JP2005342591A - 機能液供給装置およびこれを備えたキャリッジ装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、機能液の使用量を削減し且つ吐出を安定化することができる機能液供給装置等を提供することを課題としている。
【解決手段】 機能液供給装置３２は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド１１に機能液を供給し、機能液を貯留する機能液タンク部５４と、機能液タンク部５４に連なる１次室７５、機能液滴吐出ヘッド１１に連なる２次室７６、および大気に面したダイヤフラム７８により大気圧を調整基準圧力として、１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７７を開閉して２次室７６を圧力調整する圧力調整部８１、を有する圧力調整弁機構５５と、を共通のハウジング５６に作り込んでいる。
【選択図】 図４

Description

本発明は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置およびこれを備えたキャリッジ装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

従来、印刷装置のインクジェットヘッドにインクを送るインク供給装置として、加圧ポンプ内蔵のメインタンクと、印刷ヘッド側の圧力を減圧する圧力調整弁（自己封止弁）と、を有するものが知られている。圧力調整弁は、タンク側に接続した１次室から印刷ヘッドに接続する２次室へ至るインク流路に設けた弁体を、ダイヤフラムにより開閉動作させる。このダイヤフラムは、１次室の内圧とインクの消費に伴う２次室の内圧との圧力差により自動的に開閉し、微少量ずつインクを供給するととともに印刷ヘッドのインク漏れを防いでいる。
この場合、装置側に搭載されるメインタンクと、キャリッジ上の圧力調整弁とは継手を介して可撓性のチューブにより接続されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００３−２１１７０１号公報（図８および図６）

上記従来のインク供給機構では、チューブ内流路が長くなるため、メインタンクから印刷ヘッドに至る流路の充填に必要なインク量が多くなる問題がある。また、印刷ヘッドの移動に伴ってインクチューブの折り曲げ部分が連続的に移行するため、チューブ内に脈動を生じて圧力が変動し、吐出が不安定になる問題がある。また、継手部分等に気泡が残留し、この気泡によりインクの吐出不良が起こる問題がある。

本発明は、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液の流路を極力短くすることができる機能液供給装置およびこれを備えたキャリッジ装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。

本発明の機能液供給装置は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置であって、機能液を貯留する機能液タンク部と、機能液タンク部に連なる１次室、機能液滴吐出ヘッドに連なる２次室、および大気に面したダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路を開閉して２次室を圧力調整する圧力調整部、を有する圧力調整弁機構と、を共通のハウジングに作り込んだことを特徴とする。

この構成によれば、ハウジングに機能液タンク部および圧力調整弁機構を作り込むようにしているため、機能液タンク部と圧力調整弁機構とを最短となるように直結することができる。これにより、機能液タンク部から圧力調整弁機構に至る流路内に充填する機能液の液量を少なくすることができる。また、チューブレスとすることにより、継手に気泡が残留することがなく、且つチューブ部分から気体が透過して機能液の脱気度が低下することもないため、吐出を安定化することができる。

この場合、ハウジングは、機能液滴吐出ヘッドの長手方向に沿って細長形状に形成されていることが好ましい。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドを複数個並列に並べた場合、機能液供給機構も同様に複数個並列に並べることができるため、機能液供給機構の設置に必要なスペース（幅）を小さくすることができる。また、この場合、機能液滴吐出ヘッドおよび機能液供給機構間を接続する各流路の長さを均一に揃えることができる。

この場合、機能液タンク部は、貯留する機能液の液面の波立ちを防止する消波手段を有することが、好ましい。

この構成によれば、機能液の波立ちによりタンク内部の圧力変動を防止することができる。したがって、圧力調整部の開閉が不安定になることがない。

この場合、消波手段は、機能液タンク部に貯留する機能液の液面の略全域を覆うように設けたフロート部材であることが、好ましい。

同様に、消波手段は、機能液タンク部の底部を連通した状態で、機能液タンク部を平面視長手方向に直交する方向に仕切る複数の仕切り壁で構成されていることが、好ましい。

これらの構成によれば、前者のものにあっては、フロート部材により液面が押さえられることで波立ちが防止され、後者のものにあっては、波長及び振幅が大きな波が生ずるのを防止することができる。すなわち、機能液タンク部内で機能液が長手方向に揺れ動くのを防止できるため、機能液タンク部側においても圧力変動を防ぐことができる。これにより、機能液滴吐出ヘッド側で圧力を調整する圧力調整弁とも相まって、機能液滴吐出ヘッドにおける機能液の吐出をより安定化することができる。

この場合、２次室に連なると共にハウジングに形成した機能液流出口と機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口とを接続する接続管ブロックを、更に備えることが、好ましい。

この構成によれば、圧力調整弁機構と機能液滴吐出ヘッドとを接続管ブロックで直接接続するようにしているため、継ぎ手やチューブを省略することができる。これにより、機能液タンク部から機能液滴吐出ヘッドに至る機能液の流路をより一層短くすることができる。

この場合、接続管ブロックは、機能液流出口に対しねじ接合で接続され、機能液導入口に対し差込み接合で接続されていることが、好ましい。

この構成によれば、予め接続管ブロックを機能液流出口に取り付けておけば、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口にワンタッチで接続できる。

本発明のキャリッジ装置は、機能液供給装置の複数個が搭載されるタンクプレートと、複数個の前記機能液供給装置に対応して機能液滴吐出ヘッドの複数個が搭載されるヘッドプレートとを備え、タンクプレートをヘッドプレートに装着することにより、複数の機能液供給装置が複数の機能液滴吐出ヘッドに一括して接続されることを特徴とする。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドプレートに機能液供給装置を搭載したタンクプレートを位置決めして装着するだけで、複数個の機能液供給装置を複数個の機能液滴吐出ヘッドに一括して接続することができる。このため、キャリッジ装置の組立時およびメンテナンス時に、各機能液供給装置と各機能液滴吐出ヘッドとを迅速に着脱することができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記のキャリッジ装置と、ワークを機能液滴吐出ヘッドに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことが、好ましい。

この構成によれば、機能液の使用量を少なくすることができる機能液供給装置を用いているため、これを用いて製造される製品の生産性を向上させることができる。また、機能液滴吐出ヘッドに気泡が生じていない機能液が供給されるため、液滴吐出装置の吐出不良を防いで、製品の信頼性を向上させることができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、機能液の吐出を安定化した液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置１について説明する。この液滴吐出装置１は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッド１１を用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２の上側中央に十字状に配設された、１２個の機能液滴吐出ヘッド１１を有する描画装置３と、機台２上に描画装置３と並列に設置され機能液滴吐出ヘッド１１の保守等に用いる各種の装置から成るメンテナンス装置４と、機能液を圧力調整して描画装置３に供給する機能液供給系５と、これらを覆うように機台２上に載せこんだチャンバ装置（図示省略）と、上記の各構成装置を統括的に制御する図外の制御装置と、を備えている。

描画装置３およびメンテナンス装置４は、チャンバ装置の内に収容されており、ドライエアーや不活性ガスの雰囲気において、外部から搬入されたワークＷに対し、機能液滴吐出ヘッド１１による機能液滴の吐出、すなわち描画を行う。また、液滴吐出装置１の稼動開始時等にあっては機能液滴吐出ヘッド１１の機能回復を図るべく、これをメンテナンス装置４に臨ませる。

描画装置３は、機台２上に設置したＸ・Ｙ移動機構６を有している。Ｘ・Ｙ移動機構６は、機能液滴吐出ヘッド１１に対して、ワークＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるものであり、ワークＷを搭載するとともにこれをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル７と、これを跨いで直交するように設置されて、各機能液滴吐出ヘッド１１を搭載するとともにこれをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル８と、を備えている。また、描画装置３には、各機能液滴吐出ヘッド１１の位置認識を行うヘッド認識カメラ（図示省略）や、ワークＷの位置認識を行うための一対のワーク認識カメラ（図示省略）、等の各種の装置が備えられている。

Ｘ軸テーブル７は、ワークＷを吸着載置する吸着テーブル１２および吸着テーブル１２をＺ軸廻りに回転自在に支持するθテーブル１３からなるセットテーブル１４と、セットテーブル１４をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ１５と、Ｘ軸スライダ１５を駆動するＸ軸モータ（図示省略）とを有している。ワークＷは吸着テーブル１２上に吸着載置され、Ｘ軸スライダ１５を介して主走査方向であるＸ軸方向に往復移動される。

Ｙ軸テーブル８は、Ｘ軸テーブル７を挟んで機台２に立設された左右一対の支柱１６と、両支柱１６，に掛渡されたＹ軸フレーム１７と、Ｙ軸フレーム１７にスライド自在に支持されるＹ軸スライダ１８と、Ｙ軸スライダ１８を駆動するＹ軸モータ（図示省略）と、Ｙ軸スライダ１８に支持され機能液滴吐出ヘッド１１を搭載するメインキャリッジ２１とを有している。機能液滴吐出ヘッド１１はメインキャリッジ２１とともに、Ｙ軸スライダ１８を介して副走査であるＹ軸方向に往復移動される。

そして、ワークＷに描画を行う場合には、各機能液滴吐出ヘッド１１を所定のワークギャップを存してワークＷに臨ませておいて、Ｘ軸テーブル７による主走査（ワークＷの往復移動）に同期して、各機能液滴吐出ヘッド１１を吐出駆動させる。また、Ｙ軸テーブル８により適宜、副走査（機能液滴吐出ヘッド１１の移動）が行われる。この一連の動作により、ワークＷの描画領域に所望の描画が行われる。

図２に示すように、メインキャリッジ２１は、Ｙ軸スライダ１８に固定したスライドベース２２と、スライドベース２２に垂設した垂設フレーム２３と、垂設フレーム２３の下部に組み込んだθ軸回転機構２４と、θ軸回転機構２４の下端に設けたキャリッジ本体２５と、を有している。θ軸回転機構２４を介した垂設フレーム２３により、キャリッジ本体２５がθ軸廻りに回転自在に支持される。

キャリッジ本体２５は、方形枠状のサブキャリッジ２６と、サブキャリッジ２６に装着されるヘッドプレート２７およびタンクプレート２８と、サブキャリッジ２６に対向するとともにθ軸回転機構２４の下端に装着される装着プレート２９と、サブキャリッジ２６と装着プレート２９を連結する複数の連結支柱１９と、を有している。サブキャリッジ２６には、ヘッドプレート２７を下方からビス止め固定するビス止め部（図示省略）と、タンクプレート２８の取り付け時にタンクプレート２８の装着を四隅でガイドし且つ着脱自在に装着するための位置決めガイド機構３１と、が設けられている。

ヘッドプレート２７には、１２個の機能液滴吐出ヘッド１１がその下部を下方に突出させるようにして搭載される。すなわち、ヘッドプレート２７上において、これら１２個の機能液滴吐出ヘッド１１の全ノズル４２列が１描画ラインを構成すべく平面視階段状に配設されている（図１参照）。一方、タンクプレート２８には、これらの機能液滴吐出ヘッド１１の配列に対応して、１２個の機能液供給装置３２が、同様の並びで平面視階段状に配設されている。なお、上記のヘッドプレート２７、タンクプレート２８、位置決めガイド機構３１および１２個の機能液供給装置３２により、本発明のキャリッジ装置３３が構成されている。

位置決めガイド機構３１は、タンクプレート２８の四隅に対応してサブキャリッジ２６上に立設した計４個の支持ブロック３４と、各支持ブロック３４に１本ずつ立設された計４本の固定ボルト３５と、各固定ボルト３５に隣接して設けた４本の位置決め突起３６と、で構成されている。一方、タンクプレート２８の四隅には４本の固定ボルト３５に対応する４個の貫通孔３８および４本の位置決め突起３６に対応する４個の位置決め孔３７が形成されている（図４参照）。各位置決め突起３６は、円錐台形状を有し、これがタンクプレート２８の各位置決め孔３７に嵌合することにより、サブキャリッジ２６にタンクプレート２８が位置決めされるようになっている。また、各固定ボルト３５が各貫通孔３８に遊挿されるようにして、サブキャリッジ２６にタンクプレート２８を載置し固定ボルト３５にナット４１を螺合させることにより、所望の間隙を存してタンクプレート２８がサブキャリッジ２６に固定されるようになっている。なお、位置決めガイド機構３１は、３個の支持ブロック３４等（３点支持）で構成してもよい。また、円錐台形状の位置決め突起３６を省略し、固定ボルト３５の基部をテーパ形状として、両者を兼ねる構成としてもよい。

機能液滴吐出ヘッド１１は、機能液滴を吐出する多数（例えば１８０個）のノズル４２をそのノズル面４３に有しており、それら多数のノズル４２が２列のノズル列４５を形成している（図１参照、図示では１列になっている）。具体的には、機能液滴吐出ヘッド１１は、これらのノズル列４５に対応した一対のヘッド内流路（図示省略）と、ヘッド内流路に面して設けられたキャビティ（ピエゾ圧電素子）（図示省略）と、ヘッド内流路に連なる一対の機能液導入口４４と、を有している。ノズル吸引による初期充填工程において、機能液は機能液滴吐出ヘッド１１の各機能液導入口４４から導入されて、ヘッド内流路に満たされる。そして機能液滴吐出ヘッド１１が吐出駆動すれば、キャビティがポンプ作用を発揮してヘッド内流路の機能液をノズル４２から吐出させる（機能液滴の吐出）。これにより、機能液滴吐出ヘッド１１では機能液が消費され、それに伴いヘッド内流路には新たな機能液が機能液供給系５から供給される。なお、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド１１の２列のノズル列４５のうち、１列のみ使用する構成となっている。

次に、図１を参照して、メンテナンス装置４について説明する。メンテナンス装置４は、液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル４２面を封止してノズル４２の乾燥を防止すると共に、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル４２から増粘した機能液を吸引除去する保管・吸引ユニット４６と、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面４３に付着する汚れを払拭するワイピングユニット４７とを有している。これら両ユニット４６，４７は、機台２上にＸ軸方向に延在するように載置された移動テーブル４８上に搭載され、この移動テーブル４８によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。

保管・吸引ユニット４６は、機能液滴吐出ヘッド１１の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる封止キャップ５１と、封止キャップ５１を昇降させるキャップ昇降機構５２と、封止キャップ５１に接続し機能液滴吐出ヘッド１１を吸引する吸引ポンプ（図示省略）と、吸引ポンプで吸引除去した廃液を回収する廃液タンク（図示省略）と、を有している。描画休止時には、機能液滴吐出ヘッド１１は移動テーブル４８上のメンテナンス位置５３に移動しており、封止キャップ５１を機能液滴吐出ヘッド１１から僅かに離れた位置で、機能液滴吐出ヘッド１１のフラッシング（捨て吐出）を受けるようにしている。また、液滴吐出装置１の非稼働時には、封止キャップ５１を完全に上昇させて機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面４３に密着させる。これにより、機能液滴吐出ヘッド１１の全ノズル４２を封止し、各ノズル４２における機能液滴の乾燥を防止する。また、この密着状態から再稼動する際には、必要に応じ吸引ポンプを駆動して、ノズル４２から増粘した機能液や充填のための機能液を吸引する。これにより機能液の増粘を抑制していわゆるノズル詰りが防止される。この吸引作業は機能液を初期充填する際にも用いられている。

同図に示すように、ワイピングユニット４７には、ワイピングシート４７ａが繰出し自在且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート４７ａを送りながら、且つ移動テーブル４８によりワイピングユニット４７をＸ軸方向に移動させつつ、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面４３を拭き取るようになっている。このため、上記吸引動作等により機能液滴吐出ヘッド１１のノズル４２面に付着した機能液が取り除かれ、機能液滴吐出時の飛行曲がり等が防止される。なお、メンテナンス装置４として、上記の各ユニット４６，４７に加え、機能液滴吐出ヘッド１１から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニット（図示省略）等を、搭載することが好ましい。

次に図３を参照しながら、本実施形態の機能液供給系５について説明する。機能液供給系５は、上述したように１２個の機能液滴吐出ヘッド１１に１対１で対応した、１２個の機能液供給装置３２と、機能液供給装置３２に機能液を補給する図示しない機能液補給装置とを有している。各機能液供給装置３２は、機能液滴吐出ヘッド１１の長手方向に沿って細長形状に形成されている。機能液補給装置は、機台２に隣接して設置されると共に機能液を内部に貯留する加圧ポンプ内蔵のいわゆるメインタンクであり、後述する機能液タンク部５４にワンタッチで接続される機能液補給チューブ（いずれも図示省略）を有している。

図４に示すように、各機能液供給装置３２は、機能液タンク部５４および圧力調整弁機構５５と、これらを作り込んだハウジング５６および機能液滴吐出ヘッド１１を直接接続する接続管ブロック５７と、を有している。接続管ブロック５７は、機能液耐食性材料により内部流路５８を有する直管状に形成されている。接続管ブロック５７の上流側の端部には、ハウジング５６の後述する機能液流出口６１に雄側としてねじ込まれるねじ接合部６２が設けられ、下流側の端部には雌側として機能液滴吐出ヘッド１１の機能液導入口４４を受容する差込み接合部６３が設けられている。差込み接合部６３側の内部流路５８の端部は段付き口５８ａとなっており、段付き口５８ａにはシール用のＯリング６４が取り付けられている。

一方、ハウジング５６には、機能液を貯留する機能液タンク部５４と、機能液滴吐出ヘッド１１に減圧した機能液を供給する圧力調整弁機構５５とが作り込まれている。すなわち、ハウジング５６は、大気開放タンクである機能液タンク部５４を作り込んだタンクハウジング部６５と、タンクハウジング部６５の前側に一体に形成された圧力調整弁機構５５を作り込んだバルブハウジング部６６と、タンクハウジング部６５を着脱自在に閉蓋する蓋ハウジング部６７とで構成され、タンクハウジング部６５には機能液を貯留する貯留空間（機能液タンク部５４）が大きく形成されている。ハウジング５６は、それぞれステンレス等の耐食性材料により方形の箱状に形成されている。そして、バルブハウジング部６６の下端部には、後述する流出流路６８に連通する機能液流出口６１が形成される一方、タンクハウジング部６５の上端部には、機能液タンク部５４に連通する機能液流入口７１が形成されている。なお、上記した機能液補給装置の機能液補給チューブは、この機能液流入口７１にワンタッチジョイント（図示省略）を介して接続されるようになっている。

機能液タンク部５４には、貯留する機能液の波立ちを防止する消波手段７２が設けられており、本実施形態において消波手段７２は、機能液タンク部５４に貯留する機能液の液面の略全域を覆うように設けたフロート部材７３で形成されている。フロート部材７３は、板状の発泡材や中空の樹脂プレート等で構成されており、機能液の液面上に浮遊して、液面の波立ち（揺れ）を抑え、機能液タンク部５４の圧力の変動を防止している。

次に図４を参照して、圧力調整弁機構５５について説明するが、同図に倣って紙面の先方を「上」、手前を「下」、左方を「前」および右方を「後」として説明を進める。圧力調整弁機構５５は、機能液タンク部５４と壁体７４で隔てられた１次室７５と、機能液滴吐出ヘッド１１（接続管ブロック５７）に連なる２次室７６と、１次室７５および２次室７６を連通する連通流路７７とを形成したものであり、バルブハウジング部６６の前面と面一となる２次室７６の１の面には外部（大気）に面して円形のダイヤフラム７８が設けられ、連通流路７７にはダイヤフラム７８により開閉動作する弁体８１（圧力調整部）が設けられている。すなわち、機能液タンク部５４から１次室７５に導入された機能液は、２次室７６を介して機能液滴吐出ヘッド１１（接続管ブロック５７）に供給されるが、その際、ダイヤフラム７８により大気圧を調整基準圧力として、連通流路７７に設けた弁体８１（圧力調整部）を前後方向に進退させ、すなわち開閉動作させることで２次室７６の圧力調整が行われる。

弁体８１と上記の壁体７４とは対面しており、この弁体８１と壁体７４との間には弁体付勢ばね９２が介設されている。壁体７４は、所定の間隙を存して弁体８１の１次室７５側部位に対向すると共に、機能液タンク部５４の高さの略半分の高さで機能液タンク部５４の底部９５から立設されている。壁体７４の上および左右の周囲は、機能液タンク部５４と連通しており、機能液が機能液タンク部５４から１次室７５内に流入するようになっている。

２次室７６は、ダイヤフラム７８を取り付けるために前面を開放した円錐台（略円筒）形状に形成されており、２次室７６と１次室７５とは上記の連通流路７７により連通されている。また、これら２次室７６および連通流路７７は、いずれもダイヤフラム７８と同心の円形断面を有している。この連通流路７７は、後述する弁体８１の軸部８２がスライド自在に収容される円形断面の軸遊挿部８３と、軸遊挿部８３から径方向四方に延びる十字状断面の流路部（図示省略）とで構成されている。

２次室７６の内周壁は、ダイヤフラム７８のマイナス変形に倣うように前方に向かって大きく拡開するテーパ面８４となっており、このテーパ面８４に臨むように流出流路６８が形成されている。流出流路６８は、「Ｌ」字状に屈曲形成され上記したようにバルブハウジング部６６の下端部に突設した機能液流出口６１に連通している。また、機能液流出口６１には、接続管ブロック５７のねじ接合部６２がねじ接合される雌ねじ部８５が形成されており、この雌ねじ部８５に接続管ブロック５７のねじ接合部６２が螺合されることにより、この接続管ブロック５７を介してハウジング５６と機能液滴吐出ヘッド１１とが接続される。

ダイヤフラム７８は、樹脂フィルムで構成したダイヤフラム本体８６と、ダイヤフラム本体８６の内側に貼着した樹脂性の受圧板８７とで構成されている。受圧板８７は、ダイヤフラム本体８６と同心の円板状に、且つダイヤフラム本体８６に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に後述する弁体８１の軸部８２が当接する。ダイヤフラム本体８６は、耐熱ＰＰ（ポリプロピレン）と特殊ＰＰとシリカを蒸着したＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とを積層して構成されており、ハウジング５６の前面と同径の円形に形成されている。なお、受圧板８７は、ダイヤフラム７８の外側に設けてもよいが、後述する弁体８１の軸部８２が離接を繰り返すため、ダイヤフラム７８の損傷を防止すべく本実施形態では内側に設けている。

同図に示すように、弁体８１は、円板状の弁体本体８８と、弁体本体８８の中心から断面横「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部８２と、弁体本体８８の軸部８２側（前面）に設けた（接着した）環状のバルブシール８９とで構成されている。弁体本体８８および軸部８２は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されている。バルブシール８９は、例えば軟質のシリコンゴムで環状に設けられている。このため、弁体８１の閉弁時には、弁座となる連通流路７７の開口縁９１にバルブシール８９が強く当接して、連通流路７７が１次室７５側から液密に閉塞される。

軸部８２は、連通流路７７にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその先端（前端）が中立位置にあるダイヤフラム７８の受圧板８７に当接する。すなわち、ダイヤフラム７８が外部に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部８２の前端と受圧板８７との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム７８がマイナス側に変形してゆくと、中立状態で軸部８２の前端と受圧板８７とが当接し、さらにダイヤフラム７８のマイナス変形がすすむと、受圧板８７が軸部８２を介して弁体本体８８を押し開弁させることになる。したがって、２次室７６の容積のうち、ダイヤフラム７８がプラス変形から中立状態となる容積分は、１次室７５側の圧力を一切受けることなく、機能液の供給が為される。

一方、弁体８１の背面と１次室７５の壁体７４との間の間には、弁体８１を２次室７６側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね９２が介設されている。同様に、受圧板８７とテーパ面８４の間には、受圧板８７を介してダイヤフラム本体８６を外部に向かって付勢する受圧板付勢ばね９３が介設されている。この場合、弁体付勢ばね９２は、弁体８１の背面に加わる機能液タンク部５４の水頭を補完するものであり、機能液タンク部５４の水頭とこの弁体付勢ばね９２のばね力により、弁体８１が閉塞方向に押圧される。一方、受圧板付勢ばね９３は、ダイヤフラム７８のプラス変形を補完するものであり、大気圧に対し２次室７６が僅かに負圧になるように作用する。

圧力調整弁機構５５は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド１１に連なる２次室７６と圧力バランスにより弁体８１が進退して開閉するが、その際、弁体付勢ばね９２および受圧板付勢ばね９３に力が分散して作用し、且つ軟質シリコンゴムのバルブシール８９（の弾性力）により、弁体８１は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体８１の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド１１の吐出駆動に影響を与えないようになっている。もちろん、機能液タンク側（１次側）で発生する脈動等も、弁体８１で縁切りされるため、これを吸収する（ダンパー機能）ことができる。

次に、図４を参照して１２個の機能液供給装置３２および１２個の機能液滴吐出ヘッド１１の組立て手順について説明する。この組立て手順では、キャリッジ本体２５に装着固定されたヘッドプレート２７にタンクプレート２８を重ねあわせるようにして装着することにより、一括して１２個の機能液供給装置３２が１２個の機能液滴吐出ヘッド１１に接続される。

タンクプレート２８のヘッドプレート２７への装着に先立ち、１２個の機能液滴吐出ヘッド１１を上記の階段状の配置で搭載したヘッドプレート２７を、位置合わせした状態でサブキャリッジ２６に固定しておく。この場合、各機能液滴吐出ヘッド１１の機能液導入口４４はサブキャリッジ２６の上面からわずかに突出している。一方、タンクプレート２８には、予め接続管ブロック５７が取り付けられた１２個の機能液供給装置３２を上記の階段状の配列で搭載しておく。

この状態で、タンクプレート２８をサブキャリッジ２６に装着する際には、上記した４本の固定ボルト３５にタンクプレート２８の４個の貫通孔３８を位置合わせして、各貫通孔３８に各固定ボルト３５を差し込むようにして、上側からタンクプレート２８を装着する。このとき、上記の位置決め突起３６がタンクプレート２８の位置決め孔３７に嵌合し、タンクプレート２８がサブキャリッジ２６に位置決めされると共に、１２個の接続管ブロック５７の差込み接合部６３が１２個の機能液滴吐出ヘッド１１の機能液導入口４４に一括して差し込まれる。

最後に、タンクプレート２８の上側から各固定ボルト３５にナット４１を締結して、機能液供給装置３２および機能液滴吐出ヘッド１１の接続作業を完了する。このようにタンクプレート２８を指示ブロックに載置した状態で位置決め突起３６により位置決めがなされるため、各接続管ブロック５７が対応する機能液滴吐出ヘッド１１に対し、上下、前後、および左右において位置決めされて装着される。なお、本実施形態では、タンクプレート２８をサブキャリッジ２６に装着するようにしているが、タンクプレート２８を直接ヘッドプレート２７に装着するようにしてもよい。かかる場合には、位置決めガイド機構３１はヘッドプレート２７に設けられる。

本実施形態によれば、機能液タンク部５４と圧力調整弁機構５５とを共通のハウジング５６に作り込むようにしているので、機能液供給装置３２と機能液滴吐出ヘッド１１とを最短に直結でき、接続チューブを省略できると共に接続チューブの内容量分の機能液の必要量を削減できる。また、圧力調整弁機構５５により機能液滴吐出ヘッド１１側が減圧されるため、機能液タンク部５４と機能液滴吐出ヘッド１１との水頭差を考慮しないで、これらを自由にレイアウトすることができる。さらに、圧力調整弁機構５５により機能液吐出ヘッドの手前で圧力変動が遮断されると共に、消波手段７２により機能液タンク部５４においても圧力変動が防止されるため、機能液の吐出をより安定化することができる。一方、接続管ブロック５７を用いることで機能液タンク部５４から機能液滴吐出ヘッド１１に至る流路がチューブレスになり、接続チューブの折り曲げによる圧力の変動が防止されるため、これによっても吐出が安定化する。また、接続チューブ部分から気体が透過して機能液の脱気度が低下することもないため、機能液に気泡が生じることもなく、吐出の安定化および空吐出の防止を図ることができる。

次に、液滴吐出装置１の第２実施形態について、主として第１実施形態と異なる部分について説明する。この実施形態では、機能液タンク部５４に設けられた消波手段７２が第１実施形態のものと異なっており、図５に示すように、消波手段７２は、機能液タンク部５４の内部を平面視長手方向（前後方向）に直交する方向に仕切る複数の仕切り壁９４で構成されている。各仕切り壁９４は、機能液タンク部５４内部に上下方向に延在し、機能液タンク部５４の底部９５を連通した隔壁状に形成されている。このため、機能液タンク部５４内部において、平面視長手方向への機能液の移動が、底部９５を除いて規制されている。なお、各仕切り壁９４の上端は満液時の液位よりわずかに上側に位置し、下端は、減液時の液位よりわずかに下側に位置していることが、好ましい。

本実施形態によれば、機能液タンク部５４は、底部９５を除いて前後方向に直交する方向に仕切られているため、機能液が前後方向に波立つのを防止して、機能液の吐出を安定化することができる。また、底部９５を経由して機能液が流れるようにしているため、底部９５に機能液だまりが生じることもない。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。

先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図７（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図８（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド１１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１１で行うことも可能である。

図９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１２〜図２０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル１４に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図１５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１６に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図１７に示すように、各色のうちの何れか（図１７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド１１を用い、図１９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２０に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル１４に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド１１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

液滴吐出装置の平面模式図である。 液滴吐出装置の側面模式図である。 機能液供給装置および機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 機能液供給装置および機能液滴吐出ヘッドの縦断面図である。 第２実施形態に係る機能液供給装置および機能液滴吐出ヘッドの縦断面図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１ 液滴吐出装置 ６ Ｘ・Ｙ移動機構
１１ 機能液滴吐出ヘッド ２７ ヘッドプレート
２８ タンクプレート ３２ 機能液供給装置
３３ キャリッジ装置 ４４ 機能液導入口
５４ 機能液タンク部 ５５ 圧力調整弁機構
５６ ハウジング ５７ 接続管ブロック
６１ 機能液流出口 ７２ 消波手段
７３ フロート部材 ７５ １次室
７６ ２次室 ７７ 連通流路
７８ ダイヤフラム ９４ 仕切り壁
９５ 底部 Ｗ ワーク

Claims (12)

1. 機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドに前記機能液を供給する機能液供給装置であって、
   前記機能液を貯留する機能液タンク部と、
   前記機能液タンク部に連なる１次室、前記機能液滴吐出ヘッドに連なる２次室、および大気に面したダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路を開閉して前記２次室を圧力調整する圧力調整部、を有する圧力調整弁機構と、
   を共通のハウジングに作り込んだことを特徴とする機能液供給装置。
2. 前記ハウジングは、前記機能液滴吐出ヘッドの長手方向に沿って細長形状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
3. 前記機能液タンク部は、貯留する前記機能液の液面の波立ちを防止する消波手段を有することを特徴とする請求項１または２に記載の機能液供給装置。
4. 前記消波手段は、前記機能液タンク部に貯留する前記機能液の液面の略全域を覆うように設けたフロート部材であることを特徴とする請求項３に記載の機能液供給装置。
5. 前記消波手段は、前記機能液タンク部の底部を連通した状態で、機能液タンク部を平面視長手方向に直交する方向に仕切る複数の仕切り壁で構成されていることを特徴とする請求項３に記載の機能液供給装置。
6. 前記２次室に連なると共に前記ハウジングに形成した機能液流出口と前記機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口とを接続する接続管ブロックを、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液供給装置。
7. 前記接続管ブロックは、前記機能液流出口に対しねじ接合で接続され、前記機能液導入口に対し差込み接合で接続されていることを特徴とする請求項６に記載の機能液供給装置。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液供給装置の複数個が搭載されるタンクプレートと、
   前記複数個の前記機能液供給装置に対応して前記機能液滴吐出ヘッドの複数個が搭載されるヘッドプレートとを備え、
   前記タンクプレートを前記ヘッドプレートに装着することにより、複数の前記機能液供給装置が複数の前記機能液滴吐出ヘッドに一括して接続されることを特徴とするキャリッジ装置。
9. 請求項８に記載のキャリッジ装置と、
   前記ワークを前記機能液滴吐出ヘッドに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
10. 請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
11. 請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
12. 請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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