JP2005508274A5

JP2005508274A5 -

Info

Publication number: JP2005508274A5
Application number: JP2003512125A
Authority: JP
Filing date: 2002-07-12
Publication date: 2005-12-22

Claims

複数のフィルム・フレームを保持するカセットであって、前記カセットは、閉上部、閉底部、対向する閉側壁、閉背部、及び開口前部を有する容器部を備え、前記容器部は、前記複数のフィルム・フレームを水平に且つ離間した状態で且つ垂直方向に積み重なった配置に保持する複数の水平な棚、及び軸部と保持部とを備える一対の回動可能な保持部材を備え、前記フィルム・フレーム保持部材は、垂直な回転軸を有し、且つ前記容器部の前記側壁に隣接して軸旋回可能に配置され、且つ前記棚上のフィルム・フレームを保持する保持位置と引込み位置との間で回動可能である、カセット。
保持されるべきウエハがフィルム・フレームに接着され、前記カセットは、開口前部を覆うために、スライド可能且つ前記容器部と係合可能なドアを更に備える、請求項１に記載のカセット。
前記ドアは、前記容器部の上方から、前記容器部とスライド可能に垂直に係合する、請求項２に記載のカセット。
前記容器部は開口前部と隣接する内面を有し、前記ドアは、前記ドアが容器部に配置された状態で前記容器部の内部に向って内側に延出する構造体を備え、前記ドアが、容器部の内面との摩擦密着により前記開口前部に保持される、請求項２に記載のカセット。
前記フィルム・フレーム保持部材の各々はそれと連結されたハンドルを有し、前記ハンドルにより、前記保持部材は保持位置から引込み位置へ手動で移動可能である、請求項１に記載のカセット。
前記カセットは前記フィルム・フレーム保持部材に連結された一対の螺旋カム機構を更に備え、前記螺旋カム機構の各々は前記容器部の前記閉底部の下方に延出する係合部を有し、前記カセットが自由面に配置された時、前記係合部により前記保持部材が作動し、前記部材が引込み位置から保持位置へ移動する、請求項１に記載のカセット。
前記容器部は、フィルム・フレームの挿入及び離脱の領域、並びに前記挿入及び離脱の領域を貫通する保持部材の回転軸を有する、請求項１に記載のカセット。
各保持部材はＣ字型であり、前記保持部材が引込み位置にある時、前記フィルム・フレームは前記容器部に対して挿入及び離脱可能である、請求項７に記載のカセット。
前記カセットは、延出した使用位置から引込み位置へ引込み可能な一対の取っ手を更に備える、請求項８に記載のカセット。
各取っ手は少なくとも二つの爪を形成する少なくとも二つの弾性柔軟突起を備え、前記容器部は、前記弾性柔軟突起を受承し、且つ各取っ手を前記容器部に回転軸連結状態に係止する少なくとも二つの開口を有する、請求項８に記載のカセット。
前記閉上部、閉底部、対向する閉側壁、閉背部、及び複数の水平な棚は全て一体であり、且つ樹脂から構成される、請求項１に記載のカセット。
複数のウエハを保持するカセットであって、前記カセットは容器部及びドアを備え、前記容器部は、閉上部、閉底部、対向する閉側壁、閉背部、及び開口前部を有し、前記容器部は、前記複数のウエハを水平に且つ離間した状態で且つ垂直方向に積み重なった配置に保持する複数の水平な棚、及び軸部と保持部とを備える一対の回動可能な保持部材を更に備え、前記ウエハ保持部材は、垂直な回転軸を有し、且つ前記容器部の前記側壁に隣接して軸旋回可能に配置され、且つ前記棚上のウエハを保持する保持位置と引込み位置との間で回動可能である、カセット。
前記容器部は、ウエハを複数のフィルム・フレームに接着することによりウエハを保持するように構成されている、請求項１２に記載のカセット。
前記閉上部、閉底部、対向する閉側壁、閉背部、及び複数の水平な棚は全て一体であり、且つ樹脂から構成される、請求項１２に記載のカセット。
前記カセットは、前記保持部材及び前記容器部に連結する螺旋カム機構を更に備え、前記螺旋カム機構は、前記容器部の前記底部に設けられた孔を貫通して延出する係合部を備える、請求項１２に記載のカセット。
フィルム・フレーム・カセットは、互いに隣接し、且つＵ字型の取っ手を受承する一対のブラケットを各々が備える二つの側面を有する一体化外殻部を備え、前記取っ手は、上方の搬送位置と下方の非使用位置との間で垂直にスライドするように構成されている、フィルム・フレーム・カセット。
カセットと、そこに収容される複数のフィルム・フレーム又はウエハとの組合せ品であって、前記カセットは容器部及びドアを備え、前記容器部は、一体化された閉上部と、閉背部と、閉底部と、対向する閉側壁と、前記複数のウエハを水平に且つ離間した状態で且つ垂直方向に積み重なった配置に保持する複数の水平な棚と、開口前部と、開口内部とを備え、前記容器部は開口前部に隣接する内面を有し、前記ドアは、前記開口内部へ内側に延出し、且つ前記開口前部に隣接する内面と摩擦密着して前記ドアを前記容器部内に固定するように配置された複数の構造体を有する単一の硬質な一体化された構成要素を備え、前記構造体の一方は前記カセットの内部の一方の側面において上方へ延出し、前記構造体の他方は前記カセットの内部の他方の側面において上方へ延出し、前記構造体はドア開口部の前方の縁よりも少なくとも１と１／２インチ（３．８１センチメートル）延出する、組合せ品。
前記ドアは単一の基準壁を有する、請求項１７に記載の組合せ品。
ウエハを保持するカセットであって、前記カセットは、閉上部、閉底部、対向する閉側壁、閉背部、及び開口前部を有する容器部を備え、前記カセットは、前記ウエハを水平に且つ離間した状態で且つ垂直方向に積み重なった配置に保持する複数の水平な棚と、垂直な回転軸を有し、且つフィルム・フレームの外殻部の側壁に隣接して軸旋回可能に配置され、且つ前記棚上のフィルム・フレームを保持するように内側に軸旋回可能な一対の回動可能な保持部材と、使用位置と引込み位置との間で展開可能な容器部に設けられた一対の取っ手とを有する、カセット。
本明細書において開示され、例示されたウエハ・カセット。