JP2006005233A - キャパシタ、キャパシタ内蔵基板、およびキャパシタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 有機固体電解質層の剥離を確実に防止可能なキャパシタ、キャパシタ内蔵基板、およびそれらの製造方法に関するものである。
【解決手段】 キャパシタ1では、陽極としての第1の電極10と、陰極としての第2の電極16との間に、誘電体層11、二酸化マンガン層12、有機固体電解質層14、およびカーボンペースト層15がこの順に積層されている。第1の電極10と第2の電極16との間には、有機固体電解質層14を囲むように絶縁性の樹脂層13が矩形枠状に形成され、樹脂層13の下端部は二酸化マンガン層12に固着している一方、上端部は第2の電極16に固着している。従って、キャパシタ1の外周端面では、第1の電極10と第2の電極16との間が樹脂層13で完全に封止された状態にある。
【選択図】 図3
【解決手段】 キャパシタ1では、陽極としての第1の電極10と、陰極としての第2の電極16との間に、誘電体層11、二酸化マンガン層12、有機固体電解質層14、およびカーボンペースト層15がこの順に積層されている。第1の電極10と第2の電極16との間には、有機固体電解質層14を囲むように絶縁性の樹脂層13が矩形枠状に形成され、樹脂層13の下端部は二酸化マンガン層12に固着している一方、上端部は第2の電極16に固着している。従って、キャパシタ1の外周端面では、第1の電極10と第2の電極16との間が樹脂層13で完全に封止された状態にある。
【選択図】 図3
Description
本発明は、固体電解質を用いたキャパシタ、キャパシタ内蔵基板、およびキャパシタの製造方法に関するものである。
固体電解質を用いたキャパシタは、少なくとも、第1の電極、誘電体層、有機固体電解質層、および第2の電極がこの順に積層された構造を有している。このようなキャパシタを製造するにあたっては、一般に、第1の電極としての陽極の表面に、陽極酸化などの方法を用いて誘電体層を形成した後、有機固体電解質層を形成し、しかる後に、有機固体電解質層の表面にカーボンペーストや銀ペーストなどを塗布して第2の電極としての陰極を形成している(例えば、特許文献1参照)。
ここで、固体電解質層として、ポリピロールの電解重合膜を用いる場合、誘電体層の表面に薄い二酸化マンガン層や、薄い化学重合ポリピロール層を形成して誘電体層の表面に導電性を付与した後、電解重合を行う。
特開平01−32621号公報
しかしながら、従来のキャパシタでは、有機固体電解質層が、誘電体層や二酸化マンガン層などの無機層の表面に積層されているため、温度変化があったとき、有機固体電解質層の熱膨張率と無機層の熱膨張率の差に起因する応力が発生し、有機固体電解質層が剥離するという問題点がある。
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、有機固体電解質層の剥離を確実に防止可能なキャパシタ、キャパシタ内蔵基板、およびキャパシタの製造方法に関するものである。
上記課題を解決するために、本発明では、第1の電極と第2の電極との間に、少なくとも誘電体層および有機固体電解質がこの順に積層されたキャパシタにおいて、前記第1の電極と前記第2の電極との間には、前記有機固体電解質層を囲むように樹脂層が形成され、当該樹脂層の上端部および下端部は、前記第1の電極側および前記第2の電極側において前記有機固体電解質層以外の層とそれぞれ固着していることを特徴とする。
本発明において、前記誘電体層を形成するにあたっては、例えば、第1の電極を弁金属で形成し、それに陽極酸化を行う。ここで、「弁金属(バルブ金属)」とは、アルミニウム、タンタル、ニオブ、タングステン、バナジウム、ビスマス、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、それらの合金、あるいはそれらの化合物など、陽極酸化により誘電体を形成可能な金属を意味する。
本発明において、有機固体電解質層を囲むように形成された樹脂層は、上端部および下端部が第1の電極側および第2の電極側において有機固体電解質層以外の層とそれぞれ固着している。このため、有機固体電解質層の下面側界面および上端側界面のいずれもが樹脂層で周りを覆われ、有機固体電解質層は一切、露出していない。また、有機固体電解質層は上下から完全に挟まれ、かつ、その間隔は樹脂層で完全に規定されている。従って、有機固体電解質層の熱膨張係数と、有機固体電解質層に接する層の熱膨張係数が相違している場合であっても、温度変化に起因する剥離が発生しない。また、樹脂層は、単なる外装樹脂のように全体を覆うものではなく、第1の電極と第2の電極との間に形成されているので、樹脂層を形成したとしても、キャパシタの外形寸法が大きくならず、キャパシタの小型化を妨げない。
本発明において、前記樹脂層は、前記誘電体層より上層側に形成されていることが好ましい。すなわち、樹脂層を形成する前に第1の電極に対して誘電体層を予め形成しておけるので、誘電体層を形成する際、使用する薬品や熱処理に対する樹脂層の安定性などを考慮する必要がない。
本発明において、前記樹脂層は、例えば、前記第1の電極側の下層側樹脂層と、該下層側樹脂層上に積層された上層側樹脂層とを備え、前記下層側樹脂層および前記上層側樹脂層はいずれも、絶縁性樹脂から構成されている。
本発明において、前記樹脂層は、例えば、前記第1の電極側の下層側樹脂層と、該下層側樹脂層上に積層された上層側樹脂層とを備え、前記下層側樹脂層は絶縁性樹脂から構成され、前記上層側樹脂層は導電性樹脂から構成されている構成であってもよい。
本発明において、前記上層側樹脂層は、前記下層側樹脂層と比較して幅広に形成されて前記固体電解質層の上面に部分的に被さっていることが好ましい。このように構成すると、前記固体電解質層が上面側界面で剥離することをより確実に防止できる。
本発明に係るキャパシタを用いてキャパシタ内蔵基板を構成するには、前記第1の電極を、キャパシタ内蔵用基板を構成するための絶縁性基材に形成すればよい。ここで、前記第1の電極は、当該絶縁基材に直接、積層されている構成、あるいは当該絶縁性基材に他の導電層を介して積層されている構成のいずれであってもよい。
本発明では、第1の電極に対して、少なくとも誘電体層、有機固体電解質および第2の電極をこの順に積層するキャパシタの製造方法において、少なくとも、前記有機固体電解質層を形成する前に前記第1の電極側の有機固体電解質層形成領域を囲むように樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、前記樹脂層で囲まれた領域内に前記有機固体電解質層を形成する有機固体電解質層形成工程と、前記有機固体電解質層の上層側に前記第2の電極を形成する第2の電極形成工程とを行うことを特徴とする。
本発明において、前記第1の電極として複数のキャパシタを製造可能な大型の第1の電極を準備し、前記樹脂層形成工程では、前記大型の第1の電極側の複数の前記有機固体電解質層形成領域を囲むように前記樹脂層を形成し、前記有機固体電解質層形成工程では、前記樹脂層で囲まれた複数の領域内に有機固体電解質層を形成し、当該有機固体電解質層形成工程を行った以降、前記樹脂層に沿って前記大型の第1の電極を前記樹脂層とともに切断することが好ましい。このように樹脂層に相当する部分で切断した場合には、切断端面において第1の電極側と第2の電極側とが短絡することを確実に防止することができる。
本発明において、有機固体電解質層を囲むように形成された樹脂層は、上端部および下端部が第1の電極側および第2の電極側において有機固体電解質層以外の層とそれぞれ固着している。このため、有機固体電解質層の下面側界面および上端側界面のいずれもが樹脂層で周りを覆われ、有機固体電解質層は一切、露出していない。また、有機固体電解質層は上下から完全に挟まれ、かつ、その間隔は樹脂層で完全に規定されている。従って、温度変化などによって有機固体電解質層が剥離することがない。また、樹脂層は、第1の電極と第2の電極との間に形成されているので、樹脂層を形成したとしても、キャパシタの外形寸法が大きくならず、キャパシタの小型化を妨げない。よって、小型で、かつ、信頼性の高いキャパシタを提供することができる。
[実施の形態1]
(キャパシタの構造)
図1、図2および図3はそれぞれ、本発明の実施の形態1に係る有極性のキャパシタの外観を示す説明図、その層構成を模式的に示す分解斜視図、および断面図である。
(キャパシタの構造)
図1、図2および図3はそれぞれ、本発明の実施の形態1に係る有極性のキャパシタの外観を示す説明図、その層構成を模式的に示す分解斜視図、および断面図である。
図1、図2および図3に示すように、本形態のキャパシタ1は、陽極としての第1の電極10と、陰極としての第2の電極16との間に、誘電体層11、二酸化マンガン層12、有機固体電解質層14、およびカーボンペースト層15がこの順に積層されている。第2の電極16は、銀ペーストからなり、その上層側には、銅箔からなる陰極用の外部電極17が積層されている。第1の電極10は、アルミニウム、タンタル、ニオブ、タングステン、バナジウム、ビスマス、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、それらの合金、あるいはそれらの化合物(例えば、酸素をドープしたニオブ)などといった弁金属膜からなり、本形態では、アルミニウムから構成されている。誘電体層11は、第1の電極10を陽極酸化してなる酸化アルミニウム膜(陽極酸化膜)である。有機固体電解質層14は、電解重合により形成されたポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェンなどの導電性高分子膜である。
本形態において、第1の電極10と第2の電極16との間には、誘電体層11の上層側のうち、二酸化マンガン層12の表面に、有機固体電解質層14を囲むようにポリイミド系、エポキシ系、シリコン系、アクリル系などの絶縁性の樹脂層13が矩形枠状に形成されている。
ここで、樹脂層13の高さは、有機固体電解質層14の厚さ寸法よりも高く、樹脂層13の上端部は、有機固体電解質層14の上面から突き出ている。このため、樹脂層13の下端部は二酸化マンガン層12に固着している一方、上端部は第2の電極16に固着している。従って、キャパシタ1の外周端面では、第1の電極10と第2の電極16との間が樹脂層13で完全に封止された状態にある。
それ故、本形態のキャパシタ1では、有機固体電解質層14の下面側界面および上端側界面のいずれもが樹脂層13で周りを覆われ、有機固体電解質層14は一切、露出していない。また、有機固体電解質層14は上下から完全に挟まれ、かつ、その間隔は樹脂層13で完全に規定されている。よって、有機固体電解質層14の熱膨張係数と、有機固体電解質層14に接する層(二酸化マンガン層12や第2の電極16)の熱膨張係数が相違している場合であっても、温度サイクル試験を行った際や実際に使用した際、有機固体電解質層14と二酸化マンガン層12の界面や、有機固体電解質層14と第2の電極16の界面で剥離が起こることがない。また、樹脂層13は、外装樹脂と違って全体を覆うものではなく、第1の電極10と第2の電極16との間のみに形成されているので、樹脂層13を形成したとしても、キャパシタ1の外形寸法が大きくならず、キャパシタ1の小型化を妨げない。
(製造方法)
このような構成のキャパシタ1を製造するには、まず、図4(A)に示すように、第1の電極10として、厚さが約200μmのアルミニウム箔を準備する。また、本形態では、第1の電極10として、複数のキャパシタ1を切り出すことのできる大型のアルミニウム箔を準備する。
このような構成のキャパシタ1を製造するには、まず、図4(A)に示すように、第1の電極10として、厚さが約200μmのアルミニウム箔を準備する。また、本形態では、第1の電極10として、複数のキャパシタ1を切り出すことのできる大型のアルミニウム箔を準備する。
次に、誘電体層形成工程において、第1の電極10(大型のアルミニウム箔)をアジピン酸アンモニウム水溶液中で陽極酸化し、表面に耐電圧が10V〜80Vの誘電体層11を形成する。その際、アルミニウム箔の裏面側にも誘電体層11が形成されるが、裏面側の誘電体層11については図示を省略する。
次に、下地導電膜形成工程において、誘電体層11の表面に硝酸マンガンを付着させた後、約200℃の温度で焼成し、厚さが1μm〜5μmの薄い二酸化マンガン層12を形成する。
次に、図4(B)に示すように、樹脂層形成工程において、印刷あるいは転写などの方法で、二酸化マンガン層12の表面に対して有機固体電解質層14の各形成領域を囲むように、厚さが約30μmで幅が100μmの絶縁性の樹脂層13を格子枠状に形成した後、150℃〜200℃の温度で約1時間、加熱し硬化させる。
次に、図4(C)に示すように、有機固体電解質層形成工程において、二酸化マンガン層12によって導電性を付与した誘電体層11の表面に電解重合を行って、厚さが約20μmのポリピロールなどの導電性高分子膜からなる有機固体電解質層14を形成する。
次に、図4(D)に示すように、ディップ法などにより、有機固体電解質層14の上層に厚さが約10μmのカーボンペースト層15を形成した後、150℃〜180℃の温度で熱処理を行う。
次に、図4(E)に示すように、切断工程において、ダイサーなどを用いて、樹脂層13に沿って第1の電極10を誘電体層11、二酸化マンガン層12、樹脂層13とともに切断する。その結果、第1の電極10は、その上層に形成された各層とともに単品サイズに個片化される。
以降の工程については図示を省略するが、図3に示したように、印刷などの方法で、カーボンペースト層15の上層に約20μmの厚さに銀ペースト(第2の電極16)を塗布した後、外部電極17としての銅箔を重ねる。
次に、第1の電極10の裏面に形成されている誘電体層11やカーボンペースト層15を研磨などの方法で除去した後、第1の電極10に陽極用の外部電極を接続する。これにより、キャパシタ1が完成する。
このように本形態の製造方法では、有機固体電解質層形成工程を行った以降、樹脂層13に沿って大型の第1の電極10を樹脂層13とともに切断するため、切断部分での有機固体電解質層14の欠落を防止できる。従って、切断端面において第1の電極10側と第2の電極16側とが短絡することを確実に防止することができる。
また、樹脂層13については、誘電体層11より上層側に形成されているので、樹脂層13を形成する前に第1の電極10に対して誘電体層11を予め形成しておける。それ故、誘電体層11を形成する際、使用する薬品や熱処理に対する樹脂層13の安定性などを考慮する必要がない。
さらに本形態では、二酸化マンガン層12を形成した後、樹脂層13を形成しているため、樹脂層13は、二酸化マンガン層12を形成する際の200℃という温度に晒されない。従って、樹脂層13に対しては過度な耐熱性が要求されないので、樹脂層13として各種の樹脂を採用することができる。
[実施の形態2]
図5および図6はそれぞれ、本発明の実施の形態2に係る有極性のキャパシタ1の断面図、およびその工程断面図である。なお、本形態のキャパシタ1およびその製造方法は、基本的な構成が実施の形態1と同様であるため、共通する機能を有する部分については同一の符号を付してそれらの詳細な説明を省略する。
図5および図6はそれぞれ、本発明の実施の形態2に係る有極性のキャパシタ1の断面図、およびその工程断面図である。なお、本形態のキャパシタ1およびその製造方法は、基本的な構成が実施の形態1と同様であるため、共通する機能を有する部分については同一の符号を付してそれらの詳細な説明を省略する。
図5に示すように、本形態のキャパシタ1は、陽極としての第1の電極10と、陰極としての第2の電極16との間に、誘電体層11、二酸化マンガン層12、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェンなどの導電性高分子膜からなる有機固体電解質層14、およびカーボンペースト層15がこの順に積層されている。第2の電極16は、銀ペーストからなり、その上層側には、銅箔からなる外部電極17が積層されている。
本形態でも、実施の形態1と同様、第1の電極10と第2の電極16との間には、誘電体層11の上層側のうち、二酸化マンガン層12の表面に、有機固体電解質層14を囲むように、樹脂層13が矩形枠状に形成されている。
ここで、樹脂層13は、ポリイミド系、エポキシ系、シリコン系、アクリル系などの絶縁性の下層側樹脂層131と、同じく、ポリイミド系、エポキシ系、シリコン系、アクリル系などの絶縁性の上層側樹脂層132との2段構造になっている。下層側樹脂層131の高さは、有機固体電解質層14の厚さ寸法と略同等であり、下層側樹脂層131の上端部は、有機固体電解質層14の上面と略同一の高さ位置にある。上層側樹脂層132は、下層側樹脂層131よりも幅が広く、有機固体電解質層14の上面に部分的に被さっている。
このようにして本形態では、樹脂層13は、下層側樹脂層131の下端部が二酸化マンガン層12に固着している一方、上層側樹脂層132の上端部が第2の電極16に固着し、キャパシタ1の外周端面では、第1の電極10と第2の電極16との間が樹脂層13で完全に封止された状態にある。
従って、本形態のキャパシタ1では、有機固体電解質層14の下面側界面および上端側界面のいずれもが樹脂層13で周りを覆われ、有機固体電解質層14は一切、露出していないので、温度変化などに起因する有機固体電解質層14の剥離が一切、発生しないなど、実施の形態1と同様な効果を奏する。
また、上層側樹脂層132が有機固体電解質層14の上面に部分的に被さっているので、有機固体電解質層14の界面での剥離をより確実に防止できる。
本形態のキャパシタ1を製造するには、まず、図6(A)に示すように、第1の電極10として、複数のキャパシタ1を切り出すことのできる大型のアルミニウム箔を準備した後、誘電体層形成工程において、陽極酸化により、第1の電極10(大型のアルミニウム箔)の表面に誘電体層11を形成する。次に、下地導電膜形成工程において、誘電体層11の表面に硝酸マンガンを付着させた後、約200℃の温度で焼成し、厚さが1μm〜5μmの薄い二酸化マンガン層12を形成する。
次に、図6(B)に示すように、下層側樹脂層形成工程において、印刷あるいは転写などの方法で、二酸化マンガン層12の表面に対して有機固体電解質層14の各形成領域を囲むように、厚さが約20μmで幅が100μmの絶縁性の下層側樹脂層131を格子枠状に形成した後、150℃〜200℃の温度で約1時間、加熱し硬化させる。
次に、図6(C)に示すように、有機固体電解質層形成工程において、二酸化マンガン層12によって導電性を付与した誘電体層11の表面に電解重合を行って、厚さが約20μmのポリピロールなどの導電性高分子膜からなる有機固体電解質層14を形成する。
次に、図6(D)に示すように、上層側樹脂層132形成工程において、印刷あるいは転写などの方法で、下層側樹脂層131の表面に対して、厚さが約20μmで幅が200μmの絶縁性の上層側樹脂層132を格子枠状に形成した後、150℃〜200℃の温度で約1時間、加熱し硬化させる。
次に、図6(E)に示すように、ディップ法により、有機固体電解質層14の上層に厚さが約10〜20μmのカーボンペースト層15を形成した後、150℃〜180℃の温度で熱処理を行う。
次に、図6(F)に示すように、切断工程において、ダイサーなどを用いて、樹脂層13に沿って、第1の電極10を誘電体層11、二酸化マンガン層12、樹脂層13とともに切断する。その結果、第1の電極10は、その上層に形成された各層とともに、単品サイズに個片化される。以降の工程については、実施の形態1と同様であるため、説明を省略する。
このように本形態でも、有機固体電解質層形成工程を行った以降、樹脂層13に沿って大型の第1の電極10を樹脂層13とともに切断するため、切断部分での有機固体電解質層14の欠落を防止できる。従って、切断端面において第1の電極10側と第2の電極16側とが短絡することを確実に防止することができるなど、実施の形態1と同様な効果を奏する。
[実施の形態3]
図7および図8はそれぞれ、本発明の実施の形態3に係る有極性のキャパシタ1の断面図、およびその工程断面図である。なお、本形態のキャパシタ1およびその製造方法は、基本的な構成が実施の形態1と同様であるため、共通する機能を有する部分については同一の符号を付してそれらの詳細な説明を省略する。
図7および図8はそれぞれ、本発明の実施の形態3に係る有極性のキャパシタ1の断面図、およびその工程断面図である。なお、本形態のキャパシタ1およびその製造方法は、基本的な構成が実施の形態1と同様であるため、共通する機能を有する部分については同一の符号を付してそれらの詳細な説明を省略する。
図7に示すように、本形態のキャパシタ1は、陽極としての第1の電極10と、陰極としての第2の電極16との間に、誘電体層11、二酸化マンガン層12、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェンなどの導電性高分子膜からなる有機固体電解質層14、およびカーボンペースト層15がこの順に積層されている。第2の電極16は、銀ペーストからなり、その上層側には、銅箔からなる外部電極17が積層されている。
本形態では、第1の電極10と第2の電極16との間には、誘電体層11の上層側のうち、二酸化マンガン層12の表面に、有機固体電解質層14を囲むように、樹脂層13が矩形枠状に形成されている。
本形態でも、実施の形態1と同様、第1の電極10と第2の電極16との間には、誘電体層11の上層側のうち、二酸化マンガン層12の表面に、有機固体電解質層14を囲むように、樹脂層13が矩形枠状に形成されている。
ここで、樹脂層13は、ポリイミド系、エポキシ系、シリコン系、アクリル系などの絶縁性の下層側樹脂層131と、この下層側樹脂層131と同様な樹脂マトリクス中に導電粒子や導電性有機化合物が配合された導電性の上層側樹脂層133の2段構造になっている。下層側樹脂層131の高さは、有機固体電解質層14の厚さ寸法と略同等であり、下層側樹脂層131の上端部は、有機固体電解質層14の上面と略同一の高さ位置にある。この上層側樹脂層133は、下層側樹脂層131と同じ幅か、あるいはそれより幅が狭い。
このようにして本形態では、樹脂層13は、下層側樹脂層131の下端部が二酸化マンガン層12に固着している一方、上層側樹脂層133の上端部が第2の電極16に固着し、キャパシタ1の外周端面では、第1の電極10と第2の電極16との間が樹脂層13で完全に封止された状態にある。
従って、本形態のキャパシタ1では、有機固体電解質層14の下面側界面および上端側界面のいずれもが樹脂層13で覆われ、有機固体電解質層14は一切、露出していないので、温度変化などに起因する有機固体電解質層14の剥離が一切、発生しないなど、実施の形態1と同様な効果を奏する。
さらに、本形態では、上層側樹脂層133が導電性樹脂からなるため、以下の製造方法を採用すると、上層側樹脂層133と有機固体電解質層14との密着性を向上できるという利点がある。
本形態のキャパシタ1を製造するには、まず、図8(A)に示すように、第1の電極10として、複数のキャパシタ1を切り出すことのできる大型のアルミニウム箔を準備した後、誘電体層形成工程において、陽極酸化により、第1の電極10(大型のアルミニウム箔)の表面に誘電体層11を形成する。次に、下地導電膜形成工程において、誘電体層11の表面に硝酸マンガンを付着させた後、約200℃の温度で焼成し、厚さが1μm〜5μmの薄い二酸化マンガン層12を形成する。
次に、図8(B)に示すように、下層側樹脂層形成工程において、印刷あるいは転写などの方法で、二酸化マンガン層12の表面に対して有機固体電解質層14の各形成領域を囲むように、厚さが約20μmで幅が100μmの絶縁性の下層側樹脂層131を格子枠状に形成した後、150℃〜200℃の温度で約1時間、加熱し硬化させる。
次に、図8(C)に示すように、上層側樹脂層形成工程において、印刷あるいは転写などの方法で、下層側樹脂層131の表面に対して、厚さが約20μmで幅が80μm〜100μmの導電性の上層側樹脂層133を格子枠状に形成した後、150℃〜200℃の温度で約1時間、加熱し硬化させる。
次に、図8(D)に示すように、有機固体電解質層形成工程において、二酸化マンガン層12によって導電性を付与した誘電体層11の表面に電解重合を行って、厚さが約30μmのポリピロールなどの導電性高分子膜からなる有機固体電解質層14を形成する。
次に、図8(E)に示すように、ディップ法により、有機固体電解質層14の上層に厚さが約10〜20μmのカーボンペースト層15を形成した後、150℃〜180℃の温度で熱処理を行う。
次に、図8(F)に示すように、切断工程において、ダイサーなどを用いて、樹脂層13に沿って、第1の電極10を誘電体層11、二酸化マンガン層12、樹脂層13とともに切断する。その結果、第1の電極10は、その上層に形成された各層とともに、単品サイズに個片化される。以降の工程については、実施の形態1と同様であるため、説明を省略する。
このように本形態でも、有機固体電解質層形成工程を行った以降、樹脂層13に沿って大型の第1の電極10を樹脂層13とともに切断するため、切断部分での有機固体電解質層14の欠落を防止できる。従って、切断端面において第1の電極10側と第2の電極16側とが短絡することを確実に防止することができるなど、実施の形態1と同様な効果を奏する。
また、本形態では、上層側樹脂層形成工程において、下層側樹脂層131の表面に導電性の上層側樹脂層133を形成した後、有機固体電解質層形成工程において、電解重合により導電性高分子膜からなる有機固体電解質層14を形成する。このため、電解重合の途中からは、上層側樹脂層133の一部にも導電性高分子膜からなる有機固体電解質層14が形成されるため、上層側樹脂層133と有機固体電解質層14の密着性が高いという利点がある。
[実施の形態4]
図9は、本発明の実施の形態4に係る有極性のキャパシタ1の断面図、およびその工程断面図である。
図9は、本発明の実施の形態4に係る有極性のキャパシタ1の断面図、およびその工程断面図である。
上記実施の形態1、2、3では、誘電体層11の表面に二酸化マンガン層12によって導電性を付与したが、図9に示すように、誘電体層11の表面に導電性の化学重合膜19を形成してもよい。この場合は、モノマーあるいはオリゴマー、さらにはドーパントを含む溶液や蒸気を誘電体層11に接触させる。あるいは、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェンなどのモノマーあるいはオリゴマー、さらにはドーパントを含む溶液中で酸化剤を添加して、誘電体層11の表面に化学重合膜19を堆積させる。但し、この場合には、化学重合膜19と誘電体層11との界面での剥離が発生しないように、樹脂層13を誘電体層11の表面に形成することになる。
[実施の形態5]
図10は、本発明の実施の形態5に係る有極性のキャパシタ1の断面図、およびその工程断面図である。
図10は、本発明の実施の形態5に係る有極性のキャパシタ1の断面図、およびその工程断面図である。
上記実施の形態1、2、3では二酸化マンガン層12の表面に樹脂層13を形成し、実施の形態4では、誘電体層11の表面に樹脂層を形成したが、図10に示すように、第1の電極10の表面に樹脂層13を形成してもよい。
[その他の実施の形態]
上記形態では、有機固体電解質層14として、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェンなどの導電性ポリマーを用いたが、TCNQ錯体などを用いてもよい。TCNQ錯体の場合には、例えば、所定領域上にTCNQ錯体を配置した状態で加熱、溶融した後、冷却、固化して固体電解質層を形成すればよい。
上記形態では、有機固体電解質層14として、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェンなどの導電性ポリマーを用いたが、TCNQ錯体などを用いてもよい。TCNQ錯体の場合には、例えば、所定領域上にTCNQ錯体を配置した状態で加熱、溶融した後、冷却、固化して固体電解質層を形成すればよい。
[キャパシタ内蔵基板への適用例]
図11は、本発明を適用したキャパシタを配線基板に内蔵させたキャパシタ内蔵基板の断面図である。図11において、本形態のキャパシタ内蔵基板1100は、いわゆるビルトアップ構造を有する回路基板である。このキャパシタ内蔵基板1100には、シリコン基板、セラミック基板、樹脂基板、ガラス−エポキシ基板からなるコア基板1111の上面および下面には、銅層からなる複数の配線層1102、1104、1124、および1134が形成されており、これらの配線層は、絶縁膜1103、1123および1133を介して互いに隔離されている。本形態では、配線層1102、1124の一部分の表面に、スパッタ法などにより、アルミニウムやタンタルなどからなる、キャパシタ1の第1の電極10(図1などを参照)を形成する。
図11は、本発明を適用したキャパシタを配線基板に内蔵させたキャパシタ内蔵基板の断面図である。図11において、本形態のキャパシタ内蔵基板1100は、いわゆるビルトアップ構造を有する回路基板である。このキャパシタ内蔵基板1100には、シリコン基板、セラミック基板、樹脂基板、ガラス−エポキシ基板からなるコア基板1111の上面および下面には、銅層からなる複数の配線層1102、1104、1124、および1134が形成されており、これらの配線層は、絶縁膜1103、1123および1133を介して互いに隔離されている。本形態では、配線層1102、1124の一部分の表面に、スパッタ法などにより、アルミニウムやタンタルなどからなる、キャパシタ1の第1の電極10(図1などを参照)を形成する。
ここに示すキャパシタ内蔵基板1100では、コア基板1111の上面側に、計3個のキャパシタ1を有しており、これらのキャパシタ1はいずれも、例えば、実施の形態1と同様な構造を備えている。すなわち、3つのキャパシタ1のいずれにおいても、図3、図5、図7、図9、図10に示すように、陽極としての第1の電極10、誘電体層11、二酸化マンガン層12あるいは化学重合膜19、導電性高分子膜からなる有機固体電解質層14、カーボンペースト層15、陰極としての第2の電極16がこの順に積層され、かつ、有機固体電解質層14は樹脂層13で囲まれている。また、キャパシタ1や配線層1102、1104、1124、および1134は、コア基板1111や絶縁膜1103、1123および1133にレーザ加工などの方法で形成されたスルーホール1125やビヤ1126に充填された導体金属を介して相互に接続されている。
本発明において、有機固体電解質層を囲むように形成された樹脂層は、上端部および下端部が第1の電極側および第2の電極側において有機固体電解質層以外の層とそれぞれ固着している。このため、有機固体電解質層の下面側界面および上端側界面のいずれもが樹脂層で周りを覆われ、有機固体電解質層が一切、露出していないので、温度変化などによって有機固体電解質層が剥離することがない。また、樹脂層は、第1の電極と第2の電極との間に形成されているので、樹脂層を形成したとしても、キャパシタの外形寸法が大きくならず、キャパシタの小型化を妨げない。よって、小型で、かつ、信頼性の高いキャパシタを提供することができる。
1 キャパシタ
10 第1の電極(陽極)
11 誘電体層
12 二酸化マンガン層
13 樹脂層
14 有機固体電解質層
15 カーボンペースト層
16 第2の電極(陰極)
17 外部電極
131 下層側樹脂層
132、133 上層側樹脂層
1100 キャパシタ内蔵基板
10 第1の電極(陽極)
11 誘電体層
12 二酸化マンガン層
13 樹脂層
14 有機固体電解質層
15 カーボンペースト層
16 第2の電極(陰極)
17 外部電極
131 下層側樹脂層
132、133 上層側樹脂層
1100 キャパシタ内蔵基板
Claims (8)
- 第1の電極と第2の電極との間に、少なくとも誘電体層および有機固体電解質がこの順に積層されたキャパシタにおいて、
前記第1の電極と前記第2の電極との間には、前記有機固体電解質層を囲むように樹脂層が形成され、
当該樹脂層の上端部および下端部は、前記第1の電極側および前記第2の電極側において前記有機固体電解質層以外の層とそれぞれ固着していることを特徴とするキャパシタ。 - 請求項1において、前記樹脂層は、前記誘電体層より上層側に形成されていることを特徴とするキャパシタ。
- 請求項1または2において、前記樹脂層は、前記第1の電極側の下層側樹脂層と、該下層側樹脂層上に積層された上層側樹脂層とを備え、
前記下層側樹脂層および前記上層側樹脂層はいずれも、絶縁性樹脂から構成されていることを特徴とするキャパシタ。 - 請求項1または2において、前記樹脂層は、前記第1の電極側の下層側樹脂層と、該下層側樹脂層上に積層された上層側樹脂層とを備え、
前記下層側樹脂層は絶縁性樹脂から構成され、前記上層側樹脂層は導電性樹脂から構成されていることを特徴とするキャパシタ。 - 請求項3または4において、前記上層側樹脂層は、前記下層側樹脂層と比較して幅広に形成されて前記固体電解質層の上面に部分的に被さっていることを特徴とするキャパシタ。
- 請求項1ないし5のいずれかに規定するキャパシタを内蔵するキャパシタ内蔵基板であって、前記第1の電極は、キャパシタ内蔵用基板を構成するための絶縁性基材に形成されていることを特徴とするキャパシタ内蔵基板。
- 第1の電極に対して、少なくとも誘電体層、有機固体電解質および第2の電極をこの順に積層するキャパシタの製造方法において、少なくとも、
前記有機固体電解質層を形成する前に、前記第1の電極側の有機固体電解質層形成領域を囲むように樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、
前記樹脂層で囲まれた領域内に前記有機固体電解質層を形成する有機固体電解質層形成工程と、
前記有機固体電解質層の上層側に前記第2の電極を形成する第2の電極形成工程とを有することを特徴とするキャパシタの製造方法。 - 請求項7において、前記第1の電極として複数のキャパシタを製造可能な大型の第1の電極を準備し、
前記樹脂層形成工程では、前記大型の第1の電極側の複数の前記有機固体電解質層形成領域を囲むように前記樹脂層を形成し、
前記有機固体電解質層形成工程では、前記樹脂層で囲まれた複数の領域内に有機固体電解質層を形成し、
当該有機固体電解質層形成工程を行った以降、前記樹脂層に沿って前記大型の第1の電極を前記樹脂層とともに切断することを特徴とするキャパシタの製造方法。
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