JP2005353633A - 半導体装置の製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】埋め込み配線を備えた層間絶縁膜のさらなる低誘電率化を図ることが可能な半導体装置の製造方法および半導体装置を提供する。
【解決手段】低誘電率膜である有機膜2とSiOC系膜4との間に、保護膜としてSiO2膜3を挟持してなる積層構造の層間絶縁膜を、基板1上に形成する。この層間絶縁膜に第1配線溝7を溝パターンとして形成する。その後、第1配線溝7内を埋め込む状態で、層間絶縁膜上にTa膜8を介してCu膜を形成し、これらをCMP法によって研磨することにより、第1配線溝7内のみにTa膜8を介してCu膜を埋め込んでなる第1埋め込み配線9aを形成する。
【選択図】図1
【解決手段】低誘電率膜である有機膜2とSiOC系膜4との間に、保護膜としてSiO2膜3を挟持してなる積層構造の層間絶縁膜を、基板1上に形成する。この層間絶縁膜に第1配線溝7を溝パターンとして形成する。その後、第1配線溝7内を埋め込む状態で、層間絶縁膜上にTa膜8を介してCu膜を形成し、これらをCMP法によって研磨することにより、第1配線溝7内のみにTa膜8を介してCu膜を埋め込んでなる第1埋め込み配線9aを形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、層間絶縁膜に形成された接続孔や配線溝などの溝パターン内に導電パターンを埋め込み形成する工程を有する半導体装置の製造方法、およびこの製造方法によって得られる半導体装置に関する。
半導体装置の微細化、高集積化に伴い、配線の時定数に起因する電気信号の遅れが深刻な問題となっている。そこで、多層配線構造で用いられる導電層には、アルミニウム(Al)系合金の配線に代わり、低電気抵抗の銅(Cu)配線が導入されるようになっている。Cuは、従来の多層配線構造に使われているAlなどの金属材料とは異なって、ドライエッチングによるパターニングが困難なため、絶縁膜に配線溝を形成し、配線溝にCuを埋め込むことにより配線パターンを形成するダマシン法が一般にCu多層配線構造に適用されている。
また、高集積半導体装置では、配線容量の増大が半導体装置の動作速度の低下を招くために、低誘電率膜を層間絶縁膜に用いて配線容量の増大を抑制した微細な多層配線が不可欠となっている。低誘電率層間絶縁膜の材料としては、従来から比較的使用実績のある比誘電率3.5程度のフッ素含有酸化シリコン(FSG)に加えて、ポリアリールエーテル(PAE)に代表される有機ポリマー系材料や、ハイドロゲンシルセキオサン(HSQ)、メチルシルセスキオキサン(MSQ)に代表されるSiOC系材料などの比誘電率2.7前後の低誘電率膜が挙げられる。更に、近年では、それらを多孔質化させて比誘電率を2.2前後として低誘電率材料の適用も試みられている。
ところで、デュアルダマシン法を低誘電率層間絶縁膜に適用する場合、以下の技術的な制約を解決することが必要である。
第1には、低誘電率膜の組成がパターニングに用いられるレジストの組成に近いために、レジスト除去プロセスの際に、低誘電率膜も損傷を受け易いことが挙げられる。具体的には、レジストマスクを用いてエッチングを行った後のレジスト剥離処理や、処理済みのレジストパターンが製品規格を満たさない場合のレジスト再生処理などを行う際、低誘電率膜に対する損傷を抑制できることが不可欠である。
また第2には、配線と接続孔との間で合わせ余裕を持たないボーダレス構造への適用が可能なことである。半導体装置の微細化に伴い、0.18μm世代以降の多層配線では、ボーダレス構造に対応できる加工プロセスを採用することが前提となっている。従って、低誘電率膜を含む層間絶縁膜にデュアルダマシン法による配線溝と接続孔の同時形成を行う場合でも、合わせずれによるヴィア抵抗の変動が少ないプロセスであることが重要である。
そして第3には、配線溝を深さ制御性良く形成するには、配線溝の底部近くにエッチング阻止膜を介在させることが望ましいものの、比誘電率の比較的高いエッチング阻止膜を層間絶縁膜内に介在させると、層間容量が増加することになる。従って、配線溝の形成を制御しつつ、しかも容量増加を抑えることが出来る低誘電率膜層間構造のデュアルダマシンプロセスが要求されている。
上述したような技術的な制約を解決できるデュアルダマシン法として、窒化シリコン(SiN)膜や酸化シリコン(SiO2)膜からなる2層または3層の無機マスクを用いて、低誘電率材料からなる層間絶縁膜をエッチングするデュアルダマシン法が提案されている。この方法によれば、SiOC系の低誘電膜とこの上部の有機膜との積層膜上に、さらに第1層目の無機マスクを構成する酸化シリコン膜をキャップ膜として残した層間絶縁膜に、配線溝と接続孔とが形成される。
そして、このような2層または3層の無機マスクを用いたデュアルダマシン法の適用により、低誘電率膜構造に対して上述した前述した技術的な制約事項が克服され、レジストパターニング工程に対する負荷を低減することができる(以上、下記特許文献1参照)。
ところで、上述したデュアルダマシン法では、層間絶縁膜の最上層にキャップ膜として残された酸化シリコン膜が、配線溝および接続孔内に埋め込み配線を形成する際に行われるCMPにおいて下層の有機膜を保護する。この酸化シリコン膜は、さらに上層の配線を形成する場合のエッチングストッパ層となり、下層の有機膜までエッチングが及び、接続不良が発生することを防止している。
このため、層間絶縁膜の最上層にキャップ膜として残される酸化シリコン膜の膜厚は、CMPにおいて生じる部分的なある程度の削れを予測して、初期の膜厚が設定されることになる。したがって、上述したデュアルダマシン法を適用して形成された半導体装置においては、比誘電率が4程度と高い酸化シリコン膜が、層間絶縁膜の一部としてある程度の膜厚を有した状態で配線間に残存することになり、この下方の層間絶縁膜として有機膜などを用いてその比誘電率を下げたとしても、配線間の実効的な比誘電率が下がり難くなっていた。
そこで本発明は、埋め込み配線を備えた層間絶縁膜のさらなる低誘電率化を図ることが可能な半導体装置の製造方法および半導体装置を提供することを目的とする。
このような目的を達成するための本発明の半導体装置の製造方法は、次のように行うことを特徴としている。先ず、低誘電率膜の間に当該低誘電率間膜に対する保護膜を狭持してなる層間絶縁膜を基板上に形成する。次に、この層間絶縁膜に溝パターンを形成する。その後、溝パターン内を埋め込む状態で前記層間絶縁膜上に導電膜を形成し、当該導電膜を研磨することにより当該溝パターン内のみに当該導電膜を埋め込んでなる導電パターンを形成する。
このような製造方法では、層間絶縁膜が、保護膜を低誘電率膜で狭持してなる積層構造で構成されていることから、層間絶縁膜の最上層は低誘電率膜で構成されることになる。このため、層間絶縁膜上に形成した導電膜を研磨する際、溝パターンの配置状態に応じて層間絶縁膜に部分的なオーバー研磨が生じた場合であっても、層間絶縁膜の表面層を構成する低誘電率膜が部分的に研磨除去されるのみである。したがって、部分的なオーバー研磨に影響されることなく、層間絶縁膜中に保護膜がそのまま残される。また、保護膜上には、オーバー研磨されずに残った低誘電率膜が積層された状態となる。したがって、最上層が保護膜のみで構成された層間絶縁膜と比較して、導電膜の研磨後に保護膜を全面に残すために必要とされる当該保護膜の膜厚が小さく抑えられ、層間絶縁膜の膜厚全体に占める低誘電率膜の膜厚が厚くなる。
また、本発明の半導体装置は、上述した製造方法によって得られた半導体装置であり、層間絶縁膜の溝パターン内に導電パターンが埋め込まれており、特に層間絶縁膜が、低誘電率膜の間に当該低誘電率間膜を保護するための保護膜を狭持してなることを特徴としている。
このような半導体装置では、上述したようにより薄い保護膜が、確実に全面に残されるため、層間絶縁膜に占める保護膜の膜厚が薄くなる一方、低誘電率膜の膜厚が厚くなる。したがって、全面に保護膜が残された層間絶縁膜の低誘電率化が図られる。
以上説明したように本発明の半導体装置の製造方法およびこれによって得られた半導体装置によれば、より薄い保護膜によって低誘電率膜の全面を保護してなる層間絶縁膜に、この層間絶縁膜の状態を維持しつつ埋め込み配線を形成することができるため、埋め込み配線を備えた層間絶縁膜のさらなる低誘電率化を図ることが可能になる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。ここでは、図1〜図5の断面工程図に基づいて、トリプルマスクを用いたデュアルダマシン構造の形成に本発明を適用した実施形態を説明する。
まず、図1(a)に示すように、例えば下地絶縁膜(SiO2膜)によって表面が覆われた基板1上に、低誘電率膜として有機膜2を形成し、保護膜としてSiO2膜3を形成し、さらに低誘電率膜としてSiOC系膜4をこの順に形成してなる積層膜を層間絶縁膜として成膜する。それぞれの膜厚は、有機膜2/SiO2膜3/SiOC系膜4=100/15/100nmとする。特に、保護膜であるSiO2膜3と、この上層の低誘電率膜であるSiOC系膜4の膜厚は、以降に行われるCMP研磨の後に、有機膜2上の全面にSiO2膜3が残されるように膜厚を設定することが重要である。
また、このような積層構造の層間絶縁膜上に、必要に応じてSiO2膜5(膜厚30nm程度)を形成しても良い。このSiO2膜5は、以降に形成されるレジストマスクを用いてエッチングを行った後のレジスト剥離処理や、処理済みのレジストマスクが製品規格を満たさない場合のレジスト再生処理などを行う際、SiOC系膜4低誘電率膜に対する損傷を抑制するために形成される。
以上の各膜2〜5は、例えば次の様に形成する。
すなわち、有機膜2は、比誘電率2.4程度の有機材料からなり、本実施形態例では、有機材料として特に有機ポリマー材料を用いることとし、一例としてポリアリールエーテル(PAE)からなる有機膜2を100nmの膜厚で成膜する。有機ポリマー材料からなる有機膜2は、前駆体をスピンコート法により堆積した後、350〜450℃のキュア処理を行うことにより成膜される。もちろん、前駆体を調整して、多孔質膜にすることも可能である。このような有機材料としては、PAEの他には、BCB、ポリイミド、さらにはアモルファスカーボンなどを用いることもできる。
そして、SiO2膜3,5の成膜は、例えばシリコン源としてモノシラン(SiH4)を用い、酸化剤として一酸化二窒素(N2O)ガスを用いたプラズマCVD法により行われる。
また、SiOC系膜4の成膜は、平行平板型プラズマCVD装置を用い、メチルシランをシリコン源とした成膜を行う。成膜条件として基板温度を300〜400℃、プラズマパワーを100〜800W、成膜雰囲気の圧力を100〜1350Pa程度に設定する。成膜条件を調整して、多孔質膜にすることで、より比誘電率の低いSiOC系膜にすることもできる。これにより、比誘電率が2〜3程度のSiOC系膜4を成膜する。尚、このようなSiOC系膜4を成膜する際には、有機シリカ系の前駆体をスピンコート法で塗布した後、350〜450℃のキュア処理を行って成膜してもよい。もちろん、前駆体を調整して、多孔質膜にすることも可能である。
また、上述したような保護膜3の上部に設けられる低誘電率膜としては、上述したSiOC系膜4に換えて、CVD法により成膜されたSiOF膜や、スピンコート法により形成されるMSQ膜やHSQ膜でもよく、さらに、キセロゲル膜、多孔質構造を有するMSQ膜でも良い。
以上のようにして各膜2〜5を成膜した後、図1(b)に示すように、第1配線溝パターンをレジストパターンとして有するレジストマスク6を、SiO2膜5の上方に形成する。
その後、図1(c)に示すように、レジストマスク6上から、SiO2膜5、SiOC系膜4、SiO2膜3、有機膜2を順次エッチングし、基板1に達する第1配線溝7を、溝パターンとして形成する。
以上の各膜2〜5のエッチングは、例えば一般的なマグネトロン方式のエッチング装置を用いて次の様に行われる。
すなわち、SiO2膜5、SiOC系膜4、およびSiO2膜3のエッチングにおいては、エッチングガスとして、例えばトリフッ化メタン(CHF3)、テトラフッ化メタン(CF4)、およびアルゴン(Ar)を用い、ガス流量比をCHF3:CF4:Ar=1:3:8、バイアスパワーを1300W、基板温度を20℃に設定する。このエッチング条件下では、下地となる有機膜2に対するSiO2膜5、SiOC系膜4、およびSiO2膜3のエッチング選択比(SiO2,SiOC/有機膜)を3程度にすることが出来るので、有機膜2がエッチングストッパとなり、基板1の表面層を構成するSiO2膜がエッチングされるようなことは無い。
そして次の有機膜2のエッチングにおいては、エッチングガスとしてアンモニアガス(NH3)を用い、ガス流量100sccm、バイアスパワーを400W、基板温度を20℃に設定する。このエッチング条件下では、下地の基板1を構成するSiO2膜に対する有機膜2のエッチング選択比(有機膜/SiO2)を100以上の高選択比とすることができるので、下地の基板1がエッチングされることはほとんど無い。
そして、以上のように各膜2〜5をエッチングして第1配線溝7を形成した後には、例えば酸素(O2)プラズマをベースとしたアッシング処理と有機アミン系の薬液処理を施すことにより、レジストマスク6、SiO2膜5、およびエッチング処理の際に生じた残留付着物を完全に除去する。
その後、図1(d)に示すように、第1配線溝7内に、バリアメタル8を介して銅(Cu)からなる第1埋め込み配線9aを形成する。この際、例えばバリアメタルとしてタンタル(Ta)膜8をスパッタリング法により成膜し、次にCu膜9を電解めっき法あるいはスパッタリング法により堆積する。その後、堆積したTa膜8とCu膜9のうち、配線パターンとして不要な部分を化学機械研磨(CMP)法により除去する。これにより、140nmの配線厚となるように、銅(Cu)膜からなる第1埋め込み配線9aを形成する。尚、このCMPにおいては、第1配線溝7の配置状態(疎密)により、下地であるSiOC系膜4の部分的な研磨が進行する。
次に、図2(e)に示すように、埋め込み配線9a上を含むSiOC系膜4上に各膜11〜17を形成する。
先ず、酸化防止及び銅(Cu)の拡散防止層として、膜厚30nmの炭化シリコン(SiC)膜11を成膜する。このSiC膜11を成膜する際には、一例として、平行平板型プラズマCVD装置を用い、メチルシランガスをシリコン源とする。成膜条件としては、基板温度を300〜400℃、プラズマパワーを150〜350W、成膜雰囲気の圧力を100〜1000Pa程度に設定する。これにより、比誘電率が3.5〜5.0程度のSiC膜11を成膜する。尚、成膜条件を調整して、SiCに一定量の窒素、水素、酸素原子などを含有させても良い。
次に、接続孔を貫通させる層間絶縁膜として、膜厚120nmのSiOC系膜12を成膜する。このSiOC系膜12は、先に述べたSiOC系膜4と同様にして成膜される。
その後、このSiOC系膜12上に、第2配線溝を形成する層間絶縁膜として、図1(a)を用いて説明した各膜2〜4と同様の有機膜(低誘電率膜)13、SiO2膜(保護膜)14、SiOC系膜(低誘電率膜)15を順次成膜する。尚、ここで形成するSiOC系膜15は、以降に行われるパターンエッチングに用いる第1マスク形成層ともなる。またこれらの各膜の膜厚は、有機膜13/SiO2膜14/SiOC系膜15=100nm/15nm/125nm程度とする。そして、SiO2膜14およびSiOC系膜15の膜厚は、図1(a)を用いて説明したと同様に設定されることとする。さらに、これらの膜13〜15の成膜は、上述した各膜2〜4と同様であることとする。
そして、上述した第1マスク形成層となるSiOC系膜15上に、第2マスク形成層として膜厚50nmのSiN膜16を成膜し、さらに第3マスク形成層として膜厚50nmのSiO2膜17を成膜する。尚、第2マスク形成層であるSiN膜16は、プラズマCVD装置により、例えばシリコン源としてモノシラン(SiH2)を、窒化剤としてアンモニアガス(NH3)を、酸化剤として一酸化二窒素(N2O)ガスを用い、不活性ガスをキャリアガスにして成膜することが出来る。
以上の後、図2(f)に示すように、配線溝パターンをレジストパターンとして有するレジストマスク18をSiO2膜17上に形成する。
次に、レジストマスク18をエッチングマスクとして用いたドライエッチング法により、第3マスク形成層であるSiO2膜17をエッチングして、配線溝パターンを有する第3マスク17Aを形成する。尚ここでは、一般的なマグネトロン方式のエッチング装置を用い、例えばエッチングガスとしてオクタフルオロシクロブタン(C4F8)、一酸化一炭素(CO)、およびアルゴン(Ar)を用い、ガス流量比をC4F8:CO:Ar=1:20:40、バイアスパワーを1500W、基板温度を40℃に設定する。このエッチング条件下では、SiNに対するSiO2のエッチング選択比(SiO2/SiN)が4程度になる。このため、エッチングの下地となるSiN膜16に対するエッチングの影響を抑えつつ、第3マスク形成層としてのSiO2膜17のエッチングを行うことができる。
以上のようにして、SiO2膜からなる第3マスク17Aを形成した後、例えば酸素(O2)プラズマをベースとしたアッシング処理と有機アミン系の薬液処理を施すことにより、レジストマスク18及びエッチング処理の際に生じた残留付着物を完全に除去する。
次に、図2(g)に示すように、第3マスク17A上を含むSiN膜(第2マスク形成層)16上に、接続孔パターンを有するレジストマスク19を形成する。この際、レジストマスク19に設けられた接続孔パターンの少なくとも一部が、第3マスク17Aの配線溝パターンの開口部内に重なるようにレジストマスク19をパターン形成する。
尚、このレジストマスク19の形成に際し、第2配線溝パターンを構成する第3マスク17Aにより生じた段差は、概ね第3マスク17Aの膜厚である50nm程度に抑えられるので、平坦部にレジストマスクを形成する場合とほぼ同等のリソグラフィー特性にて、良好な接続孔のレジストパターン形状を得ることができる。また、塗布系の反射防止膜(BARC等)を併用する場合でも、配線溝パターンの寸法や粗密具合により、BARCの埋め込み形状の変動が微少に抑えられ、露光処理時のレジスト形状悪化や、寸法変動の原因となる焦点深度ばらつきを低減することができる。
次に、図3(h)に示すように、接続孔パターンを有するレジストマスク19をマスクとしたドライエッチング法により、第3マスク(SiO2)17A、第2マスク形成層としてのSiN膜16、第1マスク形成層ともなる低誘電率膜としてのSiOC膜15、および保護膜としてのSiO2膜14をエッチングし、さらに低誘電率膜としての有機膜13をエッチングする。これにより、SiOC系膜12を露出させた接続孔20を形成する。
このようなエッチングにおいて、第3マスク(SiO2)17AからSiO2膜14までのエッチングは、一般的なマグネトロン方式のエッチング装置を用い、例えばエッチングガスとしてトリフロロメタン(CHF3)、酸素(O2)、およびアルゴン(Ar)を用い、ガス流量比をCHF3:O2:Ar=5:1:50、バイアスパワーを1000W、基板温度を40℃に設定して行われる。
本実施形態例では、このエッチング条件下でエッチング選択比(SiO2/SiN/SiOC/SiO2)が1前後となり、1ステップで第1マスク(SiO2)17A〜SiO2膜14をエッチングして接続孔20を開口している。しかし、これに限らず、レジスト選択比やエッチング変換差等が問題になる場合は、2ステップ以上のエッチングにより、順次第1マスク(SiO2)17A、SiN膜16、SiOC膜15、SiO2膜14をエッチングしても良い。
そして、次の有機膜13のエッチングは、通常の高密度プラズマエッチング装置を用い、エッチングガスとして例えばアンモニア(NH3)を用い、RFパワーを150W、基板温度を20℃に設定する。このエッチング条件下においては、レジストマスク19と有機膜13のエッチングレートがほぼ同等であることから、有機膜13のエッチング中にレジストマスク19は膜減りする。これによりレジストマスク19が完全に除去された後には、SiN膜からなる第2マスク層16がエッチングマスク(第2マスク16A)として機能し、良好な接続孔の開口形状を得ることができる。ちなみに、有機膜13のエッチング条件下においてのSiO2、SiN、SiOCに対するPAE(有機膜13)のエッチング選択比は100以上になる。
以上により、レジストマスク19は、有機膜13のエッチングと同時に除去された状態となる。また残存する第3マスク(SiO2)17Aは第2配線溝パターンのマスクとなる。そして、この下方の第2マスク(SiN)16Aは、接続孔パターンのマスクとなる。
次に、図2(i)に示すように、第3マスク(SiO2)17Aをエッチングマスクとしたドライエッチング法により、第2マスク(SiN)16Aをエッチングする。これにより、第2マスク16Aが第2配線溝パターンのマスクとなる。また、その下層のSiOC系膜15は、接続孔パターンが形成された第1マスク15Aになる。
このドライエッチングにおいては、例えば一般的なマグネトロン方式のエッチング装置を使用し、エッチングガスとしてジフルオロメタン(CH2F2)、テトラフルオロメタン(CF4)、酸素(O2)、およびアルゴン(Ar)を用い、ガス流量比をCH2F2:CF4:O2:Ar=2:1:2:20、バイアスパワーを500W、基板温度を40℃に設定する。このようなエッチング条件下においては、SiOCに対するSiNのエッチング選択比(SiN/SiOC)が3程度になる。このため、第3マスク(SiO2)17Aの膜厚が50nm程度であれば、膜厚50nmの第2マスク(SiN)16Aをエッチングする際、第3マスク(SiO2)17Aの膜減りに対して十分な余裕をもって第2マスク(SiN)16Aに配線溝パターンを開口することが出来る。
またこのドライエッチングにおいては、接続孔20の底部に露出するSiOC系膜12が途中までエッチングされる。したがって、接続孔20が掘り下げられることになる。さらに、このエッチング条件下においては、SiOCに対するSiNのエッチング選択比(SiN/SiOC)を1弱にすることができる。このため、膜厚50nmの第2マスク(SiN)16Aをエッチングする場合の必要なオーバーエッチング量を含めて、SiOC系膜12が25〜75nmの深さにまで掘り下げられることになる。
次に、図3(j)に示すように、第2マスク(SiN)16Aをエッチングマスクにして、SiOC系膜12の下部層をエッチングして、接続孔20をさらに掘り下げてSiC膜11を露出させる。この際、第2マスク(SiN)16Aをエッチングマスクとして第1マスク(SiOC)15AおよびSiO2膜14が同時に除去され、第1マスク15AおよびSiO2膜14に第2配線溝21が形成される。
このエッチングは、例えば一般的なマグネトロン方式のエッチング装置を使用し、例えばエッチングガスとしてオクタフルオロシクロブタン(C4F8)、一酸化一炭素(CO)、窒素(N2)、およびアルゴン(Ar)を用い、ガス流量比をC4F8:CO:N2:Ar=3:10:200:500、バイアスパワーを1000W、及び基板温度を20℃に設定して行われる。
このエッチング条件下においては、SiNに対するSiOCのエッチング選択比(SiOC/SiN)が5以上になる。このため、接続孔20の底部に残る膜厚25〜75nmのSiOC系膜12をエッチングする際、第2マスク(SiN)16Aが50nmあれば、第2マスク(SiN)16Aの膜減りに対して十分に余裕を持って配線溝上方の広がりや肩落ちを抑制した良好な開口形状を得ることが出来る。
続いて、図4(k)に示すように、第1マスク(SiOC)15Aをエッチングマスクにして、接続孔20の底部に残存するSiC膜11をエッチングする。これにより、接続孔20を下層の第1埋め込み配線9aに連通させる。
接続孔20の底部にあるSiC膜11のエッチングでは、例えば一般的なマグネトロン方式のエッチング装置にて、例えばエッチングガスとしてジフルオルメタン(CH2F2)、酸素(O2)、およびアルゴン(Ar)を用い、ガス流量比をCH2F2:O2:Ar=2:1:5、バイアスパワーを100Wに設定する。尚、第1マスク(SiOC系膜)15A上に残存する第1マスク(SiN)16Aは、接続孔20底部のSiC膜11をエッチングする過程で除去される。
このようなエッチングにおいては、第1埋め込み配線9aに対して接続孔20の合わせズレが発生した場合、SiC膜11に対するSiOC膜のエッチング選択比が1程度であるため、SiC膜11の下層に位置するSiOC系膜4のエッチングが進み、第1埋め込み配線9aの横にスリットaが出来る。しかしながら、SiC膜11に対するSiO2膜3の選択比は5〜10程度になるので、下層のSiO2膜3がエッチングストッパとなり、さらに下層の有機膜2にエッチングが達することはない。
その後、図4(l)に示すように、配線溝21の底部に残存する有機膜13をエッチングして、第2配線溝21を開口する。このエッチングにおいては、通常の高密度プラズマエッチング装置を使用して、エッチングガスには例えばアンモニア(NH3)を用い、RFパワーを150W、及び基板温度を10℃に設定する。このエッチング条件下で、SiOC膜12、15Aに対する有機膜13のエッチング選択比は100以上になるので、深さばらつき無く、制御性良く第2配線溝21の開口を行うことが出来る。また、スリットa部においても、SiO2膜3がエッチングストッパとなり、下層の有機膜2にエッチングが達することはない。
以上により、第2配線溝21とその底部の接続孔20を第1埋め込み配線9aに連通させた所定形状のデュアルダマシン加工が完了する。
以上の後、引き続き、薬液を用いた後処理、及びRFスパッタリング処理により、第2配線溝21や接続孔20の側壁に残留するエッチング付着物を除去し、接続孔20底部の第1埋め込み配線9aにおけるCu変質層を正常のCu層に転化する。
次に、図4(m)に示すように、接続孔20および第2配線溝21内に、例えばバリアメタルとしてタンタル(Ta)膜22をスパッタリング法により成膜し、次にCu膜23を電解めっき法あるいはスパッタリング法により堆積する。
その後、図5に示すように、堆積したTa膜22とCu膜23のうち、配線パターンとして不要な部分を化学機械研磨(CMP)法により除去する。これにより、140nmの配線厚となるように、銅(Cu)膜からなる第2埋め込み配線23aを形成する。そしてさらに、第2埋め込み配線23aを含むSiOC系膜15(第1マスク層15A)上に、酸化防止及び銅(Cu)の拡散防止層として、例えばSiC膜24を形成することは、図2(e)を用いて説明したと同様であり、さらに上層の埋め込み配線を形成する場合には、図2(e)を用いて説明した工程以降を繰り返し行い、半導体装置を完成させる。
以上説明した実施形態の製造方法によれば、図1(a)〜図1(d)を用いて説明したように、低誘電率膜となる有機膜2と低誘電率膜であるSiOC系膜4との間に、保護膜となるSiO2膜3を狭持してなる層間絶縁膜が形成され、この層間絶縁膜に形成した第1配線溝7を埋め込む状態で形成されたTa膜8とCu膜9とがCMP法により研磨除去される。このため、第1配線溝7の配置状態に応じて、層間絶縁膜の表面層を構成するSiOC系膜4に部分的なオーバー研磨が生じた場合であっても、その下層のSiO2膜(保護膜)3は、部分的なオーバー研磨に影響されることなくそのまま残される。
これにより、図2(e)〜図4(l)を用いて説明したように、この層間絶縁膜上に形成した上層層間絶縁膜に、第1埋め込み配線9aに達する接続孔20を形成する際、第1埋め込み配線9aに対して接続孔20の合わせズレが生じた場合であっても、層間絶縁膜の全面に残されたSiO2膜3がエッチングストッパとなり、下層の有機膜2にエッチングが達することはない。したがって、基板1と第2埋め込み配線との短絡などの接続不良が生じることを確実に防止できる。
そして、このSiO2膜3上には、図1(d)で説明したCMPの際にオーバー研磨されずに残ったSiOC系膜4が積層された状態となる。したがって、層間絶縁膜の最上層をSiO2膜からなる保護膜のみで構成した場合と比較して、CMP研磨の後に保護膜を全面に残すために必要とされる当該保護膜(SiO2膜3)の膜厚を小さく抑えることができる。
以上については、図5(n)に示した第2埋め込み配線23a上にさらに上層埋め込み配線を形成する場合で同様である。すなわち、第2埋め込み配線23aが形成される上層層間絶縁膜は、低誘電率膜である有機膜13とSiOC膜15とによって保護膜となるSiO2膜14を狭持してなる。このため、この上層層間絶縁膜も、さらに上層の埋め込み配線を形成する際の接続不良を確実に防止しつつ、さらなる低誘電率化が達成される。
以上の結果、本実施形態の半導体装置の製造方法およびこれによって得られた半導体装置によれば、より薄い保護膜(SiO2膜3)によって低誘電率膜(有機膜2)の全面を保護してなる層間絶縁膜に、この層間絶縁膜の状態を維持しつつ第1埋め込み配線9aを形成することができるため、埋め込み配線9aを備えた層間絶縁膜のさらなる低誘電率化を図ることが可能になる。そして、デュアルダマシン構造の多層配線を有する高集積微細で高性能半導体装置を高歩留まりで製造することができる。
また、本工程を経て形成されたデュアルダマシン構造の多層配線は、図2(g)を用いて説明したように、接続孔パターンを有するレジストマスク19を形成する際、第2配線溝パターンを構成する第3マスク17Aにより生じた段差は、概ね第3マスク17Aの膜厚である50nm程度に抑えられるので、平坦部にレジストマスクを形成する場合とほぼ同等のリソグラフィー特性にて、良好な接続孔のレジストパターン形状を得ることができる。これにより、良好なヴィアコンタント特性を得ることが出来る。また、本実施形態例の方法を適用することにより、低誘電率層間絶縁膜内に良好な配線形状のデュアルダマシン構造を有する半導体装置を高い歩留まりで製造することができる。
尚、上述した実施形態においては、デュアルダマシン構造の多層配線を有する半導体装置の製造に際し、図2(e)を用いて説明したように、SiOC系膜15、SiN膜16、SiO2膜17の3層のマスク層を用いる方法を説明した。しかしながら、本発明は、このような製造手順への適用に限定されることはない。例えば、デュアルダマシン構造の多層配線を有する半導体装置の製造に際しては、特開2001−44189号公報に示されるような、2層のマスク層を用いる方法に適用することも可能であり同様の効果を得ることができる。またさらに、デュアルダマシン構造の多層配線を有する半導体装置の製造への適用に限定されることもなく、ダマシン構造を積層させる半導体装置への製造に広く適用可能である。さらに、上述した実施形態において示した、層間絶縁膜およびこの上部の上層層間絶縁膜、さらにはマスク形成層を構成する各材料は一例であり、上述したパターンエッチングが可能な範囲で最適化することができる。
尚、デュアルダマシン構造の多層配線を有する半導体装置の製造に際して、実施形態で説明した3層マスク構造や、特開2001−44189号公報に示されるような2層のマスク層を用いる場合、接続孔を層間膜途中まで開口後に最上層マスクを用いて下層マスクに配線溝パターンを形成するとともに、接続孔の開口をさらに下層配線近くまで進めることにより、その後のエッチングマスクを用いた接続孔開口に要するエッチング量を低減でき、さらなるエッチングマスク段差の低減、もしくは良好なデュアルダマシン加工形状を得ることが可能となる。
1…基板、2…有機膜(低誘電率膜)、3…SiO2膜(保護膜)4…SiOC系膜(低誘電率膜)、7…第1配線溝(溝パターン)、8…導電膜、8a…第1埋め込み配線(導電パターン)、11…SiC膜(拡散防止膜)、20…接続孔(上層溝パターン)、21…第2配線溝(上層溝パターン)
Claims (9)
- 低誘電率膜の間に当該低誘電率間膜に対する保護膜を狭持してなる積層構造の層間絶縁膜を、基板上に形成する工程と、
前記層間絶縁膜に溝パターンを形成する工程と、
前記溝パターン内を埋め込む状態で前記層間絶縁膜上に導電膜を形成し、当該導電膜を研磨することにより当該溝パターン内のみに当該導電膜を埋め込んでなる導電パターンを形成する工程とを行う
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記層間絶縁膜を形成する工程では、有機材料からなる低誘電率膜、酸化シリコンからなる保護膜、およびSiOC系材料からなる低誘電率膜をこの順に形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記層間絶縁膜を形成する工程では、以降に行われる前記導電膜の研磨の後に当該層間絶縁膜の全面に前記保護膜が残されるように膜厚を設定して当該保護膜およびこの上部の低誘電率膜が形成される
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記導電パターンを形成した後、
前記層間絶縁膜上に上層層間絶縁膜を形成する工程と、
前記上層層間絶縁膜に前記導電パターンに達する上層溝パターンを形成する工程とを行う
ことを有する半導体装置の製造方法。 - 請求項4記載の半導体装置の製造方法において、
前記上層層間絶縁膜を形成する工程では、前記保護膜をストッパとしたパターンエッチングを行う
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 溝パターンを備えた層間絶縁膜と、当該層間絶縁膜の溝パターン内に埋め込まれた導電パターンとを有する半導体装置において、
前記層間絶縁膜は、低誘電率膜の間に当該低誘電率間膜を保護するための保護膜を狭持してなる
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項6記載の半導体装置において、
前記保護膜は酸化シリコンからなり、
前記保護膜の下層に設けられた低誘電率膜は有機材料からなり、
前記保護膜の上層に設けられた低誘電率膜はSiOC系材料からなる
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項6記載の半導体装置において、
前記導電パターン上を含む層間絶縁膜上には、当該導電パターンに達する上層溝パターンを備えた上層層間絶縁膜と、当該上層溝パターン内に埋め込まれた上層導電パターンとが設けられている
ことを有する半導体装置。 - 請求項8記載の半導体装置において、
前記上層層間絶縁膜は、低誘電率膜を用いて構成されると共に、前記導電パターンを構成する材料の拡散を防止するためのSiCからなる拡散防止膜が最下層に設けられている
ことを特徴とする半導体装置。
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---|---|---|---|
JP2004169529A JP2005353633A (ja) | 2004-06-08 | 2004-06-08 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
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JP2004169529A Pending JP2005353633A (ja) | 2004-06-08 | 2004-06-08 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
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Cited By (3)
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JP2008147668A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Applied Materials Inc | デュアルダマシン用途における下面反射防止コーティング層の2ステップエッチング |
JP2009094123A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体装置の製造方法 |
US10377134B2 (en) | 2016-06-27 | 2019-08-13 | Seiko Epson Corporation | MEMS device, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and MEMS device manufacturing method |
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- 2004-06-08 JP JP2004169529A patent/JP2005353633A/ja active Pending
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