JP2006004475A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】データ記憶装置の実働試験を安価にかつ高速に行うことができる構成を持った半導体集積回路装置を提供することを目的とする。
【解決手段】書き込みデータを記憶するデータ記憶装置11と、前記書き込みデータを保持する保持回路3と、通常モードの書き込み動作においては前記保持回路3に保持された前記書き込みデータを前記データ記憶装置11に供給し、検査モードの書き込み動作においては前記保持回路3に保持された前記書き込みデータを通常モードの書き込み動作と略同等の周波数の反転制御信号に応じて反転または非反転して前記データ記憶装置11に供給するデータ書き込み回路10と、前記データ記憶装置11からの読み出しデータを出力するデータ読み出し回路20とを具備する半導体集積回路装置。
【選択図】 図3
【解決手段】書き込みデータを記憶するデータ記憶装置11と、前記書き込みデータを保持する保持回路3と、通常モードの書き込み動作においては前記保持回路3に保持された前記書き込みデータを前記データ記憶装置11に供給し、検査モードの書き込み動作においては前記保持回路3に保持された前記書き込みデータを通常モードの書き込み動作と略同等の周波数の反転制御信号に応じて反転または非反転して前記データ記憶装置11に供給するデータ書き込み回路10と、前記データ記憶装置11からの読み出しデータを出力するデータ読み出し回路20とを具備する半導体集積回路装置。
【選択図】 図3
Description
本発明は、データ記憶装置の検査回路を内蔵した半導体集積回路装置に関する。
データ記憶装置に記憶されるデータ量が大量になるに従って、データの書き込み、読み出し周波数を決定するために用いられるクロック周波数が高くなり、従って動作速度もますます速くなってきている。このような大容量、高速のデータ記憶装置の動作検査を行う場合、検査装置もデータ記憶装置の動作速度に見合う高速検査を行う機能を持たなければならない。即ち、検査時にデータ記憶装置に供給される書き込みデータあるいはデータ記憶装置から読み出した被検査データと比較するための期待値データを高速でデータ記憶装置に供給し、或いは外部から与えるために高速データ線が必要となるが、このような検査装置は高価なものとなる。
また、廉価な検査装置を用いようとする場合はクロック周波数を低くせざるを得ないので大容量のデータ記憶装置では検査に時間が掛かる上に、高速動作時にのみ現れるような不具合を見つけ出すことが不可能となる。
従来の半導体集積回路装置の試験方法として例えば下記の特許文献1に記載されているものがある。しかし、この特許文献1に記載されている試験方法では、RAMに外部から供給されたインクリメントアドレス命令に基づいて回路内部でデクリメントアドレス命令を生成する方法が記載されているのみであり、上記のような従来の問題点を解決するための手段については何も述べられてはいない。
特開平11−260095号公報
この発明の目的は、データ記憶装置の動作試験を安価にかつ高速に行うことができる構成を持った半導体集積回路装置を提供することである。
この発明の一態様の半導体集積回路装置は、
書き込みデータを記憶するデータ記憶装置と、
前記書き込みデータを保持する保持回路と、
通常モードの書き込み動作においては前記保持回路に保持された前記書き込みデータを前記データ記憶装置に供給し、検査モードの書き込み動作においては前記保持回路に保持された前記書き込みデータを通常モードの書き込み動作と略同等の周波数の反転制御信号に応じて反転または非反転して前記データ記憶装置に供給するデータ書き込み回路と、
前記データ記憶装置からの読み出しデータを出力するデータ読み出し回路と、
を具備する。
書き込みデータを記憶するデータ記憶装置と、
前記書き込みデータを保持する保持回路と、
通常モードの書き込み動作においては前記保持回路に保持された前記書き込みデータを前記データ記憶装置に供給し、検査モードの書き込み動作においては前記保持回路に保持された前記書き込みデータを通常モードの書き込み動作と略同等の周波数の反転制御信号に応じて反転または非反転して前記データ記憶装置に供給するデータ書き込み回路と、
前記データ記憶装置からの読み出しデータを出力するデータ読み出し回路と、
を具備する。
このような構成により、検査時にデータ記憶装置に書き込まれるべき検査用データ或いはデータ記憶装置から読み出したデータとの比較のための期待値データ即ち検査基準データを予め登録しておき、この登録されたデータそのまま使うか、反転して使うかを高速信号である反転制御信号で指示することにより、検査用データあるいは期待値データを簡単且つ確実に用意できるので、データ記憶装置の動作試験を安価にかつ高速に行うことができる構成を持った半導体集積回路装置を提供することができる。
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態を詳細に説明する。
図1はこの発明の半導体集積回路装置を半導体記憶装置に対するデータ書き込み回路10に適用した第1の実施形態の全体の構成を示すブロック図である。
図1においてデータ記憶装置1に記憶すべき書き込みデータはまずバッファ制御回路2にバッファアドレス信号とともに供給される。バッファ制御回路2において、供給されたバッファアドレス信号は複数ビットの書き込みデータのうちでデータ記憶装置1に記憶すべきデータ部を選択してデータレジスタ3に送るとともに、マスクすべきデータ部に対応するマスクアドレスをマスクレジスタ4に供給する。
データレジスタ3に保持されたデータ部はビット毎に排他的論理和回路で構成された反転器5の一方の入力端子に供給される。この反転器5の他方の入力端子には反転制御信号が供給される。この実施の形態では、この反転制御信号は通常の書き込みモード時にはLレベルであり、従って反転器5はスルーパスとなり、データレジスタ3から出力された書き込みデータビットは反転されずに記憶装置1に供給される。
このとき、マスクレジスタ4にはマスクすべきデータ部に対応するアドレスデータが保持されているので、このマスクすべきデータ部以外の記憶すべきデータ部のみがデータ記憶装置1に書き込まれることになる。
一方、検査モード時には反転制御信号はHレベルとなり、データレジスタ3からの書き込みデータの各ビットは反転器5により反転されてデータ記憶装置1にアドレス信号とともに供給される。このとき、通常の書き込みモード時と同様に、マスクレジスタ4にはマスクすべきデータ部に対応するアドレスデータが保持されているので、反転器5により反転された書き込みデータのうちマスクすべきデータ部以外の記憶すべきデータ部のみが検査用書き込みデータとしてアドレス信号に応じてデータ記憶装置1に書き込まれる。このように、マスクレジスタ4にラッチされたマスクアドレスデータは、通常の書き込みモード時にも検査モード時にもデータ記憶装置1に対するデータ記憶時に記憶すべきデータ部を指定するために用いられる。
この実施の形態では、Hレベルの1ビットの高速の反転制御信号をデータ反転時に用いたが、Lレベルで書き込みデータを反転するように反転制御信号を構成してもよい。また、検査モード時に反転された書き込みデータを用いたが、反転されない書き込みデータを用いるようにしてもよい。また、反転制御信号は検査時にデータレジスタ3からのデータを反転して検査データとして指示する信号として用いられるが、反転しないデータを検査データとして指示する信号として用いられるように設定してもよい。以下に述べる他の実施の形態でも同様である。
この実施の形態で用いられるデータ記憶装置1は高速、大容量の半導体記憶装置であるものとする。従って、反転制御信号も同等に高速信号でなければならない。この高速の反転制御信号は外部から供給、或いは書き込み回路10内で形成してもよいが、ここでは例えばバッファアドレス信号を構成する複数ビットの中から通常の書き込みモード時にLレベル、検査モード時にHレベルとなる1ビットの信号を選んで反転制御信号として用いることができる。
このバッファアドレス信号は、大容量、高速動作のデータ記憶装置1に対する動作信号の1つとして通常の書き込みモード時に用いられるものであるから、検査モード時にも通常の書き込みモード時と同様の高速動作が保証されていることになる。即ち、このバッファアドレス信号は高速信号であり、従って、特に高速の信号線を増設しなくても書き込み動作と同等の速度で反転制御を行うことができる信号を得ることができる。
従って、検査用の高速信号源を外部あるいは内部で生成してデータ記憶装置1に対して供給するように設ける必要がない。また、色々な書き込みデータを反転して検査用データとすることができるので、検査用データの内容に制限がなく、検査の高い自由度が保証できる。
また、反転制御信号としてデータ記憶装置1に対するアドレス信号やコマンドなどの信号の一部を利用してもよいし、あるいは外部で形成した既存の高速の制御信号を用いてもよい。あるいは書き込みモードと検査モードを指定する高速の信号があればこれを利用することもできる。この場合、制御信号は1ビットの信号であるから多くの場合これに利用できるビット信号が存在し、これの形成のために大規模な信号形成回路を設ける必要もなく、高速信号線の増設も必要無く、コストを低く押さえることができる。
図1の書き込み回路に示したように、反転制御信号により反転器5を制御するのみで、通常の書き込み動作を行うことができるとともに、予めデータレジスタ3に登録されているデータを用いて検査用のデータを形成してデータ記憶装置1に供給できるので、この実施形態の半導体集積回路装置は簡単な構成であり、廉価にできる。また、通常モードでの書き込み動作と同等の速度で検査用データを生成して、高速、大容量のデータ記憶装置1に供給することができる。
図2には、この発明の半導体集積回路装置を検査モード時におけるデータ記憶装置からのデータ読み出し回路20に適用した第2の実施形態の全体の構成を示すブロック図を示す。
図2において、通常の読み出しモード時にアドレス信号に応じてデータ記憶装置11から読み出された読み出しデータはデータバッファ12を介して排他的論理和回路で構成された一致判定回路13の一方の入力端にビット毎に供給される。この一致判定回路13の他方の入力端には排他的論理和回路で構成された反転器14の出力が供給される。
この反転器14の一方の入力端には、データ記憶装置11の検査モード時にこの検査対象となっている記憶装置11から読み出された読み出しデータに対する検査基準データとなる期待値データが予め保持されている期待値レジスタ15の出力端が接続される。この期待値レジスタ15には例えばデータ記憶装置11に記憶の為に供給される書き込みデータが期待値データとして保持される。
この期待値レジスタ15は通常の読み出しモード時には例えばコマンドにより不活性化されてその出力端には常時Lレベルが現れるように設定されている。また、通常の読み出しモード時には、前述の実施の形態同様、反転制御信号もLレベルに設定されているから反転器14の出力は常にLレベルとなっている。従って、一致判定回路13は通常の読み出しモード時にはスルーパス回路として動作するようになり、記憶装置11からデータバッファ12に読み出された読み出しデータはそのままの状態でANDゲートで構成されるバッファアドレス選択回路16の一方の入力端子に供給される。
バッファアドレス選択回路16の他方の入力端子にはマスクアドレスデータがマスクレジスタ17を介して供給される。この結果、バッファアドレス選択回路16からはマスク
されるべきデータがマスクされて、通常の読み出しモード時における必要な読み出しデータのみが出力される。
されるべきデータがマスクされて、通常の読み出しモード時における必要な読み出しデータのみが出力される。
検査モード時に先立ってデータ記憶装置11に記憶されている検査対象の記憶データに対応する検査基準データとなる期待値データが予め期待値レジスタ15に保持される。この期待値レジスタ15からの期待値データは反転器14の一方の入力に供給される。期待値データとしてはたとえばデータ記憶装置11に検査対象データが書き込まれるときにこのデータを期待値レジスタ15に格納しておくことでよい。
ここで、例えば図1の実施形態と同様に外部から供給されるバッファアドレス信号のうちで通常の読み出しモード時にはLレベルで、検査モード時にはHレベルとなるビット信号を利用し、このバッファアドレスビット信号を反転制御信号として反転器14の他方の入力端に供給する。この結果、期待値レジスタ15から出力された期待値データは反転器14で反転されて一致判定器13の一方の入力端に供給される。
一致判定器13の他方の入力として検査対象の読み出しデータがデータ記憶装置11からデータバッファ12を介して供給されているから、2つのビットデータが(1,1)または(0,0)で一致すれば一致判定器13の出力は(0)で偽、不一致のときは(1)で真となる。この判定出力はバッファアドレス選択回路16に供給され、マスクレジスタ17に格納されているマスクアドレスデータとの論理和の演算が行われ、マスク対象のデータはマスクされ、それ以外の必要な被検査読み出しデータのみが判定結果信号として出力される。
図1に示された第1の実施形態の書き込み回路10と同様、この第2の実施形態の場合にも、データ記憶装置11の読み出しデータ回路20内に一致判定器13、反転器14、期待値レジスタ15、マスクレジスタ17を設けることにより、簡単な回路構成によりデータ記憶装置11からの読み出しデータの検査を簡単、且つ高速で行うことができる。
図3はこの発明の半導体集積回路装置を、検査モード時におけるデータ記憶装置11へのデータ書き込み回路10およびデータ記憶装置11からのデータ読み出し回路20に適用した第3の実施形態の全体の構成を示すブロック図である。
図3において、バッファ制御回路2に供給された書き込みデータはバッファアドレス信号の指定によりマスクされ、それ以外の書き込みデータのみがデータレジスタ3に送られる。マスクに用いられるマスクアドレスデータはマスクレジスタ4に送られる。
データレジスタ3のデータ出力端子は反転器5の一方の入力端に接続されるとともにデータ読み出し回路20側の反転器14の一方の入力端に接続される。従って、この実施形態ではデータレジスタ3はデータ読み出し回路20側では図2の期待値レジスタとしても共用される。尚、この図3に示した実施形態ではデータ記憶装置11に対するデータ書き込みとデータ記憶装置11からのデータ読み出しは同時に行われない設定となっているものとする。
ここで、モードセレクト信号が反転制御信号としてデータ書き込み回路10側の反転器5およびデータ読み出し回路20側の反転器14に共通に供給される。前記図1、図2の実施形態と同様にこのモードセレクト信号は例えば選択されたバッファアドレス信号の所定の1ビットに基づいて形成されるものとする。また、マスクレジスタ4もデータ書き込み回路10およびデータ読み出し回路20に共通に設けられる。即ち、マスクレジスタ4からのマスクアドレスデータはデータ記憶装置11に供給されるとともに判定結果出力用のバッファアドレスセレクタ16に供給されるように構成される。
通常の書き込みモード時にはモードセレクト信号がLレベルとなっているから、反転器5はスルーパスとして動作し、データレジスタ3に保持された書き込みデータはマスクアドレスデータによりマスクデータ部はマスクされ必要データがデータ記憶装置11に記憶される。
一方、検査モード時にはモードセレクト信号がHレベルとなり、反転器5に供給されるデータレジスタ3からの書き込みデータは反転されてデータ記憶装置11に記憶される。
通常の書き込みモードによってデータが書き込まれたデータ記憶装置11を検査するときは先ず、データ記憶装置11からデータバッファ12にデータが読み出され保持される。検査モード時にはモードセレクト信号がHレベルに設定されるから、排他的論理和回路14は反転器として動作し、期待値レジスタとして用いられるデータレジスタ3から出力されたデータは反転されて一致判定器13に供給される。
この一致判定器13では、データバッファ12からの被検査データである読み出しデータと反転器14の反転データとが比較され、一致すれば(0)出力、不一致ならば(1)出力が夫々「偽」、および「真」の判定結果出力として得られる。この結果データはマスクアドレスデータのレジスタ4からのマスクアドレスによりバッファアドレスセレクタ16により選択的にマスクされ、バッファアドレスセレクタ16を介して必要データ部分のみ出力される。検査モード時には反転器14からはデータレジスタ3からのデータの反転データが他方の入力として供給される。
また、検査モード時にデータ記憶装置11に記憶された反転データを読み出すことによりデータ記憶装置11の検査を行うこともできる。この場合は、データバッファ12からの読み出しデータに対して、反転器14の出力データは更に反転された関係となる。従って、一致判定器13の判定出力としては上述の場合と同様に、一致すれば(0)出力、不一致ならば(1)出力が夫々「偽」、および「真」の判定結果出力としてバッファアドレスセレクタ16を介してマスクされ、出力されることになる。
図4はこの発明の更に他の実施形態の構成を示すブロック図である。
図4に示した実施形態は基本的に図3の実施形態と同様の機能を持つように構成されている。この場合、半導体メモリマクロであるデータ記憶装置21は2q 個のメモリアレイ階層構造を有し、夫々のメモリアレイは2r 個のアドレスを有し、夫々のアドレスにpビット構成のデータを記憶する構成となっているものとする。従って、図3の実施形態と異なる点は、メモリアレイ数に対応する2q 個の双方向バッファ22(0)・・・22(q−1)を選択的に介してデータ記憶装置21に対するpビットの書き込みデータの供給およびデータ記憶装置21からの読み出しデータの出力を行うように構成されている点である。
図4において、双方向バッファ22(0)・・・22(q−1)の制御入力端子には夫々図3の実施形態と同様に形成されたコマンドである書き込み、読み出しのモードセレクト信号が供給される。この実施形態では、モードセレクト信号が通常の書き込みモードを表す時には双方向バッファ22(0)・・・22(q−1)は夫々入力バッファとして機能し、出力バッファとしては機能しない。通常の読み出しモード時には双方向バッファ22(0)・・・22(q−1)は出力バッファとして機能し、入力バッファとしては機能しない。また、モードセレクト信号が検査モードを示す時には、双方向バッファ22(0)・・・22(q−1)は常時出力バッファとしてのみ機能し、入力バッファとしては機能しないように設定される。
先ず、全体の構成の説明を行う。双方向バッファ22(0)・・・22(q−1)はデータビット数pに対応するp本の多重データ線を介して図4に示す半導体集積回路装置の外部回路と接続される。従って、図4のデータ記憶装置21はセル数が2p ×2r 構成のメモリセルアレイがq層に積層された多重積層構造となっている。
例えば第1層のメモリセルアレイのデータ書き込み回路10(0)は第1層の双方向バッファ22(0)のバッファ出力側とデータ記憶装置21との間に2r 個のバッファ制御回路2(0)・・・2(r−1)と、マスクレジスタ4(0)・・・4(r−1)と、データレジスタ3(0)・・・3(r−1)と、反転器5(0)・・・5(r−1)とを有する。これらの接続は図1の実施形態と同じである。
同様に、データ記憶装置21の第1層のメモリセルアレイのデータ読み出し回路20(0)側にも2r 個のデータバッファ12(0)・・・12(r−1)と、反転器14(0)・・・14(r−1)と、一致判定器13(0)・・・13(r−1)と、バッファアドレスセレクタ16(0)・・・16(r−1)とを有する。バッファアドレスセレクタ16(0)〜16(r−1)の出力端はp個の選択器23(0)から23(r−1)のうちの選択器23(0)に接続され、さらに2p 個のうちの第1のバスを介して双方向バッファ22(0)に接続される。尚、内部バッファアドレス0〜2q-1 は通常の動作時には同時には指定されない為、一度の書き込み動作においてバッファ制御回路2(0)…2(r−1)に書き込まれるデータはpビット構成である。
ここで、外部から供給されるqビット構成のバッファアドレス信号がバッファアドレスジェネレータ24に送られ、2q 個のアドレス信号BA(0)〜BA(q−1)が形成されて双方向バッファ22(0)〜22(q−1)の制御に用いられる。
第2層乃至第q層のメモリセルアレイに対しても同様に構成されている。
以下、図4の実施形態の動作を図5のフローチャートを参照して説明する。ここでは第1層のメモリセルアレイに接続されたデータ書き込み回路10(0)とデータ読み出し回路20(0)に付いて説明する。先ず、ステップS1において、検査に先だって2種のレジスタ登録を行う。即ち、第1層のメモリセルアレイに関する
(1)マスクレジスタ4(0)〜4(r−1)へのバッファアドレス登録と、
(2)データレジスタ3(0)〜3(r−1)への書き込みデータ登録である。
(1)マスクレジスタ4(0)〜4(r−1)へのバッファアドレス登録と、
(2)データレジスタ3(0)〜3(r−1)への書き込みデータ登録である。
この状態では、バッファアドレスジェネレータ24からのバッファアドレスの発行を停止し、入力アドレス信号によりレジスタ書き込みコマンドが用意される。
マスクレジスタ4(0)〜4(r−1)へのマスクアドレス登録は2r のアドレス指定を可能とし、後で説明する検査時の活性化率を上げることで検査時間の短縮を図ることができる。また、2q ≦pの関係が成り立つ場合には単にデータ線を用いた登録手段を設けることも容易にできる。
また、データレジスタ3(0)〜3(r−1)には双方向バッファ22(0)からのデータ信号線を介してビット幅pの書き込みデータが登録される。ここではビット幅が等しいデータ線を用いて実現できる。従って、マスクレジスタ4(0)〜4(r−1)によりマスクアドレスが指定されているデータレジスタ3(0)〜3(r−1)にデータ線のデータが取り込まれる。
マスクレジスタ4(0)〜4(q−1)へのマスクアドレスの登録とデータレジスタ3(0)〜3(r−1)への書き込みデータの登録とを繰り返し行うことにより、データレジスタ3(0)〜3(r−1)には任意のデータパターンを登録することが可能である。 また、データレジスタ3(0)〜3(r−1)への書き込みデータの登録はデータ線からレジスタにデータを取り込むという面において通常動作における書き込みデータの取り込み動作と似ている。従って、この動作の指示は通常用いられている書き込みデータの取り込みの指示を流用することもできる。
次いで、ステップS2において検査モードであるか否かがチェックされる。通常モードであるとNOとなり、検査モードになるまでチェックが行われる。検査モードであればYESとなり、次のステップS3に移行し、検査モードにおける検査データ書き込みの動作か、あるいは検査データ読み出し動作かのチェックが行われる。
以下、検査モード時の動作を説明する。この状態では双方向バッファ22(0)は常時出力状態に設定される。また、バッファアドレス信号を用いたアドレス信号の発生は行わず、反転制御信号として転用される。
双方向バッファ22(0)の動作に関して前述したように、データ記憶装置21の通常のデータ書き込みおよびデータ読み出しの4つの動作、
(1)書き込みデータ取り込み、
(2)データ書き込み、
(3)データ読み出し、
(4)読み出しデータ出力、
のうちで検査モード時には(1)と(4)の動作は行われない。図4に示された回路全体に対する種々の入力信号の中でバッファアドレス信号は必要でなく、代わりに反転器に対する反転制御信号が必要になる。よって、高速信号である反転データを得るためのモードセレクト信号即ち反転制御信号としては図1乃至図3の実施形態と同様にバッファアドレス信号の1ビットを流用するのが得策である。また、双方向バッファ22(0)・・・22(q−1)はいずれも検査モード時には入力データのパスとしての機能を必要としない。従って、双方向バッファ22(0)・・・22(q−1)はコマンド信号の制御によらず常に信号を出力する機能を持つように設定すればよい。このように設定すれば、データ記憶装置21からのデータの出力時刻なども調べることができる。従って、従来は双方向バッファの動作モードの切換え時間のために不可能であった高速動作の時間余裕の検査も可能となる。
(1)書き込みデータ取り込み、
(2)データ書き込み、
(3)データ読み出し、
(4)読み出しデータ出力、
のうちで検査モード時には(1)と(4)の動作は行われない。図4に示された回路全体に対する種々の入力信号の中でバッファアドレス信号は必要でなく、代わりに反転器に対する反転制御信号が必要になる。よって、高速信号である反転データを得るためのモードセレクト信号即ち反転制御信号としては図1乃至図3の実施形態と同様にバッファアドレス信号の1ビットを流用するのが得策である。また、双方向バッファ22(0)・・・22(q−1)はいずれも検査モード時には入力データのパスとしての機能を必要としない。従って、双方向バッファ22(0)・・・22(q−1)はコマンド信号の制御によらず常に信号を出力する機能を持つように設定すればよい。このように設定すれば、データ記憶装置21からのデータの出力時刻なども調べることができる。従って、従来は双方向バッファの動作モードの切換え時間のために不可能であった高速動作の時間余裕の検査も可能となる。
以下、図4の実施形態において検査モード時における、
(2)データ書き込み(登録)動作と、
(3)データ読み出し動作と
について説明する。
(2)データ書き込み(登録)動作と、
(3)データ読み出し動作と
について説明する。
ステップS3において検査データの書き込み動作であると判定されると、ステップS4に移行して検査データの生成が行われる。即ち、データレジスタ3(0)〜3(r−1)に保持された書き込みデータは、Hレベルのモードセレクト信号である反転制御信号との排他的論理和の演算を行って検査データとして生成された後で、ステップS5において、マスクレジスタ4(0)〜4(r−1)に保持されているマスクデータにより有効と指定された反転データのみがデータ記憶装置21の第1層のメモリセルアレイに書き込まれる。
従って、書き込み動作毎に反転制御信号に即応して被検査の書き込みデータの内容を反転させて変化させることができる。一般に、検査において効率良く検査を進めるためには、互いに近接した信号線における信号内容を変化させることが望ましい。このための1つの方策として各メモリセルアレイ中のデータ線アドレスをバッファアドレスよりも下位に設定する。反対に、バッファアドレスの変化により動作が変化するような信号線同士は物理的に互いに離す必要がある。このような距離の確保の設計は一般的に容易に行われる。
残りの第2層ないし第q層のメモリセルアレイに関する対応するマスクレジスタへのバッファアドレス登録およびデータレジスタへの書き込みデータ登録も同様に行われる。
次に検査モード時のデータ読み出し回路20(0)の動作の説明を行う。ステップS3においてNOと判定されると、動作はステップS6に移行して検査基準データ生成が行われる。即ち、図3の実施形態と同様に期待値レジスタとして兼用されるデータ書き込み回路10(0)側のデータレジスタ3(0)・・・3(r−1)に予め蓄えられたデータは反転制御信号との排他的論理和が反転器14(0)・・・14(r−1)で演算され、検査基準データが生成される。その後、この検査基準データは、ステップS7にてデータ記憶装置21の第1層のメモリセルアレイからデータバッファ12(0)・・・12(r−1)に読み出されたデータと一致判定回路13(0)・・・13(r−1)にて比較され、バッファアドレスセレクタ16(0)・・・16(r−1)にてマスクアドレスによりマスクされ、最終的にステップS8において各データ線から比較結果が出力される。
以下、同様に第2乃至第q番目のすべてのメモリセルアレイについて検査を行う。ここで、複数の内部バッファアドレスが有効になっているため、この比較結果は有効な内部バッファアドレスすべてで正しい場合のみ真の検査結果となる。
1、11、21…データ記憶装置、2…バッファ制御回路、3…データレジスタ、4、17…マスクレジスタ、5、14…反転器、10…データ書き込み回路、12…データバッファ、13…一致判定器、20…データ読み出し回路。
Claims (5)
- 書き込みデータを記憶するデータ記憶装置と、
前記書き込みデータを保持する保持回路と、
通常モードの書き込み動作においては前記保持回路に保持された前記書き込みデータを前記データ記憶装置に供給し、検査モードの書き込み動作においては前記保持回路に保持された前記書き込みデータを通常モードの書き込み動作と略同等の周波数の反転制御信号に応じて反転または非反転して前記データ記憶装置に供給するデータ書き込み回路と、
前記データ記憶装置からの読み出しデータを出力するデータ読み出し回路と、
を具備することを特徴とする半導体集積回路装置。 - 前記データ書き込み回路は、前記通常モードでの書き込み動作信号の内の1ビットが前記検査モードでの前記反転制御信号として供給されることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置。
- データを記憶し読み出しデータを出力するデータ記憶装置と、
前記データ記憶装置の検査時に用いられる検査基準データが入力されこれを保持する保持回路と、
通常モードの読み出し動作においては前記読み出しデータを外部の回路への出力とし、検査モードの読み出し動作においては前記読み出しデータあるいは検査基準データの一方を通常モードの読み出し動作と略同等の周波数の反転制御信号に応じて反転または非反転ししかる後に双方を比較して比較結果を外部の回路への出力とするデータ読み出し回路と、
を具備することを特徴とする半導体集積回路装置。 - 前記保持回路は、前記データ記憶装置に書き込まれる書き込みデータを前記検査データとして保持し、
前記データ読み出し回路は、前記通常モードでの読み出し動作信号の内の1ビットが前記検査モードでの前記反転制御信号として供給されることを特徴とする請求項3に記載の半導体集積回路装置。 - 前記請求項1に記載の保持回路と前記請求項3に記載の保持回路とが同一であり、
前記請求項1に記載の書き込みデータと前記請求項3に記載の検査基準データとが同一であることを特徴とする請求項1および請求項3に記載の半導体集積回路装置。
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