JP2006018225A - 有機電界発光表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は,絶縁基板上に形成された半導体層と,基板上に形成され,半導体層の一部を露出させるコンタクトホールを備えた第1絶縁膜と,第1絶縁膜上に形成され,半導体層と連結されるソース/ドレーン電極と,第1絶縁膜上に形成され,ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極の一部を露出させるビアホールを備えた第2絶縁膜と,第2絶縁膜上に形成され,1つの電極に連結される画素電極とを備える有機電界発光表示装置である。本発明によれば、ビアホール及びコンタクトホールが互いに重畳される構造で,コンタクトホールの開口径よりビアホールの開口径を大きく形成することにより,コンタクト不良及びコンタクト抵抗の上昇を防止できる。
【選択図】図3
Description
このようなコンタクト抵抗の上昇問題を解決するために,ビアホール167内では,透明導電膜175とドレーン電極145とが電気的にコンタクトされるように反射膜171をパターニングする。すなわち,反射膜171を基板上に蒸着し,反射膜171上にフォトレジスト膜(図示せず)を塗布した後で,フォトリソグラフィ工程を行ってフォトレジスト膜をパターニングする。このとき,上記ビアホール167に対応する部分のフォトレジスト膜も除去されるようにパターニングする。次に,パターニングされたフォトレジスト膜を利用し,ビアホール167内のドレーン電極145を露出させる第3開口部177を備えるように反射膜171をパターニングする。
205 バッファ
210 半導体層
211,215 ソース/ドレーン領域
217 チャンネル領域
220 絶縁膜
225 ゲート電極
230 層間絶縁膜
231,235 コンタクトホール
241,245 ソース/ドレーン電極
250 保護膜
255 第1開口部
260 平坦化膜
265 第2開口部
267 ビアホール
270 下部電極
271 反射膜
275 透明導電膜
277 第3開口部
280 下部分離膜
285 第4開口部
290 有機膜層
295 上部電極
Claims (15)
- 基板上に形成された半導体層と,
基板上に形成され,前記半導体層の一部を露出させるコンタクトホールを備えた第1絶縁膜と,
前記第1絶縁膜上に形成され,前記半導体層と連結されるソース/ドレーン電極と,
前記第1絶縁膜上に形成され,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極の一部を露出させるビアホールを備えた第2絶縁膜と,
前記第2絶縁膜上に形成され,前記1つの電極に連結される画素電極とを備え,
前記コンタクトホールは,前記半導体層及びソース/ドレーン電極を電気的にコンタクトさせ,前記ビアホールは,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極及び画素電極を電気的にコンタクトさせ,
前記ビアホールは,前記コンタクトホールと重畳されて形成され,前記ビアホールの開口径は,前記コンタクトホールの開口径より大きいことを特徴とする平板表示装置。 - 第2絶縁膜は,保護膜及び平坦化膜を含み,前記ビアホールは,保護膜及び平坦化膜にかけて形成されることを特徴とする請求項1に記載の平板表示装置。
- 第2絶縁膜は,前記第1絶縁膜上に形成され,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極を露出させる第1開口部を備える保護膜と,
前記保護膜上に形成され,前記1つの電極を露出させる第2開口部を備える平坦化膜とを含み,
前記ビアホールは,前記第1及び第2開口部を含み,前記第1及び第2開口部は,前記コンタクトホールの開口径より大きい開口径を有することを特徴とする請求項1に記載の平板表示装置。 - 第1及び第2開口部は,同一の開口径を有するか,または第1開口部の開口径が第2開口部の開口径より大きいことを特徴とする請求項3に記載の平板表示装置。
- 第2絶縁膜は,前記第1絶縁膜上に形成され,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極を露出させる開口部を備える平坦化膜を含み,
前記ビアホールは,前記開口部を含み,前記開口部は,前記コンタクトホールの開口径より大きい開口径を有することを特徴とする請求項1に記載の平板表示装置。 - 前記画素電極は,第2絶縁膜上に形成された反射膜と,
前記反射膜上に形成された透明導電膜とを含み,
前記反射膜は,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極を露出させる第3開口部を備え,前記透明導電膜は,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極と第3開口部を介して電気的にコンタクトされることを特徴とする請求項1に記載の平板表示装置。 - 基板上に形成された半導体層と,
基板上に形成され,前記半導体層の一部を露出させるコンタクトホールを備えた第1絶縁膜と,
前記第1絶縁膜上に形成され,前記半導体層と連結されるソース/ドレーン電極と,
前記第1絶縁膜上に形成され,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極の一部を露出させるビアホールを備えた第2絶縁膜と,
前記第2絶縁膜上に形成され,前記1つの電極に連結される画素電極とを備え,
前記コンタクトホールは,前記半導体層及びソース/ドレーン電極を電気的にコンタクトさせ,前記ビアホールは,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極及び画素電極を電気的にコンタクトさせ,
前記画素電極は,前記1つの電極の一部分を露出させる第1開口部を備える金属膜を少なくとも備え,
前記ビアホールは,前記コンタクトホールと部分的に重畳されて形成され,前記ビアホールの開口径は,前記コンタクトホールの開口径より大きく,第1開口部は,前記コンタクトホール及びビアホールと重畳されるように形成されることを特徴とする平板表示装置。 - 第2絶縁膜は,保護膜及び平坦化膜を含み,前記ビアホールは,保護膜及び平坦化膜にかけて形成されることを特徴とする請求項7に記載の平板表示装置。
- 第2絶縁膜は,前記第1絶縁膜上に形成され,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極を露出させる第2開口部を備える保護膜と,
前記保護膜上に形成され,前記1つの電極を露出させる第3開口部を備える平坦化膜とを含み,
前記ビアホールは,前記第2及び第3開口部を含み,前記第2及び第3開口部は,前記コンタクトホールより大きい開口径を有することを特徴とする請求項7に記載の平板表示装置。 - 第2及び第3開口部は,同一の開口径を有するか,または第2開口部が第3開口部より大きいことを特徴とする請求項9に記載の平板表示装置。
- 前記画素電極は,第2絶縁膜上に形成された反射膜と,
前記反射膜上に形成された透明導電膜とを含み,
前記反射膜は,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極を露出させる第1開口部を備え,前記透明導電膜は,前記ソース/ドレーン電極のうち,一方の電極と第1開口部を介して電気的にコンタクトされることを特徴とする請求項7に記載の平板表示装置。 - 基板上に形成された第1導電膜と,
基板上に形成され,前記第1導電膜の一部分を露出させる第1開口部を備える第1絶縁膜と,
前記第1絶縁膜上に形成され,前記第1導電膜と電気的にコンタクトされる第2導電膜と,
基板上に形成され,前記第2導電膜の一部分を露出させる第2開口部を備えた第2絶縁膜と,
前記第2絶縁膜上に形成され,前記第2導電膜の一部分を露出させる第3開口部を備える金属膜を少なくとも含み,前記第2導電膜と電気的にコンタクトされる第3導電膜とを備え,
第1開口部は,前記第1及び第2導電膜を電気的にコンタクトさせるためのものであり,第2開口部は,第2及び第3導電膜を電気的にコンタクトさせるためのものであり,
第1及び第2開口部は,重畳されるように形成され,前記第1開口部の開口径より第2開口部の開口径が大きいように形成されることを特徴とする平板表示装置。 - 第1絶縁膜は,層間絶縁膜を含み,第2絶縁膜は,保護膜及び平坦化膜を含むことを特徴とする請求項12に記載の平板表示装置。
- 前記第2開口部は,第1開口部と部分的に重畳され,第3開口部は,第1及び第2開口部と重畳されて第2導電膜の一部分を露出させることを特徴とする請求項12に記載の平板表示装置。
- 第1開口部は,コンタクトホールであり,第2開口部は,ビアホールであることを特徴とする請求項12に記載の平板表示装置。
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