JP2005353775A - エピタキシャル装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
ガス供給源からのガス流量の不均一を無くし、半導体ウェーハにエピタキシャル膜を均一に成膜するエピタキシャル装置を提供する。
【解決手段】
エピタキシャル装置の反応室内に半導体ウェーハを収容する。次いで、ガス供給源により反応ガスを発生させる。そして、反応ガスをガス整流部材11を介して半導体ウェーハに供給する。ガス整流部材11は、上下一対の所定幅の上板および下板と、これらの上板41および下板42の幅方向の両端同士を連結する一対の側板43とからなり、これらの上板41、下板42および一対の側板43により囲まれて断面矩形の単一のガス流通路18が画成されている。これにより、反応ガスは、仕切の影響を受けずに反応室に供給される。この結果、エピタキシャル装置の反応室内において、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を均一の厚さに成膜することができる。
【選択図】図3
ガス供給源からのガス流量の不均一を無くし、半導体ウェーハにエピタキシャル膜を均一に成膜するエピタキシャル装置を提供する。
【解決手段】
エピタキシャル装置の反応室内に半導体ウェーハを収容する。次いで、ガス供給源により反応ガスを発生させる。そして、反応ガスをガス整流部材11を介して半導体ウェーハに供給する。ガス整流部材11は、上下一対の所定幅の上板および下板と、これらの上板41および下板42の幅方向の両端同士を連結する一対の側板43とからなり、これらの上板41、下板42および一対の側板43により囲まれて断面矩形の単一のガス流通路18が画成されている。これにより、反応ガスは、仕切の影響を受けずに反応室に供給される。この結果、エピタキシャル装置の反応室内において、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を均一の厚さに成膜することができる。
【選択図】図3
Description
この発明は半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成膜するエピタキシャル装置、詳しくはエピタキシャル装置の反応室における反応ガスを整流するガス整流部材の改良に関する。
エピタキシャルウェーハは、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル成長によるエピタキシャル膜が成膜されたものである。近年、MOSメモリデバイスの高集積化に伴い、α粒子によるメモリの誤動作(ソフトエラー)やCMOS・ICにおけるラッチアップが無視できなくなっている。これらの問題解決に、エピタキシャル膜を有するエピタキシャルウェーハが有効であることが認識されており、最近ではCMOS・ICの製造にエピタキシャルウェーハが積極的に使用されている。
エピタキシャル膜を成膜する装置には、枚葉式のエピタキシャル装置がある。このエピタキシャル装置は、コンパクトな反応室を有しており、ハロゲンランプによる輻射加熱方式を採用している。枚葉処理であるため、均熱条件、ガス流分布の設計が容易であり、エピタキシャル膜特性を高くすることが可能である。したがって、大口径の半導体ウェーハを処理するのに有効な装置である。
エピタキシャル膜を成膜する装置には、枚葉式のエピタキシャル装置がある。このエピタキシャル装置は、コンパクトな反応室を有しており、ハロゲンランプによる輻射加熱方式を採用している。枚葉処理であるため、均熱条件、ガス流分布の設計が容易であり、エピタキシャル膜特性を高くすることが可能である。したがって、大口径の半導体ウェーハを処理するのに有効な装置である。
最近のトランジスタのゲート長の微細化に伴い、平坦度の高いエピタキシャルウェーハが要求される。このため、半導体ウェーハ表面のエピタキシャル膜の厚みを全面に均一に成長させる必要がある。従来のエピタキシャル装置においては、反応室内のサセプタに搭載された半導体ウェーハを回転しながら、反応室内に反応ガスを供給して半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成長させている。反応ガスは、ガス整流部材により整流され、反応室内の半導体ウェーハに均一に供給される。この反応ガスが半導体ウェーハに均一に供給されないと、エピタキシャル膜の厚みを全面に均一に成長させることができないからである。
従来のエピタキシャル装置として、特許文献1には、ガス供給源から排出された反応ガスを、ガス整流部材を介して、半導体ウェーハの表面に供給する気相成長装置が記載されている。この特許文献1には、ガス整流部材(ガス案内部材)に配設された仕切板の数、仕切板の配置位置、仕切板の配置方向など工夫して均一に反応ガスを半導体ウェーハに供給する技術が開示されている。
また、従来のエピタキシャル装置として、反応ガスを図8に示すようなガス整流部材51を使用して、半導体ウェーハWの表面に供給するエピタキシャル装置がある。このガス整流部材51には、上下一対の所定幅の上板および下板と、これらの上板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板とが設けられている。そして、上板の幅方向の中心位置に、上板と下板とを連結する仕切板52が配設されている。
従来のエピタキシャル装置として、特許文献1には、ガス供給源から排出された反応ガスを、ガス整流部材を介して、半導体ウェーハの表面に供給する気相成長装置が記載されている。この特許文献1には、ガス整流部材(ガス案内部材)に配設された仕切板の数、仕切板の配置位置、仕切板の配置方向など工夫して均一に反応ガスを半導体ウェーハに供給する技術が開示されている。
また、従来のエピタキシャル装置として、反応ガスを図8に示すようなガス整流部材51を使用して、半導体ウェーハWの表面に供給するエピタキシャル装置がある。このガス整流部材51には、上下一対の所定幅の上板および下板と、これらの上板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板とが設けられている。そして、上板の幅方向の中心位置に、上板と下板とを連結する仕切板52が配設されている。
上記特許文献1に記載のエピタキシャル装置のガス整流部材には、その内部にガスを整流するための仕切板が設けられている。反応ガスは、ガス供給源により生成される。そして、この反応ガスは、ガス整流部材の仕切板間に設けられた複数の流通路を介して、半導体ウェーハに供給される。各流通路に流れる反応ガスは、同一または異なるガス流がそれぞれ生じている。そして、各流通路の反応ガスは、仕切板の干渉(摩擦)を受け、ガス流の中心部と仕切板側とで流速が異なっている。このため、仕切板に囲まれた各流通路の反応ガス間で流速が遅い部分が存在する。反応室内に設置された半導体ウェーハの全体からみると、仕切板が存在する半導体ウェーハの中心部と、中心部から外周までのR/2近傍の部分とにガス流の流量の落ち込みが存在してしまう。
また、図8に示すエピタキシャル装置のガス整流部材51にあっては、上記仕切板52により反応ガスの流れが二分(G2aおよびG2b)される。よって、この仕切板52の位置にあたる半導体ウェーハWの中央部のガスの流れが悪くなってしまう。
この結果、半導体ウェーハWにエピタキシャル膜を成膜したとき、半導体ウェーハW中央部のエピタキシャル膜の厚みの落ち込みが存在してしまう。したがって仕切板の有するガス整流部材を備えたエピタキシャル装置にあっては、エピタキシャル膜の厚みを全面に不均一に成長させることになる。
また、図8に示すエピタキシャル装置のガス整流部材51にあっては、上記仕切板52により反応ガスの流れが二分(G2aおよびG2b)される。よって、この仕切板52の位置にあたる半導体ウェーハWの中央部のガスの流れが悪くなってしまう。
この結果、半導体ウェーハWにエピタキシャル膜を成膜したとき、半導体ウェーハW中央部のエピタキシャル膜の厚みの落ち込みが存在してしまう。したがって仕切板の有するガス整流部材を備えたエピタキシャル装置にあっては、エピタキシャル膜の厚みを全面に不均一に成長させることになる。
この発明は、このような問題点に鑑みなされたもので、ガス供給源からのガス流量の不均一を無くし、半導体ウェーハにエピタキシャル膜の厚みを全面に均一に成膜するエピタキシャル装置を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、半導体ウェーハが収容される反応室と、反応室に反応ガスを供給するガス供給源とを備え、ガス供給源から反応ガスをガス整流部材を介して反応室に供給するエピタキシャル装置において、上記ガス整流部材は、上下一対の所定幅の上板および下板と、これらの上板および下板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板とからなり、これらの上板、下板および一対の側板により囲まれて断面矩形の単一のガス流通路を画成したエピタキシャル装置である。
半導体ウェーハとしては、シリコンウェーハ、ゲルマニウムウェーハまたはSiCウェーハなどを採用することができる。
上板、下板および側板で構成されるガス整流部材の素材は限定されない。例えば、石英で形成される。ガス整流部材の上板、下板の幅も限定されない。上板および下板の幅は反応室内に設置される半導体ウェーハの大きさにより適宜選択される。また、側板の高さも限定されない。ガス流通路は、これらの上板、下板および側板により囲まれて画成される。
半導体ウェーハとしては、シリコンウェーハ、ゲルマニウムウェーハまたはSiCウェーハなどを採用することができる。
上板、下板および側板で構成されるガス整流部材の素材は限定されない。例えば、石英で形成される。ガス整流部材の上板、下板の幅も限定されない。上板および下板の幅は反応室内に設置される半導体ウェーハの大きさにより適宜選択される。また、側板の高さも限定されない。ガス流通路は、これらの上板、下板および側板により囲まれて画成される。
請求項1に記載のエピタキシャル装置にあっては、半導体ウェーハを、反応室内に収容する。そして、ガス供給源により反応ガスを発生させる。そして、反応ガスをガス整流部材を介して半導体ウェーハに供給する。上記ガス整流部材は、上下一対の所定幅の上板および下板と、これらの上板および下板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板とからなり、これらの上板、下板および一対の側板により囲まれた断面矩形の単一のガス流通路が画成されている。これにより、反応ガスは、上記ガス流通路を介して、半導体ウェーハに流通路の幅方向にて均一に供給することができる。従来のガス整流部材に設けられた仕切板に起因するガス流間の流速低下も無い。この結果、エピタキシャル装置の反応室内において、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を全面に均一の厚さに成膜することができる。
請求項2に記載の発明は、半導体ウェーハが収容される反応室と、反応室に反応ガスを供給するガス供給源とを備え、ガス供給源から反応ガスをガス整流部材を介して反応室に供給するエピタキシャル装置において、上記ガス整流部材は、上下一対の所定幅の上板および下板と、これらの上板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板とを備え、これらの上板、下板および一対の側板により囲まれて断面矩形のガス流通路を画成するとともに、上板の幅方向の中心より側板側にずれた位置に、上板と下板とを連結する仕切板を配設して上記ガス流通路を分割したエピタキシャル装置である。
請求項2に記載のエピタキシャル装置にあっては、ガス整流部材は、上下一対の所定幅の上板および下板と、これらの上板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板とを備えている。これにより、これらの上板、下板および一対の側板により囲まれた断面矩形のガス流通路が画成される。そして、上板の幅方向の中心より側板側にずれた位置に、上板と下板とを連結する仕切板を配設することにより、上記ガス流通路が分割される。これにより、反応ガスは、このガス流通路を介して半導体ウェーハの表面に供給される。従来設けられていた反応ガスの流路に、この反応ガスを二分する仕切板は設けられていない。この結果、半導体ウェーハにエピタキシャル膜を成膜したとき、半導体ウェーハ中心部のエピタキシャル膜の厚みの落ち込みが改善される。
請求項3に記載の発明は、上記ガス供給源から上記ガス整流部材の幅方向に並設された複数のガス送入口を介して、上記ガス整流部材のガス流通路に反応ガスが供給される請求項1または請求項2に記載のエピタキシャル装置である。
ガス送入口の数も限定されない。ガス送入口の数は半導体ウェーハの大きさにより適宜選択される。
ガス送入口の数も限定されない。ガス送入口の数は半導体ウェーハの大きさにより適宜選択される。
請求項3に記載のエピタキシャル装置にあっては、複数のガス送入口が略水平に並列して設けられる。各ガス送入口から排出された各反応ガスは、ガス整流部材の流通路を介して半導体ウェーハに供給される。各反応ガスは、ガス整流部材の流通路により渾然一体となり反応室に送流される。これにより、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を均一の厚さに成膜することができる。
この発明によれば、半導体ウェーハを、反応室に収容する。そして、ガス供給源により反応ガスを発生させる。そして、反応ガスを、ガス整流部材を介して半導体ウェーハに供給する。上記ガス整流部材は、上下一対の所定幅の上板および下板と、これらの上板および下板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板とからなり、これらの上板、下板および一対の側板により囲まれて断面矩形のガス流通路が画成されている。これにより、反応ガスは、上記ガス流通路を介して反応室内に設置された半導体ウェーハに均一に供給することができる。従来のガス整流部材に設けられた仕切板によるガス流間の流速低下も無い。この結果、エピタキシャル装置の反応室内において、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を全面に均一の厚さに成膜することができる。
以下、この発明の一実施例を、図1から図7を参照して説明する。
まず、この発明の一実施例に係るエピタキシャル装置10を図1〜図4を参照して説明する。
図1は、この発明の一実施例に係るエピタキシャル装置10の概略構成を示す垂直断面図である。このエピタキシャル装置10には、凹面を有する円形の上側ドーム3と同じく円形の下側ドーム4とが設けられる。上側ドーム3および下側ドーム4は、石英などの透明な素材で形成されている。そして、上側ドーム3と下側ドーム4とを上下に対向して配設し、これらの端縁部は円環状のドーム取付体6の上下面にそれぞれ固定される。これにより、平面視して略円形の密閉された反応室2が形成される。反応室2の上方および下方には、反応室2内を加熱する図示しないハロゲンランプが円周方向に略均等間隔で離間して複数個それぞれ設けられる。
反応室2には、シリコンウェーハWを搭載するサセプタ20が配設されている。サセプタ20は、反応室2内の高温に耐え得るように炭素基材の表面にSiC被膜をコーティングしたものが採用されている。サセプタ20は所定厚さの円板状である。サセプタ20の半径は搭載するシリコンウェーハWのそれより大きい。
サセプタ20の裏面側(下方)には、これを支持するためのサセプタ支持部材8が設けられる。サセプタ支持部材8は、下方に軸部7が固着して設けられる。軸部7は、図示していない駆動機構により回転自在に設けられ、その結果、円筒形状のサセプタ支持部材8およびサセプタ20も水平面内で所定速度で回転自在に設けられる。
そして、反応室2のドーム取付体6の所定位置には、反応室2にガスを流入するガス供給口31が設けられる。また、ドーム取付体6の対向位置(ガス供給口31と180°離間した位置)には、反応室2内のガスをこの外部へ排出するガス排出口32が設けられている。反応ガスは、下記のガス供給部より生成されてガス供給口31から反応室2に供給される。
まず、この発明の一実施例に係るエピタキシャル装置10を図1〜図4を参照して説明する。
図1は、この発明の一実施例に係るエピタキシャル装置10の概略構成を示す垂直断面図である。このエピタキシャル装置10には、凹面を有する円形の上側ドーム3と同じく円形の下側ドーム4とが設けられる。上側ドーム3および下側ドーム4は、石英などの透明な素材で形成されている。そして、上側ドーム3と下側ドーム4とを上下に対向して配設し、これらの端縁部は円環状のドーム取付体6の上下面にそれぞれ固定される。これにより、平面視して略円形の密閉された反応室2が形成される。反応室2の上方および下方には、反応室2内を加熱する図示しないハロゲンランプが円周方向に略均等間隔で離間して複数個それぞれ設けられる。
反応室2には、シリコンウェーハWを搭載するサセプタ20が配設されている。サセプタ20は、反応室2内の高温に耐え得るように炭素基材の表面にSiC被膜をコーティングしたものが採用されている。サセプタ20は所定厚さの円板状である。サセプタ20の半径は搭載するシリコンウェーハWのそれより大きい。
サセプタ20の裏面側(下方)には、これを支持するためのサセプタ支持部材8が設けられる。サセプタ支持部材8は、下方に軸部7が固着して設けられる。軸部7は、図示していない駆動機構により回転自在に設けられ、その結果、円筒形状のサセプタ支持部材8およびサセプタ20も水平面内で所定速度で回転自在に設けられる。
そして、反応室2のドーム取付体6の所定位置には、反応室2にガスを流入するガス供給口31が設けられる。また、ドーム取付体6の対向位置(ガス供給口31と180°離間した位置)には、反応室2内のガスをこの外部へ排出するガス排出口32が設けられている。反応ガスは、下記のガス供給部より生成されてガス供給口31から反応室2に供給される。
次に、ガス供給部について図2および図3を参照して詳細に説明する。
図2は、シリコンウェーハWに反応ガスを供給する概略構成を示す平面図である。
図2に示すように、ガス供給部には、反応ガスを発生するガス供給源14が配設される。そして、この発生した反応ガスを反応室2に送流するガス管15aが設けられる。ガス管15aは途中、シリコンウェーハWの中央部と周辺部とのガス管15b、15cに二分される。2つのガス管15b、15cには、ガス供給源14からのガス量を調節するガス弁16a、16bがそれぞれ配設される。そして、二分されたガス管15bは、さらに二分される。そして、反応ガスG1〜G3を排出するガス送入口17a〜17cが3つ略水平に並列して形成される。
図2は、シリコンウェーハWに反応ガスを供給する概略構成を示す平面図である。
図2に示すように、ガス供給部には、反応ガスを発生するガス供給源14が配設される。そして、この発生した反応ガスを反応室2に送流するガス管15aが設けられる。ガス管15aは途中、シリコンウェーハWの中央部と周辺部とのガス管15b、15cに二分される。2つのガス管15b、15cには、ガス供給源14からのガス量を調節するガス弁16a、16bがそれぞれ配設される。そして、二分されたガス管15bは、さらに二分される。そして、反応ガスG1〜G3を排出するガス送入口17a〜17cが3つ略水平に並列して形成される。
そして、各ガス送入口17a〜17cと対向して、略水平にインジェクトキャップ33が設けられる。インジェクトキャップ33は、上板、下板および一対の側板とで画成されたガス流路を有している。そして、このガス流路は、上板および下板に連結された仕切板34a、34bにより、3つに分割されている。
さらに、インジェクトキャップ33に対向してバッフル13が略水平に設けられる。図4に示すように、バッフル13には、ガス送入口17a〜17cとの対向面に、ガス導入孔19が略水平に複数形成されている。このガス導入孔19により、反応ガスG1〜G3として幅方向にきめ細かく整流することができる。ガス導入孔19は、中央部に7個、両端側に4個づつそれぞれ形成されている。中央部の7個のガス導入孔19は、ガス注入口17bに対向して設けられる。また、両側のガス導入孔19は、ガス注入口17aおよび17bにそれぞれ対向して設けられている。
そして、バッフル13と隣接してガス整流部材11が設けられる。図3に示すように、ガス整流部材11は、所定幅とガス流方向に所定長さを有する水平な上板41と、所定間隔離間して下方に位置する下板42と、これらの上板41と下板42との幅方向の両端同士を連結する一対の側板43とからなる。これらの上板41、下板42、一対の側板43の内部に略矩形の部分が単一のガス流通路18を画成する。すなわち、ガス整流部材11は、上板41、下板42、側板43とからなり、断面が矩形の偏平な角筒を水平に配したものである。ガス整流部材11の素材は、石英で形成されている。
ガス整流部材11のガス流通路18は、所定高低差を有する段差部21を経て反応室2のガス供給口31と連通している。
さらに、インジェクトキャップ33に対向してバッフル13が略水平に設けられる。図4に示すように、バッフル13には、ガス送入口17a〜17cとの対向面に、ガス導入孔19が略水平に複数形成されている。このガス導入孔19により、反応ガスG1〜G3として幅方向にきめ細かく整流することができる。ガス導入孔19は、中央部に7個、両端側に4個づつそれぞれ形成されている。中央部の7個のガス導入孔19は、ガス注入口17bに対向して設けられる。また、両側のガス導入孔19は、ガス注入口17aおよび17bにそれぞれ対向して設けられている。
そして、バッフル13と隣接してガス整流部材11が設けられる。図3に示すように、ガス整流部材11は、所定幅とガス流方向に所定長さを有する水平な上板41と、所定間隔離間して下方に位置する下板42と、これらの上板41と下板42との幅方向の両端同士を連結する一対の側板43とからなる。これらの上板41、下板42、一対の側板43の内部に略矩形の部分が単一のガス流通路18を画成する。すなわち、ガス整流部材11は、上板41、下板42、側板43とからなり、断面が矩形の偏平な角筒を水平に配したものである。ガス整流部材11の素材は、石英で形成されている。
ガス整流部材11のガス流通路18は、所定高低差を有する段差部21を経て反応室2のガス供給口31と連通している。
次に、エピタキシャル装置10を使用して、シリコンウェーハWの表面にエピタキシャル膜を成膜する方法について図1〜図3を参照して説明する。
まず、直径200mm、比抵抗15mΩcmのシリコンウェーハW(片面研磨ウェーハ)を準備する。次いで、このシリコンウェーハWを、その研磨面を上方にして反応室2内の図示していない移載機構により、サセプタ20の表面に載置する。この後、反応室2を密閉する。そして、サセプタ支持部材8の軸部7を所定速度で回転させて、サセプタ20に搭載されたシリコンウェーハWを回転させる。
まず、直径200mm、比抵抗15mΩcmのシリコンウェーハW(片面研磨ウェーハ)を準備する。次いで、このシリコンウェーハWを、その研磨面を上方にして反応室2内の図示していない移載機構により、サセプタ20の表面に載置する。この後、反応室2を密閉する。そして、サセプタ支持部材8の軸部7を所定速度で回転させて、サセプタ20に搭載されたシリコンウェーハWを回転させる。
次に、ガス供給源14により、シリコンソースガスであるSiHCl3およびボロンドーパントガスであるB2H6を水素ガスで希釈して混合した反応ガスを発生させる。そして、この反応ガスをガス管15aに送入する。次いで、ガス管15b、15cに設けられたガス弁16a、16bを介して、各ガス送入口17a〜17cより反応ガスG1〜G3を排出する。なお、ガス弁16a、16bにより、シリコンウェーハW周辺部に対して排出する反応ガスG1、G3の量と、シリコンウェーハW中心部に対して排出する反応ガスG2の量とを調節することが可能である。
この後、各ガス送入口17a〜17cから排出された反応ガスG1〜G3は、バッフル13の面に形成されたガス導入孔19を通過する。反応ガスG1〜G3は、このバッフル13のガス導入孔19によりきめ細かく整流される。
そして、反応ガスG1〜G3は、ガス整流部材11の流通路18に送入される。ガス流通路18は、上板41、下板42および側板43で画成された単一のガス流通路18が形成されている。これにより、各ガス送入口17a〜17cから排出された各反応ガスG1〜G3は、バッフル13を介してこの流通路18に送流される。そして、流通路内で各反応ガスG1〜G3は、流通路18内で渾然一体となり送流される。このため、反応ガスG1〜G3は、従来あった仕切板による影響を受けることもなく送流される。
ガス整流部材11の流通路18に流れた反応ガスG1〜G3は、段差部21に当接する。そして、段差部21を乗り越えて、ガス供給口31から反応室2内に送流される。
この後、各ガス送入口17a〜17cから排出された反応ガスG1〜G3は、バッフル13の面に形成されたガス導入孔19を通過する。反応ガスG1〜G3は、このバッフル13のガス導入孔19によりきめ細かく整流される。
そして、反応ガスG1〜G3は、ガス整流部材11の流通路18に送入される。ガス流通路18は、上板41、下板42および側板43で画成された単一のガス流通路18が形成されている。これにより、各ガス送入口17a〜17cから排出された各反応ガスG1〜G3は、バッフル13を介してこの流通路18に送流される。そして、流通路内で各反応ガスG1〜G3は、流通路18内で渾然一体となり送流される。このため、反応ガスG1〜G3は、従来あった仕切板による影響を受けることもなく送流される。
ガス整流部材11の流通路18に流れた反応ガスG1〜G3は、段差部21に当接する。そして、段差部21を乗り越えて、ガス供給口31から反応室2内に送流される。
同時に、反応室2内でシリコンウェーハWと反応させるために使用された上記反応ガスをガス排出口32を介して排出ガス整流部材12から排出する。そして、反応室2の上方および下方に設けられた図示しないハロゲンランプにより、熱を輻射させてシリコンウェーハWの温度を1070℃に保持する。このとき、シリコンウェーハWを保持するサセプタ20は、下方のハロゲンランプによって、サセプタ支持部材8を介して均一にその輻射熱を受ける。そして、ガス供給源14からのガスは、ガス整流部材11を介してガス供給口31から排出されてシリコンウェーハWに均一に供給される。これにより、厚さ約6μm、比抵抗10ΩcmのP型のエピタキシャル膜を均一にシリコンウェーハWの表面に成長させることができる。
次に、本発明の一実施例に係るエピタキシャル装置10により成膜されたエピタキシャル膜の膜厚分布についての実験を行った。ガス整流部材11は、図3に示すものを用いて、エピタキシャル膜を成膜させた。膜厚の分布は、膜厚分布図を用いて確認した。なお、比較例として、仕切板を複数有するガス整流部材11を用いてエピタキシャル膜を成膜した。この発明に係るガス整流部材11の場合を図6、比較例のガス整流部材の場合を図7に示す。図6に示すように、この発明に係るガス整流部材11を用いると、エピタキシャル膜厚の均一性が向上することが確認された。従来の場合では各仕切板に対応した膜厚の不均一が確認される。すなわち、各仕切位置に対応した部分に膜厚の低下が確認される。
以上の結果、ガス整流部材11を単一のガス流通路18で形成することにより、従来設けられた仕切板に対応した膜厚の低下もみられず、エピタキシャル膜の厚みを全面に均一に成膜することができる。
以上の結果、ガス整流部材11を単一のガス流通路18で形成することにより、従来設けられた仕切板に対応した膜厚の低下もみられず、エピタキシャル膜の厚みを全面に均一に成膜することができる。
本実施例に係るエピタキシャル装置20は、上記実施例1に係るエピタキシャル装置10に対して以下の変更を加えたものである。すなわち、実施例1のガス整流部材に上板41と下板とを連結する仕切板35a、35bを設けることにより、3つのガス流通路を設けたことである。
具体的には、図5に示すように、ガス整流部材11は、上下一対の所定幅の上板41および下板42と、これらの上板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板43とを備えている。これにより、これらの上板41、下板42および一対の側板43により囲まれた断面矩形のガス流通路38a〜38cが画成される。そして、上板41の幅方向の中心より側板43側にずれた位置に、上板41と下板42とを連結する仕切板35a、35bを配設することにより、上記ガス流通路38a〜38cが3つに分割されている。
次に、上記ガス整流部材11を用いて、エピタキシャル膜を成膜する。
ガス供給源14から反応ガスが発生し、この反応ガスがガス注入口17a〜17cに送流されるまでの工程は実施例1と同じである。ガス注入口17a〜17cから排出される反応ガスG1〜G3は、インジェクトキャップ33およびバッフル13を介して、ガス整流部材11に形成された3つのガス流通路38a〜38cにそれぞれ送流される。中央の反応ガスG2の流路には、従来あったガス流を二分する仕切板が設けられていない。よって、反応ガスG2は、仕切板による影響を受けることもなく半導体ウェーハWの表面に送流される。この結果、半導体ウェーハWにエピタキシャル膜を成膜したとき、半導体ウェーハW中央部のエピタキシャル膜の厚みの落ち込みが改善される。
具体的には、図5に示すように、ガス整流部材11は、上下一対の所定幅の上板41および下板42と、これらの上板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板43とを備えている。これにより、これらの上板41、下板42および一対の側板43により囲まれた断面矩形のガス流通路38a〜38cが画成される。そして、上板41の幅方向の中心より側板43側にずれた位置に、上板41と下板42とを連結する仕切板35a、35bを配設することにより、上記ガス流通路38a〜38cが3つに分割されている。
次に、上記ガス整流部材11を用いて、エピタキシャル膜を成膜する。
ガス供給源14から反応ガスが発生し、この反応ガスがガス注入口17a〜17cに送流されるまでの工程は実施例1と同じである。ガス注入口17a〜17cから排出される反応ガスG1〜G3は、インジェクトキャップ33およびバッフル13を介して、ガス整流部材11に形成された3つのガス流通路38a〜38cにそれぞれ送流される。中央の反応ガスG2の流路には、従来あったガス流を二分する仕切板が設けられていない。よって、反応ガスG2は、仕切板による影響を受けることもなく半導体ウェーハWの表面に送流される。この結果、半導体ウェーハWにエピタキシャル膜を成膜したとき、半導体ウェーハW中央部のエピタキシャル膜の厚みの落ち込みが改善される。
10 エピタキシャル装置、
W シリコンウェーハ(半導体ウェーハ)、
11 ガス整流部材、
14 ガス供給源、
17a〜17c ガス送入口、
18 ガス流通路、
38a〜38c ガス流通路、
41 上板、
42 下板、
43 側板。
W シリコンウェーハ(半導体ウェーハ)、
11 ガス整流部材、
14 ガス供給源、
17a〜17c ガス送入口、
18 ガス流通路、
38a〜38c ガス流通路、
41 上板、
42 下板、
43 側板。
Claims (3)
- 半導体ウェーハが収容される反応室と、反応室に反応ガスを供給するガス供給源とを備え、ガス供給源から反応ガスをガス整流部材を介して反応室に供給するエピタキシャル装置において、
上記ガス整流部材は、上下一対の所定幅の上板および下板と、
これらの上板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板とからなり、
これらの上板、下板および一対の側板により囲まれて断面矩形の単一のガス流通路を画成したエピタキシャル装置。 - 半導体ウェーハが収容される反応室と、反応室に反応ガスを供給するガス供給源とを備え、ガス供給源から反応ガスをガス整流部材を介して反応室に供給するエピタキシャル装置において、
上記ガス整流部材は、上下一対の所定幅の上板および下板と、
これらの上板の幅方向の両端同士を連結する一対の側板とを備え、
これらの上板、下板および一対の側板により囲まれて断面矩形のガス流通路を画成するとともに、
上板の幅方向の中心より側板側にずれた位置に、上板と下板とを連結する仕切板を配設して上記ガス流通路を分割したエピタキシャル装置。 - 上記ガス供給源から上記ガス整流部材の幅方向に並設された複数のガス送入口を介して、上記ガス整流部材のガス流通路に反応ガスが供給される請求項1または請求項2に記載のエピタキシャル装置。
Priority Applications (1)
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-
2004
- 2004-06-09 JP JP2004171861A patent/JP2005353775A/ja active Pending
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