JP2005529045A - 単結晶引き上げ装置 - Google Patents
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Abstract
本発明の装置は、支持体を伴う坩堝と、ヒータと、少なくとも1つの断熱遮壁とを含み、前記ヒータは、円筒形状とされた、出発物が柔軟なカーボン軸受材からなり、前記円筒形状の両端は、電源に接続され同軸上に配置されたカーボン材料の固定リング間に固定されている。そして、前記ヒータは、その肉厚が以下の関係、
δ・ρ・c=500〜8500J/m2・K
(ここで、δはヒータの肉厚(m)、ρはヒータ材料の密度(kg/m3)、cはヒータ材料の比熱(加工温度における)(J/kg・K))
から決定されるように作製されている。
δ・ρ・c=500〜8500J/m2・K
(ここで、δはヒータの肉厚(m)、ρはヒータ材料の密度(kg/m3)、cはヒータ材料の比熱(加工温度における)(J/kg・K))
から決定されるように作製されている。
Description
想定された発明は、半導体金属の分野に関し、シリコン、ゲルマニウムおよびA(III)B(V)族化合物の単結晶をチョクラルスキー法によって成長させるときに使用することができる。
従来技術において、支持体に取り付けられ電流リード線を伴うヒータを有する溶融坩堝、およびその周りに配置される断熱系を含む単結晶成長装置が知られており、前記支持体、前記ヒータおよび前記断熱系は、カーボン材料からなる(ロシア特許No.2081948、C30B 15/14、1997年6月20日発行、およびロシア特許No.2097451、C30B 15/14、1997年11月27日発行)。
これらの装置を用いた単結晶の引き上げにおいて、垂直スロットを有するヒータが使用される。そのようなヒータは、質量が大きく、熱損失が増加し、加熱冷却に関して実質的な応答の緩慢性に繋がり、そして、これは、次にプロセス制御に影響する。前記ヒータのスロットおよびさまざまな部分を介しての一様でない電流の流れは、前記ヒータによってセットされた加熱領域の対称性の乱れをもたらし、およびこの理由のために、このようにして製造された単結晶の質の低下をもたらす。前記成長チャンバの雰囲気からのSiO蒸気の、加熱アセンブリの加熱されたカーボン軸受部との即座の相互作用により、カーボンによって成長結晶が汚染され、それもその質に影響する。
本発明の請求項に記載された装置に最も近いものは、単結晶引き上げ装置によって表され、それは、支持体を伴う坩堝と、ヒータと、圧縮されたグラファイトの主成分を有する遮壁と、熱分解カーボンの層で被覆された上部とを含む(特開平10−291896、C30B 29/06、1998年11月4日発行)。そのような遮壁は、前記坩堝内部の温度を安定して維持することを確実にする(圧力低下を妨げる)。しかし、ここではスロットを有する従来のヒータが使用されており、上記不利点を有する。
本発明は、電力消費量を実質的に低減するために、ヒータ質量を大幅に低減することに存在する技術的問題を解決することを目的とする。また、これにより、前記ヒータの応答の緩慢性を低減することを確実にし、プロセス制御が容易になる。前記ヒータによってセットされた加熱領域の対称性を向上することにより、このように引き上げられた単結晶は、構造的により完全になる。また、前記単結晶は、成長するときカーボン含有量はより低い(最良の類似体のレベルで)。前記装置のいくつかの実施の形態では、消耗品の石英坩堝を排除することができ、その結果、最終生成物の製造コストが低減される。また、ここでは、酸素含有量のより低い単結晶を引き上げることが可能であり(坩堝を用いない帯域溶融法によって成長された結晶に類似)、これにより、将来的に、両端面および体積にわたって、抵抗率の散らばりを小さくして、インゴットを製造するために、中性子をドープする方法を使用することができる。この場合、坩堝を用いない帯域溶融法に比較して、結晶の直径をより大きくすることができ、最終生成物をより安価にすることができる。
本発明の単結晶を引き上げる装置の設計は、上記技術的問題をすべての場合に成し遂げることを確実にし、要望により法的保護によって保護され、次の特徴の組み合わせによって特徴づけることができる。
本発明の単結晶引き上げ装置は、支持体を伴う坩堝と、ヒータと、少なくとも1つの断熱遮壁とを含む。また、本発明によれば、前記ヒータは、柔軟なカーボン軸受材を出発物として円筒形状に成形されたものであり、前記円筒の両端は、電源に接続され同軸上に配置されたカーボン材料からなる剛体のリング間に固定されている。そして、前記ヒータは、その肉厚が以下の関係から決定されるように作製されている。
δ・ρ・c=500〜8500J/m2・K(ここで、δはヒータの肉厚(m)、ρはヒータ材料の密度(kg/m3)、cはヒータ材料の比熱(加工温度における)(J/kg・K))
δ・ρ・c=500〜8500J/m2・K(ここで、δはヒータの肉厚(m)、ρはヒータ材料の密度(kg/m3)、cはヒータ材料の比熱(加工温度における)(J/kg・K))
カーボン材料からなるリングは、断熱遮壁を介して前記電源に接続されていても良い。
窒化珪素の層は、前記ヒータの内側および/または外側表面に設けられていても良い。
さらに、前記坩堝または前記支持体は窒化珪素からなっていても良い。
前記坩堝および前記支持体は窒化珪素からなり、互いに一体であっても良い。
前記ヒータの前記カーボン軸受材は、さらに、熱分解カーボンおよび/または炭化珪素で密封されていても良い。
前記装置は、さらに、シリカまたは石英繊維からなる繊維および/またはフェルトの断熱材を含んでいても良い。
提案される技術的解決の本質は、柔軟なカーボン軸受材からなるヒータが、連続的な(スロットのない)壁の薄い円筒を含むことからなり、カーボン材料からなるリングがその形状を強固に固定し、この材料にしわが寄ることを防止する。そのようなヒータの質量は、公知の類似体よりもけた違いに小さく、それにより、前記ヒータのより小さい質量が最高温度までの温度上昇にさらされ、さらにそれにはスロットがないので、電力消費量は実質的に低減する。前記ヒータは、加熱および冷却時、応答速度が速い。これにより、プロセス制御が改良される。また、前記ヒータにはスロットがないので、前記ヒータによってセットされる加熱領域の対称性が向上する。また、SiO蒸気を含む成長チャンバの雰囲気との相互作用から、カーボン軸受材からなるヒータの内側および/または外側表面を隔離する不活性材料としての窒化珪素の層により、その成長のプロセスにおけるカーボンによる成長結晶の汚染はかなり低減される。この層は、また、前記ヒータを、破壊から防止し、その耐用年数を延長する。窒化珪素の保護層は、ヒータの内面および/または外面を直接被覆することができる。また、窒化珪素の薄い壁の円筒を作製することができ、それは、前記ヒータ内にその内表面にぴったりとして挿入される。
前記ヒータの応答の緩慢性は、δ・ρ・cの値によって特徴づけられ、ここで、δは、ヒータの肉厚(m)、ρは、ヒータ材料の密度(kg/m3)、cは、ヒータ材料の比熱(加工温度での)(J/kg・K)である。最良の状態は、δ・ρ・c=500〜8500J/m2・Kの関係によって特徴づけられ、それは以下の考察に基づいて得られる。
前記ヒータは、電流が流れるとき、P=qFに等しい割合で熱を放出し、ここで、Pは熱出力(W)、Fはヒータの領域(より正確には、出力の大部分が放出される箇所)(m2)、qは2つの部分(電流が流れる結果として放出される熱、および周囲との熱変換の結果として消散される熱)からなる熱流量の全体の密度(W/m2)である。
時間dτにおいて、前記ヒータは、dQ=P・dτに等しい熱量を蓄積し、ここで、dτは時間間隔(s)、dQはヒータによって蓄積される熱の変化(J)である。
dQ=m・c・dTであることが知られており、ここで、mはヒータ質量(kg)、cはヒータ材料の比熱(J/kg・K)、dTはヒータ温度が変化する範囲(K)である(Polytechnic Dictionary, edited by I. I. Artobolewski, M., Soviet Encyclopaedia, 1979, p.492)。
このようにして、次のように書くことができる。
P・dτ=m・c・dT、またはdτ=m・c・dT/F・q、但しm=ρ・V、ここで、Vはヒータ体積(m3)
ここで、τは、熱流量の全体密度がqに等しい状態で、ヒータ温度がT1からT2へ変化する時間である。
P・dτ=m・c・dT、またはdτ=m・c・dT/F・q、但しm=ρ・V、ここで、Vはヒータ体積(m3)
ここで、τは、熱流量の全体密度がqに等しい状態で、ヒータ温度がT1からT2へ変化する時間である。
δ・ρ・cの値は、m・c/Fの値に等しい。
さまざまなヒータの応答の緩慢性は、値τに基づいて比較される。
同じ温度差および同じ熱流量密度で、すなわち、同じ積分値で、δ・ρ・c(またはm・c/F)の積の値によって時間は決定される。τの値が小さくなれば、前記ヒータの応答の緩慢性が小さくなる。前記関係δ・ρ・c(またはm・c/F)は、ヒータ材料の熱物理的性質および寸法に関する。
ヒータ材料の比熱および密度によるヒータの肉厚の積の値は、500J/m2・K未満であるなら、前記ヒータの耐用年数は不十分であり、約5工程の間しか持たず、これは、工業生産下では許されない。
δ・ρ・cの積の値が、8500J/m2・Kより大きい場合、ヒータの耐用年数は増加しないので、柔軟なカーボン軸受材の消費量が不当に増加するであろう。この場合、前記ヒータの応答の緩慢性も大変高くなる。また、電源と、過度に低い電気抵抗の前記ヒータ(負荷)とをマッチングさせることに関する困難さがここで現れる。
提案される装置において、カーボン材料からなるヒーターリングは、電源と直接(電流リード線を介して)および/または断熱遮壁を介して接続されている。後者の場合、前記遮壁は、断熱機能と同時に電流リード線の役割を果たし、従って、前記ヒータに、より対称的に電流を供給することができ、合理化された製造に対して、前記装置の順応性を向上することができる。
窒化珪素の前記支持体および坩堝の両方を作製するのと同様に、窒化珪素で前記ヒータの内側および/または外側表面を被覆すると、それぞれの構造要素の耐用年数が延び、また、SiO蒸気との化学的相互作用のため、それらの表面から到達するカーボン原子による融解生成物および成長結晶の汚染を除去することができる。
前記坩堝および前記坩堝支持体が窒化珪素からなり、一体とされている前記装置の実施形態を使用することによって、消耗品である石英坩堝の使用をやめることができ、これにより、大きな直径の坩堝で、多量の投入量(45kgを超える)から結晶を成長するとき、特に実質的な省力となる。そのような装置では、溶融物と石英(SiO2)との間の接触がなく、それゆえ前記坩堝から溶融物へ酸素が混入しないので、炭素だけでなく酸素の含有量の低いシリコンの単結晶を引き上げることができる。これらのインゴットは、坩堝を用いない帯域溶融法によって成長された結晶と同様である。将来的には、それらを、原子炉において中性子をドープすることができ、坩堝を用いない帯域溶融法後に結晶を使用する場合よりも、より安価な生成物を得ることができる。また、実質的に大きな直径を有する結晶は、チョクラルスキー法によって製造することができる。従来のチョクラルスキー法によって石英坩堝から成長させたシリコンの単結晶と対比して、本実施例では、酸素含有量が低いので、中性子ドープ後にも過剰の放射線欠陥が起こらず、従って、最終生成物は、電気工学および電子工学で使用することができる。同時に、本実施例で、中性子ドーピングの方法のすべての利点(インゴットの体積にわたる均一な抵抗率の分布)が保持される。
さまざまな材料によるヒータの密封は、耐用年数を延ばす。この場合、前記ヒータ材料は、より硬くなる。
前記ヒータは、熱分解カーボンで密封されると、表面の熱化学腐食を低下するという事実により、ヒータの耐用年数は長くなる。
炭化珪素もまた、熱化学腐食のプロセスを遅らせることによって、前記ヒータの耐用年数を長くする。また、窒化珪素の層を被覆する場合、被覆される窒化珪素の層の接着性を向上させ、窒化珪素とヒータのカーボン軸受材との間の熱膨張係数の違いにより起こる破壊を低減する中間層が形成される。
シリカまたは石英繊維からなる織物またはフェルトが、ヒータおよび/または遮壁上に配置され、さらなる断熱を確実にする。同時に、それらはカーボンによる成長結晶の汚染を発生させない。前記織物は、隣接する層が直接密着せず、2〜5mmの隙間がそれらの間に存在するように配置され、これにより、高温で遮蔽の断熱特性を向上する。前記織物および/またはフェルトも、それらが適切に配置された後、例えば窒化珪素で密封されることができる。
前記ヒータを製造するときの出発物である柔軟なカーボン軸受材として、カーボンを原料とするさまざまな材料、すなわちウラルタイプのカーボン織物、さまざまな物質で密封されたカーボン繊維(例えば熱分解カーボン、炭化珪素等)、熱膨張した筒状グラファイト等を使用することができる。
単結晶を成長させるための設備の遮蔽システムにおいて、熱分解カーボンで密封されたものを含むカーボン織物やカーボン繊維を使用することが、工学関連分野における従来技術として知られている。提案された発明では、出発物である柔軟なカーボン軸受材は、遮蔽ではなく、ヒータを製造するため、すなわち、閉電気回路における負荷抵抗として使用され、熱は流れる電流の結果として放出される。これに関連して、ヒータの稼動に関連する以下の問題、すなわち、質量および電力消費量を低減すること、ヒータの応答の緩慢性を低減すること、および加熱/冷却の制御を向上すること、が解決される。公知の技術的解決法に比較して、本発明による単結晶引き上げ装置は、電力消費量を低減しながら、引き上げられた単結晶の完成度を向上することからなる明確な結果を達成することを確実にする。
(実施例1)
前記プロセスは真空チャンバ1内で実行される。3×1015cm−3の炭素および2×1016cm−3の酸素を含む多結晶シリコンから、ホウ素をドープした直径150mmのシリコン単結晶を成長させるとき、図1に示す装置を使用する。以下の実施例では、同じ材料の投入量を使用する。石英坩堝2は、ロッド4に取り付けられた支持体3内で、356mmの外径を有し、30kgの多結晶シリコンが投入されて使用される。
前記プロセスは真空チャンバ1内で実行される。3×1015cm−3の炭素および2×1016cm−3の酸素を含む多結晶シリコンから、ホウ素をドープした直径150mmのシリコン単結晶を成長させるとき、図1に示す装置を使用する。以下の実施例では、同じ材料の投入量を使用する。石英坩堝2は、ロッド4に取り付けられた支持体3内で、356mmの外径を有し、30kgの多結晶シリコンが投入されて使用される。
ヒータ5は、カーボン繊維を、グラファイト心棒を用いて接合することによって、0.6mm(0.0006m)の肉厚を有する円筒形状に作製される。前記円筒の両端には、フランジがつけられて水平面を形成し、接触リング6、7、8、9によって固定される。前記ヒータ5の円筒の内面には窒化珪素の薄膜層が被覆されている(前記心棒が取り除かれた後)。この層の被覆工程を、SiCl4−NH3−H2ガス混合物からの析出によって行い、試薬の消費量をそれぞれ1.17×10−6、10−6、1.3×10−8m3/sとし、1300℃の温度で行う。遮壁10、11と同様に、前記支持体3および前記ロッド4はグラファイトからなり、窒化珪素の層で被覆されている。
前記ヒータ材料の比熱は、2077J/kg・Kであり(1600℃、すなわち1873Kの加工温度)、接合後のヒータ材料の密度は、ρst=401.22kg/m3(「Properties of the Structural Materials Based on Carbon」、B.A.Sosedov, M.Metallurgiyaによって編集された参考図書, 1975)、即ち、δ・ρ・cの積は、500J/m2・Kである。
石英坩堝2を前記支持体3に取り付け、シリコン投入物および添加されるホウ素組成物で満たした後、前記チャンバ1を密封し、10−3mmHgの真空度にし、電源のスイッチをオンする。前記電源14からの電流は、電流リード線13、次いで前記リング7、8を介して前記ヒータ5に流れ、その後、前記リング6、9および電流リード線12を介して、前記電源14に戻る。この直列回路における最大電気抵抗は、前記ヒータ5によって付与され、熱の大部分が放出される。前記ヒータ5は、約1600℃の加工温度に達するまで白熱化する。前記ヒータからの放射による熱移動により、シリコン投入物16は白熱化され溶融する(溶融温度は1412〜1500℃)。次いで、真空ポンプ(図示せず)を用いて、同時に連続的に排気することによりチャンバ内の圧力を10〜20mmHgに保ちながら、前記チャンバにアルゴンを供給する。この後、結晶核を溶解物中に降ろし、単結晶17を成長させる。
この成長工程が終わった後、単結晶を冷却し、前記チャンバから取り出し、その後、それからサンプルを切り出し、そして炭素含有量を測定すると、5×1015cm−3である。
前記ヒータの応答の緩慢性は低い。前記ヒータの応答の緩慢性を特徴づける時間τは、前記投入物が溶融した直後に、電力が10%減少したときから前記ヒータの温度の変化が終わるときまでの時間として決定される。記録計に接続された高温計によって測定を行う。前記時間τは、プロトタイプの450秒と比べて、45秒である。
前記ヒータは、20サイクルの引き上げという長い間、実用に耐えることができる。
最終生成物の1kgあたりの電力消費量は、20%減少し、プロトタイプの155kW時/kgと比べて125kW時/kgである。
(実施例2)
(実施例2)
単結晶が、図2に示す装置を使用して引き出される。ホウ素をドープした、150mmの直径のシリコン単結晶を、3×1015cm−3の炭素を含む多結晶シリコンから作製する。外径356mmの石英坩堝を、投入量を30kgとして使用する。前記遮壁10、11はグラファイトからなり、前記チャンバ1と電気的に絶縁されている。前記ヒータ5は次のように作製される。「ウラル」タイプのカーボン織物をグラファイトの心棒のまわりに2層に巻く。この後、前記円筒の上端面を花弁状に切断し、そしてカーボン材料(花弁の長さは前記リング7、8の幅に等しい)のリング7、8間に固定し、下端面をリング6、9間に固定する。次いで、垂直の継ぎ目を、カーボン繊維で縫い合わせる。前記心棒を取り除いた後、前記ヒータおよび前記断熱遮壁/電流リード線は、10cm/sの流量のガス(メタン)流れで、1050℃の温度、28mmHgの圧力で、10時間の長い間、公知の手段を用いて、熱分解グラファイトによって密封される(Jurnal Non ferrous Metals, No.9, 1980, pp.49−52)。次いで、前記ヒータの織物を、エチルアルコールおよびシリコン微粉を含むエマルジョンに含浸し、次いで、1300℃(3時間)で、次いで、1500℃、5時間の間、真空中でアニールを行う。そのとき、前記シリコン粉末および前記ヒータの前記カーボン軸受材は相互に作用し、炭化珪素に変化する。前記ヒータの肉厚は、1.5mm(0.0015m)である。
考察すると、前記ヒータ材料の比熱は、2077J/kg・Kであり(1600℃、すなわち1873Kの加工温度)、前記ヒータ材料の出発物の密度はρst=400kg/m3であり、密封後の密度は、ρ=800kg/m3であり、δ・ρ・cの積は、2492J/m2である。グラファイトの前記遮壁/電流リード10、11は、窒化珪素の層で被覆されている。前記支持体3および前記ロッド4はグラファイトからなり、前記遮壁10、11と同様に、窒化珪素の層で被覆されている。
次いで、ビード19を有する窒化珪素(その肉厚は1.0mm)の薄い肉厚の円筒18は、前記ヒータ内にその内面にぴったりと嵌め込んで配置されている。この円筒は、SiO蒸気を含む成長チャンバの雰囲気との化学的相互作用に対して、前記ヒータ5および上側接触リング7、8を保護する。窒化珪素の前記円筒は、公知の手段によって作製され(R. A. Andrievwsky, I. I. Spiwak, 「Silicon Nitride and the Materials on Its Basis」, M., Metallurgiya, 1984, pp. 38−89)、そして、その肉厚を旋盤にて小さくする。
前記石英坩堝2を、前記支持体3内に取り付け、シリコン投入物および添加ホウ素組成物で満たした後、前記チャンバ1を密封し、その中を真空とし(残留圧力は1・10−3mmHgである)、電源をオンする。前記電源14からの電流は、前記電流リード線13から電流供給の役割を果たす底部遮壁11を通り、次いで、前記リング6、9を介して前記ヒータ5、前記リング7、8、前記遮壁/電流リード10および前記電流リード線12を通り、前記電源14に戻る。この直列回路における最大電気抵抗は、前記ヒータ5によって付与され、熱の大部分が放出される。前記ヒータ5は、約1600℃の加工温度に達するまで白熱化する。前記ヒータからの放射による熱移動により、シリコン投入物16は白熱化され溶融する(溶融温度は1412〜1500℃)。次いで、真空ポンプ(図示せず)を用いて同時に連続的に排気することによりチャンバ内の圧力を10〜20mmHgに保ちながら、前記チャンバにアルゴンを供給する。この後、結晶核を溶解物中に降ろし、単結晶17を成長させる。
この成長工程が終わった後、単結晶を冷却し、前記チャンバから取り出し、次いで、それからサンプルを切り出し、そして、このようにして作製した結晶中の炭素含有量は、4×1015cm−3と測定される。
前記ヒータの応答の緩慢性は低い。前記ヒータの応答の緩慢性を特徴づける時間τは、本明細書で前述したようにして決定される。前記時間τは、プロトタイプの450秒と比べて、60秒である。前記ヒータは、200サイクルの引き上げという長い間、実用に耐えることができる。
最終生成物の1kgあたりの電力消費量は、13%減少し、プロトタイプ155kW時/kgと比べて135kW時/kgである。
(実施例3)
(実施例3)
30kgの質量の多結晶シリコン投入物から、150mmの直径のシリコン単結晶を成長させるとき、互いに窒化珪素で一体として作成され、370mmの外径を有する坩堝2および支持体3が使用される。前記装置は、側面遮壁/電流リード10(図3)を含み、グラファイトリング8をその上端に取り付け、電流リード線13は、その底部に接続されている。前記電流リード線12は、下部の一対のグラファイトリング6、9に接続されている。前記底部遮壁11は、電気回路に接続され、前記チャンバ1の底部に配置されている。前記円筒ヒータ5は、熱膨張された筒状に巻かれたグラファイトからなる。前記ヒータの肉厚は2mm(0.002m)である。前記円筒の端面を花弁状に切断し、次いで曲げ、前記リング7,8および6,9間にそれぞれ固定する。窒化珪素の薄い層を、前記ヒータの内側および外側表面に被覆する。前記遮壁10および前記ロッド4は、グラファイトからなり、窒化珪素で被覆される。前記遮壁10、11は、シリカ繊維からなる織物の断熱を有する。前記遮壁11は、窒化珪素からなり、ボウルを含み、該ボウルは、その破壊時に前記坩堝−支持体2,3から前記溶融物16が非常流出した場合、断熱およびシリコン溶融物と前記チャンバ1の水ジャケットとの直接の相互作用を防ぐために役立つ。
前記ヒータ材料の比熱は、2077J/kg・Kであり(約1600℃、すなわち1873Kの加工温度で)、前記ヒータ材料の密度はρst=2000kg/m3であり、すなわち、δ・ρ・cの積は、8308J/m2・Kである。前記坩堝2を、シリコン投入物(本実施例では、ホウ素組成物を添加しない)で満たした後、前記チャンバ1を密封し、その中を10−3mmHgの真空とし、電源をオンする。電源14からの電流は、前記電流リード線12から前記リング6,9を介して前記ヒータ5を通り、前記リング7,8、前記遮壁/電流リード10および前記電流リード線13を通り、前記電源14に戻る。前記ヒータ5は、約1600℃の加工温度に達するまで白熱化する。前記ヒータからの放射による熱移動により、シリコン投入物16は白熱化され溶融する。この後、結晶核を溶解物中に降ろし、単結晶17を成長させる。
この成長工程が終わった後、単結晶を冷却し、前記チャンバから取り出し、次いで、それからサンプルを切り出し、そして、このようにして作製される結晶中の炭素含有量および酸素含有量を決定する。ここで、炭素含有量は5×1015cm−3、酸素含有量は8×1015cm−3である。そのような酸素含有量によって、さらなる中性子ドーピングのために、これら単結晶の使用が可能となる。
前記ヒータの応答の緩慢性は低い。前記時間τは、プロトタイプの450秒と比べて、50秒である。
最終生成物の1kgあたりの電力消費は、10%減少し、プロトタイプ155kW時/kgと比べて140kW時/kgである。
前記ヒータは、150サイクルの引き上げという長い間、実用に耐えることができる。
(実施例4)
(実施例4)
単結晶が、図4で示した装置で引き上げられる。上側遮壁20,21,22の追加の系は窒化珪素からなる。
実施例3と同様にして結晶を成長させる。
この成長工程が終わった後、単結晶を冷却し、前記チャンバから取り出し、次いで、それからサンプルを切り出し、そして、このようにして作製された結晶中の炭素および酸素含有量を測定する。炭素含有量は5×1015cm−3、酸素含有量は8×1015cm−3である。
前記ヒータの応答の緩慢性は低い。前記時間τは、プロトタイプの450秒と比べて、50秒である。
最終生成物の1kgあたりの電力消費量は、20%減少し、プロトタイプ155kW時/kgと比べて125kW時/kgである。
前記ヒータは、150サイクルの引き上げという長い間、実用に耐えることができる。
(実施例5)
(実施例5)
図5に示す装置において、単結晶を引き上げる。該装置は、図4に示す装置の代替実施の形態である。それに対する相違として、ここでは、前記ヒータの端部を固定するカーボン材料の固定リング6,7は、前記ヒータと一体部を構成する。この部分は、次のように作製する。前記ヒータの円筒体を、円筒鋼製心棒の周りに巻く。巻き付けは、エポキシ樹脂を含浸すると同時に、さまざまな方向に互いに絡み合わせられる10〜150本のカーボン繊維を同時に用いて、工作機械において行われる。10mmの高さで20mmの厚みのボスが、前記ヒータ体の両端に配置されている。硬化工程を行った後(200℃、6時間におよぶアニール)、両端でのこれらのボスは、所望の寸法を有するように旋盤で加工される。前記円筒遮壁/電流リード10は、カーボン繊維の包装およびエポキシ樹脂とグラファイト小片との混合物の含浸、次いで高温(200℃)アニールを経由して、同様にカーボン繊維からなる。この遮壁/電流リードの厚さは15mmである。前記心棒を取り除いた後、前記ヒータ5の円筒の内側および外側表面に塗布する。前記リング7を有する上端は、前記遮壁/電流リード10に接続され、前記リング6を有する下端は、前記電流リード線12に接続されている。次いで、前記熱組み立て部品のすべて部品は、本明細書で上述するように、窒化珪素で被覆されている。
前記ヒータ材料の比熱は、2077J/kg・Kであり(1600℃、すなわち1873Kの加工温度で)、前記ヒータ材料の密度はρst=401.22kg/m3であり、前記ヒータの肉厚は0.6mm(0.0006m)である。すなわち、δ・ρ・cの積は、500J/m2・Kである。
実施例3と同様にして結晶を成長させる。
この成長工程が終わった後、単結晶を冷却し、前記チャンバから取り出し、次いで、それからサンプルを切り出し、そして、このようにして作製された結晶中の炭素および酸素含有量を測定する。炭素含有量は5×1015cm−3であり、酸素含有量は8×1015cm−3である。
前記ヒータの応答の緩慢性は低い。前記時間τは、プロトタイプの450秒と比べて、45秒である。
最終生成物の1kgあたりの電力消費量は20%減少し、プロトタイプ155kW時/kgと比べて125kW時/kgである。
前記ヒータは、150サイクルの引き上げという長い間、実用に耐えることができる。
[発明の最良の形態]
請求項で示す特徴の組み合わせによって特徴付けられる実現可能性を、請求項に記載された発明の出願人によって想定される最良の形態を示す以下の実施例の説明によって立証することができる。
請求項で示す特徴の組み合わせによって特徴付けられる実現可能性を、請求項に記載された発明の出願人によって想定される最良の形態を示す以下の実施例の説明によって立証することができる。
前記装置は、投入量30kgの多結晶シリコンから、150mmの直径を有するシリコンの単結晶を成長させるときに用いられる。設備のチャンバ1において、窒化珪素からなり一体とされ、370mmの外径を有する坩堝2および支持体3が配置されている(図5)。前記坩堝−支持体2−3は、ロッド4上に配置され、該ロッド4も、窒化珪素からなる。前記坩堝−支持体2−3は、円筒5の形状のヒータによって取り囲まれており、固定リング6,7によって前記ヒータの両端を固定し、前記ヒータと一体部分を構成する。この部分は、次のようにして作製する。カーボンを含有する液体バインダ(例えば、エポキシ樹脂、フェノール−ホルムアルデヒド塗料、でんぷん糊)で含浸されたウラル−22タイプのカーボン織物を、円筒鋼製心棒の周りに2層で巻く。巻きつけは、織物に張力をかけ、心棒に圧力をかけて工作機械において行われる。2つのボスが、2片の織物をさらに巻くことによって、前記ヒータ体の両端に設けられている。硬化工程を行った後(26時間、200℃でアニール)、これらの両端のボスを、所望の寸法を有するように旋盤にかける。前記心棒を取り除いた後、炭化珪素の薄い層を、前記ヒータ5の円筒の内側および外側表面に被覆する。この工程を、次のようにして行う。シリコン粉体およびエチルアルコールを含むエマルジョンの層を、(例えば、ブラシ、またはスプレーヤによって)前記ヒータの内側および外側表面に塗布する。その後、室温で、ドラフト内で乾燥する。次いで、窒素雰囲気下、1100〜1400℃で5時間、0.5〜1.2気圧の圧力でアニールし、次いで、1600℃、同じ圧力でアニールする。
前記リング7を有する上端は、側面遮壁/電流リード10に接続され、前記リング6を有する下端は、電流リード線12に接続されている。前記円筒遮壁/電流リード10は、巻き付け、含浸し、そして硬化工程によって、同様にカーボン織物からなる。次いで、前記熱組み立て部品のすべての部品は、窒化珪素の層で被覆されている。
前記ヒータ材料の比熱は、2077J/kg・Kであり(1600℃、すなわち1873Kの加工温度で)、前記ヒータの出発材料の密度はρst=400.00kg/m3であり、前記ヒータの肉厚は1.5mm(0.00015m)である。すなわち、δ・ρ・cの積は、2492J/m2・Kである。
底部の遮壁11は、電気回路に接続されておらず、前記チャンバ1の底部に配置されている。前記遮壁11は、カーボン−シリコン−炭化物複合材料からなり、ボウルを備えており、該ボウルは、この部分の破壊時に前記坩堝−支持体2,3から前記溶融物16が非常流出した場合、断熱およびシリコン溶融物と前記チャンバ1の水ジャケットとの直接の相互作用を防ぐために役立つ。前記遮壁10,11は、シリカ繊維からなる織物の断熱材15を有する。
上側遮壁の系は、前記装置の上部に設けられ、該系は、円筒遮壁20および面水平遮壁21を含む。この遮蔽によって熱損失を低減することができる。また、前記ヒータから、成長する単結晶をさらに遮蔽する円筒遮壁22が設けられており、これにより、そこでの温度勾配を大きくすることができるとともに、成長率を増加することができる。追加された上部遮壁系は、窒化珪素からなる。
前記石英坩堝−支持体2−3を、シリコン投入物で満たした後、前記チャンバ1を密封し、その中を10−3mmHgの真空とし、電源をオンする。電源14からの電流は、前記電流リード線12から前記リング6を介して前記ヒータ5を通り、前記リング7、前記遮壁/電流リード10および前記電流リード線13を通り、前記電源14に戻る。前記ヒータ5は、約1600℃の加工温度に達するまで白熱化する。前記ヒータからの放射による熱移動により、投入シリコン16は白熱化され溶融する。この後、結晶核を溶解物中に降ろし、単結晶17を成長させる。
この成長工程が終わった後、単結晶を冷却し、前記チャンバから取り出し、次いで、それからサンプルを切り出し、そして、このようにして作製された結晶中のカーボンおよび酸素含有量を決定する。ここでは、カーボン含有量は5×1015cm−3であり、酸素含有量は8×1015cm−3である。そのような酸素含有量によって、さらなる中性子ドーピングのために、これら単結晶の使用が可能となる。
前記ヒータの応答の緩慢性は低い。前記時間τは、プロトタイプの450秒と比べて、45秒である。
最終生成物の1kgあたりの電力消費量は、20%減少し、プロトタイプ155kW時/kgと比べて125kW時/kgである。
前記ヒータは、150サイクルの引き上げという長い間、実用に耐えることができる。
本発明のさまざまな実施の形態を説明するためにここに挙げられた実施例から、単結晶引き上げ装置をいかにして作製し使用することができるかが明らかである。
添付図面は以下のことを示す。
単結晶引き上げ装置の縦断面図を示し、電流リード線に直接接続された上下一対のリングを介して、電力がヒータに送られる。前記ヒータは、側面および底部の断熱遮壁によって取り囲まれている。
装置の縦断面図を示し、電流リード線の機能を同時に果たす側面および底部の遮壁に接続されたリングを介して、電力がヒータに送られる。前記ヒータは、窒化珪素からなるビードの薄壁の円筒を含み、該円筒は前記ヒータの内壁に対してぴったりと配置されている。
装置の実施の形態を示し、上側の一対のリングは、電流リード線の役割を果たす側面遮壁に接続されており、下側の一対のリングは、他の電流リード線に直接接続されている。底部遮壁は、窒化珪素からなるボウル形状であり、チャンバの底部に配置されている。坩堝および支持体は、窒化珪素からなり、互いに一体とされている。
図3で示された装置の実施の形態を示し、窒化珪素またはカーボン材料、例えば、グラファイトまたはカーボン/カーボン複合材の上側遮壁系をさらに備えている。
図4で示された装置の実施形態を示し、リングがヒータと一体となるように作製されている。
Claims (7)
- 支持体を伴う坩堝と、ヒータと、少なくとも1つの断熱遮壁とを含む単結晶引き上げ装置であって、
前記ヒータは、柔軟なカーボン軸受材を出発物として円筒形状に成形されたものであり、前記円筒の両端は、電源に接続され同軸上に配置されたカーボン材料からなる剛体のリング間に固定され、
前記ヒータは、その肉厚が以下の関係、
δ・ρ・c=500〜8500J/m2・K
(ここで、δはヒータの肉厚(m)、ρはヒータ材料の密度(kg/m3)、cはヒータ材料の比熱(加工温度における)(J/kg・K))
から決定されるように作製されていることを特徴とする単結晶引き上げ装置。 - カーボン材料からなる前記リングは、前記断熱遮壁を介して前記電源に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 窒化珪素の層が、前記ヒータの内側および/または外側表面に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記坩堝または前記支持体が、窒化珪素からなることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の装置。
- 前記坩堝および前記支持体が窒化珪素からなり、互いに一体であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の装置。
- 前記ヒータの前記カーボン軸受材は、さらに、熱分解カーボンおよび/または炭化珪素で密封されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載の装置。
- さらに、シリカまたは石英繊維からなる織物および/またはフェルトの断熱材を含むことを特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載の装置。
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