JP2005347044A - ディスプレイの機能性材料層の成層方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蛍光表示管の背面基板11に、スクリーンを用いて、アノードAの導電層31、配線の導電層32、絶縁層4、蛍光体層51を印刷する場合、導電層31,32の印刷工程において、位置合せマークMの導電層331,332も同時に印刷する。絶縁層4を印刷するとき、絶縁層印刷用のスクリーンを導電層332に合せ、蛍光体層51を印刷するとき、蛍光体層印刷用のスクリーンを導電層331に合せて、位置合せを行う。絶縁層4を印刷すると、開口41,42が形成され、蛍光体層51を印刷すると、蛍光体層52も印刷される。
【選択図】 図1
Description
図7(a)は、側面断面図であり、図7(b)は、図7(a)のX1部分の矢印方向の平面断面図である。
図7の蛍光表示管は、表示部が7セグメント4桁の表示パターンからなる、いわゆるセグメントタイプの例である。蛍光表示管は、ガラスの背面基板11、前面基板12及び側面板(側面部材)131〜134からなる外囲器内に、表示パターンを構成するアノードA、メッシュ状等の制御電極G、陰極用のフィラメントF等を備えている。アノードAは、導電層からなるアノード電極に蛍光体層(後述する)を被着してあり、フィラメントFは、一対の支持部材15に両端を固定してある。制御電極Gは、支持部材(図示せず)によってフィラメントFとアノードAの間に保持されている。絶縁層4は、アノードAが露出する開口部分(後述する)を除いて背面基板11の全面に形成してある。Mは、後述する位置合せマークである。
フィラメントFから放出された電子は、制御電極Gによって制御され、選択されたアノードAの蛍光体層に射突してその蛍光体層を発光する。
図8(a)は、位置合せマークM、1個のアノードA、一部の配線を表示してある。
背面基板11には、導電層31(アノード電極)、導電層32(配線)、導電層33(位置合せ用)等の導電層を形成し、それらの導電層を覆う、或いはそれらの間に介在するように絶縁層4を形成してある。絶縁層4には、導電層31,33が露出する開口41,42を形成してある。導電層31,33には、蛍光体層51,52を被着してある。導電層は、アルミニウム、銀等により形成する。ここで導電層31(アノード電極)と導電層32(配線)は、デザイン上の必要性から密集して配置しなければならない場合がある。
次に図8(b)により、図8(a)の導電層31,32,33、絶縁層4、蛍光体層51,52を形成するときの位置合せについて説明する。なお位置合せの基準になる位置合せマークMは、スクリーン印刷法も写真法も類似しているから、ここではスクリーン印刷法を例に説明する。
この従来の位置合せ方法によると、まず導電層パターン形成用のスクリーン(図示せず)を用いて、背面基板11上に導電層31,32,33を印刷する(図8(b)b1)。次に絶縁層パターン形成用のスクリーン(図示せず)を用いて、導電層33を基準にして、そのスクリーンの位置合せを行って絶縁層4を印刷する(図8(b)b2)。次に蛍光体層パターン形成用のスクリーン(図示せず)を用いて、絶縁層4の開口42を基準にして、そのスクリーンの位置合せを行って蛍光体層51,52を印刷する(図8(b)b3)。以上の一連の印刷工程により導電層33、絶縁層4の開口42からなる位置合せマークMも形成され、導電層33には蛍光体層52も形成される。図8(c)は、位置合せマークMの平面図である
図9(a)は、位置ずれのない例を示し、蛍光体層51は、導電層31上に正確に形成されている。
一方図9(b),(c)は、印刷工程で位置ずれが生じた場合の例である。
図9(b)は、背面基板11に導電層31,32,33を印刷した後、絶縁層パターンのスクリーンを用い、導電層33を基準にして、絶縁層4を印刷した状態を示す。図9(b)の絶縁層4は、その印刷のときに位置ずれを生じ、同図において右へずれて印刷されている。即ち絶縁層4の開口41,42は、導電層31,33に対して右へずれている。したがって次に蛍光体層パターンのスクリーンを用いて蛍光体層を印刷するとき、絶縁層4の開口42を基準にすると、基準の位置がずれているから、印刷される蛍光体層の位置もずれてしまう。かつその蛍光体層を印刷する際、蛍光体層パターンのスクリーンの位置が、絶縁層4の開口42に対してもずれてしまった場合には、蛍光体層51,52は、導電層31,33に対して2重の位置ずれを生じ、図9(c)のように導電層31,33からはみ出した(外れた)位置に印刷されてしまう。その結果蛍光体層51は、図9(c)のように、導電層32に接触することがある。その場合、蛍光体層51は導電性を有するから、導電層31と導電層32は、短絡障害を発生する。
以上のように従来のスクリーンの位置合せ方法は、前の印刷工程において形成した位置合せマークを次の印刷工程の位置合せの基準に用いるから、各印刷工程の位置ずれは、印刷工程が進む毎に累積して大きくなり、前述のように短絡障害等の不都合を生じる。
請求項2に記載のディスプレイの成層方法は、パターン形成部材を用いて基板に所定パターンの導電層、絶縁層及び蛍光体層を積層して形成する蛍光表示管の成層方法において、所定の成層工程においてその所定の成層工程以後の成層工程の位置合せに用いる複数の位置合せマークを形成し、前記所定の成層工程以後の成層工程においては、各成層工程毎に前記位置合せマークの異なるマークを用いて前記パターン形成部材の位置合せを行うことを特徴とする。
請求項3に記載のディスプレイの成層方法は、請求項2に記載の蛍光表示管の成層方法において、前記複数の位置合せマークは同心状に形成し、リング状マークに形成する前記絶縁層の開口の直径(D1)は、前記リング状マークの外径(D1+W1)より小さく、内径(D1−W1)より大きいことを特徴とする。
請求項4に記載のディスプレイの成層方法は、請求項2に記載の蛍光表示管の成層方法において、前記複数の位置合せマークは同心状に形成し、円板状マークに形成する前記蛍光体層の外径(D3)は、前記円板状マークの外径(D2)より小さいことを特徴とする。
請求項5に記載のディスプレイの成層方法は、パターン形成用のスクリーンを用いて基板に所定パターンの導電層、絶縁層及び蛍光体層を積層して形成する蛍光表示管の成層方法において、前記導電層の印刷工程において以後の印刷工程で用いる位置合せマーク用の2個の導電層を印刷し、前記絶縁層の印刷工程において前記位置合せマーク用導電層の1個を用いて絶縁層パターン印刷用のスクリーンの位置合せを行い、前記蛍光体層の印刷工程において前記位置合せマーク用の導電層の他の1個を用いて蛍光体層パターン印刷用のスクリーンの位置合せを行うことを特徴とする。
本願発明の位置合せマークは、各成層工程における位置合せの基準に用いるのみでなく、各マーク上に形成された機能材料層の位置ずれが許容値の範囲内か否かの判断基準にも利用できる。即ち、各マーク上に形成された機能材料層が各マークをはみ出しているか否か、或いは各マークから外れているか否かを検査することにより、機能材料層の位置ずれの可否を判断できる。
まず図1について説明する。
図1は、本願発明の実施例に係る蛍光表示管の背面基板の一部を示す図で、図1(a)は、背面基板の一部の断面図、図1(b)は、図1(a)の位置合せマークの拡大平面図、図1(c)は、図1(b)のX3部分の矢印方向の断面図である。
位置合せマークM部分の寸法は、目視で位置合せを行う場合には、図1(c)でD1,D2,D3を夫々1.0,0.7,0.6mm程度とし、W1を0.2mm程度とした。
なお位置合せマークMの導電層331には、蛍光体層52を被着してあるから、導電層331を配線に接続すれば、蛍光体層52を発光させることができ、その場合には、位置合せマークMを表示セグメントとして利用することもできる。
図2において、71〜73は、前記各層のパターン形成部材であるスクリーン印刷用のスクリーン(断面を示す)である。スクリーン71〜73において、斜線部分は、印刷用のペーストが通れない部分(非通過部分)を示し、斜線のない部分は、印刷用のペーストが通る部分(通過部分)を示す。
この印刷の際、スクリーン72は、非通過部分7242が導電層332と同心状になるように位置を調整して位置合せを行う。なおスクリーン72の720は、通過部分である。
この印刷の際、スクリーン73は、通過部分7352が導電層331と同心状になるように位置を調整して位置合せを行う。なおスクリーン73の730は、非通過部分である。
図2の導電層の形成は、印刷法の外、写真法で行われることも多い。その場合には、背面基板11上の全面にアルミニウムの薄膜をスパッタリング法、蒸着法等で形成し、その全面にレジスト膜を形成した後、図2(a)のスクリーン71に相当する露光マスクを用いて前記レジスト膜を露光、現像する。そして現像されたレジストパターンを用いてアルミニウムの薄膜をエッチングして導電層(アルミニウム層)を形成することもできる。
図3(a)は、位置合せマークMの平面図、図3(b)は、図3(a)のX4部分の矢印方向の断面図である。
まず最初の印刷工程において、導電層パターン印刷用のスクリーン(図示せず)を用いて導電層331,332,333を印刷する。次に導電層333を基準に第1の絶縁層パターン印刷用のスクリーン(図示せず)を用いて絶縁層4bを印刷し、さらに導電層332を基準に第2の絶縁層パターン印刷用のスクリーン(図示せず)を用いて絶縁層4aを印刷する。そして導電層331を基準に蛍光体層パターン形成用のスクリーン(図示せず)を用いて蛍光体層52を印刷する。このように印刷回数に応じて最初の印刷工程において印刷する位置合せマークの個数を変えることにより所定の工程数の印刷に対応できる。
なお位置合せマークを印刷する印刷工程は、多数の印刷工程の内、途中の印刷工程であってもよい。例えば、最初に背面基板11の全面に絶縁層を印刷し、その絶縁層の上に前記の導電層、絶縁層、蛍光体層を形成する場合には、2回目の印刷工程において位置合せマークを印刷すればよい。したがって位置合せが必要な印刷工程の前の印刷工程において位置合せマークを印刷すればよい。
蛍光表示管には、図4(a)のように、Y1方向から蛍光体層51の発光を観察するタイプのものと、図4(b)のように、Y2方向から観察するタイプのものがあるが、本願発明の位置合せマークは、いずれのタイプの蛍光表示管の成層方法にも使用できる。また本発明の位置合せマークは、背面基板11、前面基板12の双方に表示部を形成する両面発光型蛍光表示管(特許文献2参照)の成層方法にも使用できる。
背面基板11には、ドット状のアノードA11〜Anmが形成されている。本願発明の位置合せマークは、ドットマトリクスパターンのアノードを備えた蛍光表示管の成層方法にも使用できる。
背面基板11には、アノードAを囲むようにリブ状絶縁層61を形成し、そのリブ状絶縁層61の上に導電層からなる平面制御電極62を形成してある。
本発明の位置合せマークは、平面制御電極型蛍光表示管の成層方法にも使用できる。平面制御電極型蛍光表示管の場合には、アノード電極の導電層31、配線用の導電層(図示せず)を印刷するとき同時に、以後の印刷工程で用いる位置合せマークを印刷する。即ち前記導電層31、配線用の導電層の印刷工程において、リブ状絶縁層61、蛍光体層51、平面制御電極62等の印刷工程で必要な位置合せマークを、例えば図3の導電層331,332,333等と同様のマークを印刷して、位置合せの基準に用いる。
前記実施例は、円形の位置合せマークについて説明したが、位置合せマークは、円形に
限らず、四角形、三角形等多角形であってもよい。
前記実施例は、スクリーン印刷法におけるスクリーンの位置合せを例に説明したが、写真法におけるフォトマスクの位置合せであってもよい。
前記実施例は、蛍光表示管について説明したが、蛍光表示管に限らず、プリントヘッド用蛍光発光管、平面型陰極線管、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネセントディスプレイ等のディスプレイであってもよい。
12 前面基板
131〜134 側面板
15 支持部材
31,32,33,331,332,333 導電層
4,4a,4b 絶縁層
41,42,4a1 開口
51,52 蛍光体層
61 リブ状絶縁層
62 平面制御電極
71,72,73 スクリーン
710,7241,7242,730 非通過部分
711,712,7131,7132,720,7351,7352 通過部分
A,A11,Anm アノード
F フィラメント
G 制御電極
M 位置合せマーク
Claims (5)
- パターン形成部材を用いて基板に所定パターンの機能性材料層を複数層積層して形成するディスプレイの成層方法において、所定の成層工程においてその所定の成層工程以後の成層工程の位置合せに用いる複数の位置合せマークを形成し、前記所定の成層工程以後の成層工程においては、各成層工程毎に前記位置合せマークの異なるマークを用いて前記パターン形成部材の位置合せを行うことを特徴とするディスプレイの成層方法。
- パターン形成部材を用いて基板に所定パターンの導電層、絶縁層及び蛍光体層を積層して形成する蛍光表示管の成層方法において、所定の成層工程においてその所定の成層工程以後の成層工程の位置合せに用いる複数の位置合せマークを形成し、前記所定の成層工程以後の成層工程においては、各成層工程毎に前記位置合せマークの異なるマークを用いて前記パターン形成部材の位置合せを行うことを特徴とする蛍光表示管の成層方法。
- 請求項2に記載の蛍光表示管の成層方法において、前記複数の位置合せマークは同心状に形成し、リング状マークに形成する前記絶縁層の開口の直径(D1)は、前記リング状マークの外径(D1+W1)より小さく、内径(D1−W1)より大きいことを特徴とする蛍光表示管の成層方法。
- 請求項2に記載の蛍光表示管の成層方法において、前記複数の位置合せマークは同心状に形成し、円板状マークに形成する前記蛍光体層の外径(D3)は、前記円板状マークの外径(D2)より小さいことを特徴とする蛍光表示管の成層方法。
- 基板に所定パターンの導電層、絶縁層及び蛍光体層を積層して形成する蛍光表示管の成層方法において、前記導電層の形成工程において以後の印刷工程で用いる位置合せマーク用の2個の導電層を形成し、前記絶縁層の印刷工程において前記位置合せマーク用導電層の1個を用いて絶縁層パターン印刷用のスクリーンの位置合せを行い、前記蛍光体層の印刷工程において前記位置合せマーク用の導電層の他の1個を用いて蛍光体層パターン印刷用のスクリーンの位置合せを行うことを特徴とする蛍光表示管の成層方法。
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