JP2005345354A - 圧電デバイス、及び圧電発振器 - Google Patents

Abstract

【課題】 圧電デバイスに衝撃などが印加された際の圧電振動片を保持するリード板の変形を防止し、リード板の変形による検出感度の低下を防止することにより所望の検出を行うことができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイスであるジャイロセンサ１００は、パッケージ２０内にジャイロ振動片１０、リード板１５ａ、１６ａ、１７ａ、１８ａおよび支持基板１９を収納し、図中２点鎖線で示す蓋体２１をパッケージ２０の固着面に固着している。リード板１５ａ、１６ａ、１７ａ、１８ａには、厚み方向に設けられた補強部１５ｂ、１６ｂ、１７ｂ、１８ｂが設けられている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ジャイロ振動片のような圧電振動片を有する圧電デバイス、及び当該圧電デバイスを備える圧電発振器に関する。

例えば、特許文献１に記載されたような従来の圧電デバイスでは、図１１に示すように、ジャイロ振動片等である圧電振動片１１０が、支持基板１１１に接合材１１２で固着されたリード板１１３ａ、１１３ｂによって保持され導電性接着材１１４等で接続されている。支持基板１１１は、パッケージ１１５に固着材１１６により固着されている。

特開２００３−２９４４５０号公報

しかしながら、前述の背景技術に示した圧電デバイスでは、圧電振動片を支持するリード板の１つずつの強度が弱いため、圧電振動片に衝撃などが加わることによってリード板が変形し、圧電振動片の保持姿勢が予期しない状態に変化することがある。この、圧電振動片の保持姿勢の変化による特性への影響により、圧電振動片の一例としてのジャイロ振動片の検出感度が低下し所望の検出ができなくなるという問題を有していた。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、衝撃などが加わっても検出感度が低下せず、所望の検出を行うことができる圧電デバイスを提供することにある。

かかる問題を解決するために、本発明の圧電デバイスは、圧電振動片と、支持基板と、前記圧電振動片と前記支持基板とに接続させて両者を導通させるとともに、前記支持基板に対して前記圧電振動片を離間する状態に支持するリード板と、を有し、前記リード板は、前記圧電振動片と前記支持基板との接続方向に略直交する方向における一部を、厚み方向に折り曲げ又は変形させてなる補強部を有していることを特徴とする。
本発明の圧電デバイスによれば、リード板の一部を当該リード板の厚み方向に折り曲げ又は変形させた補強部がリード板に形成されているため、リード板の厚み方向の寸法が増す。この厚み方向の寸法の増によりリード板の剛性が増し、圧電振動片に衝撃などが加わってもリード板の変形が起こりにくくなる。従って、圧電振動片の保持姿勢の変化が起こりにくくなり、圧電振動片の一例としてのジャイロ振動片の検出感度の低下を防止することができる。

また、前記補強部は、前記リード板の一部を突起状に変形させて形成されていることが望ましい。
このようにすれば、他の部材を用いることなくリード板の強度を向上することが可能となる。

また、前記補強部は、前記リード板の一部を折り曲げて形成されていることが望ましい。
このようにすれば、他の部材を用いることなくリード板の強度を向上することが可能となる。

また、前記補強部は、前記リード板の幅方向の一端、又は両端を折り曲げて形成されていることが望ましい。
このようにすれば、他の部材を用いることなくリード板の強度を向上させることが可能となる。

また、前記補強部は、前記リード板と前記支持基板との接続部分、及び前記リード板と前記圧電振動片との接続部分を除く前記リード板の長手方向全領域に形成されていることが望ましい。
このようにすれば、リード板の強度をさらに高められることからリード板の変形を起こりにくくすることが可能となる。

また、前記リード板の複数箇所を変形することによって形成されていることとしてもよい。

また、前記補強部は、前記リード板の長手方向において、当該リード板と前記支持基板とが離れた部分および接触又は接続された部分をまたぐように設けられていることが望ましい。
このようにすれば、変形の起こり易いリード板と支持基板との接続部分のリード板の強度を補強し、リード板の変形を起こりにくくすることが可能となる。

また、前記補強部は、前記リード板の長手方向において、当該リード板が前記圧電振動片および前記支持基板のそれぞれと接続した各接続部の間の領域に設けられていることが望ましい。
このようにすれば、リード板が中空にある部分の強度を増すことができるため、リード板の強度を補強し、リード板の変形を起こりにくくすることが可能となる。

また、前記補強部は、その一方端を前記リード板が前記支持基板と接続する部分に接して形成されていることが望ましい。
このようにすれば、変形の起こり易いリード板と支持基板との接続部分に近接する部分のリード板の強度を補強し、リード板の変形を起こりにくくすることが可能となる。

また、前記リード板は、前記圧電振動片を保持する部分と前記支持基板によって支持される部分との間に、前記リード板が折り曲げられ前記圧電振動片と前記支持基板との接触を防止する間隙形成部が形成されており、前記補強部は、前記間隙形成部の前記リード板の一部を変形することによって形成されていることが望ましい。
このようにすれば、間隙形成部のリード板の強度を高めることが可能となり、リード板の変形を防止することが可能となる。

また、前記圧電振動片が、回転角速度を検出するためのジャイロセンサに用いるジャイロ振動片であることが望ましい。
このようにすれば、圧電振動片の保持姿勢が検出感度に大きく影響されるジャイロ振動片においても、検出感度の低下を防止することができ、所望の検出が可能なジャイロセンサを提供することが可能となる。

また、前述の圧電デバイスと、少なくとも前記圧電振動片を駆動するための機能を有する回路素子とを有することを特徴とする圧電発振器を提供することも可能となる。

本発明に係る圧電デバイスの最良の形態について、以下に図面を用いて説明する。なお、本発明は、後述の実施形態に限定されるものではない。
（第一の実施形態）

本発明に係る圧電デバイスの第一の実施形態として、ジャイロセンサ用水晶振動片（以下、「ジャイロ振動片」という。）を用いたジャイロセンサについて、図面を用いて説明する。図１は、第一の実施形態のジャイロセンサを示す概略図である。図１（ａ）は、ジャイロセンサの平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すジャイロセンサのＡ−Ａ断面図である。図１（ｃ）は、図１（ｂ）に示すジャイロセンサのＢ−Ｂ断面図であり、リード板の形状を説明する側断面図である。なお、図１（ｃ）は、リード板の形状を明瞭にするため、リード板の図１（ｂ）におけるＢ−Ｂ断面を拡大した図である。
＝＝ジャイロセンサの構成＝＝

先ず、ジャイロセンサの構成について説明する。ジャイロセンサ１００は、電子機器及び乗り物のような物体の姿勢や位置を検出するために前記物体に搭載されて使用される。
図１（ａ）、図１（ｂ）に示すように、ジャイロセンサ１００は、パッケージ２０内にジャイロ振動片１０、リード板１５ａ、１６ａ、１７ａ、１８ａおよび支持基板１９を収納し、図中２点鎖線で示す蓋体２１をパッケージ２０の固着面に固着して密封されている。

圧電振動片の一例であるジャイロ振動片１０は、水晶を用いており薄板状に形成されている。リード板１５ａ、１６ａ、１７ａ、１８ａは、ジャイロ振動片１０を長手方向の一方端近傍に導電接着剤或いは金バンプなどの接合材（図示せず）で接続している。さらに、リード板１５ａ、１６ａ、１７ａ、１８ａの他方端近傍は、支持基板１９の表面に図示しない接合材によって接続されている。
なお、ジャイロ振動片、リード板についての詳細は後述する。

セラミック等で形成されたパッケージ２０の凹部底面２２には、支持基板１９の裏面が固着されている。支持基板１９は、例えば、ポリイミド樹脂などで形成されており、中央部は打ち抜かれた穴明き形状となっている。
＝＝リード板の説明＝＝

次に、リード板１５ａ、１６ａ、１７ａ、１８ａ（４つのリード板１５ａ、１６ａ、１７ａ、１８ａの構成は同じであるため、以下、リード板１５ａを代表として例示し説明する）について詳細に説明する。なお、リード板の個数は、本例により限定されるものではない。
リード板１５ａは、一例として厚み１８μｍ、リード板幅３０〜１００μｍ、程度の銅薄板にニッケルメッキが施され形成されている。リード板１５ａは、パッケージ２０の凹部の４側面方向から、パッケージ２０の中心に向かって設けられている。リード板１５ａは、一方の端近傍の接続部２４により支持基板１９の表面に設けられた電極（図示せず）に固着され導通が取られており、当該固着部分の中心側の部分で上方に折り曲げられて形成された間隙形成部２５を有している。間隙形成部２５は、ジャイロ振動片１０と支持基板１９との間に隙間を設け、ジャイロ振動片１０と支持基板１９との接触を防止する。

リード板１５ａは、さらに間隙形成部２５の先のリード板端部近傍が折り曲げられてジャイロ振動片１０の受け部２３が形成されている。受け部２３にジャイロ振動片１０の電極（図示せず）が固着されており、受け部２３とジャイロ振動片１０の電極との導通が取られている。

リード板１５ａの間隙形成部２５には、リード板１５ａの幅方向の一方の端部が厚み方向（本実施形態の場合、下方にある支持基板１９の方向）に折り曲げられた、リード板１５ａの補強部１５ｂが形成されている。その折り曲げにより、リード版１５ａの厚みが増したことになる。補強部１５ｂの折り曲げ量は、リード板１５ａの厚みと同等以上に設定されている。補強部１５ｂは、間隙形成部２５の幅方向の一端に沿って長手方向の全ての領域に設けられている。

＝＝ジャイロ振動片の説明＝＝
次に、ジャイロ振動片について、図面を用いて詳細に説明する。図２は、駆動アームの動作を示す図である。図３は、駆動アームの動作とコリオリ力との関係を示す図である。図４は、検出アームの動作を示す図である。

先ず、ジャイロ振動片の構成について説明する。
図１に示すジャイロセンサ１００に用いられるジャイロ振動片１０は、従来知られた駆動モード、検出モード、及びスプリアスモードという３つのモードで動作すべく、駆動部を構成する第一の駆動腕部及び第二の駆動腕部である第一の駆動アーム１１Ａ及び第二の駆動アーム１１Ｂと、検出部である検出アーム１２と、腕支持部であるアーム支持部１３と、支持部である支持板１４とを有している。

アーム支持部１３は、一端が第１の駆動アーム１１Ａの中心に接続されており、他端が第２の駆動アーム１１Ｂの中心に接続されており、検出アーム１２は、その中心がアーム支持部１３の中心と一致するように接続されている。支持板１４は、アーム支持部１３と検出アーム１２との接続点を含む所定の面積を有する板状部である。

次に、ジャイロ振動片の動作について説明する。
第１及び第２の駆動アーム１１Ａ、１１Ｂは、図２（ａ）に示されるように、各々が図示のＹ方向に延在する即ち相互に平行する、所定長を有する板状の部材である。第１及び第２の駆動アーム１１Ａ、１１Ｂは、図示のＸ方向に沿った振動中に、前記した物体の姿勢の変動の一つである、図示のＺ方向を回転軸として与えられる回転に応じて、当該回転角速度の大きさに対応するコリオリ力を生成する。

駆動アーム１１Ａは、図２（ａ）〜（ｃ）に示されるように、その中心を軸とする屈曲動作により振動し、より詳細には、その端部に近い部位ほどＸ方向に沿って大きく変位するという凹凸型に変形することにより振動する。駆動アーム１１Ｂは、駆動アーム１１Ａが変形する凹凸形状とは線対称な関係にある形状に屈曲動作により振動する。

図３に示されるように、第１の駆動アーム１１Ａが２点鎖線で示された形状から実線で示された形状へ変化しており、第２の駆動アーム１１Ｂも２点鎖線で示された形状から実線で示された形状へ変化しているとき、紙面内時計回り方向の回転が加えられると、コリオリ力は、図３の矢印１９Ａ、１９Ｂで示される方向に発生する。他方で、第１の駆動アーム１１Ａが実線で示された形状から２点鎖線で示された形状へ変化し、第２の駆動アーム１１Ｂが実線で示された形状から２点鎖線で示された形状へ変化しているとき、紙面内時計回り方向の回転が加えられると、コリオリ力は、図３の矢印１９Ａ、１９Ｂとは反対方向に発生する。

検出アーム１２は、第１の駆動アーム１１Ａ及び第２の駆動アーム１１Ｂと同様に、図示のＹ方向に沿って延在している、所定長を有する板部材である。即ち、第１の駆動アーム１１Ａ、第２の駆動アーム１１Ｂ、及び検出アーム１２は、相互に平行である。検出アーム１２は、第１及び第２の駆動アーム１１Ａ、１１Ｂに働く前記コリオリ力を検出すべく、第１及び第２の駆動アーム１１Ａ、１１Ｂからアーム支持部１３を経て伝播される前記コリオリ力に応答して、当該コリオリ力の大きさに対応する振動を行う。

検出アーム１２は、図４（ａ）〜（ｃ）に示されるように、図２（ａ）〜（ｃ）で示した第１及び第２の駆動アーム１１Ａ、１１Ｂの屈曲動作と同様に、概ねＳ字状及び逆Ｓ字状に変形するという屈曲動作を行う。検出アーム１２による前記屈曲動作回転により発生する電気信号を検出することにより前記コリオリ力の大きさを知得し、これにより、前記物品に加えられた回転角速度の大きさを認識する。

上述の第一の実施形態によれば、ジャイロ振動片１０を保持し接続を行うリード板１５ａの厚み方向にリード板１５ａの厚み方向の寸法を増すようにリード板１５ａの補強部１５ｂが形成されることによりリード板１５ａの剛性が増し、ジャイロ振動片に衝撃などが加わってもリード板１５ａの変形が起こりにくくなる。従って、ジャイロ振動片の保持姿勢の変化が起こりにくくなり、ジャイロ振動片と、パッケージとの平行度が変化することから発生するジャイロ振動片の検出感度の低下を防止することができる。
また、補強部１５ｂが、リード板１５ａの端部を折り曲げて形成されていることから、構成部品を増やすことなく補強部１５ｂを設けることが可能となり、部品数が増えることによる製品コストの増加を防ぐことが可能となる。
（第二の実施形態）

本発明に係る圧電デバイスの第二の実施形態として、圧電振動片としてジャイロ振動片を用いたジャイロセンサについて、図面を用いて説明する。図５は、第二の実施形態のジャイロセンサを示す概略図である。図５（ａ）は、ジャイロセンサの正面断面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）に示すジャイロセンサのＣ−Ｃ断面の側面図である。

第二の実施形態におけるジャイロセンサ１００の構成、及びジャイロ振動片１０についての説明は、先述した第一の実施形態と同様であるため省略し、第二の実施形態の特徴点であるリード板５５ａ、５７ａについて、及びリード板５５ａ、５７ａの補強部５５ｂ、５７ｂについて詳細を説明する。
＝＝リード板の説明＝＝

リード板５５ａ、５７ａ（２つのリード板５５ａ、５７ａの構成は同じであるため、以下、リード板５５ａを代表として用い説明する）について詳細に説明する。なお、リード板の個数は、本例により限定されるものではない。
図５（ａ）及び図５（ｂ）によれば、リード板５５ａは、一例として厚み１８μｍ、リード線幅３０〜１００μｍ、程度の銅薄板にニッケルメッキが施され形成されている。リード板５５ａは、長手方向としてパッケージ５０の凹部の４側面方向から、パッケージ５０の中心に向かって設けられている。リード板５５ａは、一方の端近傍に設けられた接続部５４で支持基板５９の表面に設けられた電極（図示せず）に固着され導通が取られている。リード板５５ａは、当該固着部分（接続部５４）の中心側の部分、換言すれば、リード板５５ａと支持基板５９との接続が離れたところから上方に折り曲げられている。

さらに、リード板５５ａは、上方に折り曲げられた先のリード板５５ａの端部近傍がもう一度折り曲げられ、支持基板５９とほぼ平行であるジャイロ振動片１０の受け部５３が形成されている。この受け部５３にジャイロ振動片１０の電極（図示せず）が固着され、受け部５３とジャイロ振動片１０の電極との導通が取られている。

リード板５５ａの接続部５４と接する内側、即ちリード板５５ａが支持基板５９と離れる部分のリード板５５ａには、リード板５５ａの幅方向の中央部に押圧加工されて形成された凹部形状の補強部５５ｂが設けられている。この凹形状が形成された部分のリード板５５ａの厚み方向の寸法が増すことになる。補強部５５ｂは、リード板５５ａの長手方向に長く形成されている。補強部５５ｂの長手方向の一端は、リード板５５ａが上方に折り曲げられる位置にあり、他の一端は、上方に伸びる部分のほぼ中間に形成されている。凹部の深さは任意に設定することができるが、概ねリード板５５ａの厚み程度、又はリード板５５ａの厚みを超える深さがあれば補強効果を得ることができる。

上述の第二の実施形態によれば、リード板５５ａの支持基板５９との接続部５４近傍に補強部５５ｂを設けることにより、リード板５５ａが変形し易い支持基板５９との接続部５４近傍のみリード板の強度を補強することができる。
さらに、補強部５５ｂを設けないリード板５５ａの部分も有しているため、第一の実施形態の効果に加え、ジャイロ振動片に衝撃などが加わっても、変形の起こり易い接続部近傍のリード板の変形が起こりにくくなるとともに、補強部５５ｂを設けない部分のリード板５５ａが衝撃を吸収してジャイロ振動片の破損を防止することが可能となる。
＜補強部の変形例＞

前述のリード板の補強部についての変形例を図６、図７および図８を用いて説明する。図６（ａ）〜（ｄ）は、補強部の形状を示す図であり、図１で示すＢ−Ｂと同位置で切断したリード板の断面図である。図７（ａ）〜（ｃ）は、補強部の他の形状を示す図であり、リード板の間隙形成部を表す側面図と平面図である。図８は、補強部の一例を示す図であり、支持基板とリード板との接続部付近の正断面図である。

図６（ａ）に示すように、リード板３０の幅方向の両端を折り曲げて、それぞれ補強部３１及び補強部３２を設けることができる。
また、図６（ｂ）に示すように、リード板３０の幅方向の中央部を押圧等により押し出して突起状の補強部３３を形成することもできる。
また、図６（ｃ）に示すように、リード板３０の幅方向を所謂「くの字」に折り曲げてリード板３０の厚み方向の寸法を大きくしてリード板３０の補強部とすることもできる。なお、折り曲げは、１ヶ所に限らず複数の折り曲げがあってもよい。
また、図６（ｄ）に示すように、リード板３０の幅方向を円弧状に変形させ、リード板３０の補強を行うこともできる。

上述の補強部の変形例によれば、リード板３０の剛性が増し、ジャイロ振動片に衝撃などが印加されてもリード板３０の変形が起こりにくくなる。

また、図７（ａ）に示すように、補強部３５は、リード板３０の幅方向の端部を、折り曲げ部３５ａ、折り曲げ部３５ｂ、折り曲げ部３５ｃのようにリード板３０の長手方向に断続的に折り曲げて形成されている。即ち、リード板３０が補強部を有する部分と有さない部分とを交互に設ける構成で形成することができる。なお、リード板の幅方向の両端に補強部３５（折り曲げ部）が設けられる構成でも同様に断続的な構成を用いることができる。なお、折り曲げ部の個数は、２つ以上の任意の数量であればよい。

また、図７（ｂ）に示すように、リード板３０の幅方向の中央部が押圧等により押し出され、リード板３０の長手方向に断続的に設けられた補強用の突起部３６ａ、３６ｂ、３６ｃによって補強部３６が形成される構成を用いることもできる。なお、突起の個数は、２つ以上の任意の数量であればよい。

また、図７（Ｃ）に示すように、リード板３０に、２列設けられた円形の突起が互いに半ピッチずれて交互に配置された補強部３７で有ってもよい。なお、突起の個数は問わずいくつであってもよい。

上述のような補強部を断続的に設ける構成によれば、リード板３０は、リード板３０の強度が補強された部分と、補強されずにリード板３０自体の強度の部分とを有することになる。このことにより、補強部を設ける位置又は個数を変更することによりリード板３０の強度を強くする部分とリード板３０自体の強度としてバネ性を有する部分とを任意に設定することが可能となる。即ち、リード板３０の強度を所望の強度に設定することが可能となる。

従って、例えば、ジャイロ振動片（図７では図示せず）に衝撃などが加わっても、リード板３０の変形が起こりにくく、且つ、衝撃を吸収してジャイロ振動片の破損を防止することが可能となる。

また、図８に示すような補強部を設けることも可能である。図８に沿って説明すると、リード板１７ａは、パッケージ２０に固着された支持基板１９に接続されている。リード板１７ａには、その幅方向の一部を折り曲げて形成した補強部１７ｂが設けられている。補強部１７ｂは、一方端をリード板１７ａと支持基板１９とが接続されている部分に有し、他端をリード板１７ａが支持基板１９と離れた部分に有し、支持基板１９と接続する側と反対の方向（図では上向き方向）に折り曲げられている。なお、前述のリード板１７ａと支持基板１９との接続とは、リード板１７ａと支持基板１９とが固着されている、または接触している状態を含んでいる。即ち、補強部１７ｂは、リード板１７ａと支持基板１９とが接触又は接続された部分および離れた部分をまたぐように設けられている。

上述のように、補強部１７ｂが、リード板１７ａと支持基板１９とが接触又は接続された部分および離れた部分をまたぐように設けられていることにより、リード板１７ａが変形し易い支持基板１９との接続部近傍のリード板の強度を確実に補強することができる。

また、図９のジャイロセンサの正断面図に示すように、ジャイロセンサ１００を構成する、リード板１５ａ、１７ａの間隙形成部２５は、パッケージ２０の凹部底面に固着された支持基板１９面に垂直方向に設けられていても良い。これらの間隙形成部２５には、それぞれに補強部１５ｂ、１７ｂが形成されている。リード板１５ａ、１７ａは、一端近傍を支持基板１９に固着し、他の一端近傍をジャイロ振動片１０に固着している。パッケージ２０の上面には二点鎖線で示す蓋体２１が固着される。

上述のような構成によれば、前述の変形例と同様にリード板３０の強度を増すことが可能となる。従って、例えば、ジャイロ振動片１０に衝撃などが加わっても、リード板３０の変形が起こりにくくなる。
（第三の実施形態）

本発明の圧電振動片を用いた圧電発振器を、図を用いて説明する。図１０は、本発明の圧電振振器の概略正断面図である。

本発明の圧電発振器７０は、圧電発振片の一例としての水晶片であるジャイロ振動片１０、ジャイロ振動片１０を保持するための複数のリード板６５ａ、６７ａ、複数のリード板６５ａ、６５ｂを支持する支持基板６９、少なくともジャイロ振動片１０を駆動させる機能を有する回路素子の一例としての半導体装置６６、前述したそれぞれの構成部品を収納するためのパッケージ６０、及びパッケージ６０の蓋板６１から構成される。

詳述すると、セラミック等で形成されたパッケージ６０の凹部底面に、支持基板６９が固着されている。支持基板６９は、例えば、ポリイミド樹脂などで形成されている。支持基板６９の上面には、各方向から中心部に向かって伸びる複数のリード板６５ａ、６７ａが接合材（図示せず）によって固着されている。複数のリード板６５ａ、６７ａには一方の端付近にジャイロ振動片１０が導電接着剤或いは金バンプなどの接合材（図示せず）で接合されている。さらに、複数のリード板６５ａ、６７ａは、パッケージの中央部に向かって斜め上方に折り曲げられて形成された立ち上がり形状の間隙形成部６５には、リード板６５ａ、６７ａの強度を補強するために設けられた、リード板６５ａ、６７ａの幅方向の端部をリード板６５ａ、６７ａの厚み方向に折り曲げた補強部６５ｂ、６７ｂが設けられている。

なお、前述では、圧電振動片の一例として、水晶片によるジャイロ振動片を用いて説明したが、これに限らず、例えば、矩形、音叉型、円盤状などの水晶振動片、リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ₃）振動片など他の振動片でもよい。

上述の第三の実施形態によれば、ジャイロ振動片１０を保持し接続を行うリード板６５ａ、６７ａの厚み方向に補強部６５ｂ、６７ｂが形成されることによりリード板６５ａ、６７ａの剛性が増し、ジャイロ振動片１０に衝撃などが加わってもリード板６５ａ、６７ａの変形が起こりにくくなる。従って、ジャイロ振動片１０の保持姿勢の変化が起こりにくくなり、ジャイロ振動片１０と、パッケージ６０の底面との平行度が変化することから発生するジャイロ振動片１０の検出感度の低下を防止することができる圧電発振器を提供することが可能となる。

なお、補強部は、リード板の長手方向のうち、支持基板との接続部分と圧電振動片との接続部分とを除く全ての領域に設けられていても良い。

また、前述では圧電振動片が支持基板に対して複数のリード板により支持された構造で説明したがこれに限らず、圧電振動片が支持基板に対して１つのリード板により支持された片持ち構造でもよい。

第一の実施形態のジャイロセンサの概略を示し、（ａ）は、ジャイロセンサの平面図、（ｂ）は、ジャイロセンサの同図（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、（ｃ）は、リード板の同図（ｂ）におけるＢ−Ｂ断面図。 ジャイロ振動片の駆動アームの動作を示す平面図。 ジャイロ振動片の駆動アームの動作とコリオリ力との関係を示す平面図。 ジャイロ振動片の検出アームの動作を示す平面図。 第二の実施形態のジャイロセンサの概略を示し、（ａ）は、正断面図、（ｂ）は、ジャイロセンサの同図（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図。 リード板の補強部の変形例を示す図であり、図１で示すＢ−Ｂと同位置で切断したリード板の断面図。 リード板の補強部の一例を示す図であり、リード板の間隙形成部の一部を表す平面図と側面図。 リード板の補強部の一例を示し、支持基板とリード板との接続部付近の正断面図。 リード板の間隙形成部の一例を示す正断面図。 本発明の圧電発振器における概略の正断面図。 従来の圧電デバイスを示す正断面図。

符号の説明

１０…圧電振動片としてのジャイロ振動片、１１Ａ…第一の駆動アーム、１１ｂ…第二の駆動アーム、１２…ジャイロ振動片の検出アーム、１３…アーム支持部、１４…支持板、１５ａ、１６ａ、１７ａ、１８ａ…リード板、１５ｂ、１６ｂ、１７ｂ、１８ｂ…補強部、１９…支持基板、２０…パッケージ、２１…蓋体、２２…凹部底面、２３…受け部、２４…接続部、２５…間隙形成部、５５ｂ、５７ｂ…補強部、７０…圧電発振器、１００…圧電デバイスとしてのジャイロセンサ。

Claims (12)

1. 圧電振動片と、
   支持基板と、
   前記圧電振動片と前記支持基板とに接続させて両者を導通させるとともに、前記支持基板に対して前記圧電振動片を離間する状態に支持するリード板と、を有し、
   前記リード板は、前記圧電振動片と前記支持基板との接続方向に略直交する方向における一部を、厚み方向に折り曲げ又は変形させてなる補強部を有していることを特徴とする圧電デバイス。
2. 請求項１に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記補強部は、前記リード板の一部を突起状に変形させて形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
3. 請求項１に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記補強部は、前記リード板の一部を折り曲げて形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
4. 請求項１に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記補強部は、前記リード板の幅方向の一端、又は両端を折り曲げて形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
5. 請求項１に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記補強部は、前記リード板と前記支持基板との接続部分、及び前記リード板と前記圧電振動片との接続部分を除く前記リード板の長手方向全領域に形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
6. 請求項１又は請求項２のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記補強部は、前記リード板の複数箇所を変形することによって形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
7. 請求項１に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記補強部は、前記リード板の長手方向において、当該リード板と前記支持基板とが離れた部分および接触又は接続された部分をまたぐように設けられていることを特徴とする圧電デバイス。
8. 請求項１に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記補強部は、前記リード板の長手方向において、当該リード板が前記圧電振動片および前記支持基板のそれぞれと接続した各接続部の間の領域に設けられていることを特徴とする圧電デバイス。
9. 請求項１に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記補強部は、その一方端を前記リード板が前記支持基板と接続する部分に接して形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
10. 請求項１に記載の圧電デバイスにおいて、
    前記リード板は、前記圧電振動片を保持する部分と前記支持基板によって支持される部分との間に、前記リード板が折り曲げられ前記圧電振動片と前記支持基板との接触を防止する間隙形成部が形成されており、
    前記補強部は、前記間隙形成部の前記リード板の一部を変形することによって形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
11. 請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
    前記圧電振動片が、回転角速度を検出するためのジャイロセンサ用の振動片であることを特徴とする圧電デバイス。
12. 請求項１ないし請求項１１のいずれか一項に記載の圧電デバイスと、
    少なくとも前記圧電振動片を駆動するための機能を有する回路素子と、を有することを特徴とする圧電発振器。
    

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