JP2006021973A - 原料供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】多結晶シリコン原料投入管等を破損させることなく原料を正確に供給する。
【解決手段】原料供給装置は、単結晶引上げ装置の単結晶を引上げた後のルツボ内の原料融液に下端が臨む垂直投入管２０と、所定の角度で傾斜して下端が垂直投入管の上端に接続された傾斜投入管１９と、傾斜投入管の上端に粒状又は塊状の原料２６を供給可能なホッパとを備え、傾斜投入管の下端開口部を開放可能に閉止する閉止板２２が垂直投入管の上部に設けられる。垂直投入管の下端に所定量の原料が堆積可能な堆積部が形成され、垂直投入管は堆積部に堆積された所定量の原料を超える原料がルツボ内の原料融液中に落下するように構成される。傾斜投入管の軸方向の移動又は閉止板の上昇により傾斜投入管の下端開口部が開放される。閉止板が原料と同一の材料又は原料より高い硬度を有する材料により構成される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、チョクラルスキー法による単結晶引上げ装置の単結晶を引上げた後のルツボ内にシリコン原料を供給する原料供給装置に関するものである。

従来、チョクラルスキー法（以下「ＣＺ法」という。）によるシリコン単結晶の製造において、製造コストを低減する方法として、マルチプリング法が知られている。マルチプリング法は、所定の範囲のドーパント濃度を持つシリコン単結晶を引上げた後、ルツボ内のシリコン原料の減少量に相当する量のシリコン原料を追加供給し、これを溶融した後、再度、同様のシリコン単結晶を引上げることを繰り返す方法である。この方法によれば、製造歩留りが向上すると共に、一度しか使用できない石英ルツボから複数本の単結晶を製造できるために、ルツボコストが低減し、シリコン単結晶の製造コストを低減できることが期待されている。

このシリコン原料の追加供給方法として、シリコン融液の溶湯面にまたは固化面に先端が近接する垂直投入管に粒状シリコン原料を滞留させ、次いで、垂直投入管内の粒状シリコン原料の滞留を維持しながらルツボを下降または垂直投入管を上昇させて、シリコン融液の溶湯面または固化面上に粒状シリコン原料の未溶融層を形成し、そしてこの未溶融層を溶融すると共に、垂直投入管内の粒状シリコン原料の滞留を維持しながら垂直投入管を介して未溶融層へ粒状シリコン原料を供給する方法（例えば、特許文献１参照。）が提案されている。この供給方法であると、速やかにかつ石英ルツボに損傷を与えることなくシリコン原料を供給でき、そして、この方法に使用する装置として略垂直に設けられた垂直投入管と、その垂直投入管の上部に設けられ垂直投入管に粒状シリコン原料を供給するための傾斜した傾斜投入管とを備えたものが開示されている。
特許３４９６３８８号公報（特許請求の範囲、明細書［００１４］、図１）

しかし、上記従来の原料供給装置では、粒状又は塊状の多結晶原料を傾斜投入管から垂直投入管に供給すると、傾斜投入管の上端に供給された原料はその運動エネルギを増しながら下方に移動して垂直投入管の上端に供給されるため、垂直投入管の上端における原料の干渉による摩擦が大きく、垂直投入管の内面に貝殻状の欠けや、クラックが発生することがあり、また、原料の運動エネルギの大きさから、傾斜投入管や垂直投入管の原料が当接する部分においても、摩耗や破損が生じる不具合もある。

一方、従来の原料供給装置では、所定量の原料が供給された段階でその原料の供給を一端堰き止めるカットゲートが設けられているけれども、原料が塊状又は粒状の多結晶原料である場合には、原料がカットゲートに噛み込んで原料の供給を停止できない事態も生じ得る。このため、係る事態にあっても原料の供給を確実に堰き止めて原料が過剰供給される事態を回避することが望まれる。
本発明の目的は、多結晶シリコン原料の欠け等及び垂直投入管等の破損を起こすことなく原料を供給し得る原料供給装置を提供することにある。
本発明の別の目的は、所定量の原料を比較的正確に供給し得る原料供給装置を提供することにある。

請求項１に係る発明は、図１及び図４に示すように、単結晶引上げ装置３０の単結晶を引上げた後のルツボ３２内の原料融液３７に下端が臨む垂直投入管２０と、所定の角度で傾斜して下端が垂直投入管２０の上端に接続された傾斜投入管１９と、傾斜投入管１９の上端に粒状又は塊状の原料２６を供給可能なホッパ１５，１６，１７とを備え、ホッパ１５，１６，１７に供給された原料２６を傾斜投入管１９及び垂直投入管２０を介して原料融液３７に供給可能に構成された原料供給装置の改良である。
その特徴ある構成は、図１に詳しく示すように、傾斜投入管１９の下端開口部を開放可能に閉止する閉止板２２が垂直投入管２０の上部に設けられたところにある。

ホッパ１５，１６，１７に供給された原料２６は傾斜投入管１９及び垂直投入管２０内を移動する際にその運動エネルギは移動とともに増大し、原料と部材が干渉する場合、屈曲した部位での摩耗が顕著になり、場合によっては部材が大きく剥離、クラックの発生、時には破損を招く。ここで、傾斜投入管１９と垂直投入管２０の接合する部位は原料２６の移動方向と向き合う形で干渉するために破損の危険性がある。しかし、この請求項１に記載された原料供給装置では、その部位に閉止板２２を挿入し、原料２６を堰き止めることで傾斜投入管１９の下端まで移動することにより増大した原料２６の運動エネルギを一度キャンセルすることができ、その後に原料２６が流入する垂直投入管２０に加わるダメージを低減できる。
また、この請求項１に記載された原料供給装置では、閉止板２２を用いて傾斜投入管１９の下端開口部を開閉することにより原料２６の切り出し及び停止に制御することが可能になる。従って、傾斜投入管１９の上流側において原料２６の切り出しを停止することができないような事態が生じても、閉止板２２により傾斜投入管１９の下端開口部を閉止させることにより、ルツボ３２内に容量を超える原料２６が供給され、原料２６があふれ出してホットゾーン損傷を招くようなトラブルを有効に回避することができる。

請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明であって、更に図３に示すように、垂直投入管２０の下端に所定量の原料２６が堆積可能な堆積部２０ｃが形成され、垂直投入管２０は堆積部２０ｃに堆積された所定量の原料２６を超える原料２６がルツボ３２内の原料融液３７中に落下するように構成された原料供給装置である。
上述したように原料２６と干渉する部位は部材の破損を招く場合があるが、この請求項２に記載された原料供給装置では、堆積部２０ｃを形成して原料２６を堆積させておくことにより原料２６の運動エネルギをこの堆積部２０ｃに堆積させた原料２６にクッションの役割をさせて吸収し、垂直投入管２０の下部における摩耗及び破損を防止することができる。

請求項３に係る発明は、請求項１又は２に係る発明であって、更に図２及び図５に示すように、傾斜投入管１９の軸方向の移動又は閉止板２２の上昇により傾斜投入管１９の下端開口部が開放される原料供給装置である。
この請求項３に係る原料供給装置では、傾斜投入管１９の下端開口部を有効に開放させて、原料２６が供給不能な事態を回避することができる。またそれぞれ任意に移動できるために微妙な原料切り出しも可能になり、過剰供給によるホットゾーンの損傷トラブルも防止できる。

請求項４に係る発明は、請求項１ないし３いずれか１項に係る発明であって、閉止板２２が原料２６と同一の材料又は原料２６より高い硬度を有する材料により構成された原料供給装置である。
この請求項４に記載された原料供給装置では、閉止板２２が原料２６と同一であれば干渉により閉止板２２が摩耗してルツボ３２内に混入しても不純物汚染の心配はなく、例えばサファイヤ又は炭化ケイ素等の原料２６以上の硬度のもので閉止板２２を構成すれば、閉止板２２が摩耗することを防止して不純物汚染を回避することができる。

本発明の原料供給装置では、傾斜投入管の下端開口部を開放可能に閉止する閉止板を垂直投入管の上部に設けたので、その閉止板により原料を一端堰き止めることにより、傾斜投入管の下端まで移動することにより増大した原料の運動エネルギを一度キャンセルすることができ、その後に原料が流入する垂直投入管に加わるダメージを低減できる。また、閉止板を用いて傾斜投入管の下端開口部を開閉することにより原料の切り出し及び停止に制御することが可能になり、傾斜投入管の上流側において原料の切り出しを停止することができないような事態が生じても、閉止板により傾斜投入管の下端開口部を閉止させることにより、ルツボ内に容量を超える原料が供給されてしまうようなトラブルを有効に回避することができる。

また、垂直投入管の下端に所定量の原料が堆積可能な堆積部を形成し、その堆積部に堆積された所定量の原料を超える原料がルツボ内の原料融液中に落下するように構成すれば、垂直投入管の内部を落下する原料の運動エネルギをこの堆積部に堆積させた原料にクッションの役割をさせて吸収させることができ、垂直投入管の下部における摩耗及び破損を防止することができる。そして、傾斜投入管の軸方向の移動又は閉止板の上昇により傾斜投入管の下端開口部を開放するようにすれば、傾斜投入管の下端開口部を有効に開放させて、原料が供給不能な事態を回避することができる。またそれぞれ任意に移動できるために微妙な原料切り出しも可能になり、過剰供給によるホットゾーンの損傷トラブルも防止できる。
更に、閉止板を原料と同一の材料又は原料より高い硬度を有する材料により構成すれば、ルツボ内に不純物が混入する事態を回避することができる。

次に本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
図４に示すように、原料供給装置１０は、単結晶引上げ装置３０におけるメインチャンバ３１の上方とその側方の待避位置との間を往復移動する可搬式に構成され、原料を追加供給する際に図示しないプルチャンバに代えてメインチャンバ３１の上部に設けられたトップチャンバ３４に接続されるものである。そしてこの原料供給装置１０は、メインチャンバ３１内のルツボ３２に多結晶原料、特に粒径が３０ｍｍ以下の塊状原料を自動投入するように構成される。以下その具体的な構成を説明すると、この可搬式の原料供給装置１０は、可動フレーム１１と、その可動フレーム１１に搭載された第１チャンバ１２、及びその第１チャンバ１２の側方に連結管１３を介して連結された状態でその可動フレーム１１に搭載された第２チャンバ１４とを備える。

第１チャンバ１２の内部には、第１ホッパ１５，第２ホッパ１６及び第３ホッパ１７が上から下に順番に配置されており、第２ホッパ１６と第３ホッパ１７との間には定量切り出しフィーダ１８が配置される。第１ホッパ１５は原料ホッパであり、その底面は４５度以上の傾斜角のテーパー面になっており、その中心部に設けられた排出口１５ｂは、多結晶シリコンからなるカットゲート１５ａにより開閉可能に構成される。第２ホッパ１６及び第３ホッパ１７の底面も、第１ホッパ１５と同様に４５度以上の傾斜角のテーパー面とされ、第２ホッパ１６はカットゲート１５ａにより第１ホッパ１５から切り出された原料を受けた後に定量切り出しフィーダ１８に案内し、そのフィーダ１８の端部から落下する原料を第３ホッパ１７が受け止めるように構成される。

連結管１３は、第１チャンバ１２から第２チャンバ１４に向けて下降した傾斜管であり、その内部には傾斜投入管１９が軸方向に移動可能に収容される。傾斜投入管１９はその上端が第３ホッパ１７の下流側に配置されて後述する垂直投入管２０の上部に原料を導くように構成され、傾斜投入管１９の傾斜角度は４５度である。第２チャンバ１４は、連結管１３の下流側に接続される円筒状の密閉容器であり、この第２チャンバ１４は、単結晶引上げ装置３０のゲートバルブ３３を備えたトップチャンバ３４に連結可能に構成される。第２チャンバ１４の上部には、垂直投入管２０を昇降させる第１アクチュエータ２１が設けられる。この実施の形態における第１アクチュエータ２１はエア圧により突出軸２１ａを没入可能に突出させるいわゆるエアシリンダであり、その突出軸２１ａに垂直投入管２０が設けられる。この第１アクチュエータ２１は、突出軸２１ａを突出させることにより垂直投入管２０を第２チャンバ１４内から単結晶引上げ装置３０のメインチャンバ３１内に挿入して垂直投入管２０の下端部をルツボ３２内に挿入可能に構成され、その突出軸２１ａを没入させることにより垂直投入管２０を第２チャンバ１４内に収容可能に構成される。

図１に詳しく示すように、垂直投入管２０と傾斜投入管１９とはともに石英管からなり、垂直投入管２０の上部には、傾斜投入管１９の下端開口部を開放可能に閉止する閉止板２２が設けられる。この実施の形態における閉止板２２は投入原料と同一の材料により構成された板材であり、その閉止板２２を上下動可能に支持する第２アクチュエータ２３を介して垂直投入管２０の上部に設けられる。この閉止板２２は傾斜投入管１９の下端開口部を塞ぐように設けられ、連結管１３には傾斜投入管１９を軸方向に移動させる第３アクチュエータ２４が設けられる。この実施の形態における原料供給装置１０は、図２に示すように第３アクチュエータ２４により傾斜投入管１９を軸方向に上昇するように移動させることにより、又は図５に示すように第２アクチュエータ２３により傾斜投入管１９の下端開口部を封止した閉止板２２を上昇させることにより閉止板２２が傾斜投入管１９の下端開口部を開放するように構成される。

図３に示すように、垂直投入管２０は、下端部が閉塞された垂直な本体部２０ａと、この本体部２０ａの下端部に平行に接続されたガイド部２０ｂとからなる。本体部２０ａの下端部は、塊状原料２６を堆積させる原料堆積部２０ｃになっている。ガイド部２０ｂは、下端が開放され上端が閉塞された垂直管であり、本体部２０ａの側面に排出口２０ｄを介して接続される。ガイド部２０ｂの下端は、ここでは、原料堆積部２０ｃの下端より下方に突出している。原料堆積部２０ｃは、下端面が下方にドーム状に膨らんでおり、本体部２０ａを落下する塊状原料２６を所定量堆積させ、これを越えて落下する塊状原料２６を排出口２０ｄからガイド部２０ｂへ順次流出させて排出する構造になっている。原料堆積部２０ｃの下端部をドーム状に形成したのは、熱間での応力集中による破損の防止のためである。即ち、角状では角部で破損する危険性があるからである。原料堆積部２０ｃにおける堆積原料２６の表面は、排出口２０ｄに向かって下降する傾斜面となり、その傾斜角度はいわゆる安息角となる。原料堆積部２０ｃからガイド部２０ｂへのスムーズな原料流出のために、傾斜面から排出口２０ｄの上端までの距離Ｌ₁及び排出口２０ｄの直径Ｄ₁は垂直投入管２０の内径Ｄ₀以上に設定される。

ルツボ３２は、内側の石英ルツボ３２ａと外側の黒鉛ルツボ３２ｂをと組み合わせた２重構造であり、このルツボ３２の上方には熱遮蔽部材３６が同心状に設けられる。本実施の形態における原料供給装置１０は、熱遮蔽部材３６の内側を通してるつぼ３２内の中心部に垂直投入管２０を挿入した後、この垂直投入管２０を介してルツボ３２内に残留する原料融液３７に塊状原料２６を供給するように構成される。

次に、このように構成された原料供給装置１０を用いた原料供給方法について説明する。
単結晶引上げ装置３０では、そのトップチャンバ３４に図示しないプルチャンバを連結して、通常の手順で単結晶の引上げが行われる。単結晶の引上げが終わると、その単結晶をプルチャンバ内に引き込み、トップチャンバ３４内のゲートバルブ３３を閉じた後、トップチャンバ３４からプルチャンバを分離する。図示しないプルチャンバを用いた単結晶の引上げが行われている間、本発明の原料供給装置１０はそのプルチャンバと干渉しないように待避位置に固定される。

単結晶の引上げが終わり、プルチャンバが分離されると、原料供給装置１０が待避位置から単結晶引上げ装置３０上の供給位置へ移動する。これにより原料供給装置１０の第２チャンバ１４がトップチャンバ３４の上方に移動し、その後第２チャンバ１４は図４に示すようにトップチャンバ３４と接続される。第２チャンバ１４とトップチャンバ３４との接続が終わると、原料供給装置１０のチャンバ内を単結晶引上げ装置３０内と同じ圧力に減圧し、同じアルゴン雰囲気に置換する。そして、トップチャンバ３４内のゲートバルブ３３を開く。これにより原料供給装置１０と単結晶引上げ装置３０の接続が完了する。

原料供給装置１０と単結晶引上げ装置３０の接続が完了すると、第２チャンバ１４内の垂直投入管２０を下降させる。これにより、垂直投入管２０が単結晶引上げ装置３０のメインチャンバ３１内に設置されたルツボ３２内の中心部に挿入される。そして、第３アクチュエータ２４により傾斜投入管１９を軸方向に下降させてその下端を垂直投入管２０の上端に接続させ、垂直投入管２０のセッティングを終了させる。

こうして垂直投入管２０をセッティングした後、第１チャンバ１２内の第１ホッパ１５に収容された塊状の原料２６をカットゲート１５ａにより所定量（例えば５ｋｇ）切り出す。第１ホッパ１５から切り出された塊状原料２６は、第２ホッパ１５及び定量切り出しフィーダ１８を経て所定速度（例えば５００ｇ／ｍｉｎ）で第３ホッパ１７に供給される。第３ホッパ１７に供給された塊状原料２６は、傾斜投入管１９の上端からその傾斜投入管の内部をその傾斜に従って下方に移動し、閉止板２２により閉止された傾斜投入管１９の下部に原料を一時的に堰き止める。これにより、切り出されて傾斜投入管１９の内部を下端まで移動することにより増大した運動エネルギをこの下端で一度キャンセルすることができる。

次に、図２に示すように第３アクチュエータ２４により傾斜投入管１９を軸方向に上昇するように移動させて閉止板２２により閉止された傾斜投入管１９の下部を開放し、その下部に堰き止められていた原料２６を垂直投入管２０の上部に案内し、その本体部２０ａに落下させる。原料２６は運動エネルギがゼロの状態で垂直投入管２０の上部に案内されるので、原料２６が垂直投入管２０に干渉することに起因する損傷を回避することができる。このとき、傾斜投入管１９を移動させる距離ｙは、原料２６の平均サイズをｂとした場合、１．５ｂ＜ｙ＜３．０ｂの関係を有することが好ましい。ｙが１．５ｂ以下であると原料２６が落下されず、ｙが３．０ｂ以上であると装置自体が大型化するからである。

図３に示すように、垂直投入管２０の上部に案内された塊状原料２６は、本体部２０ａを落下して原料堆積部２０ｃに所定量堆積させられ、これを越えて落下する塊状原料２６が排出口２０ｄからガイド部２０ｂへ順次流出してルツボ３２に供給される。これを繰り返すことにより原料供給装置１０内の第１ホッパ１５からルツボ３２内の残留液３７に所定量（例えば１００ｋｇ）の塊状原料２６が追加される。
塊状原料２６の追加供給が終わると、ゲートバルブ３３を閉じ、単結晶引上げ装置３０から原料供給装置１０を分離し、代わりに図示しないプルチャンバを接続して２回目の引上げを行う。これにより一度しか使用できない石英ルツボ３２から複数本の単結晶を引上げることが可能になり、引上げられるシリコン単結晶の製造コストを低減することができる。

なお、上述した実施の形態では、粒径が３０ｍｍ以下の塊状原料を供給する場合を説明したが、供給する原料は３０ｍｍを越える塊状原料であっても良く、塊状の原料でなくて粒状の原料であっても良い。
また、上述した実施の形態では、第３アクチュエータ２４により傾斜投入管１９を軸方向に上昇するように移動させて傾斜投入管１９の下部を開放する場合を説明したが、図５に示すように、第２アクチュエータ２３により閉止板２２を上方に移動させることにより閉止板２２により閉止された傾斜投入管１９の下部を開放しても良い。このときの閉止板２２を上昇させる距離ｘは、原料２６の平均サイズをｂとした場合、１．０ｂ＜ｘ＜２．５ｂの関係を有することが好ましい。ｘが１．０ｂ以下であると原料２６が落下されず、ｙが２．５ｂ以上であると装置自体が大型化するからである。

次に閉止板の有無の相違による垂直投入管の損傷の度合いを調査した。
＜実施例１＞
図４に示すように、石英からなる傾斜投入管１９と、石英からなる垂直投入管と、石英からなる閉止板２２とを有する原料供給装置１０を準備した。この原料供給装置１０における第１ホッパ１５に塊状の多結晶シリコン原料を１００ｋｇ充填し、この原料２６をカットゲート１５ａにより約１０ｋｇ／１回で原料を切り出して、第２ホッパ１５、定量切り出しフィーダ１８、第３ホッパ１７をこの順に介して傾斜投入管１９の上端に投入させ、その１０ｋｇの原料を閉止板２２により閉止された傾斜投入管１９の下部に一時的に堰き止めた。その後傾斜投入管１９を軸方向に上昇するように移動させて閉止板２２により閉止された傾斜投入管１９の下部を開放し、その下部に堰き止められていた原料２６を垂直投入管２０の上部に案内し、その内部を落下させてルツボ３２に供給した。これを１０回繰り返して、第１ホッパ１５に充填した１００ｋｇの原料の全てをルツボ３２に供給した。

＜比較例１＞
実施例１と同一の原料供給装置１０を準備し、この原料供給装置１０における閉止板２２を図５に示すように上昇させた状態に維持し、傾斜投入管１９の下端開口部を開放させた。この状態で第１ホッパ１５に塊状の多結晶シリコン原料を１００ｋｇ充填し、この原料２６をカットゲート１５ａにより約１０ｋｇ／１回で原料を切り出して、第２ホッパ１５、定量切り出しフィーダ１８、第３ホッパ１７をこの順に介して傾斜投入管１９の上端に投入させ、その１０ｋｇの原料を傾斜投入管１９の内部で斜め下方に移動させて、堰き止めることなくそのまま垂直投入管２０の上部に案内し、ルツボ３２に供給した。これを１０回繰り返して、第１ホッパ１５に充填した１００ｋｇの原料の全てをルツボ３２に供給した。

＜評価試験及び評価＞
実施例１及び比較例１のそれぞれにおいて１０ｋｇの原料を１回ルツボ３２に供給する度に、傾斜投入管の下端が臨む垂直投入管の上部における内面であって原料２６が干渉しているであろう部分における摩耗及び破損の状況を目視により観察した。その結果を表１に示す。

この表１の結果から明らかなように、閉止板２２により原料を堰き止めることをしない比較例１の場合、切り出し回数を増す度に垂直投入管の内面の摩耗が進み、６回目で完全に白濁し、８回目でクラックが発生し、１０回目で干渉部位の割れを生じた。一方、閉止板２２により原料を傾斜投入管１９の下部に一端堰き止めた実施例１の場合では、原料と垂直投入管２０への著しい干渉は防げ、摩耗は全く生じなかった。また、閉止板２２より下方の垂直投入管の摩耗度合いも一度堰き止めてからの排出で運動エネルギが低減された効果により、閉止板２２なしに比べ低減されていることが確認され、閉止板２２の効果があることが判る。

本発明実施形態の原料供給装置を示す図４のＡ部拡大断面図である。 その傾斜投入管を移動させてその下端開口部を開放した状態を示す図１に対応する断面図である。 図４のＢ部拡大断面図である。 その原料供給装置の全体的な構造を示す構成図である。 閉止板を上昇させて傾斜投入管の下端開口部を開放した状態を示す断面図である。

符号の説明

１０ 原料供給装置
１５，１６，１７ ホッパ
１９ 傾斜投入管
２０ 垂直投入管
２０ｃ 堆積部
２２ 閉止板
２６ 原料
３０ 単結晶引上げ装置
３２ ルツボ
３７ 原料融液

Claims (4)

1. 単結晶引上げ装置(30)の単結晶を引上げた後のルツボ(32)内の原料融液(37)に下端が臨む垂直投入管(20)と、所定の角度で傾斜して下端が前記垂直投入管(20)の上端に接続された傾斜投入管(19)と、前記傾斜投入管(19)の上端に粒状又は塊状の原料(26)を供給可能なホッパ(15,16,17)とを備え、前記ホッパ(15,16,17)に供給された前記原料(26)を前記傾斜投入管(19)及び前記垂直投入管(20)を介して前記原料融液(37)に供給可能に構成された原料供給装置において、
   前記傾斜投入管(19)の下端開口部を開放可能に閉止する閉止板(22)が前記垂直投入管(22)の上部に設けられたことを特徴とする原料供給装置。
2. 垂直投入管(20)の下端に所定量の原料(26)が堆積可能な堆積部(20c)が形成され、前記垂直投入管(20)は前記堆積部(20c)に堆積された所定量の原料(26)を超える原料(26)がルツボ(32)内の原料融液(37)中に落下するように構成された請求項１記載の原料供給装置。
3. 傾斜投入管(19)の軸方向の移動又は閉止板(22)の上昇により前記傾斜投入管(19)の下端開口部が開放される請求項１又は２記載の原料供給装置。
4. 閉止板(22)が原料(26)と同一の材料又は前記原料(26)より高い硬度を有する材料により構成された請求項１ないし３いずれか１項に記載の原料供給装置。
   

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