KR20140145657A - 원료투입장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 원료투입장치에 관한 것으로서 내측에 원료가 수용되는 수용공간이 구비되며 하부가 개구되고, 하측 끝단부에 상부로 갈수록 폭이 작아지는 함몰부가 복수 개 형성된 원료충진유닛, 둘레의 일부가 상기 함몰부에 대응하여 상향 돌출되어 형성되고, 상향 돌출된 지점이 서로 연결되어 복수 개의 경사면을 형성하며 상기 원료충진유닛의 하부에서 선택적으로 상기 수용공간의 개폐상태를 조절하는 게이트 및 상기 원료충진유닛의 외측에 형성되며 상기 게이트에 연결되어 선택적으로 상기 게이트를 승하강시키는 구동유닛을 포함하는 원료투입장치가 개시된다.

Description

원료투입장치{Apparatus for Material Insert}

본 발명은 원료투입장치에 관한 것으로서, 원료를 녹이는 성장로에 장착하여 성장로 내부에 원료를 안정적으로 충진할 수 있는 원료투입장치에 관한 것이다.

반도체 소자 혹은 태양 전지 등의 제조에 사용되는 기판은 주로 단결정 웨이퍼이며, 특히 실리콘 단결정 웨이퍼가 많이 사용된다. 이러한 단결정 웨이퍼는 일반적으로 종자 결정으로부터 단결정 잉곳을 성장시키고 이를 얇은 두께로 절단하여 만든다.

예컨대, 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에 대하여 살펴보면, 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치는 내부에 공간이 형성되는 챔버, 챔버 내에 설치되어 다결정 실리콘 원료가 장입되고 용융되는 도가니, 도가니를 가열하여 다결정 실리콘 원료를 용융하여 실리콘 융액(silicon melt)으로 형성하는 도가니 가열 히터, 실리콘 종자 결정(silicon seed crystal)을 실리콘 융액에 침지하고 이를 서서히 인상시키는 인상 수단을 구비하여, 상기 종자 결정으로부터 소정 직경의 단결정 잉곳을 성장시킨다.

한편, 단결정 잉곳 제조 장치에 원료를 용이하게 투입하기 위하여, 잉곳 장치 내부에 설치하여 고체 원료를 투입하는 원료 투입기가 제안하고 있다. 종래의 고체 원료 투입기는 주로 석영 재질로 제조되며 내부에 고체 원료를 저장하는 공간을 가지며 개구부를 구비하는 용기 형태로, 단결정 잉곳 장치 내에 장착되어 개구부를 개방하여, 저장된 고체 원료를 배출한다.

여기서 개구부의 개폐를 위해 다양한 형태의 게이트가 구비될 수 있으며, 최근에는 원뿔형태의 게이트를 구비하여 승하강시키며 투입되는 원료가 걸리지 않도록 한다.

이와 같은 원뿔형태의 게이트를 승하강 시키며 개폐시키기 위해서는 게이트가 별도의 구동링크에 결합되어야 하며, 원뿔형태에서는 꼭지점 부근에 별도의 구동링크가 결합되어 게이트를 승하강시키도록 구성된다.

하지만, 이와 같은 경우 구동링크는 원료가 수용되는 수용공간 내부에 위치하게되며, 이에 따라 수용공간 내부에 원료가 수용되는 충진량이 줄어드는 문제점이 발생하였다.

뿐만 아니라, 원뿔형태의 게이트와 구동링크가 결합되는 결합지점이 한 지점뿐이기 때문에 원료투입 시 게이트에 진동이 발생하며 이에 따라 게이트와 구동링크의 결합에 대한 내구성이 감소하여 파손의 원인이 되는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은 성장로 내부에 원료를 충진하는 원료투입장치의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 보다 상세하게는 성장로 내부에 원료를 충진 시 게이트의 경사면을 이용하여 끼임 없이 원료를 충진시킴과 동시에 오염을 방지함과 동시에 구동유닛이 게이트를 안정적으로 지지할 수 있는 원료투입장치를 제공함에 있다.

상기한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 원료투입장치는 내측에 원료가 수용되는 수용공간이 구비되며 하부가 개구되고, 하측 끝단부에 상부로 갈수록 폭이 작아지는 함몰부가 복수 개 형성된 원료충진유닛, 둘레의 일부가 상기 함몰부에 대응하여 상향 돌출되어 형성되고, 상향 돌출된 지점이 서로 연결되어 복수 개의 경사면을 형성하며 상기 원료충진유닛의 하부에서 선택적으로 상기 수용공간의 개폐상태를 조절하는 게이트 및 상기 원료충진유닛의 외측에 형성되며 상기 게이트에 연결되어 선택적으로 상기 게이트를 승하강시키는 구동유닛을 포함한다.

또한, 상기 함몰부는 상기 원료충진유닛의 하측 끝단부에서 서로 마주보도록 형성되고, 상기 게이트는 상기 함몰부에 대응하여 중앙선을 기준으로 서로 대칭되게 하향 경사진 한 쌍의 상기 경사면을 가질 수 있다.

또한, 상기 구동유닛은 상기 원료충진부의 외측면에 상하방향으로 형성된 가이드 및 길게 형성되어 상기 가이드를 따라 승하강하며 일측이 상기 게이트에 결합되어 상기 게이트를 승하강시키는 구동링크를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 구동링크는 일측이 상기 게이트의 측면상에서 상기 함몰부에 대응하여 형성된 부분에 고정 결합될 수 있다.

또한, 상기 원료충진유닛은 쿼츠로 형성되며 내부에 원료가 접촉하며 수용되는 상기 수용공간을 가지는 쿼츠관 및 금속제로 구성되어 상기 쿼츠관을 외부에서 감싸는 금속커버를 포함할 수 있다.

또한, 상기 원료충진유닛은 상하방향을 따라 적어도 하나 이상의 부재로 구성되어 서로 탈착 가능하게 결합될 수 있다.

상기 문제점을 해결하기 위해 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 원료가 충진되는 원료충진유닛의 하측 끝단부에 상향 돌출된 함몰부가 형성되고, 원료충진유닛의 하부에 결합되는 게이트가 함몰부에 대응하여 형성되며 경사면을 가지도록 형성함으로써, 원료의 투입 시 게이트에 의해서 원료가 끼임이 발생하지 않아 오작동을 줄일 수 있는 이점이 있다.

둘째, 게이트를 승하강시키는 구동유닛이 수용공간 내부에 구비되지 않고 원료충진유닛의 외측면에 형성됨으로써, 수용공간에 수용되는 원료의 충진량이 증가하여 생산성이 향상되는 이점이 있다.

셋째, 원료충진유닛이 복수 개의 부재가 결합되어 구성됨에 따라 고온에 의한 파손 시 일부만 교체함으로써 유지 보수에 필요한 비용을 절감시킬 수 있는 이점이 있다.

본 발명의 효과들은 상기 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 원료투입장치의 개략적인 구성을 나타내는 도면;
도 2는 도 1의 원료투입장치에서 게이트 및 구동유닛의 구성을 개략적으로 나타낸 도면;
도 3은 도 1의 원료투입장치에서 게이트의 구성을 나타낸 도면;
도 4는 도 1의 원료투입장치에서 게이트가 닫힌 상태에서 원료충진유닛의 횡단면을 나타낸 도면;
도 5는 도 1의 원료투입장치가 성장로에 결합되는 상태를 나타낸 도면; 및
도 6은 도 1의 원료투입장치에서 게이트의 구동에 의해 원료가 투입되는 상태를 나타낸 도면.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 원료투입장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 통하여 설명한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정형태로 한정하려는 것이 아니라 본 실시예를 통해서 좀더 명확한 이해를 돕기 위함이다.

또한, 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.

먼저, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 원료투입장치의 구성에 대해서 살펴보면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 원료투입장치의 개략적인 구성을 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 원료투입장치에서 게이트 및 구동유닛의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.

그리고 도 3은 도 1의 원료투입장치에서 게이트의 구성을 나타낸 도면이고, 도 4는 도 1의 원료투입장치에서 게이트가 닫힌 상태에서 원료충진유닛의 횡단면을 나타낸 도면이다.

본 발명은 고온으로 가동되는 성장로(10: 도 5참조) 내부에 원료를 추가적으로 투입하기 위한 원료투입장치에 관한 것으로, 구체적으로 내부에 원료를 수용하는 원료충진유닛(100) 및 원료충진유닛(100)의 하부에서 내부를 개폐하는 게이트(200) 및 게이트(200)를 승하강시키는 구동유닛(300)을 포함한다.

본 발명에 따른 원료충진유닛(100)은 원통형상을 가지며 길게 형성되고 내부에 수용공간이 형성되어 원료를 수용할 수 있도록 형성된다. 그리고 상기 수용공간은 선택적으로 밀폐 가능하도록 구성되어 내부에 수용되는 원료의 오염을 방지할 수 있도록 구성된다. 여기서 원료라 함은 실리콘이나 사파이어 등 다양한 형태의 재료가 적용될 수 있다.

그리고 원료충진유닛(100)은 하부가 개구되며, 개구된 하측 끝단부에 상부로 갈수록 폭이 작아지는 함몰부(130)가 복수 개 형성된다.

구체적으로 본 실시예에 따른 원료충진유닛(100)은 하측 끝단부에 형성된 함몰부(130)가 한 쌍으로 구성되어 서로 마주보도록 동일한 형상으로 형성된다. 본 실시예에서 도시된 바와 같이 함몰부(130)는 삼각형 형태로 형성된다. 하지만 한 쌍의 함몰부(130)는 동일한 형태가 아니고 서로 다른 형태 및 크기로 형성될 수도 있다.

한편, 원료충진유닛(100)은 쿼츠관(112, 122) 및 금속커버(114, 124)를 포함하여 구성된다. 구체적으로 쿼츠관(112, 122)은 쿼츠로 형성되며 내부에 원재료가 접촉하여 수용되는 상기 수용공간을 가지도록 구성된다. 그리고 금속커버(114, 124)는 금속제로 구성되어 쿼츠관(112, 122)을 외부에서 감싸도록 구성된다.

즉, 원료충진유닛(100)은 내부에 상기 수용공간이 형성된 쿼츠관(112, 122) 및 쿼츠관(112, 122)을 감싸는 금속커버(114, 124)를 포함하는 이중관 형태로 형성된다.

이와 같이 원료충진유닛(100)이 이중관 형태로 형성됨에 따라 상기 수용공간에 수용되는 원료가 오염되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 고가의 쿼츠소재의 사용량을 줄임으로써 생산 비용을 절감시킬 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 원료충진유닛(100)은 상하방향을 따라 적어도 하나 이상의 부재로 구성되어 서로 탈착 가능하게 결합되도록 구성될 수도 있다. 구체적으로 본 실시예에서 원료충진유닛(100)은 도시된 바와 같이 상부 원료충진부(110)와 하부 원료충진부로 구성되어 상하방향으로 서로 결합되도록 구성된다.

이때, 상부 원료충진부(110) 및 하부 원료충진부(120) 각각은 쿼츠관(112, 122) 및 금속커버(114, 124)를 포함하여 구성되며, 각각에 구비된 쿼츠관(112, 122)이 서로 결합되며 내부에 상기 수용공간을 형성한다.

그리고 상기 함몰부(130)는 하부 원료충진부(120)의 하측 끝단부에 형성된다.

이와 같이 원료충진유닛(100)이 복수 개의 부재로 결합 가능하게 구성됨에 따라 성장로(10)의 고온 노출에 의한 원료충진유닛(100)의 파손 시 전체 교체를 하지 않고 하부 파손 부분만 분리하여 교체가 가능하다

게이트(200)는 둘레의 함몰부(130)에 대응하여 상향 돌출되어 형성되고, 상향 돌출된 지점이 서로 연결되어 복수 개의 경사면(210)을 형성하며 원료충진유닛(100)의 하부에서 선택적으로 상기 수용공간의 개폐상태를 조절한다.

즉, 본 발명에 따른 게이트(200)는 원료충진유닛(100)의 하부에서 함몰부(130)에 대응하며 선택적으로 상기 수용공간을 밀폐시킬 수 있도록 구성되며 복수 개의 경사면(210)을 형성하도록 구성된다.

구체적으로 본 실시예에 따른 게이트(200)는 도 3에 도시된 바와 같이 한 쌍의 경사면(210)을 형성하며 하향 테이퍼지도록 형성되고 상술한 함몰부(130)에 대응하여 주합되도록 구성된다.

여기서, 함몰부(130)는 원료충진유닛(100)의 하측 끝단부에서 서로 마주보며 동일하게 형성되어 있기 때문에, 게이트(200)도 이에 대응하여 둘레를 따라 하향 경사지도록 형성된 부분이 서로 마주보며 동일하게 형성된다.

그리고 게이트(200)에서 하향 경사지도록 형성된 부분의 최상부지점을 서로 연결한 한 쌍의 경사면(210)을 가지도록 구성되며, 이에 따라 도 4에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 게이트(200)는 한 쌍의 경사면(210)이 동일한 면적을 가지도록 형성된다.

본 실시예에서 함몰부(130)는 한 쌍으로 구성되어 서로 마주보도록 형성되며 게이트(200)도 이에 대응하여 한 쌍의 경사면(210)을 가지도록 형성되어 있지만, 특정한 형태로 한정하는 것이 아니며 복수 개의 함몰부(130)와 이에 대응하여 형성되며 경사면(210)을 가지도록 게이트(200)가 형성될 수도 있다.

이와 같이 구성된 게이트(200)는 원료충진유닛(100)의 하부에서 승하강을 하며 상기 수용공간을 밀폐시킨다. 이때, 상기 수용공간내부에 수용된 원료는 자중에 의해서 게이트(200)의 경사면(210) 상부에 쌓여있는 상태가 되며, 게이트(200)의 하강 시 경사면(210)을 따라서 하부로 원료가 배출된다.

게이트(200)의 승하강에 따라 원료가 투입되는 구체적인 동작 상태는 도 6을 참조하여 후술한다.

구동유닛(300)은 원료충진유닛(100)의 외측에 형성되며 게이트(200)에 연결되어 선택적으로 게이트(200)를 승하강 시키는 구성으로써, 크게 가이드(310) 및 구동링크(320)를 포함하여 구성된다.

가이드(310)는 원료충진유닛(100)의 외측면에 상하방향으로 길게 형성되어 구동링크(320)가 이탈하지 않고 슬라이딩 할 수 있도록 한다.

그리고 구동링크(320)는 길게 형성되며 가이드(310)를 따라 승하강하고, 일측이 게이트(200)에 결합되어 게이트(200)를 승하강시킨다.

즉 원료충진유닛(100)의 외측면에 가이드(310)가 형성되고, 구동링크(320)는 게이트(200)와 연결되어 가이드(310)상에서 슬라이딩함으로써, 선택적으로 게이트(200)를 승하강시키며 상기 수용공간의 개폐를 조절한다.

구체적으로 본 실시예에서 가이드(310)는 한 쌍으로 구성되며 함몰부(130)의 상부에서 길이방향을 따라 길게 형성되어 있으며, 구동링크(320) 역시 한 쌍으로 구성되어 서로 마주보도록 배치되며 끝단부가 게이트(200)에 고정 결합된다.

여기서, 구동링크(320)는 게이트(200)에 결합 시 게이트(200)에서 함몰부(130)에 대응하여 돌출되도록 형성된 지점에 결합됨으로써, 게이트(200)와의 결합 공간을 확보하여 안정적으로 결합될 수 있도록 한다.

하지만 이와 달리 구동링크(320) 및 가이드(310)가 한 쌍이 아니라 한 개 또는 셋 이상으로 구성될 수도 있다.

이와 같이 게이트(200)를 승하강시키는 구동유닛(300)이 수용공간 내부가 아닌 원료충진유닛(100)의 외부에 구성됨에 따라 안정적으로 게이트(200)를 지지하여 승하강 시킬 뿐만 아니라, 원료 투입 시 발생되는 진동이나 원료의 하중에 의해서 구동유닛(300)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 게이트(200)에서 함몰부(130)에 대응하여 상향 돌출된 지점의 측면에 구동링크(320)가 결합됨으로써, 구동링크(320)와 게이트(200)가 안정적으로 결합되어 게이트(200)의 내구성을 증가시킬 수 있다. 특히, 게이트(200)는 상기 수용공간 내부에 충진된 연료의 하중을 지지하기 때문에 구동링크(320)와 안정적으로 결합되어 일정 이상의 하중을 버틸 수 있도록 구동링크(320)와 결합되는 것이 중요하다.

이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 원료투입장치가 구성되며, 구동유닛(300)의 동작에 의해서 상기 수용공간 내부에 수용된 원료를 투입할 수 있다.

다음으로, 도 5 및 도 6을 참조하여 본 발명에 따른 원료투입장치가 성장로(10) 내부에 설치되어 원료가 투입되는 상태를 살펴보면 다음과 같다.

도 5는 도 1의 원료투입장치가 성장로(10)에 결합되는 상태를 나타낸 도면이고, 도 6은 도 1의 원료투입장치에서 게이트(200)의 구동에 의해 원료가 투입되는 상태를 나타낸 도면이다.

먼저, 도 5를 살펴보면 고온의 성장로(10)에 본 발명에 따른 원료투입장치를 결합하여 투입하는 과정을 나타낸 것으로 내부의 상기 수용공간에 원료가 충진된 상태의 원료투입장치를 별도의 배관(20) 내부에 삽입한다.

그리고 원료투입장치가 삽입된 배관(20)은 성장로(10)의 상부에 고정 결합되며 이후 원료투입장치가 하강하여 하부가 성장로(10) 내부로 삽입된다.

이때, 성장로(10)는 원료의 용융을 위해 고온으로 가열된 상태이며 원료의 종류에 따라 내부온도가 2000도 이상의 고온으로 가열될 수도 있다.

이와 같이 고온의 성장로(10) 내부로 원료투입장치가 삽입된 후 게이트(200)를 하강시킴으로써, 상기 수용공간에 수용된 원료가 성장로(10) 내부로 투입된다.

여기서, 본 발명에 따른 원료투입장치는 고온의 성장로(10) 내부로 삽입되기 때문에 고온 노출에 의해 파손되는 경우가 발생한다. 이와 같은 경우 제품 전체를 교체해야 하는 문제점이 발생한다.

하지만, 상술한 바와 같이 본 발명에 따른 원료충진유닛(100)이 복수 개의 부재로 구성되어 서로 분리 가능하도록 구성됨에 따라, 파손된 부분만을 교체하여 사용할 수 있으며 이에 따라 유지 보수를 쉽게 할 수 있다.

구체적으로 본 발명의 실시예에 따른 원료충진유닛(100)은 상부 원료충진부(110)와 하부 원료충진부(120)를 포함하여 구성되며 하부 원료충진부(120)가 약 1/4지점에 위치하도록 설계됨으로써, 파손 시 하부 원료충진부(120)만을 교체하여 지속적으로 사용하며 보수에 소모되는 비용을 절감시킬 수 있다.

이와 같이 본 발명에 따른 원료투입장치에 원료를 충진하여 성장로(10) 내부에서 게이트(200)를 하강시킴으로써, 성장로(10) 내부에 원료를 투입할 수 있다.

한편, 도 6을 참조하여 상기 수용공간 내부에서 원료가 투입되는 상태를 살펴보면, 먼저 도 6의 (a)와 같이 게이트(200)가 승강하여 상기 수용공간을 밀폐시킨 상태에서 성장로(10) 내부로 원료투입장치가 삽입된다.

이때, 원료투입장치는 상술한 바와 같이 별도의 상기 배관(20)내에 삽입된 후 성장로(10)의 상부에 배관(20)이 장착되며, 원료투입장치가 상기 배관(20)을 따라 하강하여 하부가 성장로(10) 내부로 삽입된다.

여기서, 원료투입장치는 상기 수용공간 내부에 원료를 수용한 상태이며 구동유닛(300)에 의해 게이트(200)가 상부방향으로 이동하여 상기 수용공간을 밀폐하고 있는 상태이다.

그리고 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 원료투입장치의 하부가 성장로(10) 내부에 위치한 상태에서 구동링크(320)가 동작하여 게이트(200)를 하부방향으로 하강시킨다.

게이트(200)의 하강에 따라 상기 수용공간 내부에 수용된 원료는 하중에 의해서 성장로(10) 내부로 하강하며 투입된다. 이때, 게이트(200)는 하향 경사진 한 쌍의 경사면(210)을 형성하고 있어 원료는 경사면(210)을 따라 하부로 이동하며 투입된다.

여기서, 한 쌍의 경사면(210)이 형성됨에 따라 상기 수용공간이나 게이트(200)에 원료가 걸리지 않고 안정적으로 모두 투입된다.

이와 같이, 본 발명에 따른 원료투입장치는 상기 수용공간에 수용된 원료를 고온의 성장로(10) 내부로 투입하며, 원료의 투입 시 게이트(200)에 의해서 원료의 걸림이 발생하지 않도록 한다.

또한, 고온에 의해서 원료투입장치에 파손이 발생하는 경우 일부만 교체함으로써, 유지 보수비용을 절감시킬 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 대한 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명한 실시예 외에도 본 발명의 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 형태로 구체화될 수 있다. 그러므로 본 실시예는 특정형태로 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.

100: 원료충진유닛 110: 상부 원료충진부
120: 하부 원료충진부 130: 함몰부
200: 게이트 210: 경사면
300: 구동유닛 310: 가이드
320: 구동링크

Claims (6)

1. 내측에 원료가 수용되는 수용공간이 구비되며 하부가 개구되고, 하측 끝단부에 상부로 갈수록 폭이 작아지는 함몰부가 복수 개 형성된 원료충진유닛;
   둘레의 일부가 상기 함몰부에 대응하여 상향 돌출되어 형성되고, 상향 돌출된 지점이 서로 연결되어 복수 개의 경사면을 형성하며 상기 원료충진유닛의 하부에서 선택적으로 상기 수용공간의 개폐상태를 조절하는 게이트; 및
   상기 원료충진유닛의 외측에 형성되며 상기 게이트에 연결되어 선택적으로 상기 게이트를 승하강시키는 구동유닛;
   을 포함하는 원료투입장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 함몰부는 상기 원료충진유닛의 하측 끝단부에서 서로 마주보도록 형성되고,
   상기 게이트는 상기 함몰부에 대응하여 중앙선을 기준으로 서로 대칭되게 하향 경사진 한 쌍의 상기 경사면을 가지는 원료투입장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 구동유닛은,
   상기 원료충진부의 외측면에 상하방향으로 형성된 가이드; 및
   길게 형성되어 상기 가이드를 따라 승하강하며 일측이 상기 게이트에 결합되어 상기 게이트를 승하강시키는 구동링크;
   를 포함하는 원료투입장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 구동링크는,
   일측이 상기 게이트의 측면상에서 상기 함몰부에 대응하여 형성된 부분에 고정 결합되는 원료투입장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 원료충진유닛은,
   쿼츠로 형성되며 내부에 원료가 접촉하며 수용되는 상기 수용공간을 가지는 쿼츠관 및 금속제로 구성되어 상기 쿼츠관을 외부에서 감싸는 금속커버를 포함하는 원료투입장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 원료충진유닛은,
   상하방향을 따라 적어도 하나 이상의 부재로 구성되어 서로 탈착 가능하게 결합되는 원료투입장치.
   

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