JP2006020297A - 超音波振動子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バッキング母体20には複数のスリット22が形成されている。各スリット22に対してそれぞれFPC基板28が挿入される。FPC基板28はリード列29を有する。複数のFPC基板28が接着された後、バッキング母体20における両端部が研磨除去処理され、これによってバッキングアセンブリが構成される。そのバッキングアセンブリの上面側に振動素子アレイが設けられる。バッキングアセンブリ内の各基板の上端部に複数の突出部を形成するようにしてもよい。
【選択図】図2
Description
Claims (13)
- X方向に整列しそれぞれY方向に伸長する複数のスリットを有し、バッキング材料で構成された第1製作体を製作する工程と、
前記第1製作体における前記複数のスリットに対して、リード列を有する複数の基板を挿入し、これにより第2製作体を製作する工程と、
前記第2製作体におけるZ方向の上層部を除去し、前記第2製作体の上面にリード上端アレイを露出させ、これにより第3製作体を製作する工程と、
前記第3製作体の上面側に振動素子アレイを設ける工程と、
を含むことを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - X方向に整列しそれぞれY方向に伸長し且つZ方向の両側が閉じた複数のスリットを有し、バッキング材料で構成された第1製作体を製作する工程と、
前記第1製作体における複数のスリットに対して、リード列を有する複数の基板を前記Y方向から挿入し、これにより第2製作体を製作する工程と、
前記第2製作体におけるZ方向の上層部を除去し、前記第2製作体の上面にリード上端アレイを露出させ、前記第2製作体のZ方向の下層部を除去し、前記第2製作体の下面にリード下端アレイを露出させ、これにより第3製作体を製作する工程と、
前記第3製作体の上面側に振動素子アレイを設ける工程と、
を含むことを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 請求項2記載の製造方法において、更に、
前記第3製作体の上面に上面電極パッドアレイを形成する工程と、
前記第3製作体の下面に下面電極パッドアレイを形成する工程と、
を含むことを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 請求項2記載の製造方法において、
前記第1製作体を製作する工程は、
第1バッキング板に対しX方向に並んだ複数のハーフスリットを形成し、第2バッキング板に対しX方向に並んだ複数のハーフスリットを形成する工程と、
前記複数のハーフスリットが形成された第1バッキング板と前記複数のハーフスリットが形成された第2バッキング板とを前記複数のスリットが構成されるように対向させて結合する工程と、
を含むことを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 請求項4記載の製造方法において、
前記第1バッキング板と前記第2バッキング板とが位置決め具を用いて位置決めされた状態で、前記各スリットに前記各基板が挿入されることを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - X方向に整列しそれぞれY方向に伸長し且つZ方向の下方が開いた複数のスリットを有し、バッキング材料で構成された第1製作体を製作する工程と、
前記第1製作体における複数のスリットに対して、リード列を有する複数の基板における挿入部分を挿入し、これにより第2製作体を製作する工程と、
前記第2製作体におけるZ方向の上層部を除去し、前記第2製作体の上面にリード上端アレイを露出させ、これにより第3製作体を製作する工程と、
前記第3製作体の上面側に振動素子アレイを設ける工程と、
を含むことを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 請求項6記載の製造方法において、更に、
前記第3製作体の上面に上面電極パッドアレイを形成する工程を含むことを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 請求項1,2又は6記載の製造方法において、
前記第3製作体を製作する工程は、前記第3製作体内における前記各基板の上端部に複数の突出部を形成する工程を含み、
前記各突出部はリード突出要素を有し、
前記リード上端アレイは複数のリード突出要素上端面によって構成される、
ことを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - X方向に整列しそれぞれY方向に伸長する複数のスリットを有し、バッキング材料で構成された第1製作体を製作する工程と、
前記第1製作体における前記複数のスリットに対して、リード列を有する複数の基板を挿入し、これにより第2製作体を製作する工程と、
前記第2製作体におけるZ方向の上層部を所定深さで除去して前記第2製作体の上面にリード上端アレイを露出させる上層部除去工程を有し、前記第2製作体から第3製作体を製作する工程と、
前記第3製作体の上面側に振動素子アレイを設ける工程と、
を含み、
前記第3製作体を製作する工程は、更に、
前記第2製作体に対して上面側から複数の切欠溝を形成し、これによって前記各基板の上端部に複数の突出部を形成する溝形成工程と、
前記複数の切欠溝にバッキング材料を充填する溝充填工程と、
を有し、
前記各突出部はリード突出要素を有し、
前記リード上端アレイは複数のリード突出要素上端面によって構成される、
ことを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 請求項9記載の製造方法において、
前記第3製作体を製作する工程では、前記上層部除去工程の実行後に前記溝形成工程が実行されることを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 請求項9記載の製造方法において、
前記第3製作体を製作する工程では、前記溝形成工程の実行後に前記上層部除去工程が実行されることを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 請求項9記載の製造方法において、
前記第3製作体を製作する工程では、前記上層部除去工程と前記溝形成工程とが同時進行で実行されることを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 請求項9記載の製造方法において、
前記各切欠溝の底面は平坦面であり、あるいは、1又は複数の傾斜面によって構成されることを特徴とする超音波振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005160926A JP4185506B2 (ja) | 2004-06-02 | 2005-06-01 | 超音波振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004164081 | 2004-06-02 | ||
JP2005160926A JP4185506B2 (ja) | 2004-06-02 | 2005-06-01 | 超音波振動子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006020297A true JP2006020297A (ja) | 2006-01-19 |
JP4185506B2 JP4185506B2 (ja) | 2008-11-26 |
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JP (1) | JP4185506B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7757389B2 (en) | 2006-06-28 | 2010-07-20 | Ge Medical Systems Global Technology Company, Llc | Method of manufacturing an ultrasonic probe |
JP5923205B1 (ja) * | 2015-07-07 | 2016-05-24 | 日立アロカメディカル株式会社 | 超音波探触子 |
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WO2017006590A1 (ja) * | 2015-07-07 | 2017-01-12 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子 |
US10238365B2 (en) | 2015-07-07 | 2019-03-26 | Hitachi, Ltd. | Ultrasound probe |
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Publication number | Publication date |
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JP4185506B2 (ja) | 2008-11-26 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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