JP2006019323A - 抵抗組成物、チップ抵抗器及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 低い体積抵抗率であって、低TCRの抵抗抵抗組成物及びチップ抵抗器を提供することを目的とする。
【解決手段】 絶縁基板11の上面に配置された抵抗体12と、該抵抗体12の両端部に配置された電極13と、抵抗体12の主要部を被覆する保護膜15と、電極13上に形成されためっき電極18とを備えるチップ抵抗器であって、抵抗体12はマンガン(Mn):ゲルマニウム(Ge)を組成比7.0−13.0wt%:0.3−1.0wt%とし、残りを銅(Cu)で構成した銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 絶縁基板11の上面に配置された抵抗体12と、該抵抗体12の両端部に配置された電極13と、抵抗体12の主要部を被覆する保護膜15と、電極13上に形成されためっき電極18とを備えるチップ抵抗器であって、抵抗体12はマンガン(Mn):ゲルマニウム(Ge)を組成比7.0−13.0wt%:0.3−1.0wt%とし、残りを銅(Cu)で構成した銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば、電流検出回路等における電流検出用抵抗器に使用する抵抗組成物、およびその組成物を用いたチップ抵抗器に関するものである。
近時、電子機器等に用いられる電子回路や電源回路における電流検出等の用途のため、低抵抗値であり、かつ低TCR(Temperature Coefficient of Resistance:抵抗値の温度係数)特性を有するチップ抵抗器の要求が高まっている。
従来のこの種の薄膜チップ抵抗器は、抵抗体としてニッケル−クロム薄膜を用いていたので、シート抵抗値が10Ω/口程度以下のものを得ることが困難であった。そのため、このような用途には、例えば、マンガニン系と呼ばれる銅・マンガン・ニッケル(Cu−Mn−Ni)合金薄膜からなる抵抗体をスパッタリング等で形成して低抵抗特性を得ていた(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、銅−マンガン−ニッケル合金薄膜からなる抵坑体であっても、近年において要求される抵抗値に対応することができないという問題がある。例えば、銅−マンガン−ニッケル配合を86wt%:12wt%12wt%とした合金薄膜の場合、厚さ1,000オングストロームの場合のシート抵抗値は6.5Ω/口で、TCRは20×10-6/Kとなる。
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、低い体積抵抗率であって、低TCR(例えば、プラスマイナス50×10-6/K以内)の抵抗組成物およびチップ抵抗器を提供することである。
係る目的を達成し、上述した課題を解決する一手段として、例えば、以下の構成を備える。すなわち、電流検出回路などに用いられる電流検出用抵抗器に適用できる抵抗組成物であって、マンガン(Mn):ゲルマニウム(Ge)を組成比7.0−13.0wt%:0.3−1.0wt%とし、残りを銅(Cu)で構成した銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜とする抵抗組成物であることを特徴とする。
または、絶縁基板の上面に配置された抵抗体と、該抵抗体の両端部に配置された電極と、少なくとも前記抵抗体の主要部を被覆する保護膜と、前記電極上に形成されためっき電極とを備えるチップ抵抗器であって、前記抵抗体は銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜からなることを特徴とする。
そして例えば、前記銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜はスパッタリング等により形成されることを特徴とする。
また例えば、前記銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜の組成比は、Mn:Geが7.0−13.0wt%:0.3−1.0wt%、残りがCuであることを特徴とする。
また、チップ抵抗器の製造を、絶縁基板の表面に前記銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜をスパッタリング等で被着して抵抗体を形成し、該抵抗体の両端都に電極を配置し、前記電極が配置された両端部を除いて前記抵抗体を保護膜で被覆し、露出した前記電極上にめっき電極を形成して行うチップ抵抗器の製造方法とすることを特徴とする。
本発明によれば、抵抗体に銅−マンガン−ゲルマニウム合金薄膜を用いることで、抵抗値が10Ω以下の低抵抗値領域において、高精度、低TCRのチップ抵抗器が得られる。
以下、本発明に係る一発明の実施の形態例について添付図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明に係る一発明の実施の形態例の角形薄膜チップ抵抗器の構造を示す図である。
本実施の形態例のチップ抵抗器は、アルミナ等の絶縁材料で形成される絶縁基板、例えば角形絶縁基板11の表面に銅(Cu)・マンガン(Mn)・ゲルマニウム(Ge)合金薄膜からなる抵抗体膜12を備えている。
この銅・マンガン・ゲルマニウム合金薄膜は、本実施の形態例では例えばその厚さが6,000オングストローム以下である。銅・マンガン・ゲルマニウム合金材料をターゲット材として用いてスパッタリングにより形成される。
また、本実施の形態例は以上の方法に限定されるものではなく、例えばこれ以外に銅とマンガンとゲルマニウム単一の材料を用いて3元スパッタリングにより形成しても良い。
いずれの場合においても、形成される銅・マンガン・ゲルマニウム合金薄膜の組成比は、Mn:Geが7.0−13.0wt%:0.3−1.0wt%、で残りがCuであることが好ましい。
また、抵抗体12の両端部近傍には、銅めっき膜等で表面電極13,13が形成されている。そして、抵抗体12の表面電極部以外の部分には、例えばガラスまたは樹脂製の保護膜15が形成されている。保護膜15は、例えば下層がガラス膜からなり、上層が樹脂膜からなる二層膜としてもよい。
本実施の形態例のチップ抵抗器には、また絶縁基板11の裏面側に裏面電極16が形成され、また表面電極13から絶縁基板11の側面、裏面電極16の側面に跨る端面電極17か形成されている。
この裏面電極16は、例えばスパッタリングなどにより1〜2μm程度の銅を基板全面に被着し、これをフォトリソグラフィにより所定のパターンに形成することで形成できる。また、端面電極17は、例えばニッケル-クロムのスパッタリング薄膜で形成できる。
表面電極13,裏面電極16、端面電極17の表面上には、更に、例えばニッケルめっき及びはんだ(すず)メッキ層からなるメッキ電極(外部電極)18が形成されている。なお、このめっき電極は抵抗値が1Ωより低い場合には、ニッケル−銅−ニッケル−はんだ(すず)の4層めっきとしてもよい。
上述した銅・マンガン・ゲルマニウム合金薄膜は、膜厚を1,000オングストロームとした場合に、シート抵抗値が4.6〜7.2Ω/□程度の低い抵抗値を得ることが可能であり、かつその時の抵抗温度係数(TCR)をプラスマイナス50×10-6/K以下の低い値に抑えることが可能である。
銅・マンガン・ゲルマニウムの組成割合を変えた場合の例を以下の表1に示す。表1において、試料No.1〜試料No.23のシート抵抗値は抵抗体を膜厚1,000オングストロームに形成した場合の例、試料No.24のシート抵抗値は抵抗体を膜厚6,000オングストロームに形成した場合を示している。
本実施の形態例の目的を達成する組成は、表示1の試料No.7,No.8,No.10,No.11,No.12,No.13,No.14,No.15,No.16,No.17,No,18及び膜厚を変えたNo.24である。
従来のマンガニン系スパッタリング薄膜による抵抗器では、膜厚や抵抗体形状(抵抗体の長さと幅の比)を変えてもシート抵抗が6.5Ω/□程度以下のものを作ることが困難であったが本実施の形態例の組成とすれば、0.5〜10Ω(特に0.5〜1Ω)程度の低い抵抗値のチップ抵抗器を製造することが可能になる。
即ち、従来のマンガニン系薄膜を用いた抵抗体では、1Ω以下の低い抵抗値を得ようとする場合には6,000オングストローム以上の膜厚にする必要があるが、6,000オングストロームを超える膜厚では内部応力により抵抗体皮膜の剥離等が発生しやすく、また、スパッタリング時間が長くなるため実用的ではなかった。
しかしながら本実施の形態例では、銅・マンガン・ゲルマニウム合金薄膜をスパッタリングで形成することにより、その厚さが1,000オングストロームでシート抵抗値4.6〜7.2Ω/□程度が容易に得られる。
そして、この本実施の形態例の抵抗皮膜の抵抗温度係数(TCR)は、±50×10-6/K以下であり、本実施の形態例の合金薄膜を採用することにより、上記良好な特性を有するチップ抵抗器を実現できる。なお、抵抗値精度については、レーザトリミング等により±0.5%以下の許容差に抑えることも可能である。
次に、以上の構造の本実施の形態例のチップ抵抗器の製造方法について図2を参照して説明する。図2は本実施の形態例のチップ抵抗器の製造方法を説明するための図である。
まず、(a)に示すように、シート状のアルミナ等の絶縁材料からなる角形絶縁基板11の各チップ領域に相当する部分に、上述した銅・マンガン・ゲルマニウム合金薄膜からなる抵抗体12を配置する。
この抵抗体12の配置は、例えば、基板全面にスパッタリング等により銅・マンガン・ゲルマニウム合金薄膜を被着し、これをフォトリソグラフィの技術を用いて所定のパターンに加工する。
次に、(b)に示すように、フォトリゾグラフイによりパターンを形成しためっきレジストを堤防にして、表面電極としてめっきにより銅膜13を抵抗体12上に形成する。
(b)に示すフィレットレス形実装対応のチップ抵抗器を製造する場合には、例えば50μm程度と厚めに形成する。
次に、(c)に示すように、裏面電極16を形成する。この裏面電極16はスパッタリングにより1〜2μm程度の銅を基板全面に装着し、これをフォトリソグラフィにより所定のパターンに形成する。そして、必要に応じて、レーザトリミングにより所要精度の抵抗値を得る。
次に、図2の(d)に示すように、樹脂膜をスクリーン印刷等により塗布して加熱硬化することで保護膜15を形成する。なお、保護膜15は、必要に応じてガラス膜および/または樹脂膜の組み合わせからなる二層以上の構造としてもよい。
以上の処理は、シート状の多数個取り基板で一括処理により行われるが、この段階で短冊状に分割または切断され、必要に応じて端面電極17が、例えばニッケル−クロムのスパッタリング等により形成される。その後、更に個々のチップに分割する。
そして、図2の(e)に示すように表面電極13、裏面電極16、端面電極17上にめっき電極18を形成する。このめっき電極18は、電解めっきによりまずニッケル(Ni)めっきを5乃至10μm程度の厚さで被着し、次にはんだ(すず)めっきを同様に5乃至10μm程度の厚さで被着する。これにより図1に示す形状のチップ抵抗器が得られる。
以上説明したように、従来のマンガニン系薄膜を用いた抵抗体では、1Ω以下の低い抵抗値を得ようとする場合には6,000オングストローム以上の膜厚にする必要があるが、6,000オングストロームを超える膜厚では内部応力により抵抗体皮膜の剥離等が発生しやすく、また、スパッタリング時間が長くなるため実用的ではなかったが、本実施の形態例によれば、銅・マンガン・ゲルマニウム合金薄膜をスパッタリングで形成することにより、その厚さが6,000オングストローム以下で0.5ないし100程度が容易に得る事ができる。
このため、本実施の形態例の抵抗皮膜では、抵抗温度係数(TCR)は±50×10-6/K以下となり、良好な特性を有するチップ抵抗器を実現できる。
11 角形絶縁基板
12 抵抗体膜
13 表面電極
15 保護膜
16 裏面電極
17 端面電極
18 メッキ電極(外部電極)
12 抵抗体膜
13 表面電極
15 保護膜
16 裏面電極
17 端面電極
18 メッキ電極(外部電極)
Claims (5)
- 電流検出回路などに用いられる電流検出用抵抗器に適用できる抵抗組成物であって、
マンガン(Mn):ゲルマニウム(Ge)を組成比7.0−13.0wt%:0.3−1.0wt%とし、残りを銅(Cu)で構成した銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜とすることを特徴とする抵抗組成物。 - 絶縁基板の上面に配置された抵抗体と、該抵抗体の両端部に配置された電極と、少なくとも前記抵抗体の主要部を被覆する保護膜と、前記電極上に形成されためっき電極とを備えるチップ抵抗器であって、
前記抵抗体は銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜からなることを特徴とするチップ抵抗器。 - 前記銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜はスパッタリング等により形成されることを特徴とする請求項2記載のチップ抵抗器。
- 前記銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜の組成比は、Mn:Geが7.0−13.0wt%:0.3−1.0wt%、残りがCuであることを特徴とする請求項2又は請求項3記載のチップ抵抗器。
- 絶縁基板の表面に前記銅・マンガン・ゲルマニウム(Cu−Mn−Ge)合金薄膜をスパッタリング等で被着して抵抗体を形成し、該抵抗体の両端都に電極を配置し、前記電極が配置された両端部を除いて前記抵抗体を保護膜で被覆し、露出した前記電極上にめっき電極を形成することを特徴とするチップ抵抗器の製造方法。
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JP2004192516A JP2006019323A (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 抵抗組成物、チップ抵抗器及びその製造方法 |
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-
2004
- 2004-06-30 JP JP2004192516A patent/JP2006019323A/ja active Pending
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