JP2006007411A5

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Publication number: JP2006007411A5
Application number: JP2005171647A
Authority: JP
Filing date: 2005-06-10
Publication date: 2008-07-31
Anticipated expiration: 2025-06-10

Claims

加圧された研磨スラリの実質的に中断のない流れを維持する方法であって、
（ａ）複数の容器のうちの一つの容器から研磨スラリを放出し、複数の容器の別のものに研磨材料を充填するステップと、
（ｂ）個々の容器から研磨スラリを放出する間に、一方で個々の容器に研磨材料を充填するためにステップ（ａ）を連続して繰り返すステップと、
（ｃ）容器から放出される研磨スラリを個々の流れ制御出口バルブを介して通過させ、実質的に中断のない流れが維持される共通出口に至らせるステップと
を含み、
バルブをまたいで実質的に圧力差が無く且つバルブを介する流れも実質的に無いのでは無いならば、出口バルブの夫々は開閉されないことを特徴とする方法。
研磨材料が再充填される容器の出口バルブが、容器が再充填される間は閉じられて容器を共通出口から分離するが、続いて開かれて容器に研磨スラリを放出せしめることを特徴とする請求項１に記載の方法。
容器が、個々の流れ制御入口バルブを介して加圧された坦持流体の共通供給源から供給され、坦持流体は個々の容器に注入され研磨材料と混合し研磨スラリを形成することを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
（ｄ）再充填された容器の出口バルブを閉じたままにしつつ再充填された容器の入口バルブを開くことによって、再充填された容器を加圧するステップと、
（ｅ）再充填された容器の入口バルブを閉じるステップと、
（ｆ）再充填された容器の出口バルブを開くステップと、
（ｇ）再充填された容器の入口バルブを開き先に放出した容器の入口バルブを閉じることによって、先に放出した容器を再充填された容器と切り換えるステップと、
（ｈ）先に放出した容器の出口バルブを閉じるステップと
によって、
個々の容器が研磨材料で再充填された後、再充填された容器が加圧され、先に放出した容器と切り換えられた後、放出されることを特徴とする請求項３に記載の方法。
上記ステップ（ｈ）以降において、
（ｉ）先の放出する容器の減圧バルブを開くステップと、
（ｊ）先の放出する容器に研磨材料を再充填するステップと、
（ｋ）先の放出する容器の減圧バルブを閉じるステップと、
（ｌ）先の放出する容器の出口バルブを閉じたままにしつつ先の放出する容器の入口バルブを開くことによって、先の放出する容器を加圧するステップと、
（ｍ）先の放出する容器の入口バルブを閉じるステップと、
（ｎ）先の放出する容器の出口バルブを開くステップと、
によって、
先の放出の容器が減圧され、研磨材料で再充填され、先の放出の容器から研磨スラリを後で放出する準備のために再加圧されることを特徴とする請求項４に記載の方法。
個々の容器が、加圧された坦持流体を容器の中に供給する入口コンジットと、研磨スラリを容器から出口バルブに供給する出口コンジットを有し、
個々の容器が、個々の対の流れ制御入口バルブを介して加圧された坦持流体の共通源から供給され、
対のうちの第１のバルブは、容器を加圧し出口コンジットを介して容器から研磨材料を付勢するために、加圧された坦持流体供給部を入口コンジットに繋ぐ研磨流制御バルブであり、
対のうちの第２のバルブは、加圧された坦持流体供給部を中間コンジットを介して出口コンジットに繋ぐ坦持流体制御バルブであり、該出口コンジットでは坦持流体が研磨材料と混合し研磨スラリを形成することを特徴とする請求項３乃至５のうちいずれか一に記載の方法。
共通出口が一つ又は複数のノズルであり、その各々が所定の噴射の中への加圧研磨スラリの中断のない流れの少なくとも一部を形成するためのものであることを特徴とする請求項１乃至６のうちのいずれか一つに記載の方法。
容器の数が２個であり、第２の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが２個の容器のうちの第１の容器から放出し、第１の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが第２の容器から放出することを特徴とする請求項１乃至７のうちのいずれか一つに記載の方法。
加圧された研磨スラリの実質的に中断のない流れを維持するための装置であって、
上記装置は、個々の容器が個別の出口バルブを介して共通出口に繋がる複数の容器を含み、個々の容器は加圧された坦持流体の源と接続可能であり、
上記装置は、個々の容器が予め研磨材料で再充填されている場合は、共通出口にて研磨スラリを放出するために坦持流体の源から加圧され、一方で別の容器は減圧されて研磨材料で再充填されるように、構成され、
バルブをまたいで実質的に圧力差が無く且つバルブを介する流れも実質的に無いのでは無いならば、出口バルブの夫々は開閉されないことを特徴とする装置。
個々の容器が、個別の入口部品を介して加圧された坦持流体の源と接続可能であり、個々の容器が個別の減圧バルブを有し、
装置は、同時に、
（ａ）一つの容器の入口及び出口バルブが開き、
（ｂ）一つの容器の減圧バルブが閉じ、
（ｃ）別の容器の入口及び出口バルブが閉じ、そして、
（ｄ）別の容器の減圧バルブが開き、
一つの容器が研磨材料で充填されれば、加圧された坦持流体が一つの容器の中に流入して研磨材料と混合し、研磨スラリとして共通出口にて個別の出口バルブを介して放出し、一方別の容器は減圧され研磨材料が再充填されることを特徴とする請求項９に記載の装置。
装置が、第２の容器がスラリの形態の先に充填された研磨材料を放出する間、第１の容器に研磨材料を充填するように構成され、
（ｅ）第１の容器の入口バルブを閉じて開くことによって、第１の容器が加圧され、
（ｆ）第１の容器の出口バルブが開かれ、
（ｇ）第１の容器の入口バルブが開かれ第２の容器の入口バルブが閉じられ、
（ｈ）第２の容器の出口バルブが閉じられる
ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の装置。
装置が、第２の容器が減圧され、研磨材料を再充填され、後で第２の容器から研磨スラリを放出する準備として再加圧されるように、構成され、
上記ステップ（ｈ）以降にて、
（ｉ）第２の容器の減圧バルブを開き、
（ｊ）第２の容器に研磨材料を再充填し、
（ｋ）第２の容器の減圧バルブを閉じ、
（ｌ）第２の容器の出口バルブの閉鎖を維持する間に、第２の容器の入口バルブを開くことによって、第２の容器を加圧し、
（ｍ）第２の容器の入口バルブを閉じ、
（ｎ）第２の容器の出口バルブを開く
ことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
個々の容器が、加圧された坦持流体を容器の中に供給する入口コンジットと、研磨スラリを容器から出口バルブに供給する出口コンジットを有し、
個々の容器が、個々の対の流れ制御入口バルブを介して加圧された坦持流体の共通源から供給され、
対のうちの第１のバルブは、容器を加圧し出口コンジットを介して容器から研磨材料を付勢するために、加圧された坦持流体供給部を入口コンジットに繋ぐ研磨流制御バルブであり、
対のうちの第２のバルブは、加圧された坦持流体供給部を中間コンジットを介して出口コンジットに繋ぐ坦持流体制御バルブであり、該出口コンジットでは坦持流体が研磨材料と混合し研磨スラリを形成することを特徴とする請求項９乃至１２のうちいずれか一に記載の装置。
容器の数が２個であり、第２の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが２個の容器のうちの第１の容器から放出し、第１の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが第２の容器から放出することを特徴とする請求項９乃至１３のうちいずれか一つに記載の装置。