JP2005340497A - 電極体及びそれを用いた有機薄膜トランジスタ並びにそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子吸引基で終端されているアモルファスカーボン膜を有する電極体、若しくは、電子供与基で終端されているアモルファスカーボン膜を有する電極体を提供する。また、チャネルがp型有機半導体の場合には、ソース電極体及び/又はドレイン電極体が、電子吸引基で終端されたアモルファスカーボン膜を有する電極体を、また、チャネルがn型有機半導体の場合には、ソース電極体及び/又はドレイン電極体が、電子供与基で終端されたアモルファスカーボン膜を有する電極体を用いた有機薄膜トランジスタおよびその製造方法を提供する。
【選択図】図1
Description
12,22,32,42・・・ゲート電極
13,23,33,43・・・ゲート絶縁膜
14,24・・・ソース電極体
34,44・・・ソース電極
15,25・・・ドレイン電極体
35,45・・・ドレイン電極
16,38・・・p型有機半導体層
26,48・・・n型有機半導体層
1a・・・C−F構造
1b・・・C−Cl構造
1c・・・C−O構造
2a・・・C−H構造
2b・・・C−R構造
2c・・・C−OH構造
36,46・・・ソース電極表面層
37,47・・・ドレイン電極表面層
Claims (14)
- アモルファスカーボン膜を有する電極体であって、該アモルファスカーボン膜は電子吸引基で終端されていることを特徴とする電極体。
- アモルファスカーボン膜を有する電極体であって、該アモルファスカーボン膜は電子供与基で終端されていることを特徴とする電極体。
- 前記電子吸引基が、酸素原子あるいはハロゲン原子であることを特徴とする請求項1記載の電極体。
- 前記電子供与基が、水素原子あるいは炭化水素あるいは水酸基であることを特徴とする請求項2記載の電極体。
- 前記アモルファスカーボン膜が、ダイヤモンド状カーボン膜であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の電極体。
- 前記ダイヤモンド状カーボン膜に不純物がドープされていることを特徴とする請求項5に記載の電極体。
- 前記不純物は、窒素、燐、硫黄、硼素、酸素および珪素からなる群から選ばれた少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項6に記載の電極体。
- 基体と、この基体上に形成されたゲート電極と、このゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、このゲート絶縁膜上に、間隙を隔てて形成されたソース電極体及びドレイン電極体と、これらソース電極体及びドレイン電極体の間隙を覆うp型有機半導体層を備える有機薄膜トランジスタであって、前記ソース電極体及び/又はドレイン電極体が、請求項1、3、5、6、7の何れかに記載の電極体を用いたことを特徴とする有機薄膜トランジスタ。
- 基体と、この基体上に形成されたゲート電極と、このゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、このゲート絶縁膜上に、間隙を隔てて形成されたソース電極体及びドレイン電極体と、これらソース電極体及びドレイン電極体の間隙を覆うn型有機半導体層を備える有機薄膜トランジスタであって、前記ソース電極体及び/又はドレイン電極体が、請求項2、4、5、6、7の何れかに記載の電極体を用いたことを特徴とする有機薄膜トランジスタ。
- 基体上に、少なくとも、
炭化水素及び水素を含む原料ガスを用いたプラズマCVD法によりアモルファスカーボン膜を成膜する工程、
アモルファスカーボン膜を酸素またはハロゲンまたはハロゲン化合物を含むガスを用いたプラズマ処理を施す工程、
を含むことを特徴とする電極体の製造方法。 - 基体上に、少なくとも、
炭化水素及び水素を含む原料ガスを用いたプラズマCVD法によりアモルファスカーボン膜を成膜する工程、
アモルファスカーボン膜を水素または還元性のガスを用いたプラズマ処理を施す工程、
を含むことを特徴とする電極体の製造方法。 - 前記アモルファスカーボン膜が、ダイヤモンド状カーボン膜であることを特徴とする請求項10または11に記載の電極体の製造方法。
- 前記ダイヤモンド状カーボン膜を成膜する工程において、ドープガスとして、窒素、フォスフィン、硫化水素、ジボラン、酸素およびシランからなる群から選ばれた少なくとも一種を添加することを特徴とする請求項12に記載の電極体の製造方法。
- 基体上にゲート電極を形成する工程と、
該ゲート電極を覆うようにゲート絶縁膜を形成する工程と、
該ゲート絶縁膜上に、間隙を隔ててソース電極体及びドレイン電極体を形成する工程と、
該ソース電極体及びドレイン電極体の間隙を覆うようにp型有機半導体層またはn型有機半導体層を形成する工程と、
を有する有機薄膜トランジスタの製造方法において、前記ソース電極体及び/又はドレイン電極体の形成工程に、請求項10〜13の何れかに記載の電極体の製造方法を含むことを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。
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