JP2006013038A - 半導体レーザアレイ装置 - Google Patents
半導体レーザアレイ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006013038A JP2006013038A JP2004186265A JP2004186265A JP2006013038A JP 2006013038 A JP2006013038 A JP 2006013038A JP 2004186265 A JP2004186265 A JP 2004186265A JP 2004186265 A JP2004186265 A JP 2004186265A JP 2006013038 A JP2006013038 A JP 2006013038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- array device
- chip
- submount
- laser array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/024—Arrangements for thermal management
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
- H01S5/4025—Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
- H01S5/4031—Edge-emitting structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【課題】良好な製造歩留まりで、放熱効率の向上によって高出力化が図られる半導体レーザアレイ装置を提供する。
【解決手段】 半導体レーザアレイ装置は、所定ピッチで配列した複数の半導体レーザチップ1と、各半導体レーザチップ1を搭載するためのサブマウント3と、各半導体レーザチップ1の発熱をサブマウント3を経由して放熱するためのヒートシンク4などで構成され、チップ中心間の距離S、サブマウントの厚さTを用いて、2×T≦S≦10×Tを満たす。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体レーザアレイ装置は、所定ピッチで配列した複数の半導体レーザチップ1と、各半導体レーザチップ1を搭載するためのサブマウント3と、各半導体レーザチップ1の発熱をサブマウント3を経由して放熱するためのヒートシンク4などで構成され、チップ中心間の距離S、サブマウントの厚さTを用いて、2×T≦S≦10×Tを満たす。
【選択図】 図1
Description
本発明は、高出力化が図られる半導体レーザアレイ装置に関する。
複数の半導体レーザ素子を用いて高出力化を図るための従来の手法として、単一の半導体バーに複数の発光領域を設けたレーザダイオードバー(LDバー)を作成し、このLDバーをサブマウントまたはヒートシンクにダイボンドする手法がある。
LDバーでの発光領域の間隔は狭いため、各発光領域で発生した熱がサブマウントまたはヒートシンクに伝達される際の熱抵抗が比較的高くなり、効率的な放熱が困難である。そのため、発光領域での温度上昇によって耐久性や特性の劣化が生じ、高出力化には一定の限界がある。
本発明の目的は、良好な製造歩留まりで、放熱効率の向上によって高出力化が図られる半導体レーザアレイ装置を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明に係る半導体レーザアレイ装置は、所定ピッチで配列した複数の半導体レーザチップと、
各半導体レーザチップを搭載するためのサブマウントと、
各半導体レーザチップの発熱をサブマウントを経由して放熱するためのヒートシンクとを備え、
チップ中心間の距離S、サブマウントの厚さTを用いて、2×T≦S≦10×Tを満たすことを特徴とする。
各半導体レーザチップを搭載するためのサブマウントと、
各半導体レーザチップの発熱をサブマウントを経由して放熱するためのヒートシンクとを備え、
チップ中心間の距離S、サブマウントの厚さTを用いて、2×T≦S≦10×Tを満たすことを特徴とする。
本発明によれば、複数の半導体レーザチップをサブマウント上に配列した状態で、チップ中心間の距離S、サブマウントの厚さTを用いて、2×T≦S≦10×Tを満たすことことによって、アレイ全体の小型化を維持しながら、高い放熱効率を達成することができる。その結果、寿命や特性の劣化を抑制できるため、良好な製造歩留まりで、高出力化を図ることができる。
実施の形態1.
図1は、本発明の第1実施形態を示す部分斜視図である。半導体レーザアレイ装置は、複数の半導体レーザチップ1と、サブマウント3と、ヒートシンク4などで構成される。
図1は、本発明の第1実施形態を示す部分斜視図である。半導体レーザアレイ装置は、複数の半導体レーザチップ1と、サブマウント3と、ヒートシンク4などで構成される。
半導体レーザチップ1は、活性層、該活性層の上下に配置された一対のクラッド層などを有し、キャリア注入によって活性層から発生した光は端面の発光領域2を通過して外部に放射される。半導体レーザチップ1の上面には第1の電極が形成され、リード線(不図示)が接続される。半導体レーザチップ1の裏面には第2の電極が形成され、ダイボンディングなどによってサブマウント3に対して電気的および機械的に接続される。
サブマウント3は、導電性で良好な熱伝導性を有する金属、例えばCuW(銅−タングステン)、AlN(窒化アルミニウム)、SiC(炭化ケイ素)、Si(シリコン)などで形成され、一般的には板状の形状を有する。
ヒートシンク4は、大きな熱容量を有する部材であり、良好な熱伝導性を有する金属、例えばCu(銅)、Ag(銀)などで形成される。ヒートシンク4が受けた熱は、さらに大気や外部シャーシに放熱される。サブマウント3とヒートシンク4との間は、良好な熱伝導性を確保できるように、ハンダやその他の導電性接着剤を用いて電気的および機械的に接続される。
半導体レーザチップ1の通電に伴って発生した熱の一部は、周囲の大気にも放熱されるが、大部分の熱はサブマウント3を経由してヒートシンク4に伝達される。このとき、図1の点線で示したように、半導体レーザチップ1の裏面からヒートシンク4の厚さ方向に関して拡がり角θの範囲で熱伝導領域が形成される。この熱伝導領域の拡がり角θは、一般には半角で45°程度になる。
半導体レーザチップ1の中心間の距離をSとし、サブマウント3の厚さをTとした場合、厚さTが小さくなるほど、サブマウント3の熱抵抗は小さくなる。また、チップ中心間距離Sを小さく設定するほど、隣同士のチップの熱伝導領域が重なるようなり、放熱効率が低下してしまう。
そこで、本実施形態では、チップ中心間距離Sとサブマウント3の厚さTとの関係について最適となる条件、2×T≦S≦10×Tを満足するようにチップ配置を設定している。チップ中心間距離Sを2Tより小さく設定すると、サブマウント3の裏面付近において隣同士の熱伝導領域が重なってしまうため、あまり好ましくない。また、チップ中心間距離Sを10Tより大きく設定すると、チップ間のピッチが大きくなって、アレイ全体の長さが必要以上に大きくなってしまう。従って、2×T≦S≦10×Tを満たすことによって、アレイ全体の小型化を維持しながら、高い放熱効率を達成することができる。
実施の形態2.
本実施形態では、図1に示した構成において、発振波長のばらつきが小さい半導体レーザチップ1を実装している。
本実施形態では、図1に示した構成において、発振波長のばらつきが小さい半導体レーザチップ1を実装している。
半導体レーザアレイ装置の製品仕様として、一般に、発光スペクトルの中心波長λcと半値全幅(FWHM)が設定されている。従って、複数の半導体レーザチップ1を実装する場合、各チップ1の発振波長を選別する必要がある。
そこで、発振波長が中心波長λc±4nmの範囲内となる半導体レーザチップ1を選別してサブマウント3に実装することが好ましく、これによりアレイ全体の発光スペクトル幅を狭くすることができ、より単色な半導体レーザアレイ装置を実現している。
実施の形態3.
本実施形態では、図1に示した構成において、発振閾値、外部微分量子効率、動作電流のばらつきが小さい半導体レーザチップ1を実装している。
本実施形態では、図1に示した構成において、発振閾値、外部微分量子効率、動作電流のばらつきが小さい半導体レーザチップ1を実装している。
半導体レーザアレイ装置の製品仕様として、一般に、基準発振閾値Ithおよびその許容範囲、基準外部微分量子効率ηexおよびその許容範囲、基準動作電流Iopおよびその許容範囲などが設定されている。
発振閾値は、半導体レーザの電流−光出力特性(I−P特性)において、レーザ発振時の直線ラインが横軸(電流)と交差した点での電流値で定義される。外部微分量子効率は、電流−光出力特性において、レーザ発振時の直線ラインの傾きΔP/ΔIで定義される。動作電流は、所定の光出力が得られるときの電流値で定義される。
従って、複数の半導体レーザチップ1を実装する場合、各チップ1の発振閾値、外部微分量子効率、動作電流を選別する必要がある。
そこで、発振閾値が基準発振閾値Ith±5%の範囲内である半導体レーザチップ1を選別してサブマウント3に実装することが好ましく、これによりアレイ全体の発振閾値のばらつきを抑制できる。
また、外部微分量子効率が基準外部微分量子効率ηex±5%の範囲内である半導体レーザチップ1を選別してサブマウント3に実装することが好ましく、これによりアレイ全体の微分量子効率のばらつきを抑制できる。
また、動作電流が基準動作電流Iop±5%の範囲内でる半導体レーザチップ1を選別してサブマウント3に実装することが好ましく、これによりアレイ全体の動作電流のばらつきを抑制できる。
実施の形態4.
本実施形態では、図1に示した構成において、半導体レーザチップ1をディスクリートで実装していることから、発振波長、発振閾値、外部微分量子効率、動作電流などの仕様に関して、各チップ実装の前に事前検査により良品と認められたチップを選別することができる。
本実施形態では、図1に示した構成において、半導体レーザチップ1をディスクリートで実装していることから、発振波長、発振閾値、外部微分量子効率、動作電流などの仕様に関して、各チップ実装の前に事前検査により良品と認められたチップを選別することができる。
例えば、不良素子が50個に1個の割合で発生、つまり2%の不良率であると仮定して、10個の半導体レーザからなるレーザアレイを製造する場合を検討する。従来のように10個の発光領域をLDバーに形成した場合、1000個のレーザ素子から採れるアレイの数の期待値は、0.9810×1000/10=82個となる。即ち、100個のレーザアレイを製造したとき、そのうち18個が不良品となる。
一方、本発明のようにチップ単体をディスクリートで実装した場合、0.98×1000/10=98個となる。即ち、100個のレーザアレイを製造したとき、そのうち2個の不良品に留まる。従って、製造歩留まりの点で、従来のLDバーよりも本発明の方が格段に優れていることが判る。
1 半導体レーザチップ、 2 発光領域、 3 サブマウント、 4 ヒートシンク。
Claims (5)
- 所定ピッチで配列した複数の半導体レーザチップと、
各半導体レーザチップを搭載するためのサブマウントと、
各半導体レーザチップの発熱をサブマウントを経由して放熱するためのヒートシンクとを備え、
チップ中心間の距離S、サブマウントの厚さTを用いて、2×T≦S≦10×Tを満たすことを特徴とする半導体レーザアレイ装置。 - 各半導体レーザチップの発振波長は、中心波長±4nmの範囲内であることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザアレイ装置。
- 各半導体レーザチップの発振閾値は、基準発振閾値±5%の範囲内であることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザアレイ装置。
- 各半導体レーザチップの外部微分量子効率は、基準外部微分量子効率±5%の範囲内であることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザアレイ装置。
- 各半導体レーザチップの動作電流は、基準動作電流±5%の範囲内であることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザアレイ装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004186265A JP2006013038A (ja) | 2004-06-24 | 2004-06-24 | 半導体レーザアレイ装置 |
US11/078,498 US20050286592A1 (en) | 2004-06-24 | 2005-03-14 | Semiconductor laser array device |
DE102005019560A DE102005019560A1 (de) | 2004-06-24 | 2005-04-27 | Halbleiterlaserfeldvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004186265A JP2006013038A (ja) | 2004-06-24 | 2004-06-24 | 半導体レーザアレイ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006013038A true JP2006013038A (ja) | 2006-01-12 |
Family
ID=35505680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004186265A Pending JP2006013038A (ja) | 2004-06-24 | 2004-06-24 | 半導体レーザアレイ装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050286592A1 (ja) |
JP (1) | JP2006013038A (ja) |
DE (1) | DE102005019560A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014184844A1 (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-20 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
CN109755191A (zh) * | 2017-11-08 | 2019-05-14 | 三星电机株式会社 | 扇出型半导体封装件 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017130594A1 (de) * | 2017-12-19 | 2019-06-19 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterlaser, betriebsverfahren für einen halbleiterlaser und methode zur bestimmung des optimalen füllfaktors eines halbleiterlasers |
CN113228432B (zh) * | 2019-01-10 | 2024-05-31 | 三菱电机株式会社 | 半导体激光装置 |
CN113659442A (zh) * | 2021-09-13 | 2021-11-16 | 海特光电有限责任公司 | 半导体激光输出的模块化结构 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5325384A (en) * | 1992-01-09 | 1994-06-28 | Crystallume | Structure and method for mounting laser diode arrays |
US5394426A (en) * | 1992-11-13 | 1995-02-28 | Hughes Aircraft Company | Diode laser bar assembly |
US6975659B2 (en) * | 2001-09-10 | 2005-12-13 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Laser diode array, laser device, wave-coupling laser source, and exposure device |
JP3736462B2 (ja) * | 2002-01-17 | 2006-01-18 | ソニー株式会社 | 半導体レーザ装置 |
-
2004
- 2004-06-24 JP JP2004186265A patent/JP2006013038A/ja active Pending
-
2005
- 2005-03-14 US US11/078,498 patent/US20050286592A1/en not_active Abandoned
- 2005-04-27 DE DE102005019560A patent/DE102005019560A1/de not_active Ceased
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014184844A1 (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-20 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
JP5940214B2 (ja) * | 2013-05-13 | 2016-06-29 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
US9455547B2 (en) | 2013-05-13 | 2016-09-27 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor laser device |
JPWO2014184844A1 (ja) * | 2013-05-13 | 2017-02-23 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
CN109755191A (zh) * | 2017-11-08 | 2019-05-14 | 三星电机株式会社 | 扇出型半导体封装件 |
CN109755191B (zh) * | 2017-11-08 | 2024-03-15 | 三星电子株式会社 | 扇出型半导体封装件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050286592A1 (en) | 2005-12-29 |
DE102005019560A1 (de) | 2006-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4934954B2 (ja) | ヒートシンク及びヒートシンクを備えた半導体装置 | |
US8897328B2 (en) | Semiconductor laser apparatus and method for manufacturing same | |
US20170070028A1 (en) | Laser Light Modules | |
US20120033702A1 (en) | Semiconductor laser apparatus | |
JP2009076730A (ja) | 窒化物半導体レーザ装置 | |
JP2006313907A (ja) | 放熱構造体及びこれを具備した発光素子組立体 | |
JP3736462B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
US9780523B2 (en) | Semiconductor laser device | |
JP6304282B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2007311682A (ja) | 半導体装置 | |
JP2021170673A (ja) | 端面発光型のレーザバー | |
US20050286592A1 (en) | Semiconductor laser array device | |
JP6652856B2 (ja) | 半導体レーザモジュール及びその製造方法 | |
JP2003086883A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2006190930A (ja) | 半導体レーザーダイオード装置及びその製造方法 | |
JP2006351847A (ja) | 半導体発光装置 | |
JP2007305977A (ja) | 半導体レーザ装置及びその製造方法 | |
JP2004096062A (ja) | 半導体発光装置 | |
WO2020031944A1 (ja) | 半導体発光装置および半導体発光装置の製造方法 | |
US20090185591A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2008147592A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2006319011A (ja) | ペルチェモジュールおよび半導体レーザ発光装置 | |
WO2020044882A1 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2007013044A (ja) | 発光装置 | |
JP3786000B2 (ja) | 窒化物半導体レーザダイオードとその製造方法 |