JP2005340148A - カーボンナノファイバーを用いた電子源及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力調整された反応容器2でアークプラズマガン5を作動させて基板3上にグラファイト膜を成膜した後に、アークプラズマガン6を作動させてこの基板3表面にイオンビームを所定時間照射することにより、基板3表面に所定の間隔を設けて略円錐形状の突起が多数形成され、かつ前記各突起の頂上部にカーボンナノファイバーが形成される。
【選択図】図1
Description
"光の話題"、「ディスプレイ市場の今後について」、2002年8月5日掲載、経済産業省 技術調査室、[平成16年4月28日検索],インターネット<URL:http://www.oitda.or.jp/main/hw/hw01302-j.html>
カーボン膜が成膜された前記基板表面にイオンビームを所定時間照射する工程とを含むことを特徴としている。
〈実施形態1〉
図1は、本発明の実施形態1に係るFED用のカーボンナノファイバーを用いた電子源を製造する製造装置を示す概略構成図である。この製造装置1の反応容器2内には、基板(シリコン基板)3を載置した基板ホルダー4が設置されており、基板ホルダー4の上方には、基板3上にカーボン膜としてのグラファイト(黒鉛)膜を成膜するためのアークプラズマガン5と、カーボンナノファイバーを成膜するためのイオン源6が設置されている。基板ホルダー4内には、基板ホルダー4上の基板3を加熱するためのヒータ7が内蔵されている。反応容器2には、反応容器2内を排気して所定の圧力に調整する真空ポンプ等を有する排気系8が接続されている。
〈実施形態2〉
実施形態1では、グラファイト膜が成膜された基板上にイオンビームを照射してその表面に略円錐状の突起を多数形成し、かつ各突起の頂上部にカーボンナノファイバーを形成したが、基板に対してイオン照射効果のある方法であれば、実施形態1のようにイオン源を用いる以外にも、例えば平行平板の2極型のスパッタ装置などを用いることができる。
〈実施形態3〉
実施形態1では、アークプラズマガンを用いて基板上にグラファイト膜を成膜したが、グラファイト膜を成膜する方法はこれ以外にも、例えば電子ビーム蒸着源を用いたり、イオンプレーティング法、スパッタリング法、マイクロ波CVD法、熱CVD法などを用いることができる。
〈実施形態4〉
図4は、本実施形態に係るFEDに用いる電子源の製造装置を示す概略構成である。この製造装置では、基板(シリコン基板)11を保持した電極12とグラファイト・ターゲット13を反応容器(不図示)内に対向配置し、電極12とグラファイト・ターゲット13との間にインバータ電源14を接続している。
〈実施形態5〉
上記した各実施形態ではFEDに用いる電子源の場合であったが、FEDよりも画面サイズが大きく、かつ大電流が通電されるオーロラビジョン等の大画面サイズのフラットパネルディスプレイに用いられる電子源においても、同様に本発明を適用することができる。
2 反応容器
3、11 基板
3a、11a 突起(微小突起)
4 基板ホルダー
5 アークプラズマガン
6 イオン源
8 排気系
9 ガス導入系
10、16 カーボンナノファイバー
12 電極
13 グラファイト・ターゲット
14 インバータ電源
Claims (4)
- カーボンナノファイバーを電子放出材として用いた電子源であって、
前記カーボンナノファイバーは、基板表面に所定の間隔を設けて多数形成された微小突起の各頂上部に形成されている、
ことを特徴とするカーボンナノファイバーを用いた電子源。 - 前記カーボンナノファイバーは、カーボン膜を成膜した基板上にイオンビームを照射することにより、前記基板表面に所定の間隔を設けて多数形成された微小突起の各頂上部に形成される、
ことを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノファイバーを用いた電子源。 - カーボンナノファイバーを電子放出材として用いた電子源の製造方法であって、
基板上にカーボン膜を成膜する工程と、
カーボン膜が成膜された前記基板表面にイオンビームを所定時間照射する工程とを含む、
ことを特徴とするカーボンナノファイバーを用いた電子源の製造方法。 - 前記イオンビームの前記基板表面への照射により、前記基板表面に所定の間隔を設けて微小突起が多数形成され、かつ前記各微小突起の頂上部にカーボンナノファイバーが形成される、
ことを特徴とする請求項3に記載のカーボンナノファイバーを用いた電子源の製造方法。
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