔側)のフィルムシート301を傷つけることがなく(フレーム内側のフィルムシートが傷つくと破断する)、不良品を発生させるおそれが少ない。
続いてこのフレームマウンタ1000の各部の動作について説明する。
まず、カッターガイド40に沿って動く、パイロットプレート50およびテンショナ60の動作について説明する。
例えば、図6(a)で示す状態でフレーム300の形状に応じたカッターガイド40(本形態では樽型)を選択して、柱部41上に取付ける。さらに、フレーム300にフィルムシートを貼付けて切断前の状態で、所定位置に載置する(図2参照)。
まず、カッターガイド40に沿って動く、パイロットプレート50およびテンショナ60の動作について説明する。
例えば、図6(a)で示す状態でフレーム300の形状に応じたカッターガイド40(本形態では樽型)を選択して、柱部41上に取付ける。さらに、フレーム300にフィルムシートを貼付けて切断前の状態で、所定位置に載置する(図2参照)。
続いて、図6(a)で示すように、テンショナ60を矢印a方向に引っ張ると、フォロワ付勢部57の付勢力に抗しながら、図6(b)で示すようにカッターガイド40の外周部側に引き出され、ここで、矢印b方向に回動させるともに第2軸62を第2軸収容部53の位置に合わせて、矢印c方向に移動させて、第2軸62を第2軸収容部53内に挿入する。そして、フォロワ付勢部57の付勢力によりさらに矢印c方向へ移動して、図6(c)で示すように、カッターガイド40をフォロワ54,63で挟み込んだ状態とする(図5(a),(b)参照)。
この際、図10のカッターガイドのノッチ部42の説明図で示すような、ノッチ部42内にテンショナ60側のフォロワ63が位置しており、停止位置を保持する。このノッチ部42は、カッター原点である。
続いて、カッターベース10を倒す、または、降下させると、カッタ部130は、図7(b)で示すように矢印d方向に移動して丸カッタ133がフィルムシート301に当接する状態となる。このとき丸カッタ133は、図9(b)のように斜めに位置している。
このカッタベース10が移動する際、先に説明したノッチ部42にフォロワ63が入り込んでいるため、テンショナ60が移動するようなことはない。
続いて、カッターベース10を倒す、または、降下させると、カッタ部130は、図7(b)で示すように矢印d方向に移動して丸カッタ133がフィルムシート301に当接する状態となる。このとき丸カッタ133は、図9(b)のように斜めに位置している。
このカッタベース10が移動する際、先に説明したノッチ部42にフォロワ63が入り込んでいるため、テンショナ60が移動するようなことはない。
続いて切断位置にセットを終了したあと切断を開始する。図11〜図14は切断動作の説明図である。なお、先に説明したノッチ部42は、図10で示すように、ノッチ部42の傾斜に緩急を付け、時計回り方向には回転し易くし、また、反時計回り方向には、回転しにくくなるようにして、作業者に直感的に切断回転方向を示唆するようになされており、作業者は時計回りを選択する。
この際、パイロットプレート50に設けた回転グリップ51を握り、図1の切断位置からカッターガイド40の円弧部に沿って図11で示すように時計方向(矢印e方向)に移動していく。カッターガイド40に沿ってテンショナ60・パイロットプレート50・スライダ30が半径方向に移動するとともにサーキュラ20が回転する。このスライダ30の移動に追従してスライドシャフト100が移動し、カッタ部130の丸カッタ133がフレーム300上を移動していく。この際、カッタ部130ではカッタホルダ131に牽引された丸カッタ133が追従し、図9(a)で示すように、スライドシャフト100に対して略垂直に維持されながら切断していく。また、丸カッタ133がフレーム300の上下方向の高さに追従して上下動しても、スライドシャフト100の回転でその変化を吸収する。
この際、パイロットプレート50に設けた回転グリップ51を握り、図1の切断位置からカッターガイド40の円弧部に沿って図11で示すように時計方向(矢印e方向)に移動していく。カッターガイド40に沿ってテンショナ60・パイロットプレート50・スライダ30が半径方向に移動するとともにサーキュラ20が回転する。このスライダ30の移動に追従してスライドシャフト100が移動し、カッタ部130の丸カッタ133がフレーム300上を移動していく。この際、カッタ部130ではカッタホルダ131に牽引された丸カッタ133が追従し、図9(a)で示すように、スライドシャフト100に対して略垂直に維持されながら切断していく。また、丸カッタ133がフレーム300の上下方向の高さに追従して上下動しても、スライドシャフト100の回転でその変化を吸収する。
続いて、図10で示すようにカッターガイド40の直線部に沿って移動していき(矢印f方向)、再度、円弧部に沿って、図11,図12と移動して(矢印g,h方向)、最終的に図1のカッター原点に戻るものである。一回転させると外側(テンショナ60側)にあるフォロワ63は原点位置でノッチ部42に嵌り軽い衝撃と音がするが、30mm程度通りすぎてから戻すと、完全に切断される。
このようにしてフィルムシートの切断がなされる。本形態のフレームマウンタ1000はこのようなものである。
このようにしてフィルムシートの切断がなされる。本形態のフレームマウンタ1000はこのようなものである。
なお、円形以外の形状で切断するためには丸カッタ133を軽い操作力で任意の位置に移動させる事が求められる。この点について図を参照しつつ説明する。図15はカッターガイド40の変化点におけるフォロワ位置の説明図であり、図15(a)は改良前のカッターガイド40の変化点を示す図、図15(b)は改良後のカッターガイド40の変化点を示す図である。
この構造では回転中の抵抗は主にカッターガイド40により発生する。パイロットプレート50のフォロワ54と、テンショナ60のフォロワ63と、はカッターガイド40を挟み、付勢力で常に最短距離になろうとして、倣いの基準となる内側の接触子(フォロワ54)をカッターガイド40の内側に密着させる。このためパイロットプレート50とテンショナ60との間隔が変化点では重くなる傾向が現れる。この傾向は回転角度に対する距離の変化が急激になるほど顕著になる。
例えば、図15(a)で示すように、樽型のカッターガイド40の変化点では、円弧状部では距離aを保っているが、フィルム切断方向が急激に変化する変化点を過ぎるとaよりも長い距離bとなるため、フォロワ54,63が急激に広がって付勢力に抗する力が加わるため、テンショナ60とパイロットプレート50の間隔が離れる時に回転が重くなるように感じる。
フォロワ付勢部57の付勢力に起因するこの現象は、フォロワ54,63がカッターガイド40から離れる事を防ぐ対策(フォロワ付勢部57の付勢力強化)と矛盾する。また、カッターガイド40内側は倣いの基準としており、形状は限定される。
フォロワ付勢部57の付勢力に起因するこの現象は、フォロワ54,63がカッターガイド40から離れる事を防ぐ対策(フォロワ付勢部57の付勢力強化)と矛盾する。また、カッターガイド40内側は倣いの基準としており、形状は限定される。
そこで、以下の構造で滑らかな回転を得る。
(1)まず、図15(b)で示すように、カッターガイド40の形状を、フォロワ54,63間の距離aが一定になるように、製作する。この場合、カッターガイド40の内周側(フォロワ54の接触側)はフィルムシートの切断形状を決定するためそのままにし、カッターガイド40の外周側を除去することで製作する。また、カッターガイド40の変化点の内周側では図15(b)で示すように多少の曲線を与えるとより滑らかな移動を実現できるが、内周側は変化を与えないようにしても良い。
なお、フォロワ54,63の間隔は「テンショナ60の長軸」による直線移動のため、回転中心を通る放射線上の間隔となる。この結果カッターガイド40の幅は、変化点に近づくにつれて幅が狭くなり、変化点から遠くなるにつれて広くなる形状となる。これは、「回転中心とカムフォロワを結ぶ線」がガイドと傾斜する所では、傾斜の影響で最短距離がカムフォロワの間隔より短くなるためである。
また、この状態では傾斜による回転力が発生するが、回転ムラに影響するような大きな力では無いためここでは無視する。外形線は「直線や円弧を繋げた近似線」でも同様の効果を得る。
このようにすることで、カッターガイド40の変化点でフォロワ54,63が急激に移動してスライダ30やサーキュラ20に力が加わる事象をなくし、回転が重くならないようにする。
(1)まず、図15(b)で示すように、カッターガイド40の形状を、フォロワ54,63間の距離aが一定になるように、製作する。この場合、カッターガイド40の内周側(フォロワ54の接触側)はフィルムシートの切断形状を決定するためそのままにし、カッターガイド40の外周側を除去することで製作する。また、カッターガイド40の変化点の内周側では図15(b)で示すように多少の曲線を与えるとより滑らかな移動を実現できるが、内周側は変化を与えないようにしても良い。
なお、フォロワ54,63の間隔は「テンショナ60の長軸」による直線移動のため、回転中心を通る放射線上の間隔となる。この結果カッターガイド40の幅は、変化点に近づくにつれて幅が狭くなり、変化点から遠くなるにつれて広くなる形状となる。これは、「回転中心とカムフォロワを結ぶ線」がガイドと傾斜する所では、傾斜の影響で最短距離がカムフォロワの間隔より短くなるためである。
また、この状態では傾斜による回転力が発生するが、回転ムラに影響するような大きな力では無いためここでは無視する。外形線は「直線や円弧を繋げた近似線」でも同様の効果を得る。
このようにすることで、カッターガイド40の変化点でフォロワ54,63が急激に移動してスライダ30やサーキュラ20に力が加わる事象をなくし、回転が重くならないようにする。
さらに以下のような対策も有効である。
(2)慣性も主な要因と考え、主にアルミ材を使用して可動部の軽量化を対策とした。
(「丸棒類」及び「V溝ベアリングとの摺動部」を除く)
(3)サーキュラ20とスライダ30の摩擦低減も効果的であるため、本発明ではサーキュラ用V溝ベアリング70,スライダ用V溝ベアリング80を採用して摩擦低減を実現している。
(4)カッタ部130では丸カッタ133をボールベアリング(図示せず)で保持して、回転を容易にしている。
(5)倣い方式のため、カッターガイド40の接触子としてフォロワ54,63を使用して、接触抵抗を低減させている。
(2)慣性も主な要因と考え、主にアルミ材を使用して可動部の軽量化を対策とした。
(「丸棒類」及び「V溝ベアリングとの摺動部」を除く)
(3)サーキュラ20とスライダ30の摩擦低減も効果的であるため、本発明ではサーキュラ用V溝ベアリング70,スライダ用V溝ベアリング80を採用して摩擦低減を実現している。
(4)カッタ部130では丸カッタ133をボールベアリング(図示せず)で保持して、回転を容易にしている。
(5)倣い方式のため、カッターガイド40の接触子としてフォロワ54,63を使用して、接触抵抗を低減させている。
以上本発明の実施形態について説明した。しかしながら、本発明では各種の変形が可能である。
例えば、フレームは図17で示した樽型であるものとして説明した。しかしながら、図18で示す四角型のフレームにフィルムシートをマウントするような場合、四角型のカッターガイド(図示せず)に交換することで切断形状の変更が可能である。
例えば、フレームは図17で示した樽型であるものとして説明した。しかしながら、図18で示す四角型のフレームにフィルムシートをマウントするような場合、四角型のカッターガイド(図示せず)に交換することで切断形状の変更が可能である。
回転移動に外周にV溝を有する回転軸受けを使用しているが現用周知の他の方法による回転支持体により回転移動させる構成を採用できる。
同様に、直線移動に外周にV溝を有する回転軸受けを使用しているが現用周知の他の方法による直線移動体により直線移動させる構成を採用できる。
同様に、直線移動に外周にV溝を有する回転軸受けを使用しているが現用周知の他の方法による直線移動体により直線移動させる構成を採用できる。
以上本形態のフレームマウンタ1000では、
(1)円形以外の形状でもフィルムシートを切断する事ができる。
(2)カッターガイド40の交換で他の形状に変更する事ができる。
(3)環状切断時の抵抗トルクの変動が少ない。
という効果を奏しうるものである。
(1)円形以外の形状でもフィルムシートを切断する事ができる。
(2)カッターガイド40の交換で他の形状に変更する事ができる。
(3)環状切断時の抵抗トルクの変動が少ない。
という効果を奏しうるものである。
1000:フレームマウンタ
10:カッターベース
11:孔
20:サーキュラ
21:V凸ガイド部
22:前後貫通孔
23:後側貫通孔
30:スライダ
31:V凸ガイド部
40:カッターガイド
41:柱部
42:ノッチ部
50:パイロットプレート
51:回転グリップ
52:第1軸収容部
53:第2軸収容部
54:フォロワ
55:軸
56:ナット
57:フォロワ付勢部
58:抜け止めねじ
60:テンショナ
61:第1軸
62:第2軸
63:フォロワ
64:軸
65:ナット
70:サーキュラ用V溝ベアリング
80:スライダ用V溝ベアリング
100:スライドシャフト
110:前側シャフトホルダ
111:すべり軸受け
120:後側シャフトホルダ
121:すべり軸受け
130:カッタ部
131:カッタホルダ
132:ホルダ軸
133:丸カッタ
140:軸方向付勢部
150:軸方向位置決め部
160:回転力付勢部
161:ロッド
162:ばね
163:位置決め部
170:回転方向ストッパ
171:ロッド
172:第1ストッパ
173:第2ストッパ
180:丸カッタ位置決め部
181:カッタホルダ側取付け部
182:スライドシャフト側取付け部
183:位置付勢ばね
10:カッターベース
11:孔
20:サーキュラ
21:V凸ガイド部
22:前後貫通孔
23:後側貫通孔
30:スライダ
31:V凸ガイド部
40:カッターガイド
41:柱部
42:ノッチ部
50:パイロットプレート
51:回転グリップ
52:第1軸収容部
53:第2軸収容部
54:フォロワ
55:軸
56:ナット
57:フォロワ付勢部
58:抜け止めねじ
60:テンショナ
61:第1軸
62:第2軸
63:フォロワ
64:軸
65:ナット
70:サーキュラ用V溝ベアリング
80:スライダ用V溝ベアリング
100:スライドシャフト
110:前側シャフトホルダ
111:すべり軸受け
120:後側シャフトホルダ
121:すべり軸受け
130:カッタ部
131:カッタホルダ
132:ホルダ軸
133:丸カッタ
140:軸方向付勢部
150:軸方向位置決め部
160:回転力付勢部
161:ロッド
162:ばね
163:位置決め部
170:回転方向ストッパ
171:ロッド
172:第1ストッパ
173:第2ストッパ
180:丸カッタ位置決め部
181:カッタホルダ側取付け部
182:スライドシャフト側取付け部
183:位置付勢ばね
Claims (7)
- フレームの開口に張り渡されたフィルムシートを機械的に切り取るフレームマウンタであって、
起倒または昇降可能になされたカッターベースと、
カッターベースに回転可能に支持されたサーキュラと、
サーキュラ上で水平方向に移動可能に支持されたスライダと、
サーキュラの外側に配置されるカッターガイドと、
スライダに取付けられ、カッターガイドにスライダを沿わせる被ガイド部と、
スライダとともに移動するカッタ部と、
を備え、フレームの形状と略一致するカッターガイドに沿ってカッタ部を移動させてフレームのフィルムシートを切り取ってマウンティングすることを特徴とするフレームマウンタ。 - 請求項1記載のフレームマウンタにおいて、
前記被ガイド部は、
スライダに取付けられるパイロットプレートと、
パイロットプレートに取付けられるフォロワと、
テンショナと、
テンショナに取付けられるフォロワと、
テンショナに固定されている第1軸と、
パイロットプレートに設けられ、第1軸を水平移動可能に収容する第1軸収容部と、
第1軸をパイロットプレート側へ引っ張るように付勢するフォロワ付勢部と、
テンショナに固定されている第2軸と、
パイロットプレートに設けられ、テンショナの位置決めをしつつ第2軸を収容する第2軸収容部と、
を備え、第2軸を第2軸収容部に入れてカッターガイドを二個のフォロワで挟持し、パイロットプレート側のフォロワでスライダの位置決めをすることを特徴とするフレームマウンタ。 - 請求項1または請求項2記載のフレームマウンタにおいて、
スライダに固定されるとともに、サーキュラを貫通してカッターベース下側まで突出しているシャフトホルダと、
シャフトホルダに回動自在に軸支されるスライドシャフトと、
スライドシャフトの軸方向を中心に回転させる回転力をスライドシャフトに付勢する回転力付勢部と、
を備え、スライドシャフトの端部に前記カッタ部が設けられ、このカッタ部は、
スライドシャフトの端部に設けられるカッタホルダと、
スライドシャフトの軸と離間した位置でカッタホルダに軸支される丸カッタと、
を備え、カッターベースを倒した際、または、カッターベースを降した際、前記カッタ部の丸カッタはフレーム側と当接してスライドシャフトが回転するとともに、回転力付勢部によりフィルムシートを切り取る押圧力が付与されることを特徴とするフレームマウンタ。 - 請求項3に記載のフレームマウンタにおいて、
前記カッタホルダは、
スライドシャフトの軸方向に対して垂直方向にカッタホルダを軸支するホルダ軸と、
カッタホルダをスライドシャフトに対して略垂直となるように付勢する丸カッタ位置決め部と、
を備え、フレームの変化点では、スライドシャフトの軸方向に対する丸カッタの角度を変化点で連続的に追従させつつ変化させ、滑らかな切断形を形成することを特徴とするフレームマウンタ。 - 請求項3または請求項4に記載のフレームマウンタにおいて、
前記スライドシャフトの回転方向の位置を制限する回転方向ストッパを備えることを特徴とするフレームマウンタ。 - 請求項3〜請求項5の何れか一項に記載のフレームマウンタにおいて、
前記スライドシャフトの軸方向の位置を調節する軸方向位置決め部を備えることを特徴とするフレームマウンタ。 - 請求項1〜請求項6の何れか一項に記載のフレームマウンタにおいて、
前記カッターガイドはサーキュラの半径方向において、二個のフォロワが一定間隔となるようなガイド形状を有することを特徴とするフレームマウンタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004211023A JP2006026833A (ja) | 2004-07-20 | 2004-07-20 | フレームマウンタ |
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JP2004211023A JP2006026833A (ja) | 2004-07-20 | 2004-07-20 | フレームマウンタ |
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---|---|
JP2006026833A true JP2006026833A (ja) | 2006-02-02 |
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JP2004211023A Pending JP2006026833A (ja) | 2004-07-20 | 2004-07-20 | フレームマウンタ |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012051077A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Hirata Corp | 切断装置及び切断方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5627796A (en) * | 1979-08-16 | 1981-03-18 | Yec Kk | Trimming device |
JPS594384B2 (ja) * | 1974-01-18 | 1984-01-30 | サン−ゴベン インダストリ | ガラス板の切断装置 |
JPH07186091A (ja) * | 1993-11-02 | 1995-07-25 | Fmc Corp | ナイフ組立体及び切断方法 |
JPH10112492A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Teikoku Seiki Kk | ウェハ保護テープの裁断方法及びその装置 |
JPH10112494A (ja) * | 1996-08-09 | 1998-04-28 | Lintec Corp | 接着シート貼付装置 |
JPH11274111A (ja) * | 1998-01-17 | 1999-10-08 | Samsung Electronics Co Ltd | 接着テープの切断装置 |
-
2004
- 2004-07-20 JP JP2004211023A patent/JP2006026833A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS594384B2 (ja) * | 1974-01-18 | 1984-01-30 | サン−ゴベン インダストリ | ガラス板の切断装置 |
JPS5627796A (en) * | 1979-08-16 | 1981-03-18 | Yec Kk | Trimming device |
JPH07186091A (ja) * | 1993-11-02 | 1995-07-25 | Fmc Corp | ナイフ組立体及び切断方法 |
JPH10112494A (ja) * | 1996-08-09 | 1998-04-28 | Lintec Corp | 接着シート貼付装置 |
JPH10112492A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Teikoku Seiki Kk | ウェハ保護テープの裁断方法及びその装置 |
JPH11274111A (ja) * | 1998-01-17 | 1999-10-08 | Samsung Electronics Co Ltd | 接着テープの切断装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012051077A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Hirata Corp | 切断装置及び切断方法 |
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Effective date: 20110104 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |