JP2006007134A - 水素透過装置、及びそれらの製造方法 - Google Patents
水素透過装置、及びそれらの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006007134A JP2006007134A JP2004189855A JP2004189855A JP2006007134A JP 2006007134 A JP2006007134 A JP 2006007134A JP 2004189855 A JP2004189855 A JP 2004189855A JP 2004189855 A JP2004189855 A JP 2004189855A JP 2006007134 A JP2006007134 A JP 2006007134A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrogen permeable
- hydrogen
- film
- permeable metal
- metal film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
【解決手段】 水素透過金属膜を有する水素透過装置は、水素透過装置が水素透過金属膜及び該水素透過金属膜を補強支持する多孔質金属補強支持体を有し、水素透過金属膜がピンホールを含まないで均一の厚みを有する薄膜であり、水素透過金属膜のいずれか一方の面を多孔質金属補強支持体で補強する。この水素透過装置の製造方法は、水素透過金属膜を堆積する仮支持担体を準備する工程、仮支持担体の一表面上に下塗り層を設ける工程、下塗り層上に水素透過金属膜を堆積させる工程、水素透過金属膜の上に水素透過性金属以外の別種の多孔質金属補強支持体を堆積する工程、及び下塗り層を溶解して多孔質金属補強支持体で補強された水素透過金属膜を仮支持担体から取り外しする工程を含む。
【選択図】 図4
Description
(1)製作方法の利点としては、従来の方法は、水素透過金属膜のセラミック補強支持体として作用する多孔質体に直接水素透過性金属膜を形成するために、水素透過金属膜自体にピンホールの発生率が高くなり膜厚が厚くなってしまう。一方本発明の製造方法は、比較的滑らかなで平面に近い仮支持担体(例えばポリエチレンテレフタレート板)上の下塗り層膜に水素透過膜を形成するために、膜厚が最も薄くても水素透過金属膜にピンホールの発生を抑制することができた。
(2)従来の圧延法で作った金属薄膜を利用した水素透過装置では、水素透過膜の膜厚の下限値は20μmまでが限度であった。本発明の平面に近い仮支持担体上の下塗り層膜に水素透過膜を形成したものでは、10nmまでの薄膜にすることが可能であった。その結果高価なパラジウムの使用量を大幅に削減することができる。
(3)水素透過量は膜厚に対して一次反比例するので、本発明の水素透過装置は水素透過量を大幅な増加ができるとともにパラジウムの使用量を大幅に削減することができる。
(4)従来の方法は多孔質のセラミック補強支持体を使用するのに対して、本発明の方法は、比較的滑らかで平面に近い仮支持担体(例えばポリエチレンテレフタレート板)を用いるので、装置及び工程手順共に簡単であり、その製作コストが非常に安くなる。さらに、形成された水素透過装置が、振動、熱膨張・収縮に対して非常に耐久性を向上することができる。
(1)第1の工程で、本発明の水素透過装置1は、図1の(a)に示すように、仮支持担体4となるプラスチック板(例えば、一片が10cm〜1mのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム)を用意して、このプラスチック板のいずれか一面に下塗り層5としての可溶性の膜を形成する。この仮支持担体4は、その一面に水素透過装置1が形成された後に、下塗り層5を適切な有機溶液により溶解させて、水素透過装置から取り除かれるものであり、水素透過金属膜の多孔質の金属補強支持体3とは相違する。
本発明の水素透過装置1の水素透過金属膜2は、前述したように10nm〜5μmの厚みにすることができる。しかし、上記実施例1により作成された本発明に水素透過装置1は、スッパッタリングによる1.5μm厚みのパラジウム合金被膜を、電解メッキによりメッキ時間20分、35分及び40分の間多孔質ニッケル(厚み約40ミクロン)で補強支持した。一方従来技術の圧延法による既存金属水素透過被膜は20μmの厚みであった。本発明及び従来技術のパラジウム合金被膜は、パラジウム質量当たりの水素透過率を示す。この水素透過装置1の水素透過試験の結果を図3に示す。図3において、本発明のメッキ時間30分のニッケル補強被膜を有するパラジウム合金被膜(黒四角印し)が、パラジウム質量当たり最も良い水素透過率(0.02〜0.05mol.s-1.m-2.Pa-1/2.g-1)を示した。また、本発明のメッキ時間30分の結果は、従来のもの(白丸印し)より優れていることも図3に示される。なお、メッキ時間20分及び25分の水素透過装置は、メッキによる補強支持体の形成が不十分であり水素以外の他のガスの漏れがあり、水素のみを選択する水素透過膜を形成することができなかった。
本発明の実施例1に記載する工程を含む方法(以下において、逆ビルドアップ法と述べる)を応用して、さらに水素透過金属膜2を補強し且つ補強支持材3の多孔性を確実に向上させることができる。図4は、本発明の工程からなる逆ビルドアップ法を応用した第2の水素透過装置1の形成工程を示す図である。図4の(a)〜(c)に示す工程は、図1の(a)〜(c)に示す工程と同様であるので説明を省略する。本発明の第2の水素透過装置1は、水素透過金属膜2を仮支持担体3に形成した後に、図4の(d)及び(e)に示すように、フィルムレジスト7をラミネートし、その後光処理により柱状のフィルムレジスト7を形成させ、レジスト開口部8を形成する。さらにその後、図4の(f)及び(g)に示すように、レジスト開口部を電解メッキによって銅及びニッケル等で被覆してその後フィルムレジスト7を光学法等によって取り除き、水素透過金属膜2上にレジストでパターン化した金属補強支持体9を形成する。さらにその後、図4の(h)に示すように、下塗り層5を適切な有機溶剤で溶解して仮支持担体4を取り除く。それによって、パターン化した金属補強支持体9で補強支持された水素透過金属膜2を有する第2の水素透過装置1が得られる。なお、必要に応じて、図4の(h)に示す第2の水素透過装置1を2枚作り、図4の(i−1)に示すように、2枚を圧着することができる。この場合圧着面10は水素の透過に支障がないようにする。または、図4の(h)に示す水素透過装置1に、図4の(d)〜(g)工程を施して図4の(i−2)に示す両面をパターン化した金属補強支持体9で補強支持された水素透過金属膜2を有する第2の水素透過装置1が得られる。これらの両面を金属補強支持体3で補強支持された水素透過装置1は、同一の水素透過性を示しながらさらにその構造を強化することができる。
図5は、本発明の工程からなる逆ビルドアップ法を応用した第3の水素透過装置の形成工程を示す図である。図5の(a)〜(c)に示す工程は、図1及び図4の(a)〜(c)に示す工程と同様であるので説明を省略する。本発明の第3の水素透過装置1は、水素透過金属膜2を仮支持担体3に形成した後に、図5の(d)に示すように、光処理によりフィルムレジストの柱11を形成する。その後、図5の(e)に示すように、レジストの柱11の間隙を電解メッキによって銅及びニッケル等で被覆してその後フィルムレジストの柱11を溶解法または光学法等によって取り除き、水素透過金属膜2上に空孔13でパターン化したニッケル多孔層からなる金属補強支持体12を形成する。さらにその後、図5の(f)に示すように、下塗り層5を適切な有機溶剤で溶解して仮支持担体4を取り除く。それによって、空孔13でパターン化した多孔質ニッケルの金属補強支持体9で補強支持された水素透過金属膜2を有する第2の水素透過装置1が得られる。なお、必要に応じて、図5の(f)の第2の水素透過装置1を2枚作り、図5の(g)に示すように、2枚を圧着することができる。
また、1枚当たりの水素透過量は、膜厚に一次反比例する。よって、例えば従来利用されている圧延法の金属水素透過薄膜の下限厚みの20μmの膜に比べ、膜厚が本発明の実施例の1μm程度になれば水素透過量は理論上約20倍になり、さらに例えば100nmの透過膜厚にすれば水素透過量は200倍程度に増加することができる。よって、従来の20μmの金属水素透過幕を基準とすれば、この従来膜と同じ水素透過量を得るに必要な膜面積を、理論上各々1/20、1/200に減少することができる。
すなわち、本発明による酸素透過膜を用いることで、目指す燃料改質器の大きさも格段に小さくすることが可能であり、改質器の低容量化、軽量化、膜厚材料使用量の削減並びに定コスト化格とを達成することができる。
2 水素透過金属膜
3 多孔質金属補強支持体
4 仮支持担体
5 下塗り層
6 セラミック補強支持体
7 レジスト
8 レジストの開口部
9 レジストでパターン化した金属補強支持体
10 圧着面
11 レジスト柱
12 空孔を有する金属補強支持体
13 空孔
21 従来技術の水素透過金属膜
22 パラジウムまたはこれらの合金の薄膜
23 多孔質のセラミック補強支持体
Claims (6)
- 水素透過金属膜を有する水素透過装置であって、
前記水素透過装置は、水素透過金属膜及び該水素透過金属膜を補強支持する多孔質金属補強支持体を有し、
前記水素透過金属膜は、ピンホールを含まないで均一の厚みを有する薄膜であり、
前記水素透過金属膜のいずれか一方の面を、前記多孔質金属補強支持体で補強した
ことを特徴とする水素透過金属膜を有する水素透過装置。 - 前記水素透過金属被膜が、パラジウム、75〜79wt%のパラジウムと21〜25wt%の銀とからなる合金、50〜70wt%のパラジウムと30〜50wt%の銅とからなる合金のいずれか1種からなることを特徴とする請求項1記載の水素透過装置。
- 前記多孔質金属補強支持体が、ニッケル、銅、鉄、亜鉛及びこれらの金属からなる合金のいずれか1種から成ることを特徴とする請求項1または2に記載の水素透過装置。
- 水素透過金属膜を有する水素透過装置の製造方法であって、
前記水素透過金属膜を堆積させるための仮支持担体を準備する工程、
前記仮支持担体のいずれか一表面上に下塗り層を設ける工程、
前記下塗り層上に前記水素透過金属膜を堆積させる工程、
前記水素透過金属膜の上に水素透過性金属以外の別種の多孔質金属補強支持体を堆積する工程、及び
前記下塗り層を溶解して除去することにより、前記多孔質金属補強支持体で補強された水素透過金属膜を前記仮支持担体から取り外しする工程、
を含むことを特徴とする多孔質金属補強支持体で補強された水素透過金属膜を有する水素透過装置の製造方法。 - 前記下塗り層上に前記水素透過金属膜を堆積させる工程、及び
前記水素透過金属膜の上に水素透過性金属以外の別種の多孔質金属補強支持体を堆積する工程を同時に実施することを特徴とする請求項4に記載の製造方法。 - 水素透過金属膜を有する水素透過装置の製造方法であって、
前記水素透過金属膜を堆積させる仮支持担体を準備する工程、
前記仮支持担体のいずれか一表面上に下塗り層を設ける工程、
前記下塗り層上に前記水素透過金属膜を堆積させる工程、
前記水素透過金属膜の上にフィルムレジストを積層する工程、
前記フィルムレジストをパターン化処理する工程、
パターン化処理した前記フィルムレジストの上に、水素透過性金属以外の別種の金属補強支持体を堆積する工程、及び
前記下塗り層及び前記フィルムレジストを溶解することにより、前記金属補強支持体を多孔化することで得られる多孔質金属補強支持体で補強された水素透過金属膜を前記仮支持担体から取り外しする工程、
を含むことを特徴とする多孔質金属補強支持体で補強された水素透過金属膜を有する水素透過装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004189855A JP4411409B2 (ja) | 2004-06-28 | 2004-06-28 | 水素透過装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004189855A JP4411409B2 (ja) | 2004-06-28 | 2004-06-28 | 水素透過装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006007134A true JP2006007134A (ja) | 2006-01-12 |
JP4411409B2 JP4411409B2 (ja) | 2010-02-10 |
Family
ID=35774952
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004189855A Expired - Fee Related JP4411409B2 (ja) | 2004-06-28 | 2004-06-28 | 水素透過装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4411409B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008062213A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Okuno Chem Ind Co Ltd | 水素透過膜構造体の製造方法 |
JP2010131475A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 水素精製フィルタおよびその製造方法 |
JP2011202258A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 水素透過性合金及びこれを利用した水素透過膜 |
JP6014920B1 (ja) * | 2015-08-19 | 2016-10-26 | 株式会社山王 | 金属複合水素透過膜とその製造方法 |
WO2023013182A1 (ja) | 2021-08-04 | 2023-02-09 | 株式会社伊原工業 | 炭化水素分解用構造体触媒の設計・配置方法、炭化水素分解反応装置の製造方法、炭化水素分解反応装置および反応炉 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6056023B2 (ja) * | 2014-11-05 | 2017-01-11 | 株式会社山王 | 金属複合水素透過膜とその製造方法 |
-
2004
- 2004-06-28 JP JP2004189855A patent/JP4411409B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008062213A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Okuno Chem Ind Co Ltd | 水素透過膜構造体の製造方法 |
JP2010131475A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 水素精製フィルタおよびその製造方法 |
JP2011202258A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 水素透過性合金及びこれを利用した水素透過膜 |
JP6014920B1 (ja) * | 2015-08-19 | 2016-10-26 | 株式会社山王 | 金属複合水素透過膜とその製造方法 |
WO2023013182A1 (ja) | 2021-08-04 | 2023-02-09 | 株式会社伊原工業 | 炭化水素分解用構造体触媒の設計・配置方法、炭化水素分解反応装置の製造方法、炭化水素分解反応装置および反応炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4411409B2 (ja) | 2010-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6649559B2 (en) | Supported metal membrane, a process for its preparation and use | |
US6475268B2 (en) | Supported membrane for hydrogen separation | |
US8939293B2 (en) | Composite membrane with integral rim | |
US8366805B2 (en) | Composite structures with porous anodic oxide layers and methods of fabrication | |
JP3213053B2 (ja) | 水素分離膜の製造方法 | |
JP2007326095A (ja) | 流体系分離用無機複合膜 | |
Itoh et al. | Deposition of palladium inside straight mesopores of anodic alumina tube and its hydrogen permeability | |
FR2962995A1 (fr) | Procede de fabrication d'une structure comprenant un feuillet de graphene muni de plots metalliques, structure ainsi obtenue et ses utilisations | |
JPH11276866A (ja) | 水素透過膜及びその作製方法 | |
US20020028345A1 (en) | Process for preparing a composite metal membrane, the composite metal membrane prepared therewith and its use | |
JP3388840B2 (ja) | 水素分離膜およびその製造方法 | |
JP4411409B2 (ja) | 水素透過装置の製造方法 | |
CN107376661B (zh) | 一种钯基复合膜的制备方法 | |
JP6014920B1 (ja) | 金属複合水素透過膜とその製造方法 | |
US20130092025A1 (en) | Defectless hydrogen separation membrane, production method for defectless hydrogen separation membrane and hydrogen separation method | |
JP5050411B2 (ja) | 水素精製フィルタおよびその製造方法 | |
JPH05137979A (ja) | 水素分離膜の製造方法 | |
TWI442966B (zh) | 多孔基材及無機選擇膜製造方法 | |
JP2007268404A (ja) | 水素精製フィルタおよびその製造方法 | |
JP5061695B2 (ja) | 水素精製フィルタおよびその製造方法 | |
JP6515830B2 (ja) | 膜電極接合体の製造方法 | |
CN114867549A (zh) | 用于制备多孔石墨烯膜的方法和使用该方法制备的膜 | |
RU2351389C1 (ru) | Селективный нанофильтр и способ его изготовления | |
JP6056023B2 (ja) | 金属複合水素透過膜とその製造方法 | |
Kim et al. | On-Wafer Wide-Pore Anodic Aluminum Oxide |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061114 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20071023 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20071116 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20071023 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081021 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090915 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091013 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121127 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |