JP2005524165A - 自動化製造環境におけるエージェント応答式スケジューリング - Google Patents
自動化製造環境におけるエージェント応答式スケジューリング Download PDFInfo
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Abstract
Description
・階層化、つまり様々な材料の薄層を半導体が作られるウエハへ追加する
・パターニング、つまり追加層の選択部分を取除く、
・ドーピング、つまり特定量のドーパントを追加層において開口部を介してウエハの選択部分に位置させる、および
・熱処理、つまり材料を加熱および冷却し、処理したウエハに所望の効果を与える
4つだけの基本オペレーションであるが、特定の製造プロセスにより、それらは何百もの様々な方法と組み合わせることができる。例えば、マイクロチップファブリケーション・半導体プロセスのプラクティカルガイド[Peter Van Zant著、Microchip Fabrication A Practival Guide to Semiconductor Processing(3d Ed. 1997 McGraw-Hill Companies, Inc)(ISBN 0-07-067250-4)]を参照のこと。それぞれの製造ツールは4つの基本オペレーションの一つ以上を実行している。この4つの基本オペレーションは全体のプロセスフローに従って実行され、最終的に完成した半導体デバイスを作り出す。
・ウエハ135のロット130の代わりにアクティビティをスケジューリングするロットスケジューリングエージェント(LSA)305
・プロセスツール115の代わりにアクティビティをスケジューリングするマシンスケジューリングエージェント(MSA)310
・PMとQual(図示せず)の代わりにアクティビティをスケジューリングするPMスケジューリングエージェント(PMSA)315
・リソース(図示せず)の代わりにアクティビティをスケジューリングするリソーススケジューリングエージェント(RSA)320
しかしながら、これらの明らかにされているものに加え、あるいは代わりに、別のタイプのものが用いられてよい。図示された実施例におけるこれらのスケジューリングエージェント265のそれぞれの役割や機能は以下で更に十分検討される。
・例えばLSA305、MSA310、PMSA315あるいはRSA320などのサブスクライビングソフトウエアスケジューリングエージェントにその発生を通知する
・所定のイベントの検出に応答してアクションをスケジューリングする
この所定のイベントおよび応答的なスケジュールアクションは、実施態様ごとに特定のものとなる。いくつかの典型的なイベントと応答的なスケジュールアクションは以下で更に検討される。
ここで留意すべきは、このタイプの応答的スケジューリングは、そのようなイベントがプロセスフロー100において発生しているという情報を示す。このためソフトウエアエージェント265は図示されていないが、“パブリッシャ”(あるいはノーティファイア)と“サブスクライバ”として知られる、追加のソフトウエアコンポーネントに応答する。エージェントは一つ以上のノーティファイアにサブスクライブするリスナを生み出す。ノーティファイアは工場内で変更が発生した場合にそれらのサブスクライブリスナへイベントをパブリッシュする。次にリスナはそれらのサブスクライブソフトウエアエージェント265を呼び出す。例えば、MSAが作られるときは、エージェントは特定のマシンイベントにサブスクライブするマシンリスナを作る。MSAは特定のマシンで発生するどの変更も受信することに関心がある。例えば、マシンの稼働率が変化した場合、パブリッシャはその全てのリスナに対しイベントをパブリッシュする。次いでマシンリスナはイベントについてサブスクライブMSAに通知する。サブスクライブMSAは適切に反応する。
│ソフトウエアエー│関連リスナ │サブスクライブの理由 │
│ジェント │ │ │
│ │ │ │
│RSA(例:リソ │装置イベントリスナ │装置インターフェースからイベン│
│ースローディング│ │トをリスンする。イベントはロー│
│エージェント) │ │ド開始、チャージ開始、ロード完│
│ │ │了、チャージ完了、などを含む。│
│ │マシンリスナ │マシン上で発生するMESイベン│
│ │ │トをリスンする。例えば、マシン│
│ │ │が利用できず、適切に反応すると│
│ │ │きにリスンする。 │
│ │プロセスオペレーショ│マシンの処理能力を変更する可能│
│ │ンリスナ │性があるのでプロセスオペレーシ│
│ │ │ョン内で変更をリスンする。 │
│ │プロセスリスナ │マシンの処理能力を変更する可能│
│ │ │性があるのでプロセス内で変更を│
│ │ │リスンする。 │
│ │アラームリスナ │スケジュールアクティビティに対│
│ │ │し、開始時刻あるいは終了時刻に│
│ │ │設定されたアラームをリスンする│
│ │ │。 │
│ │スケジュールアドバタ│開始していないスケジュールアポ│
│ │イズメントリスナ │イントメントに対し“通知された│
│ │ │”タイムスロットをリスンする。│
│ │アポイントメント状態│カレンダーに影響を及ぼす可能性│
│ │変更リスナ │のある別のエージェントのスケジ│
│ │ │ューリングカレンダー上にある対│
│ │ │応のどのアポイントメントもリス│
│ │ │ンする。 │
│ │ │ │
│LSA │アラームリスナ │スケジュールアクティビティに対│
│ │ │し開始時刻あるいは終了時刻に設│
│ │ │定されたアラームをリスンする │
│ │ロットリスナ │製品変更、優先度変更、ウエハー│
│ │ │数など、ロット上で発生するME│
│ │ │Sイベントをリスンする │
│ │AMHSリスナ │LSAによって表示されるロット│
│ │ │の位置変更をリスンする │
│ │アポイントメント状態│カレンダーに影響を及ぼす可能性│
│ │変更リスナ │のある別のエージェントのスケジ│
│ │ │ューリングカレンダー上にある対│
│ │ │応のどのアポイントメントもリス│
│ │ │ンする。 │
│ │ │ │
│MSA │アラームリスナ │スケジュールアクティビティに対│
│ │ │し開始時刻あるいは終了時刻に設│
│ │ │定されたアラームをリスンする。│
│ │プロセスオペレーショ│マシンの処理能力を変更する可能│
│ │ンリスナ │性があることから、プロセスオペ│
│ │ │レーション内で変更をリスンす │
│ │ │る。 │
│ │マシンリスナ │マシン上で発生しているMESイ│
│ │ │ベントをリスンする。例えば、マ│
│ │ │シンが利用できないときにリスン│
│ │ │する。 │
│ │アポイントメント状態│そのカレンダーに影響を及ぼす可│
│ │変更リスナ │能性のある別のエージェントのス│
│ │ │ケジューリングカレンダー上にあ│
│ │ │る対応のどのアポイントメントも│
│ │ │リスンする。 │
│ │チェンバリスナ │ダウンタイム、PM、あるいはQ│
│ │(Chamber Listener) │ualなど、チェンバレベルで発│
│ │ │生するMESイベントをリスンす│
│ │ │る。 │
│ │プロセスリスナ │マシンの処理能力を変更する可能│
│ │ │性があることから、プロセスオペ│
│ │ │レーション内で変更をリスンす │
│ │ │る。 │
│ │装置イベントリスナ │装置インターフェースからイベン│
│ │ │トをリスンする。イベントはマシ│
│ │ │ンポートへのキャリアの到達、処│
│ │ │理の開始、処理のほぼ完了、キャ│
│ │ │リアの離脱(carrier depated)な │
│ │ │どを含む。 │
│ │ │ │
│PMスケジューリ│チェンバリスナ │ダウンタイム、PM、あるいはQual│
│ングエージェント│ │など、チェンバレベルで発生する│
│(PMSA) │ │MESイベントをリスンする。 │
│ │マシンリスナ │マシン上で発生しているMESイ│
│ │ │ベントをリスンする。例えば、マ│
│ │ │シンが利用できないときにリスン│
│ │ │する。 │
│ │Qualコレクション│新たなQualあるいは削除され│
│ │リスナ │たどのQualもリスンする。 │
│ │PMコレクションリス│新たなQualあるいは削除され│
│ │ナ │たどのPMに対してもリスンす │
│ │ │る。 │
│ │アポイントメント状態│トラックはカレンダーに影響を及│
│ │変更リスナ │ぼす可能性のあるどのアポイント│
│ │ │メントも変更する。 │
Lot1: APP1[t10,t12],CW1[t8,t14]
Lot2: APP2[t13,t15],CW2[t9,t16]
Lot3: APP3[t5,t7], CW3[t2,t11]
Lot4: APP4[t3,t4], CW4[t1,t6]
ここで留意すべきは、図示された実施例においては、コミットメントウインドウのいくつかがオーバーラップしていることである、しかし、アポイントメントはどれもオーバーラップしていない。アポイントメントは他のアポイントメントとオーバーラップしない限りは、コミットメントウインドウ内でシフトされ、あるいは拡張、収縮、キャンセル、スケジュール変更。更なる詳細は以下で検討する。しかしながら、実施形態によってはアポイントメントの一部はオーバーラップすることもある。
・プロセスツールTOOl1に対するカレンダーであり、プロセスツールTOOl1に対し、MSAにより保持され、セットアップに対し予約されたアポイントメントを含む(例:SETUP1、SETUP2);ロットプロセスアポイントメント(例:LOT1、LOT2、LOT3);予防的維持(例:PM)、品質保証(例:QUAL)
・ロットLOT1に対し、LSAにより保持されているロットLOT1に対するカレンダーであり、その上に移動用アポイントメント(例:MOVE1、MOVE2、MOVE3,MOVE4、MOVE5)とロットプロセスアポイントメント(例:TOOL1、TOOL2)が予約されている;そして
・PMSAにより保持されているPMに対するカレンダーであり、その上に予防的維持(例:PM)、品質保証(例:QUAL)に対するアポイントメントが予約されている。
更に別のタイプのアポイントメントが予約される。例えば、プロセスツールTOOL1が故障した場合、すなわち、処理にもはや利用できない場合、“ダウンタイムアポイントメント”がそのカレンダー上に予約され、予想される修復時間を表す。ここで留意すべきは、図5のカレンダーにおけるこれらアポイントメントのそれぞれは、第一に、ソフトウエアエージェント265がそれらが表示する製造ドメインエンティティに従って積極的にスケジューリングするイベントに対するものであることである。
・仮の状態−アポイントメントは作られているが予約はされていない(後で検討)
・準備が整っていない−仮のアポイントメントは予約されたが実行するには準備が出来ていない
・準備が出来ている−アポイントメントにおいて含まれるロット130が予約されるプロセスツール115に到着している
・アクティブ−アポイントメントの開始時刻に達し、全てのパーティシパントは動作可能である
・アクティブPM/Qual−PMアポイントメントのQual部に続く開始時刻が到達する
・処理−スケジューリングアクティビティの開始、すなわち、プロセスツール115により開始命令が確認された、あるいはPMまたはQualが開始した
・PM/Qual処理−PMのフォローアップQual部開始
・ほぼ完了−所定のパラメータ(例:処理時間残、ウエハ数)により定義されているようにアポイントメントがほぼ完了
・完了−プロセスが完了
・キャンセル−予約されたアポイントメントを処理状態に入る前にカレンダーから削除する
・中止−処理状態において処理の間にアポイントメントが中止
仮状態のアポイントメントは予約されるまでは仮のままであり、そのため準備の整っていない状態に入る。アポイントメントはロット130がプロセスツール115に到達するまでは準備が整わない。次いでアポイントメントはプロセスツール115が処理を開始したことを確認するまでアクティブ(すなわちアポイントメントが開始する)になる。アポイントメントが一旦処理されると、ほぼ完了するまではその状態のままであり、次いで完了する。処理状態に入る前にカレンダーからアポイントメントが削除される場合、アポイントメントは“キャンセル”され、システムから削除される。処理状態であれば、アポイントメントは中断した場合は“中止”される。完了したアポイントメントあるいは中止されたアポイントメントはシステムから削除されるまではこの状態のままである。
・進行中のスケジュールアポイントメントを中止する
・スケジュールアポイントメントを開始前にキャンセルする
・新たなアポイントメントをスケジューリングする
・スケジュールアポイントメントの持続時間を拡張する
・スケジュールアポイントメントの持続時間を収縮する
・スケジュールアポイントメントを更に早い時刻あるいは更に遅い時刻にシフトする
・コミットメントウインドウを変更する
・アラームを設定する
・アラームをキャンセルする
・アポイントメントの状態を変更する
そのような応答的スケジューリングを引きおこす“所定のイベント"はアポイントメントの状態変更に対し、以下を含む。
・アポイントメントをキャンセルする
・アポイントメントを拡張する
・アポイントメントを収縮する
・アポイントメントを中止する
・アポイントメントの状態を変更する
・アポイントメントをシフトする-
・予想外のキャリアが到達する
・トランスポート時間をアップデートする
・アンロード時間をアップデートする
・ロットをバッチに加える
・ロットをバッチに残す(leave)
・バッチからロットをキャンセルする
・コミットメントウインドウをアップデートする
工場状態の変更に対しては、所定のイベントは例えば以下のようなものである。
・ダウンタイムの検出
・マシンが利用可能になる
・PM/Qualが検出される
・チェンバが故障あるいは生じるcoming up
・マシン能力の変更
・マシン種類の変更
・プロセスの追加
・プロセスオペレーションの追加
・ロットプロセスを変更する
・ロットを保留状態で配置する
・ロットを保留状態から解放する
・ロットの優先事項を変更する
・ロットの期限を変更する
・ロットのウエハ数を変更する
・ロットのプロセスオペレーションを変更する
・ロットがマシンから外れる、マシンに到達する
またアラームイベントに対しては、所定のイベントは次のものである。
・アポイントメント開始時刻に対しアラームが始動する
・アポイントメント終了時刻に対しアラームが始動する
ここで留意すべきは、これらのリストは完全なものではなく、一例にすぎないことである。所定のイベントの識別は実施品固有のものであり、実例例間で変化する。典型的に、応答的スケジューリングを引き起こすイベントによって、これらのアクティビティは組み合わせられて、あるいは別の方法において条件付で用いられる。表2−5は本発明の1つの特定の実施品に対し、所定のイベント、それらのタイプ、そして応答的スケジューリングアクティビティをそれぞれマシンやロット、PM、リソーススケジューリングエージェントに対してリストアップしたものである。
│イベント │イベント種類・│応答的スケジューリング活動 │
│ │タイプ │ │
│ │ │ │
│ダウンタイムを│ファクトリー状│ダウンタイムイベントはマシンが現在の│
│検出する │態の変更(ME│ところ処理に利用できない、あるいは処│
│ │S) │理中にエラーが発生したことを示す。M│
│ │ │SAはマシンが現在のところ処理に利用│
│ │ │できないことを検出した場合、MSAは│
│ │ │処理されているロットプロセスアポイン│
│ │ │トメントを中止あるいは収縮する。次い│
│ │ │でMSAは中止したロットプロセスアポ│
│ │ │イントメントの後あるいはアンロードア│
│ │ │ポイントメントの後にダウンタイムアポ│
│ │ │イントメントを予約する。エラーによっ│
│ │ │て処理中にダウンタイムイベントが発生│
│ │ │した場合、MSAは処理中のロットプロ│
│ │ │セスアポイントメントの後に、あるいは│
│ │ │アンロードアポイントメントの後にダウ│
│ │ │ンタイムイベントを予約する。ダウンタ│
│ │ │イムアポイントメントとオーバーラップ│
│ │ │している予約プロセスアポイントメント│
│ │ │は可能であれば時間内で後にシフトされ│
│ │ │る。そうでなければキャンセルされる。│
│ │ │ │
│検出された使用│ファクトリー状│アクティブなPM、Qualあるいはダ│
│可能マシン │態の変更(ME│ウンタイムアポイントメントが完了され│
│(machine │S) │る。マシンのカレンダー上にある次のア│
│availabl │ │ポイントメントが可能であれば、次いで│
│edetected) │ │シフトされ、開始される。 │
│ │ │ │
│PM/Qual│ファクトリー状│PM/Qualアポイントメントはどの│
│を検出する │態の変更(ME│アクティブアポイントメントの後にでも│
│ │S) │予約される。PM/Qualアポイント│
│ │ │メントにオーバーラップしているアポイ│
│ │ │ントメントはそのPM/Qualアポイ│
│ │ │ントメントの後にシフトされる。オーバ│
│ │ │ーラップした予約アポイントメントがシ│
│ │ │フトできない場合は、キャンセルされ │
│ │ │る。 │
│ │ │ │
│チェンバダウン│ファクトリー状│マシンあるいはチェンバに対し、準備の│
│を検出する │態の変更(ME│できていない全てのアポイントメントで│
│ │S) │、開始していないものはキャンセルさ │
│ │ │れる。 │
│ │ │ │
│チェンバアップ│ファクトリー状│どのアポイントメントに対する持続時間│
│を検出する │態の変更(ME│も新たなスループット率に基づき予想完│
│ │S) │了時刻へ収縮され、可能であれは右へ、│
│ │ │あるいは時間内で後ろにシフトされる。│
│ │ │ │
│ロットがスケジ│アラーム状態の│ロットがマシンとともに“リザーブ”ポ│
│ュール開始時刻│変更 │ートを有する場合、MSAはLSAがム│
│にポートにない│ │ーブアポイントメントを拡張するまで待│
│ │ │つ。ムーブアポイントメントの拡張によ│
│ │ │りLSAはロットアポイントメントを右│
│ │ │へシフトさせる。次いでMSAはロット│
│ │ │アポイントメントのシフトに適切に反応│
│ │ │する。ロットがポートをリザーブしてい│
│ │ │ない場合、アポイントメントはキャンセ│
│ │ │ルされる。 │
│ │ │ │
│ロットがマシン│ファクトリー状│ロットが正しい位置に到達した場合、M│
│ポートに到着す│態の変更(EI)│SAはアポイントメントがバッチアポイ│
│る │ │ントメントのパーティシパントでない場│
│ │ │合はアポイントメントをアクティブにす│
│ │ │る。アポイントメントがバッチアポイン│
│ │ │トメントのパーティシパントの場合、M│
│ │ │SAはそのアポイントメントを作動可能│
│ │ │にする。マシンがアイドル状態で、アポ│
│ │ │イントメントがアクティブな場合、MS│
│ │ │Aはアポイントメントの処理を開始する│
│ │ │(注意:バッチアポイントメントのパー│
│ │ │ティシパントは全てのパーティシパント│
│ │ │がマシンに到達したときにアクティブに│
│ │ │される。) │
│ │ │ロットが正しいマシンに到達したがポー│
│ │ │トが間違っている場合、MSAは別のロ│
│ │ │ットがポートを予約したか確認をする。│
│ │ │別のロットがポートを予約した場合、M│
│ │ │SAはそのロットに次に利用可能なポー│
│ │ │トを割り当てる。到達ロットに対するア│
│ │ │ポイントメントがアクティブな場合、M│
│ │ │SAはロット処理を開始する。 │
│ │ │ロットが間違ったマシンに到着した場合│
│ │ │MSAは別のロットがポ−トを予約した│
│ │ │か確認をする。別のロットがポートを予│
│ │ │約した場合、MSAはそのロットに次の│
│ │ │利用可能なポートを割り当てる。次いで│
│ │ │マシンは到達したばかりのロットに対し│
│ │ │アポイントメントを予約する。オーバー│
│ │ │ラップしているどのアポイントメントも│
│ │ │遅い時間にシフトされる。オーバーラッ│
│ │ │プしているアポイントメントが時間内で│
│ │ │後ろにシフトできない場合、そのアポイ│
│ │ │ントメントはキャンセルされる。 │
│ │ │ │
│ロットプロセス│アラーム状態の│ロットプロセスアポイントメントが遅れ│
│アポイントメン│変更 │る場合、そのアポイントメントは拡張さ│
│トが遅れる │ │れ、オーバーラップしているどの予約ア│
│ │ │ポイントメントも右へシフトされるか、│
│ │ │時間内で後ろにシフトされる。 │
│ │ │オーバーラップしているどの予約アポイ│
│ │ │ントメントも右へシフト出来ず、またア│
│ │ │ポイントメントがロックされていない場│
│ │ │合は、アポイントメントはキャンセルさ│
│ │ │れる。アポイントメントがロックされ、│
│ │ │また右へシフトできない場合は、アポイ│
│ │ │ントメントのコミットメントウインドウ│
│ │ │が拡張し、シフトできるようにする。 │
│ロットプロセス│ファクトリー状│ロットプロセスアポイントメントが予想│
│が早く完了する│態の変更(EI)│よりも早く完了する場合は、アポイント│
│ │ │メントは収縮され、完了され、可能であ│
│ │ │れば次のアポイントメントが時間内で前│
│ │ │にシフトされる。次のアポイントメント│
│ │ │が現在時刻へシフトできる場合は、アポ│
│ │ │イントメントを開始する。 │
│ │ │ │
│ほぼ完了したロ│ファクトリー状│MSAはロットに対する残りの処理時間│
│ット処理を検出│態の変更 │を算出する。早く終了しそうな場合は、│
│する │ │アポイントメントは新たな終了時刻へ収│
│ │ │縮され、そしてどの次のアポイントメン│
│ │ │トも左へシフトあるいは時間内で前にシ│
│ │ │フトされる。遅く終了しそうな場合は、│
│ │ │アポイントメントは新たな終了時刻へ拡│
│ │ │張され、どのオーバーラップアポイント│
│ │ │メントも遅い時間にシフトされるか、キ│
│ │ │ャンセルされる。 │
│ │ │ │
│ロットアポイン│アポイントメン│処理中あるいはほぼ完了の場合、アポイ│
│トメントキャン│ト状態の変更 │ントメントは中止されるか、準備が出来│
│セルする │ │ていない場合は単にキャンセルされる。│
│ │ │アポイントメントのキャンセルにあたり│
│ │ │次のアポイントメントは可能であれば時│
│ │ │間内で前にシフトされ、各アポイントメ│
│ │ │ント間のギャップを低減する。 │
│ │ │ │
│ロットがマシン│ファクトリー状│ロット離脱(departure)の時間にまだ処 │
│ポートを離れる│態の変更 │理中である場合、アポイントメントは中│
│ │ │止され、終了時刻は時間内で前にシフト│
│ │ │される。次のアポイントメントは出来る│
│ │ │限り早くにシフトされる。 │
│ │ │ │
│アポイントメン│アポイントメン│アポイントメントは右へシフトされる。│
│トを右にシフト│トの状態変更 │右へシフトできない場合はロックされな│
│する │ │い限りはキャンセルされる。ロックされ│
│ │ │る場合、右シフトをブロックしているい│
│ │ │ずれのアポイントメントもキャンセルさ│
│ │ │れる。 │
│イベント │イベントタイプ│応答的スケジューリング活動 │
│ │ │ │
│ムーブアポイン│アラームイベン│このアラームはムーブアポイントメントのス│
│トメントに対 │ト │ケジュールされた終了時刻が到達したことを│
│し、アポイント│ │示す。LSAはムーブアポイントメントを拡│
│メント終了時刻│ │張すべきか決定する。そのムーブがマシンポ│
│アラームを始動│ │ートにから始まるものであれば、ムーブアポ│
│する │ │イントメントの拡張はポートをクリアするた│
│ │ │め、常に許可される。そうでなければ、ムー│
│ │ │ブアポイントメントは最大の拡張パーセンテ│
│ │ │ージが達せられるまで(すなわち175%)│
│ │ │本来スケジュールされた持続時間のパーセン│
│ │ │テージを拡張する(すなわち、25%)。最大 │
│ │ │の拡張パーセンテージが達せられたとき、ア│
│ │ │ポイントメントは中止される。ムーブアポイ│
│ │ │ントメントが拡張される場合、その後の予約│
│ │ │アポイントメントは時間内で後ろにシフトさ│
│ │ │れる。新たな終了時刻は拡張されたムーブア│
│ │ │ポイントメントに対して設定される。 │
│ │ │ │
│フィーダアポイ│アラームイベン│このアラームはフィーダアポイントメントの│
│ントメントに対│ト │スケジュールされた終了時刻が達したことを│
│し、アポイント│ │示す。LSAは変更可能なパーセンテージまで │
│メント終了時刻│ │アポイントメントを拡張する。それに続くど│
│アラームを始動│ │のフィーダアポイントメント(あれば)もこ│
│ │ │のフィーダアポイントメントが拡張された量│
│ │ │だけ収縮される(オペレーションに対する処│
│ │ │理時間以下にフィーだの持続時間を収縮でき│
│ │ │ない。)最終手段として、最終フィーダアポ │
│ │ │イントメントの後のアポイントメントは後の│
│ │ │時間にシフトされる。 │
│ │ │ │
│ムーブアポイン│アラームイベン│このアラームはスケジュールされた特定のム│
│トメントに対す│ト │ーブアポイントメントの開始時刻が発生した│
│るアポイントメ│ │ことを示す。LSAはアポイントメントがア│
│ント開始時刻の│ │クティブでない場合はアポイントメントをア│
│到達 │ │クティブにし、AMHSムーブが開始され │
│ │ │る。アポイントメントがロットアポイントメ│
│ │ │ントの前の最終ムーブの場合、LSAはMSAに │
│ │ │ポートを予約することとアポイントメントを│
│ │ │ロックすることを求める。またトランスポー│
│ │ │ト時間と残りのトランスポート時間を適宜ア│
│ │ │ップデートする。次いでLSAはアポイント│
│ │ │メント終了時刻アラームを作る。 │
│ │ │ │
│フィーダアポイ│アラームイベン│このアラームは特定のフィーダアポイントメ│
│ントメントに対│ト │ントのスケジュールした開始時刻が発生した│
│するアポイント│ │ことを示す。LSAはアポイントメントがア│
│メント開始時刻│ │クティブでない場合はアクティブにする。次│
│の到達 │ │いでLSAはアポイントメント終了時刻アラ│
│ │ │ームを作る。 │
│ │ │ │
│ロットアポイン│アポイントメン│LSAはロットアポイントメントとこのロット │
│トメントをキャ│ト状態の変更 │アポイントメントに関連するどのアクティブ│
│ンセルする │ │でないムーブもキャンセルする。また、ロッ│
│ │ │トアポイントメントに関連する全てのロード│
│ │ │・アンロードアポイントメントもキャンセル│
│ │ │し、そして必要に応じて適宜どのアラームも│
│ │ │キャンセルする。次いでLSAはキャンセル│
│ │ │されたアポイントメントをスケジュール変更│
│ │ │する。 │
│ │ │ │
│ロットアポイン│アポイントメン│MSAはロットアポイントメントが遅れてい│
│トメントを拡張│ト状態の変更 │るときにこの変更を開始する。LSAはロッ│
│する │ │トプロセスアポイントメントが拡張された後│
│ │ │に全てのアポイントメントを右へ、あるいは│
│ │ │時間内で後ろにシフトすることによりこの変│
│ │ │更に反応する。次いでロットアポイントメン│
│ │ │トを特定の時刻へ拡張する。 │
│ロットアポイン│アポイントメン│MSAはロットの処理が妨げられた場合にこ│
│トメントを中止│ト状態の変更 │の変更を開始する。LSAはアポイントメン│
│する │ │トの状態を中止へ変更し、ロットを保留状態│
│ │ │に置き、そして全てのアポイントメントをキ│
│ │ │ャンセルした後にムーブアポイントメントを│
│ │ │ソータへ、あるいはストッカーへスケジュー│
│ │ │ルする。 │
│ │ │ │
│アンロードアポ│アポイントメン│LSAはアンロードアポイントメントの状態│
│イントメントを│ト状態の変更 │を中止へと変更する。 │
│中止する │ │ │
│ロードアポイン│アポイントメン│LSAはロードアポイントメントの状態を中│
│トメントを中止│ト状態の変更 │止へと変更する。 │
│する │ │ │
│ロットアポイン│アポイントメン│MSAはロットの処理が開始したときにこの│
│トメントをプロ│ト状態の変更 │変更を開始する。LSAはアポイントメント│
│セスさせ │ │を処理状態へと変更し、ロットプロセスエー│
│ │ │ジェントにアポイントメントの処理を開始す│
│ │ │るよう通知する。 │
│ │ │ │
│ロードアポイン│アポイントメン│LSAはアポイントメントを処理状態へと変│
│トメントを処理│ト状態の変更 │更し、ロットプロセスエージェントに通知す│
│する │ │る。 │
│ │ │ │
│アンロードアポ│アポイントメン│LSAはアポイントメントを処理状態へと変│
│イントメントを│ト状態の変更 │更し、ロットプロセスエージェントに通知す│
│処理する │ │る。 │
│ │ │ │
│ロットアポイン│アポイントメン│MSAはロットが処理を完了したときにこの│
│トメントを完了│ト状態の変更 │変更を開始し、適切な場合にはアポイントメ│
│する │ │ントを収縮する。LSAはプロセスエージェ│
│ │ │ントに通知し、状態を完了へと変更し、ポス│
│ │ │トコントロールムーブアポイントメントがス│
│ │ │ケジュールされたことを確認し、そしてスケ│
│ │ │ジュールされていなければ、スケジュールす│
│ │ │る。LSAは次のアポイントメントを開始す│
│ │ │る。 │
│ │ │ │
│ロードアポイン│アポイントメン│LSAはプロセスエージェントに通知し、状│
│トメントを完了│ト状態の変更 │態を完了へと変更する。LSAは次のアポイン │
│する │ │トメントを開始する。 │
│ │ │ │
│アンロードアポ│アポイントメン│LSAはプロセスエージェントに通知し、完│
│イントメントを│ト状態の変更 │了へと状態を変更する。LSAは次のアポイ│
│完了する │ │ントメントを開始する。 │
│ │ │ │
│ムーブアポイン│アポイントメン│LSAはアポイントメントを完了し、適切な│
│トメントを完了│ト状態の変更 │場合にはアポイントメントを収縮する。LS│
│する │ │Aはまた終了時刻アラームをキャンセルし、│
│ │ │トランスポート開始時刻を適宜アップデート│
│ │ │し、次のアポイントメントを開始する。 │
│ │ │ │
│ロットアポイン│アポイントメン│MSAはロットプロセスがほぼ完了している│
│トメントをほぼ│ト状態の変更 │ことを示すイクイップメントイベントを受信│
│完了させる │ │するときにこの変更を開始する。LSAはア│
│ │ │ポイントメントの状態をほぼ完了へと変更す│
│ │ │る。次いでLSAはポストコントロールムー│
│ │ │ブアポイントメントをスケジュールし、適切│
│ │ │な場合には次のプロセスオペレーションに対│
│ │ │してスケジューリングを呼び出す。 │
│ │ │ │
│ロットをシフト│アポイントメン│LSAはロットアポイントメントを左へ移 │
│する │ト状態の変更 │動、あるいは時間内で前に移動させようとす│
│ │ │る。左にシフトできない場合、システムは全│
│ │ │てのアクティブでないムーブ、ロード、アン│
│ │ │ロードアポイントメントをキャンセルし、次│
│ │ │いでロットアポイントメントをキャンセルす│
│ │ │る。 │
│ │ │ │
│ロードアポイン│アポイントメン│LSAはロードアポイントメントを左へ移動│
│トメントを左へ│ト状態の変更 │させようとする。左へシフトできない場合、│
│シフトする │ │システムは全てのアクティブでないなムーブ│
│ │ │アポイントメントをキャンセルし、ロード/│
│ │ │アンロードアポイントメントをキャンセル │
│ │ │し、ロットアポイントメントをキャンセルす│
│ │ │る。 │
│ │ │ │
│アンロードアポ│アポイントメン│LSAはアンロードアポイントメントを左へ│
│イントメントを│ト状態の変更 │移動させようとする。左へシフトできない場│
│左へシフトする│ │合、システムは全てのアクティブでないムー│
│ │ │ブアポイントメントをキャンセルし、ロード│
│ │ │/アンロードアポイントメントをキャンセル│
│ │ │し、ロットアポイントメントをキャンセルす│
│ │ │る。 │
│ │ │ │
│ロットアポイン│アポイントメン│LSAは第一のアポイントメントがムーブア│
│トメントを右へ│ト状態の変更 │ポイントメントかどうかを見て確認する。そ│
│シフトする │ │れがムーブアポイントメントであり、アクテ│
│ │ │ィブではない場合、あるいはマシンやマシン│
│ │ │ポート上にない場合、そのムーブアポイント│
│ │ │メントをシフトさせ、ロットアポイントメン│
│ │ │トあるいはロードアポイントメントの開始に│
│ │ │到達させる(ムーブアポイントメントがアク│
│ │ │ティブの場合、ロットアポイントメントある│
│ │ │いはロードアポイントメントの開始へ終了を│
│ │ │拡張する。次いで先行するどのアポイントメ│
│ │ │ントも右へシフトさせる。システムがアポイ│
│ │ │ントメントを右へシフトできない場合は全て│
│ │ │のアクティブでないムーブアポイントメン │
│ │ │ト、どのロード/アンロードアポイントメン│
│ │ │トも、そしてロットアポイントメントをキャ│
│ │ │ンセルする。 │
│ │ │ │
│ロードアポイン│アポイントメン│LSAはその前のアポイントメントがムーブ│
│トメントを右へ│ト状態の変更 │アポイントメントかどうかを見て確認する。│
│シフトする │ │それがムーブアポイントメントであり、アク│
│ │ │ティブでない場合、あるいはマシンやマシン│
│ │ │ポート上にない場合、そのムーブアポイント│
│ │ │メントをシフトさせ、それがロードアポイン│
│ │ │トメントの開始に到達させる(ムーブアポイ│
│ │ │ントメントがアクティブの場合、ロードアポ│
│ │ │イントメントの開始へ終了を拡張する)。次 │
│ │ │いでLSAは先行するどのアポイントメント│
│ │ │も右へシフトする。システムがアポイントメ│
│ │ │ントを右へシフトできない場合は、全てのア│
│ │ │クティブでないムーブアポイントメント、ど│
│ │ │のロード/アンロードアポイントメントも、│
│ │ │そしてロットアポイントメントをキャンセル│
│ │ │する。 │
│ │ │ │
│アンロードアポ│アポイントメン│LSAはアポイントメントを右へシフトす │
│イントメントを│ト状態の変更 │る。システムがアポイントメントを右にシフ│
│右へシフトする│ │トできない場合、LSAはロットアポイント│
│ │ │メントをキャンセルする。それはロットアポ│
│ │ │イントメントに関連する全てのムーブ、ロー│
│ │ │ド、アンロードアポイントメントをキャンセ│
│ │ │ルするものである。 │
│ │ │ │
│ロットアポイン│アポイントメン│LSAはロットアポイントメントを特定の時│
│トメントを収縮│ト状態の変更 │刻へ収縮し、それに続くムーブアポイントメ│
│する │ │ントを時間内で前にシフトする。 │
│ │ │ │
│ロードアポイン│アポイントメン│LSAはロードアポイントメントを特定の時│
│トメントを収縮│ト状態の変更 │刻へ収縮する。 │
│する │ │ │
│ │ │ │
│アンロードアポ│アポイントメン│LSAはアンロードアポイントメントを特定│
│イントメントを│ト状態の変更 │の時刻へ収縮する。 │
│収縮(shrink)す│ │ │
│る │ │ │
│ │ │ │
│予定外のムーブ│ファクトリー状│ロットの現在位置がマシンポートである場 │
│完了 │態の変更(AMHS)│合、次いでシステムはそのロットアポイント│
│ │ │メント以外の全てのアポイントメントをキャ│
│ │ │ンセルする。ロットアポイントメントがキャ│
│ │ │ンセルされるのはそのアポイントメントが別│
│ │ │のマシンに対するものの場合だけである。ア│
│ │ │ポイントメントが別のマシンに対するもので│
│ │ │ある場合は、LSAは全てのアポイントメン│
│ │ │トをキャンセルし、オーバーライドスケジュ│
│ │ │ールを呼び出すためにMSAを待つ。そうで│
│ │ │なければ、システムはロットが次のプロセス│
│ │ │アポイントメントの目的地へ戻るのにどれく│
│ │ │らいの時間がかかるかを決定する。ロットが│
│ │ │まだプロセス開始時刻に間に合う場合、シス│
│ │ │テムは次いで適切なムーブアポイントメント│
│ │ │をスケジュール変更する。ロットが開始時刻│
│ │ │に間に合わない場合は全てのムーブ、ロード│
│ │ │、アンロード、ロットアポイントメントを │
│ │ │キャンセルし、スケジュールを開始する。 │
│ │ │ │
│ロットアポイン│アポイントメン│LSAはロットアポイントメントコミットメ│
│トメントに対す│ト状態の変更 │ントウインドウを適宜アップデートする。コ│
│るコミットメン│ │ミットメントウインドウは所定のアポイント│
│トウインドウの│ │メントに対し、ロットの最も早い開始時刻と│
│アップデート │ │最も遅いデリバリ時刻を表す。コミットメン│
│ │ │トウインドウはアポイントメントが遅れて処│
│ │ │理され、新たな終了時刻がアポイントメント│
│ │ │の最も遅いデリバリ時刻を超えた場合にアッ│
│ │ │プデートされる。 │
│ │ │ │
│ロードアポイン│アポイントメン│LSAはロード開始時刻と残りのロード時間│
│トメントに対す│ト状態の変更 │をロードアポイントメント上に適宜アップデ│
│るロードタイム│ │ートする。 │
│のアップデート│ │ │
│ │ │ │
│間違ったムーブ│アポイントメン│現在のロット位置がマシンポートである場 │
│の完了 │ト状態の変更 │合、次いでシステムはロットアポイントメン│
│ │ │ト以外の全てのアポイントメントをキャンセ│
│ │ │ルする。ロットアポイントメントがキャンセ│
│ │ │ルされるのはアポイントメントが別のマシン│
│ │ │に対するものであった場合である。アポイン│
│ │ │トメントが別のマシンに対するものであった│
│ │ │場合、LSAは全てのアポイントメントをキ│
│ │ │ャンセルし、オーバーライドスケジューリン│
│ │ │グを呼び出すためにMSAを待つ。そうでなけ │
│ │ │れば、システムは次のプロセスアポイントメ│
│ │ │ントの目的地へ、ロットが次のプロセスアポ│
│ │ │イントメントの目的地へ戻るのにどれくらい│
│ │ │の時間がかかるかを決定する。ロットがまだ│
│ │ │本来の処理をするとき、次いでシステムは適│
│ │ │切なムーブアポイントメントを際スケジュー│
│ │ │ルする。ロットが開始時刻に間に合わない場│
│ │ │合、全てのムーブ、ロード、アンロード、ロ│
│ │ │ットアポイントメントはキャンセルされ、ス│
│ │ │ケジューリングを開始する。 │
│ │ │ │
│ロットの期日変│ファクトリー状│ロットがアクティブなプロセスアポイントメ│
│更 │態の変更(ME│ントを有している場合は現在のアポイントメ│
│ │S) │ントあるいは次のアンロードアポイントメン│
│ │ │ト(ある場合は)のどちらか一方をキャンセ│
│ │ │ルする。アポイントメントが“ほぼ完了”の│
│ │ │状態で且つ次のプロセスオペレーションがコ│
│ │ │ントロールオペレーションでない、あるいは│
│ │ │進行中の次のオペレーションがない場合、現│
│ │ │在のロットプロセスアポイントメントの後に│
│ │ │ムーブアポイントメントをスケジュールす │
│ │ │る。そうでなければ次のプロセスオペレーシ│
│ │ │ョンのスケジュールを試みる。ロットがアク│
│ │ │ティブなムーブアポイントメントアクティブ│
│ │ │を有し、且つムーブがマシンポートを目的地│
│ │ │としている場合は、次のロードアポイントメ│
│ │ │ント(ある場合)と次のロットプロセスアポ│
│ │ │イントメントの後のアポイントメントをキャ│
│ │ │ンセルする。そうでなければ、ムーブアポイ│
│ │ │ントメントの後の全アポイントメントをキャ│
│ │ │ンセルし、現在のプロセスオペレーションを│
│ │ │スケジュール変更する。 │
│ │ │ロットがアクティブなフィーダアポイントメ│
│ │ │ントを有する場合、フィーダアポイントメン│
│ │ │トの後の全アポイントメントをキャンセル │
│ │ │し、次のプロセスオペレーションをスケジュ│
│ │ │ール変更する。 │
│ │ │ロットがアクティブなロードアポイントメン│
│ │ │トを有する場合、次のロットアポイントメン│
│ │ │トあるいはロードアポイントメント(ある場│
│ │ │合)の後のアポイントメントをキャンセルす│
│ │ │る。 │
│ │ │ロットがアクティブなアンロードアポイント│
│ │ │メントアクティブを有する場合、現在時刻以│
│ │ │後のアポイントメントをキャンセルする。次│
│ │ │のオペレーションがコントロールオペレーシ│
│ │ │ョンでない、あるいはそれ以上のオペレーシ│
│ │ │ョンがない場合、アンロードアポイントメン│
│ │ │トの後にムーブアポイントメントをスケジュ│
│ │ │ールする。次のプロセスオペレーションに対│
│ │ │しスケジュール変更をする。アクティブなア│
│ │ │ポイントメントがない場合、今後の全アポイ│
│ │ │ントメントをキャンセルし、現在のプロセス│
│ │ │オペレーションをスケジュール変更する。 │
│ │ │ │
│ロットを保留状│ファクトリー状│ロット処理中の場合、ポストムーブアポイン│
│態にする │態の変更(MES) │トメントの後のアポイントメントをキャンセ│
│(lot put on │ │ルする。 │
│hold) │ │ロットがコントロールマシンポートへ移動し│
│ │ │ている場合、ムーブ後の全アポイントメント│
│ │ │をキャンセルし、ロットがマシンポートに到│
│ │ │達するとムーブを最も近いストッカーへスケ│
│ │ │ジューリングする。アンロードアポイントメ│
│ │ │ントが処理している場合、後の全てのアポイ│
│ │ │ントメントをキャンセルし、ポストムーブを│
│ │ │スケジューリングする。フィーダアポイント│
│ │ │メントが処理している場合、アポイントメン│
│ │ │トを収縮し中止し、そしてフィーダアポイン│
│ │ │トメントの後の全アポイントメントをキャン│
│ │ │セルする。ロードアポイントメントが処理し│
│ │ │ている場合、ロードアポイントメントはアン│
│ │ │ロードアポイントメント以外の後の全アポイ│
│ │ │ントメントをキャンセルする。次いでポスト│
│ │ │ムーブアポイントメントをスケジュールす │
│ │ │る。ロットがアクティブなプロセスアポイン│
│ │ │トメントを有してそれが処理あるいはほぼ完│
│ │ │了の状態である場合は、完了が認められる。│
│ │ │次のアポイントメントがアンロードアポイン│
│ │ │トメントの場合、続くアポイントメントは │
│ │ │キャンセルされ、アンロード後にムーブがス│
│ │ │ケジュールされる。次のアポイントメントが│
│ │ │ムーブアポイントメントの場合、それと続く│
│ │ │アポイントメントはキャンセルされ、別のム│
│ │ │ムーブがスケジュールされる。 │
│ │ │続くアポイントメントが無い場合、そのプロ│
│ │ │セスアポイントメントの後にムーブはスケジ│
│ │ │ュールされる。ロットアポイントメントがア│
│ │ │クティブであるが処理あるいは完了でない場│
│ │ │合、それは収縮あるいは中止される。次のア│
│ │ │ポイントメントがアンロードアポイントメン│
│ │ │トである場合、続くアポイントメントはキャ│
│ │ │ンセルされ且つムーブアポイントメントがス│
│ │ │ケジュールされる。次のアポイントメントが│
│ │ │ムーブアポイントメントである場合、それは│
│ │ │キャンセルされ、別のムーブアポイントメン│
│ │ │トがスケジュールされる。次のアポイントメ│
│ │ │ントがない場合は、ムーブアポイントメント│
│ │ │がスケジュールされる。 │
│ │ │ロットがフィーダアポイントメントにある場│
│ │ │合、それは収縮且つ中止され、そして全ての│
│ │ │続くアポイントメントがキャンセルされる。│
│ │ │ロットがロードアポイントメントにあり、処│
│ │ │理状態にある場合、続くロットプロセスアポ│
│ │ │イントメントはキャンセルされる。次のアン│
│ │ │ロードアポイントメントは残され、続く全て│
│ │ │のアポイントメントはキャンセルされる。ム│
│ │ │ーブアポイントメントはアンロードアポイン│
│ │ │トメントの後にスケジュールされる(双方と│
│ │ │もRSAにより開始されたアポイントメント│
│ │ │の変更に対して後で前にシフトする)。ロー │
│ │ │ドアポイントメントが処理していない場合、│
│ │ │それと続くアポイントメントはキャンセルさ│
│ │ │れ、ムーブアポイントメントがスケジュール│
│ │ │される。 │
│ │ │ロットがアンロードアポイントメントにある│
│ │ │場合、続く全てのアポイントメントはキャン│
│ │ │セルされ、アンロードアポイントメントの後│
│ │ │にムーブアポイントメントがスケジュールさ│
│ │ │れる。 │
│ │ │ロットがムーブアポイントメントにあり、ム│
│ │ │ーブが開始した場合、続く全てのアポイント│
│ │ │メントはキャンセルされる。ムーブがマシン│
│ │ │ポートに対する場合、ムーブは │
│ │ │ロットがムーブアポイントメント上にあり開│
│ │ │始していない場合、ムーブアポイントメント│
│ │ │は中止され、続く禅アポイントメントはキャ│
│ │ │ンセルされる。 │
│ │ │ │
│処理変更 │ファクトリー状│ロットがアクティブなプロセスアポイントメ│
│(process │態の変更 │ントを有する場合、現在のアポイントメント│
│changed) │ │あるいは次のアンロードアポイントメント │
│ │ │(ある場合)のどちらか一方をキャンセルす│
│ │ │る。そのアポイントメントが“ほぼ完了”の│
│ │ │状態にあり、且つ次のプロセスオペレーショ│
│ │ │ンがコントロールオペレーションでない、あ│
│ │ │るいは進行中の次のオペレーションがない場│
│ │ │合、現在のロットアポイントメントの後にム│
│ │ │ーブアポイントメントをスケジューリングす│
│ │ │る。アポイントメントがほぼ完了し、次のオ│
│ │ │ペレーションがコントロールオペレーション│
│ │ │の場合、次のプロセスオペレーションのスケ│
│ │ │ジュールを試みる。ロットがアクティブなム│
│ │ │ーブアポイントメントを有し、ムーブの目的│
│ │ │地がマシンポートの場合、次のロードおよび│
│ │ │アンロードアポイントメント(ある場合)と│
│ │ │次のロットプロセスアポイントメントの後の│
│ │ │アポイントメントをキャンセルする。 │
│ │ │ロットがアクティブなフィーダアポイントメ│
│ │ │ントを有する場合、フィーダアポイントメン│
│ │ │トの後の全アポイントメントをキャンセル │
│ │ │し、先行のどのフィーダアポイントメントと│
│ │ │同様に次のプロセスオペレーションをスケジ│
│ │ │ュール変更する。 │
│ │ │ロットがアクティブなロードアポイントメン│
│ │ │トを有する場合、次のロードアポイントメン│
│ │ │トの後のアポイントメントをキャンセルす │
│ │ │る。 │
│ │ │ロットがアクティブなアンロードアポイント│
│ │ │メントを有する場合、現在時刻以後のアポイ│
│ │ │ントメントをキャンセルする。次のオペレー│
│ │ │ションがコントロールオペレーショでない、│
│ │ │あるいはそれ以上のオペレーションがない場│
│ │ │合は、アンロードアポイントメントの後にム│
│ │ │ーブアポイントメントをスケジューリングす│
│ │ │る。次のプロセスオペレーションに対しスケ│
│ │ │ジュール変更をする。アクティブなアポイン│
│ │ │トメントがない場合、今後の全アポイントメ│
│ │ │ントをキャンセルし、現在のプロセスオペレ│
│ │ │ーションをスケジュール変更する。 │
│ │ │ │
│プロセスオペレ│ファクトリー状│LSAは全てのアクティブでないアポイント│
│ーションの変更│態の変更(MES) │メントを削除する。次いでLSAは新たなプ│
│ │ │ロセスオペレーションがコントロールあるい│
│ │ │はフィーダプロセスオペレーションであるか│
│ │ │どうかを見て確認する。プロセスオペレーシ│
│ │ │ョンがフィーダの場合、次いでエージェント│
│ │ │は次のプロセスオペレーションをスケジュー│
│ │ │ルする。プロセスオペレーションがコントロ│
│ │ │ールであり且つエージェントがこのプロセス│
│ │ │オペレーションに対しアポイントメントを有│
│ │ │さない場合、LSAはこのプロセスオペレー│
│ │ │ションをスケジューリングする。 │
│ │ │ロットがアクティブなプロセスアポイントメ│
│ │ │ントを有する場合、現在のアポイントメント│
│ │ │あるいは次のアンロードアポイントメント │
│ │ │(ある場合)のどちらか一方をキャンセルす│
│ │ │る。アポイントメントが“ほぼ完了”の状態│
│ │ │にあり且つ次のプロセスオペレーションがコ│
│ │ │ントロールロールオペレーションではない、│
│ │ │あるいは進行中の次のオペレーションがない│
│ │ │場合は、現在のロットプロセスアポイントメ│
│ │ │ント後にムーブアポイントメントをスケジュ│
│ │ │ールする。アポイントメントがほぼ完了であ│
│ │ │り、次のオペレーションがコントロールオペ│
│ │ │レーションの場合、次のプロセスオペレーシ│
│ │ │ョンのスケジュールを試みる。ロットがアク│
│ │ │ティブなムーブアポイントメントを有し、そ│
│ │ │のムーブがマシンポートを目的地としている│
│ │ │場合は、その次のロードおよびアンロードア│
│ │ │ポイントメント(ある場合)と次のロットプ│
│ │ │ロセスアポイントメントの後のアポイントメ│
│ │ │ントをキャンセルする。そうでなければ、ム│
│ │ │ーブアポイントメントの後の全アポイントメ│
│ │ │ントをキャンセルし、現在のプロセスオペレ│
│ │ │ーションをスケジュール変更する。 │
│ │ │ロットがアクティブなフィーダアポイントメ│
│ │ │ントを有する場合、フィーダアポイントメン│
│ │ │トの後の全アポイントメントをキャンセル │
│ │ │し、それに先立つフィーダアポイントメント│
│ │ │と同様に次のプロセスオペレーションをスケ│
│ │ │ジュール変更する。 │
│ │ │ロットがアクティブなロードアポイントメン│
│ │ │トを有する場合、その次のアンロードアポイ│
│ │ │ントメントの後のアポイントメントをキャン│
│ │ │セルする。 │
│ │ │ロットがアクティブでないアンロードアポイ│
│ │ │ントメントを有する場合、現在時刻以後のア│
│ │ │ポイントメントをキャンセルする。次のオペ│
│ │ │レーションがコントロールオペレーションで│
│ │ │ない、あるいはそれ以上のオペレーションが│
│ │ │ない場合、アンロードアポイントメントの後│
│ │ │にムーブアポイントメントをスケジュールす│
│ │ │る。次のプロセスオペレーションに対しスケ│
│ │ │ジュール変更をする。アクティブなアポイン│
│ │ │トメントがない場合、今後の全てのアポイン│
│ │ │トメントをキャンセルし、現在のプロセスオ│
│ │ │ペレーションをスケジュール変更する。 │
│ │ │ │
│ウエハ数が減少│ファクトリー状│ロットに対するウエハ数が減少する場合、M│
│する │態の変更(ME│SAはまだ開始していないそのカレンダー上│
│ │S) │にロットアポイントメントを収縮する。MS│
│ │ │Aは適度にアポイントメントを収縮させよう│
│ │ │とする。MSAは収縮されない、まだ開始し│
│ │ │ていないどのロットアポイントメントもキャ│
│ │ │ンセルする。LSAはその次に、MSAによ│
│ │ │ってなされたアポイントメントの変更に、変│
│ │ │更の内容によって反応する。 │
│ │ │ │
│ウエハ数が増加│ファクトリー状│ロットに対するウエハ数が増加する場合、M│
│する │態の変更(ME│SAはまだ開始していないそのカレンダー上│
│ │S) │にロットアポイントメントを拡張する。MS│
│ │ │Aは適度にアポイントメントを拡張しようと│
│ │ │する。MSAは拡張されない、まだ開始して│
│ │ │いないどのロットアポイントメントもキャン│
│ │ │セルする。LSAはその次に、MSAによっ│
│ │ │てなされたアポイントメントの変更に、変更│
│ │ │の内容によって反応する。 │
│ │ │ │
│ロット終了 │ファクトリー状│システムはロットに対する全アポイントメン│
│ │態の変更(ME│トをキャンセルする。 │
│ │S) │ │
│ロットが入る │ファクトリー状│ロットがセグメントの第一のオペレーション│
│(lot move in) │態の変更 │ではないフィーダオペレーションへ移動する│
│ │ │場合、LSAはアポイントメントの終了時刻│
│ │ │を現在時刻と等しく調整しさらにそのオペレ│
│ │ │ーションに対し処理時間を加える。次いでL│
│ │ │SAは終了時刻アラームを設定する。フィー│
│ │ │ダオペレーションが最終フィーダの場合、L│
│ │ │SAは適当なムーブアポイントメントととも│
│ │ │にマックスムーブアポイントメントを置き換│
│ │ │え、残りのトランスポート時間をアップデー│
│ │ │トする。 │
│ │ │ │
│ロットが出る │ファクトリー状│ロットが変更したオペレーションがフィーダ│
│(lot move out)│態の変更 │オペレーションである場合、LSAは完全に│
│ │ │フィーダアポイントメントを収縮し、続くフ│
│ │ │ィーダとマックスムーブアポイントメントを│
│ │ │キャンセルし、次のオペレーションと先立つ│
│ │ │どのフィーダアポイントメントもスケジュー│
│ │ │ルする。ロットが変更したオペレーションが│
│ │ │コントロールオペレーションの場合、何もア│
│ │ │クションは起こされない(次のオペレーショ│
│ │ │ンは完了に使い状態でスケジュールされてい│
│ │ │た)。ロットが変更したオペレーションが通 │
│ │ │常(コントロールあるいはフィーダでない)│
│ │ │オペレーションの場合、LSAはオペレーシ│
│ │ │ョンをロット変更へスケジューリングする。│
│ │ │ │
│試験的リクエス│ファクトリー状│ERFは特定のロットをどのように処理する│
│トフォーム(E│態の変更(ME│かについての具体的な指示を含む。ERFは│
│RF)状態の変│S) │ロットに添付あるいはロットから削除され、│
│更 │ │そしてLSAはこれが発生するときに通知さ│
│experimental │ │れる。LSAはそれぞれのロットプロセスア│
│request form │ │ポイントメントのMSAを通知し、そして続│
│ │ │いてアポイントメントの状態変更に反応する│
│ │ │(パーティシペートしている今後のどのバッ│
│ │ │チアポイントメントとももはや競合できない│
│ │ │場合)。 │
│ │ │ │
│オーバーライド│ファクトリー状│ビッドリクエストとアポイントメント変更リ│
│ロットアポイン│態の変更(ME│スナが作られ、MSAへ戻される(これはマ│
│トメント │S) │シンポート上に配置されるスケジュールされ│
│ │ │ていないロットに対するものである)。 │
│マシンがタイム│アポイントメン│LSAは新たなタイムスロットでオペレーシ│
│スロットを通知│ト状態の変更 │ョンに対しプロセスアポイントメントを改良│
│する │ │できるかどうか決定する。出来る場合、次い│
│ │ │でLSAはアポイントメントをキャンセル │
│ │ │し、通知されたタイムスロットに対するアポ│
│ │ │イントメントをスケジュール変更するために│
│ │ │提示するビッドメッセージをパブリッシュす│
│ │ │る。 │
│イベント │イベントタイプ│応答的スケジューリングエージェント │
│ │ │ │
│PM/Qualアポ│アポイントメン│PMアポイントメントはキャンセルされスケ│
│イントメント│ト状態の変更 │ジュール変更される。 │
│をキャンセル│ │ │
│する │ │ │
│ │ │ │
│PM/Qualアポ│アポイントメン│MSAはPMアポイントメントが遅れている│
│イントメント│ト状態の変更 │ときにこの変更を開始する。PMSAは拡張│
│を拡張する │ │されているPMプロセスアポイントメントの│
│ │ │右に全てのアポイントメントをシフトするこ│
│ │ │とによってこの変更に反応する。シフトされ│
│ │ │ないアポイントメントはキャンセルされ、ス│
│ │ │ケジュール変更される。次いでPMアポイン│
│ │ │トメントを特定の時間に拡張する。 │
│ │ │ │
│PM/Qualアポ│アポイントメン│MSAはPM処理が妨げられたときにこの変│
│イントメント│ト状態の変更 │更を開始する。MSAはアポイントメントの│
│を中止する │ │状態を中止へと変更する。PMSAはアポイ│
│ │ │ントメントをスケジュール変更をする。 │
│ │ │ │
│PM/Qualアポ│アポイントメン│MSAはMSAがPMが開始したことを知っ│
│イントメント│ト状態の変更 │たときにこの変更を開始する。MSAはアポ│
│を処理する │ │イントメントを処理状態へと変更する。 │
│ │ │ │
│PM/Qualアポ│アポイントメン│MSAはPMが処理を完了したときにこの変│
│イントメント│ト状態の変更 │更を開始し、適宜にアポイントメントを収縮│
│を完了する │ │する。PMSAは処理エージェントに通知し│
│ │ │、状態を完了へと変更し、マシンあるいは現│
│ │ │在時刻上に現在のウエハ数とともにPMの最終│
│ │ │発生をアップデートする。 │
│ │ │ │
│PMアポイント│アポイントメン│MSAは次のQualが開始時間なったとき│
│メントをアク│ト状態の変更 │にこの変更を開始する。PMSAはアポイン│
│ティブPM/Qu│ │トメントの状態を“アクティブ”へと変更す│
│alにす │ │る。 │
│る │ │ │
│ │ │ │
│PMアポイント│アポイントメン│MSAはPMアポイントメントのQual部(por│
│メントを処理│ト状態の変更 │tion)を示すファクトリー状態の変更を受信 │
│PM/Qualにす│ │したときにこの変更を開始する。PMSAは│
│る │ │るのアポイントメントの状態を処理PM/Qual│
│ │ │へと変更する。 │
│ │ │ │
│PM/Qualアポ│アポイントメン│PMSAはPMアポイントメントを左へ移動│
│イントメント│ト状態の変更 │しようとする。左へシフトできない場合、シ│
│を左へシフト│ │ステムはアポイントメントをキャンセルしそ│
│する │ │れをスケジュール変更する。 │
│ │ │ │
│PM/Qualアポ│アポイントメン│PMSAはPMアポイントメントを右へ移動│
│イントメント│ト状態の変更 │しようとする。右へシフトできない場合、シ│
│を右へシフト│ │ステムはアポイントメントをキャンセルし、│
│する │ │それをスケジュール変更をする。 │
│ │ │ │
│PM/Qualアポ│アポイントメン│PMSAは特定の時間へPMアポイントメン│
│イントメント│ト状態の変更 │トを収縮する。 │
│を収縮する │ │ │
│ │ │ │
│PM/Qualアポ│アポイントメン│PMアポイントメントのコミットメントウイ│
│イントメント│ト状態の変更 │ンドウはアップデートされる。コミットメン│
│に対するコミ│ │トウインドウは所定のアポイントメントに対│
│ットメントウ│ │してPMの最も早い起動時間と最も遅いデリ│
│インドウのア│ │バリ時間を表す。 │
│ップデート │ │ │
│ │ │ │
│PM/Qualアポ│アポイントメン│PMアポイントメントは存在する場合はカレン│
│イントメント│ト状態の変更 │ダー内においてキャンセルされる。次いでそ│
│をオーバーラ│ │れはビッドリクエストとアポイントメント変│
│イドする │ │更リスナを作り、それをMSAへ戻す。これ│
│ │ │は開始されているスケジュールされていない│
│ │ │PMに対応するものである。 │
│ │ │ │
│MESマシンイ │ファクトリー状│PMSAはこのイベントに依存しているどの│
│ベントを検出│態の変更 │PMあるいはQual内でのイベントの発生│
│する │ │数を適宜アップデートする。次いでこのイベ│
│ │ │ント発生により引き起こされるどのPMある│
│ │ │いはQualもスケジューリングする。それ│
│ │ │らは現在のところそのカレンダー上にスケジ│
│ │ │ュールされていないものである。 │
│ │ │ │
│ロット処理が│ファクトリー状│PMSAは処理された材料の数に基づきスケ│
│マシン上で完│態の変更 │ジュールされている全てのPMあるいはQua│
│了する │ │lに対するコミットメントウインドウを再確│
│ │ │認する。コミットメントウインドウが無効で│
│ │ │ある場合、PMSAはPMあるいはQual│
│ │ │が新たなウインドウ内にスケジュールされる│
│ │ │場合にコミットメントウインドウをアップデ│
│ │ │ートするか、あるいは既存のアポイントメン│
│ │ │トをキャンセルし、新たなウインドウ内にて│
│ │ │スケジュールを変更するかのどちらかである│
│ │ │。またトリガー点に到着し、前にスケジュー│
│ │ │ルされていない、処理された材料の数に基づ│
│ │ │きいずれのPMあるいはQualをもスケ │
│ │ │ジュールする。 │
│ │ │ │
│アラームが始│アラームイベン│PMSAはトリガー点に到着し、そして前に│
│動する │ト │スケジュールされていない、タイムベースの│
│ │ │PMあるいはQualをスケジューリングす│
│ │ │る。 │
│イベント │イベントタイプ│応答的スケジューリングアクティビティ │
│ │ │ │
│ロード(アン│アラームイベン│このアラームは特定のロード(アンロード)│
│ロード)アポ│ト │アポイントメントのスケジュールした起動時│
│イントメント│ │間が到達したことを示す。リソースアポイン│
│に対するアポ│ │トメントスケジューラはアポイントメントが│
│イントメント│ │アクティブでない場合はアポイントメントを│
│開始時刻のア│ │アクティブにする。またリソースアポイント│
│ラームが始動│ │メントスケジューラは必要に応じてアポイン│
│する │ │トメント終了時刻も作る。このリソースアポ│
│ │ │イントメントスケジューラはプロセスエージ│
│ │ │ェントにアポイントメントの処理を開始する│
│ │ │ように通知する。 │
│ │ │ │
│ディスチャー│アラームイベン│このアラームは特定のディスチャージアポイ│
│ジアポイント│ト │ントメントのスケジュールした開始時間が到│
│メントに対す│ │達したことを示す。リソースアポイントメン│
│るアポイント│ │トスケジューラはアポイントメントがアクテ│
│メント開始時│ │ィブでない場合はアポイントメントをアクテ│
│間のアラーム│ │ィブにする。また必要に応じてアポイントメ│
│が始動する │ │ントの終了時刻も作る。リソースアポイント│
│ │ │メントスケジューラはプロセスエージェント│
│ │ │にアポイントメントの処理を開始するように│
│ │ │通知する。 │
│ │ │ │
│ロード(アン│アラームイベン│このアラームは特定のロード(アンロード)│
│ロード)アポ│ト │アポイントメントのスケジュールした終了時│
│イントメント│ │刻が到達したことを示す。リソースアポイン│
│に対するアポ│ │トメントスケジューラはアポイントメントを│
│イントメント│ │最大の拡張パーセンテージが達せられるまで│
│終了時刻のア│ │(例175%)本来スケジュールされた持続│
│ラームが始動│ │時間のパーセンテージ(例:25%)で拡張│
│する │ │する。アポイントメントを拡張する前に、続│
│ │ │いて予約されたアポイントメントは時間内で│
│ │ │後にシフトされる。新たな終了時刻アラーム│
│ │ │は拡張されたロード(アンロード)アポイン│
│ │ │トメントに対し設定される。 │
│ │ │ │
│チャージアポ│アラームイベン│このアラームは特定のチャージアポイントメ│
│イントメント│ト │ントのスケジュールした終了時刻が到達した│
│に対するアポ│ │ことを示す。リソースアポイントメントスケ│
│イントメント│ │ジューラはアポイントメントを最大の拡張パ│
│終了時刻のア│ │ーセンテージが達せられるまで(例175%)│
│ラームが始動│ │本来スケジュールされた持続時間のパーセン│
│する │ │テージ(例:25%)で拡張する。アポイン│
│ │ │トメントを拡張する前に、続いて予約された│
│ │ │アポイントメントは時間内で後ろにシフトさ│
│ │ │れる。新たな終了時刻アラームは拡張された│
│ │ │ロード(アンロード)アポイントメントに対│
│ │ │し設定される。 │
│ │ │ │
│マシンバッチ│アポイントメン│MSAは対応のマシンバッチアポイントメン│
│アポイントメ│トの状態変更 │トに対する開始時間が到達したときにこの変│
│ントがその状│ │更を開始する。RSAは対応の現在のチャー│
│態をアクティ│ │ジアポイントメントの状態をアクティブへと│
│ブへ状態する│ │変更し、そして新たな終了時刻アラームはア│
│ │ │クティブにされたチャージアポイントメント│
│ │ │に対し設定される。 │
│ │ │ │
│マシンバッチ│アポイントメン│MSAはマシンバッチアポイントメントが実│
│アポイントメ│トの状態変更 │際に開始されたときにこの変更を開始する。│
│ントがその状│ │このチャージアポイントメントはまだアクテ│
│態を処理へ変│ │ィブ状態を有す。 │
│更する │ │ │
│ │ │ │
│マシンバッチ│アポイントメン│MSAは対応のマシンバッチアポイントメン│
│アポイントメ│トの状態変更 │ト処理が実際に完了したときにこの変更を開│
│ントがその状│ │始する。RSAは対応のディスチャージアポ│
│態を完了へ変│ │イントメントのアポイントメント状態を完了│
│更する │ │状態へと変更する。 │
│ │ │ │
│ロットロード│アポイントメン│LSAはロットロードアポイントメントが後│
│(アンロード)│トの状態変更 │の時間へシフトされたときにこの変更を開始│
│アポイントメ│ │する。RSAはその対応するロードアポイン│
│ントが後の時│ │トメントを再調整し、そして必要に応じてそ│
│間へシフトさ│ │のカレンダー上に別のアポイントメントをシ│
│れる │ │フトする。そのアポイントメントが開始時刻│
│ │ │アラームを有している場合はアラームのアッ│
│ │ │プデートが実行される。 │
│ │ │ │
│マシンバッチ│アポイントメン│MSAはマシンバッチアポイントメントが後│
│アポイントメ│トの状態変更 │の時間にシフトされたときにロットスケジュ│
│ントを右に、│ │ーリングカレンダーからこの変更を開始ある│
│後の時間へシ│ │いは変更への対応を開始する。RSAは対応│
│フトする │ │のチャージおよびディスチャージアポイント│
│ │ │メントを後の時間にシフトする。そのカレン│
│ │ │ダー上の別のアポイントメントもまたシフト│
│ │ │される。 │
│ │ │ │
│マシンバッチ│アポイントメン│MSAはマシンバッチアポイントメントが収│
│アポイントメ│トの状態変更 │縮されたときにこの変更を開始する。ディス│
│ント収縮する│ │チャージアポイントメントがアクティブでな│
│ │ │いとき、RSAは対応のディスチャージアポ│
│ │ │イントメントを前の時間にシフトする。そう│
│ │ │でなければRSAはディスチャージアポイン│
│ │ │トメントを収縮する。ディスチャージアポイ│
│ │ │ントメントに対する開始時刻アラームあるい│
│ │ │は終了時刻アラームはアップデートされる必│
│ │ │要がある。 │
│ │ │ │
│マシンバッチ│アポイントメン│MSAはマシンバッチアポイントメントが拡│
│アポイントメ│トの状態変更 │張したときにこの変更を開始する。ディスチ│
│ントを拡張す│ │ャージアポイントメントがアクティブでない│
│る │ │とき、RSAは対応のディスチャージアポイ│
│ │ │ントメントを後の時間にシフトする。そうで│
│ │ │なければRSAはディスチャージアポイント│
│ │ │メントを拡張する。ディスチャージアポイン│
│ │ │トメントに対する開始時刻アラームあるいは│
│ │ │終了時刻アラームはアップデートされる必要│
│ │ │がある。 │
│ │ │ │
│ロードが開始│ファクトリー状│装置(イクイップメント)インターフェース│
│する │態の変更(EI)│(EI)はRSAにロードが開始したことを知│
│ │ │らせる。RSAはロードされたロットが予想│
│ │ │されたものあるいは予想外のものかどうかに│
│ │ │よって反応する。全てのロットが予想された│
│ │ │ものであるが、しかしオーダーをロードする│
│ │ │ことはカレンダー上のアポイントメントとは│
│ │ │異なるものである場合、RSAはそのロード│
│ │ │アポイントメントとそれらのパーティシパン│
│ │ │トを再調整する。 │
│ │ │ │
│キャリアが到│ファクトリー状│EIはRSAにキャリアが到達したことを知│
│達する │態の変更 │らせる。予想通りのロットを運んでいれば、│
│ │ │RSAは対応のリソースロードロットアポイ│
│ │ │ントメントの状態を動作可能状態へと変更す│
│ │ │る。 │
│ │ │ │
│ロードをアッ│ファクトリー状│EIよりの通知で、対応のロードアポイント│
│プデートする│態の変更 │メントがバッチジョブにおける第一のもので│
│ │ │はない場合、RSAはまず前のロードアポイ│
│ │ │ントメントを収縮し、フォローアップロード│
│ │ │アポイントメントを早い開始時刻へ戻し(pul│
│ │ │l)、前のロードアポイントメントのアポイン│
│ │ │トメント状態を完了状態へと変更する。前の│
│ │ │ロードアポイントメントに対する終了時刻ア│
│ │ │ラームはキャンセルされる。PMSAは次の│
│ │ │ロードアポイントメント状態をアクティブへ│
│ │ │と変更する。 │
│ │ │ │
│ロードが完了│ファクトリー状│ロードが完了したというEIによる通知で、│
│する │態の変更 │RSAは対応のロードアポイントメントを収│
│ │ │縮し、終了時刻アラームをキャンセルし、最│
│ │ │終ロードアポイントメントのアポイントメン│
│ │ │ト状態を完了状態へと変更する。 │
│ │ │ │
│チャージが開│EIイベント │チャージが開始したというEIによる通知で│
│始する │ │、RSAはチャージアポイントメントの状態を │
│ │ │処理状態へと変更する。 │
│ │ │ │
│チャージが完│EIイベント │チャージが完了したというEIによる通知で│
│了する │ │、RSAはチャージアポイントメントを収縮│
│ │ │し、終了時刻アラームをキャンセルし、チャ│
│ │ │ージアポイントメントの状態を完了状態へと│
│ │ │変更する。フォローアップアンロードアポイ│
│ │ │ントメントがいくつかある場合は、アンロー│
│ │ │ドアポイントメントを早い開始時間へと戻し│
│ │ │、アンロードアポイントメントを開始する。│
│ │ │ │
│ディスチャー│EIイベント │ディスチャージが開始したというEIによる│
│ジを開始する│ │通知で、RSAはディスチャージアポイント│
│ │ │メントの状態を処理状態へと変更する。 │
│ │ │ │
│アンロードが│EIイベント │アンロードが開始したというEIによる通知│
│開始する │ │で、RSAは第一のアンロードアポイントメ│
│ │ │ントの状態を処理状態へと変更する。 │
│ │ │ │
│アンロードを│EIイベント │EIからの通知で、アンロードアポイントメ│
│アップデート│ │ントはアップデートされる。対応のアンロー│
│する │ │ドアポイントメントがアンロード開始イベン│
│ │ │トにおいて最終アポイントメントではない場│
│ │ │合、RSAは対応のアンロードアポイントメ│
│ │ │ントを収縮し、その終了時刻アラームをキャ│
│ │ │ンセルし、その状態を完了状態へと変更する│
│ │ │。次いでRSAは次のアンロードアポイント│
│ │ │メントを早い時間へ戻し、次のアンロードア│
│ │ │ポイントメントの処理を開始する。対応のア│
│ │ │ンロードアポイントメントがアンロード開始│
│ │ │イベントにおいて最後のアポイントメントで│
│ │ │ある場合、RSAはアンロード完了イベント│
│ │ │を待つ。 │
│ │ │ │
│アンロードを│EIイベント │アンロードが完了したというEIよりの通知│
│完了する │ │で、RSAはアンロードアポイントメントを│
│ │ │収縮し、その終了時刻アラームをキャンセル│
│ │ │し、アポイントメントの状態を完了状態へと│
│ │ │変更する。 │
│ │ │ │
│予想外のアン│EIイベント │アンロードが予想外に開始(すなわち、次の│
│ロードが開始│ │アポイントメントがアンロードアポイントメ│
│する │ │ントではない、あるいは移動の順番がスケジ│
│ │ │ュールされた順番とは異なる場合)したとい│
│ │ │うEIよりの通知で、RSAはスケジュール│
│ │ │アンロードアポイントメントを変更し、最初│
│ │ │のアポイントメントをアクティブにする。オ│
│ │ │ーバーラップしているアポイントメントは後│
│ │ │の時間にシフトされるかキャンセルされる。│
│ │ │ │
│予想外のロー│EIイベント │ロードが予想外に開始(すなわち、次のアポ│
│ドが開始する│ │イントメントがロードアポイントメントでは│
│ │ │ない、あるいは移動の順番がスケジュールさ│
│ │ │れた順番とは異なる場合)したというEIよ│
│ │ │りの通知で、次のチャージアポイントメント│
│ │ │のパーティシパントのひとつではないロット│
│ │ │がリストにある場合、RSAはロットリスト│
│ │ │とバッチIDを通過し、適切な対応のためにM│
│ │ │SAへ向かう。全てのロットが次のチャージ│
│ │ │アポイントメントにあり、しかし移動の順番│
│ │ │がスケジュールされたアポイントメントとは│
│ │ │異なる場合、RSAはロードアポイントメン│
│ │ │トをスケジュール変更する。 │
Claims (19)
- プロセスフロー(100)において所定のイベントの発生を検出し、
ソフトウエアスケジューリングエージェント(305、310、315、320)に前記イベントの発生を通知し、
前記所定のイベントの検出に応じて前記ソフトウエアスケジューリングエージェント(305、310、315、320)に応答してアクションをスケジューリングする、自動化製造環境でのスケジューリング方法。 - 前記所定のイベントの検出では、計画されていないイベントあるいは予想外のイベントを検出する、請求項1記載の方法。
- 前記所定のイベントの検出では、アポイントメントの状態変更、ファクトリーの状態変更、およびアラームイベントのうちの一つの発生を検出する、請求項1記載の方法。
- 前記所定のイベントの検出では、アポイントメントのキャンセル、アポイントメントの拡張、アポイントメントの収縮、アポイントメントの中止、アポイントメントがアクティブになる、アポイントメントが完了に近づく、アポイントメントの完了、アポイントメントをシフトする、アポイントメントのオーバーライド、コミットメントウインドウのアップデート、ダウンタイムの発生を検出、マシンが利用できるようになる、PM/Qualが検出される、チェンバが故障する、チェンバが利用できるようになる、マシン能力の変更、マシン種類の変更、プロセスの追加、プロセスオペレーションの追加、ロットがマシンに到達する、ロットプロセスの変更、ロットが保留状態で配置される、ロットが保留状態から開放される、ロットの優先事項・プライオリティの変更、ロットの期日変更、ロットのウエハ数変更、ロットプロセスオペレーションの変更、ロットがマシンから外れる、アポイントメント開始時刻に対するアラーム始動およびアポイントメント終了時刻に対するアラーム始動、のうちの少なくとも一つを検出することを含む、請求項1記載の方法。
- 前記ソフトウエアスケジューリングエージェント(305、310、315、320)に前記所定のイベントの発生の通知では、
パブリッシャ(352)へ前記発生の指示を送り、
前記パブリッシャ(352)からサブスクライブリスナ(358)へ前記発生をパブシッリュし、
前記サブスクライブリスナ(358)から前記ソフトウエアスケジューリングエージェント(305、310、315、320)を呼び出すことを含む、請求項1記載の方法。 - 前記アクションのスケジューリングでは、進行中のスケジュールアポイントメントを中止すること、スケジュールアポイントメントが開始する前にスケジュールアポイントメントをキャンセルすること、新たなアポイントメントをスケジューリングすること、スケジュールアポイントメントを開始すること、スケジュールアポイントメントの持続時間を拡張すること、スケジュールアポイントメントの持続時間を収縮すること、スケジュールアポイントメントをシフトすること、新たな処理能力・プロセスケイパビリティを追加すること、古い処理能力を削除すること、アラームを設定すること、アラームをキャンセルすること、アポイントメントの状態を変更することのうちの少なくとも一つがなされる、請求項1記載の方法。
- 前記所定のイベントと関連するアポイントメントを積極的にスケジューリングする、請求項1記載の方法。
- プロセスフロー(100)での所定のイベントの発生を検出するための手段と、
ソフトウエアスケジューリングエージェント(305、310、315、320)に前記所定のイベントの発生を通知するための手段と、
前記所定のイベントの検出に応じてソフトウエアスケジューリングエージェント(305、310、315、320)に応答してアクションをスケジューリングするための手段とを有した、自動化製造環境でのスケジュール用装置。 - 前記所定のイベントの発生を検出するための手段は、計画されていないイベントあるいは予想外のイベントを検出するための手段を含む、請求項8記載の装置。
- 前記所定のイベントの発生を検出するための手段は、アポイントメント状態の変更、ファクトリー状態の変更、アラームイベントのうちの一つの発生を検出するための手段を含む、請求項8記載の装置。
- 前記所定のイベントを検出するための手段は、アポイントメントのキャンセル、アポイントメントの拡張、アポイントメントの縮小、アポイントメントの中止、アポイントメントの状態を変更、アポイントメントのシフト、アポイントメントのオーバーライド、トランスポート時間のアップデート、ロード時間のアップデート、アンロード時間のアップデート、ロットをバッチに結合する、ロットがバッチから離れる、バッチからのロットをキャンセルする、コッミットメントウインドウをアップデートする、ダウンタイムの発生を検出する、マシンが利用可能になる、PM/Qualが検出される、チェンバが故障する、チェンバが利用可能になる、マシン能力の変更、マシン種類の変更、プロセスの追加、プロセスオペレーションの追加、ロットがマシンに到達する、ロットプロセスを変更する、ロットが保留で配置される、ロットが保留から開放される、ロットの優先事項の変更、ロットの期日変更、ロットのウエハ数変更、ロットのプロセスオペレーション変更、ロットがマシンを外れる、アポイントメント開始時刻に対するアラーム始動、アポイントメント終了時刻に対するアラーム始動のうち少なくとも一つを検出するための手段を含む、請求項8記載の装置。
- 前記ソフトウエアスケジューリングエージェント(305、310、315、320)に前記発生を通知する手段は、
パブリッシャ(352)へ前記発生の指示を送る手段と、
パブリッシャ(352)からサブスクライブリスナ(358)へ前記発生をパブリッシュするための手段と、
前記サブスクライブリスナ(358)から前記ソフトウエアスケジューリングエージェント(305、310、315、320)を呼び出すための手段と、を含む、請求項8記載の装置。 - 前記応答してアクションをスケジューリングするための手段は、進行中のスケジュールアポイントメントを中止すること、スケジュールアポイントメントが開始する前にスケジュールアポイントメントをキャンセルすること、新たなアポイントメントをスケジューリングすること、スケジュールアポイントメントを開始すること、スケジュールアポイントメントの持続時間を拡張すること、スケジュールアポイントメントの持続時間を縮めること、スケジュールアポイントメントをシフトすること、新たな処理能力を追加すること、古い処理能力を削除すること、アラームを設定すること、アラームをキャンセルすること、アポイントメントの状態を変更することのうちの少なくとも一つのための手段を含む、請求項8記載の装置。
- 前記所定のイベントと関連するアポイントメントを積極的にスケジューリングするための手段を更に有した、請求項8記載の装置。
- プロセスフロー(100)と、
コンピュータシステムと、を有し、
前記コンピュータシステムは、当該コンピュータシステム上に存在する複数のソフトウエアスケジューリングエージェント(305、310、315、320)を含み、前記ソフトウエアスケジューリングエージェント(305、310、315、320)は複数の所定のイベントに応じた処理の流れ(100)におけるアクティビティに対するアポイントメントに応答してスケジューリングすることが可能である、自動化製造環境。 - プロセスフロー(100)において所定のイベントのうちの一つの発生を検出し、一つのソフトウエアエージェント(265)にその発生を通知することが出来る、複数のパブリッシャ及びサブスクライバを更に有する、請求項15記載の自動化製造環境。
- 少なくとも一つの生産実行システム(270)及び自動化マテリアルハンドリングシステム(280)を更に有する、請求項15記載の自動化製造環境。
- 前記コンピュータシステムは、ローカルエリアネットワーク、広域ネットワーク、イントラネット、インターネットの一部、のうちの少なくとも一つである、請求項15記載の自動化製造環境。
- 前記処理の流れ(100)は一部の半導体製造設備を有する、請求項15記載の自動化製造環境。
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