JP2006005046A - 自己走査型発光素子アレイチップおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の表面側にアノード電極またはカソード電極を設けた発光素子サイリスタが複数配列された自己走査型発光素子アレイチップであって、チップ面積が大きくならない構造を提供する。
【解決手段】p形GaAs基板10の上に、p形GaAs層12,n形GaAs層14,p形GaAs層16,n形GaAs層18が順次積層され、n形GaAs層18上にカソード電極22が、p形GaAs層16上にゲート電極23が形成されている。GaAs層12に溝50が設けられ、溝の側壁にアノード電極20が形成されている。
【選択図】図6
【解決手段】p形GaAs基板10の上に、p形GaAs層12,n形GaAs層14,p形GaAs層16,n形GaAs層18が順次積層され、n形GaAs層18上にカソード電極22が、p形GaAs層16上にゲート電極23が形成されている。GaAs層12に溝50が設けられ、溝の側壁にアノード電極20が形成されている。
【選択図】図6
Description
本発明は、自己走査型発光素子アレイチップおよび製造方法に関し、特に電極の構成およびその形成方法に関する。
pnpn構造の3端子発光サイリスタを利用した自己走査型発光素子アレイは、発光点の自己走査を実現できるので、発光素子ピッチを細かくでき、コンパクトな構成となるため、光プリンタ用光源として実装が簡便となる。
このような自己走査型発光素子アレイについて、発光サイリスタの発光効率を上げるために、pnpn構造の最下層の半導体層上に電極を設けることが特許文献1に開示されている。
図1において、特許文献1に開示の自己走査型発光素子アレイの構造を説明するが、(A)は従来の構造を、(B)は発光効率を改善した構造を示している。
図1(A)の従来構造では、p形半導体基板10上に、p形半導体層12,n形半導体層14,p形半導体層16,n形半導体層18が順次積層され、アノード電極20は基板10の裏面に形成され、カソード電極22は最上層のn形半導体層18上に形成され、ゲート電極23は、下層のp形半導体層16上に形成されている。
このような構造では、点線矢印で示すように、アノード電極20からの電流がカソード電極22に向かって流れるので発光中心はカソード電極下にあり、電極下で発光した光の一部が電極22に遮られてしまい、外部への発光効率が低下する。
このような問題を解決した特許文献1に開示の自己走査型発光素子アレイでは、図1(B)に示すように、アノード電極20をpnpn構造の最下層の半導体層12の表面に設けている。このような構造では、アノード電極20からのカソード電極22への電流は、点線矢印で示すように流れる結果、発光中心がカソード電極直下からアノード電極側にずれる。
図2は、自己走査型発光素子アレイチップのカソード電極部分の平面図であり、発光中心のずれに伴い、発光部24もずれている状態を示している。このため、カソード電極22に遮られる光の量が少なくなるので、発光効率が改善される。
特開平9−283794号公報
図1(B)に示した構造では、アノード電極を半導体層の表面に設けるので、チップ面積を大きくしなければならず、チップコストが上がるという問題があった。
また、このチップを使用した光プリントヘッドにおいて、複数のチップを千鳥配置して光源を構成する場合、発光部間の副走査方向の距離が大きくなってしまうという問題がある。
この問題を、図3,図4に基づいて説明する。図3は、自己走査型発光素子アレイチップの一例の平面図を、図4は、その等価回路図である。
図4に示すように、この自己走査型発光素子アレイチップは、スイッチ素子T1 ,T2 ,T3 …、書込み用発光素子L1,L2 ,L3 …からなる。スイッチ素子のゲート電極間は、ダイオードD1 ,D2,D3 …によりそれぞれ接続されている。VGAは電源であり、負荷抵抗RL を経て各スイッチ素子のゲート電極G1,G2 ,G3 …に接続されている。また、スイッチ素子のゲート電極G1 ,G2,G3 …は、発光素子L1 ,L2 ,L3 …のゲート電極にも接続される。スイッチ素子のカソード電極には、交互に転送用クロックパルスφ1,φ2が加えられ、発光素子のカソード電極には、書込み信号φIが加えられ、アノード電極はグランド端子Gndに接続されている。
図3において、φI ,φ1,φ2,VGA,Gndを付している部分は、それぞれ対応するボンディングパッドである。これら各ボンディングパッドは、それぞれアルミ配線30,32,34,36,38を経て、図3に示すように各素子に接続されている。グランド配線(またはアノード配線)38がチップの長手方向エッジに沿って延びていることがわかる。
図5は、チップを千鳥配列して、チップ間で発光部24の配列ピッチを合わせた状態を示す図である。図では、2個のチップ40,42のみを示している。
図中、aは走査方向の発光部24の配列ピッチを、bは副走査方向の発光部間の距離を示している。アノード配線38の幅を20μmとすると、距離bは、少なくとも40μm大きくなってしまう。
以上は、p形半導体基板上または半絶縁性基板上にp形,n形,p形,n形の順で半導体層を積層した構造の発光サイリスタについて説明したが、n形半導体基板上または半絶縁性基板上にn形,p形,n形,p形の順で半導体層を積層した構造の発光サイリスタについても同様である。この場合には、最上層のp形半導体上に設けられる電極はアノード電極であり、最下層のn形半導体上に設けられる電極はカソード電極である。
したがって、本発明の目的は、特許文献1で示した構造で得られる発光効率を維持したままで基板の表面側にアノード電極またはカソード電極を設けた発光サイリスタが複数配列された自己走査型発光素子アレイチップを千鳥配列した場合に、副走査方向の発光部間の距離を、基板の裏面にアノード電極またはカソード電極を設けた発光サイリスタが複数配列された自己走査型発光素子アレイチップを千鳥配列した場合の副走査方向の発光部間の距離と同程度の距離にすることができる自己走査型発光素子アレイチップを提供することにある。
本発明の他の目的は、このような自己走査型発光素子アレイチップの製造方法を提供することにある。
本発明は、基板上に、複数個の3端子発光サイリスタが直線状に配列されている自己走査型発光素子アレイチップにおいて、3端子発光サイリスタは、基板上に設けられた第1導電形の第1の半導体層と、第1の半導体層上にメサ構造により設けられた、第2導電形の第2の半導体層,第1導電形の第3の半導体層,第2導電形の第4の半導体層と、第1の半導体層に設けられた溝の側壁に形成された第1の電極と、第3の半導体層上に設けられた第2の電極と、第4の半導体層上に設けられた第3の電極とを備える3端子発光サイリスタであることを特徴とする。
基板は、半導体基板または半絶縁性基板とすることができる。
溝の側壁への電極の形成は、(1)溝を、レジストのフォトリソグラフィと、ウェットエッチングとで形成し、形成された溝の側壁に、電極を蒸着する、または(2)溝を、レジストのフォトリソグラフィと、ドライエッチングとで形成し、形成された溝の側壁に、電極を蒸着する、または(3)溝を、ダイサーによるハーフカットにより形成し、形成された溝の側壁に、電極を蒸着することにより行うことができる。
本発明によれば、アノード電極またはカソード電極を基板の表面側に設けて発光効率を高めたタイプの自己走査型発光素子アレイチップを千鳥状に配列した場合に、隣接する2個のチップの発光部間の副走査方向距離を、基板の裏面にアノード電極またはカソード電極を設けた従来タイプの自己走査型発光素子アレイチップを千鳥状に配列した場合と同程度とすることができるので、チップ面積が増大しない。
図6は、本発明の自己走査型発光素子アレイチップの一実施例の断面を示す。図1(B)と同一の構成要素については、同一の参照番号を付して示す。なお、本実施例では、基板および半導体層にはGaAsを用いるものとする。
本発明によれば、pnpn構造の最下層のGaAs層12に溝50を設け、溝の側壁にアノード電極20を形成する。このような構造では、パターン上面から見たチップ幅の増加分は、チップ裏面に電極を形成した場合と比較して、せいぜい0.5μm程度増大するが、殆ど大きさは変わらない。例えば、幅20μmのアノード電極を形成した場合、本発明によれば、チップを千鳥配列した場合の距離bの拡大幅は1μm程度に抑制できる。
次に、このような自己走査型発光素子アレイチップの製造方法を説明する。
p形GaAs基板10の(100)面上に、p形GaAs層12,n形GaAs層14,p形GaAs層16,n形GaAs層18を順次積層する。次に、n形GaAs層18上にカソード電極22を形成し、ゲート出しエッチングを行った後、p形GaAs層16上にゲート電極23を形成する。
ここまでの工程で、アノード電極用のボンディングパッド(図3のGndに相当)を配置する部分を、電気的に素子分離状態にしておく。
次に、溝を形成し、その側壁にアノード電極を形成するが、種々の方法で行うことができる。以下に、3つの方法について、それぞれ説明する。
(1)ウェットエッチングおよび蒸着による方法
図7は、工程を示す断面図である。まず、図7(A)に示すように、p形GaAs層12上にフォトレジストスト52を形成する。溝を形成するために、深さ方向のエッチング速度とサイドエッチング速度を考慮して、発光部から所望の距離に側壁段差の位置がくるように、フォトリソグラフィ(露光,現像)を行って開口部54を形成する。
図7は、工程を示す断面図である。まず、図7(A)に示すように、p形GaAs層12上にフォトレジストスト52を形成する。溝を形成するために、深さ方向のエッチング速度とサイドエッチング速度を考慮して、発光部から所望の距離に側壁段差の位置がくるように、フォトリソグラフィ(露光,現像)を行って開口部54を形成する。
次に、図7(B)に示すように、パターニングされたフォトレジストスト52を用いて、ウェットエッチングにより溝50を形成する。用いるエッチング液の組成は、硫酸:過酸化水素水:水=1:8:1とし、液温23度で、エッチング速度は14.6μm/minとする。ウェットエッチングは等方エッチングのため、エッチング速度から、所望のエッチング深さに対するサイドエッチング量を計算できる。本実施例では、溝の側壁高さを30μmとし、側壁段差の位置が分離エッチング段差の位置となるようにフォトプロセスを実施した。ウェットエッチング完了後、ヒサシ状に残留したレジスト部分56を再露光と現像で除去し、フォトレジストの開口部幅を25μmとした。この際、アノード電極のボンディングパッド形成部分にもパターニングできるように、露光,現像を施しておく。
次に、図7(C)に示すように、アノード電極材料(p形GaAs用オーミック電極材料)であるCr/Auを溝50の側壁に対して45度斜め方向から蒸着して、溝50の側壁、およびチップ表面のボンディングパッドGnd、およびそれらを接続するようにアノード配線を形成した。図では、Cr/Au膜を58で示す。本実施例では、Cr膜厚20nm,Au膜厚100nmとした。その後、レジスト上のCr/Au膜58をリフトオフ除去することで、図7(D)に示すように、アノード用ボンディングパッドにアノード配線を介して接続した状態でアノード電極の形成が完了する。
その後、再び、従来工程通り、アニール→SiO2 絶縁膜形成→コンタクトホール形成→Al配線の形成を行い、自己走査型発光素子アレイを形成した。
図8は、Cr/Au膜58で形成されたチップ表面のボンディングパッドGnd形成領域,および溝50の側壁に形成されたアノード配線の状態を示す図である。(A)はボンディングパッド領域の平面図、(B)はボンディングパッド領域とアノード配線との接続関係がわかるように、溝50の側壁側を見た斜視図である。
Cr/Au膜58を斜め蒸着することによって、チップ上面のボンディングパッドGnd形成領域59とアノード配線61とが同時に形成されていることが理解できるであろう。
上記の例では、GaAs基板の(100)面上に素子を形成した場合についての説明だが、これ以外の結晶面でも面方向とサイドエッチング方向のエッチング速度が明らかにできれば、本発明を適用できる。
また、アノード電極材料としてCr/Auを用いたが、これらの膜厚比に制約はなく、どのような膜厚比としてもよい。但し、Cr膜厚は少なくとも5nm以上必要である。
さらに、アノード電極材料として、AuZnを母材とした材料、Ti/Pt/Auを組み合わせた材料、AuMnやAuBeを母材とした材料、Zn/Pd/Auを組み合わせた材料でもよい。蒸着角度は45度でなくてもよく、斜め蒸着することが可能な角度であればよい。
(2)ドライエッチングおよび蒸着による方法
上記の例(1)では、ウェットエッチングにより溝を形成したが、ドライエッチングにより溝を形成してもよい。
上記の例(1)では、ウェットエッチングにより溝を形成したが、ドライエッチングにより溝を形成してもよい。
図9に、ドライエッチングを用いた場合の溝の形成を示す。図7と同一の構成要素には、同一の参照番号を付して示す。
まず、図9(A)に示すように、p形GaAs層12上にフォトレジストスト52を形成する。溝を形成するために、発光部から所望の距離に側壁段差の位置がくるように、露光,現像を行って開口部60を形成する。
次に、図9(B)に示すように、パターニングされたフォトレジストスト52を用いて、ドライエッチングにより溝50を形成する。
その後、図9(C)に示すように、アノード電極材料であるCr/Auを溝50の側壁に対して45度斜め方向から蒸着して、溝50の側壁、およびチップ表面のボンディングパッドGnd、およびそれらを接続するようにアノード配線を形成した。図では、Cr/Au膜を58で示す。その後、レジスト上のCr/Au膜58をリフトオフ除去することで、図9(D)に示すように、アノード用ボンディングパッドにアノード配線を介して接続した状態でアノード電極20の形成が完了する。
その後、再び、従来工程通り、アニール→SiO2 絶縁膜形成→コンタクトホール形成→Al配線の形成を行い、自己走査型発光素子アレイを形成した。
ドライエッチングは、サイドエッチングが抑制された異方性エッチングとなるので、エッチング時にサイドエッチング量を考慮する必要が無いという利点がある。
(3)ダイサーによるハーフカットおよび蒸着による方法
ダイサー(ダイシングソー)によるハーフカットにより、溝を形成してもよい。図10は、その形成方法を示す。図7と同一の構成要素には、同一の参照番号を付して示す。
ダイサー(ダイシングソー)によるハーフカットにより、溝を形成してもよい。図10は、その形成方法を示す。図7と同一の構成要素には、同一の参照番号を付して示す。
まず、図10(A)に示すように、p形GaAs層12上にフォトレジスト52を塗布する。
次に、図10(B)に示すように、ダイサーブレード(図示せず)によりハーフカットを行い、溝50を形成する。
次に、図10(C)に示すように、アノード電極材料であるCr/Auを溝50の側壁に対して45度斜め方向から蒸着して、溝50の側壁、およびチップ表面のボンディングパッドGnd、およびそれらを接続するようにアノード配線を形成した。図では、Cr/Au膜を58で示す。その後、レジスト上のCr/Au膜58をリフトオフ除去することで、図10(D)に示すように、アノード用ボンディングパッドにアノード配線を介して接続した状態でアノード電極20の形成が完了する。
その後、再び、従来工程通り、アニール→SiO2 絶縁膜形成→コンタクトホール形成→Al配線の形成を行い、自己走査型発光素子アレイを形成した。
この例の場合、チップ表面のアノード電極部分にも蒸着がされるように、ハーフカットした直後にフォトリソグラフィを追加して実施する必要があるが、工程の内容は、例(1)と同様である。
10 p形半導体基板
12,16 p形半導体層
14,18 n形半導体層
20 アノード電極
22 カソード電極
23 ゲート電極
24 発光部
30,32,34,36,38 アルミ配線
40,42 自己走査型発光素子アレイチップ
50 溝
52 フォトレジスト
58 Cr/Au膜
59 ボンディングパッドGnd形成領域
61 アノード配線
12,16 p形半導体層
14,18 n形半導体層
20 アノード電極
22 カソード電極
23 ゲート電極
24 発光部
30,32,34,36,38 アルミ配線
40,42 自己走査型発光素子アレイチップ
50 溝
52 フォトレジスト
58 Cr/Au膜
59 ボンディングパッドGnd形成領域
61 アノード配線
Claims (8)
- 基板上に、複数個の3端子発光サイリスタが直線状に配列されている自己走査型発光素子アレイチップにおいて、
前記3端子発光サイリスタは、前記基板上に設けられた第1導電形の第1の半導体層と、第1の半導体層上にメサ構造により設けられた、第2導電形の第2の半導体層,第1導電形の第3の半導体層,第2導電形の第4の半導体層と、第1の半導体層に設けられた溝の側壁に形成された第1の電極と、第3の半導体層上に設けられた第2の電極と、第4の半導体層上に設けられた第3の電極とを備える3端子発光サイリスタであることを特徴とする自己走査型発光素子アレイチップ。 - 第1導電形はp形であり、第2導電形はn形である、請求項1に記載の自己走査型発光素子アレイチップ。
- 第1導電形はn形であり、第2導電形はp形である、請求項1に記載の自己走査型発光素子アレイチップ。
- 前記基板は半導体基板である、請求項1,2または3に記載の自己走査型発光素子アレイチップ。
- 前記基板は半絶縁性基板である、請求項1,2または3に記載の自己走査型発光素子アレイチップ。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の自己走査型発光素子アレイチップの製造方法において、
前記溝を、レジストのフォトリソグラフィと、ウェットエッチングとで形成する工程と、
形成された前記溝の側壁に、前記第1の電極を蒸着する工程と、
を含むことを特徴とする製造方法。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の自己走査型発光素子アレイチップの製造方法において、
前記溝を、レジストのフォトリソグラフィと、ドライエッチングとで形成する工程と、
形成された前記溝の側壁に、前記第1の電極を蒸着する工程と、
を含むことを特徴とする製造方法。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の自己走査型発光素子アレイチップの製造方法において、
前記溝を、ダイサーによるハーフカットにより形成する工程と、
形成された前記溝の側壁に、前記第1の電極を蒸着する工程と、
を含むことを特徴とする製造方法。
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JP2004177938A JP2006005046A (ja) | 2004-06-16 | 2004-06-16 | 自己走査型発光素子アレイチップおよびその製造方法 |
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EP2365542A1 (en) * | 2010-03-09 | 2011-09-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing same |
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EP2365542A1 (en) * | 2010-03-09 | 2011-09-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing same |
US8766310B2 (en) | 2010-03-09 | 2014-07-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing same |
US9136437B2 (en) | 2010-03-09 | 2015-09-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing same |
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