JP2006351256A - 電界放出型冷陰極装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 所定の真空空間4中に、先鋭な先端を有する複数のエミッタ8が突設されたカソード電極2とアノード電極3とを、所定離間距離を設けて対向配置し、複数のエミッタ8とアノード電極との間に所定電位を与えて電子の放出が行われるようにしたもので、複数のエミッタ8を、隣接するものとの間隔Lが、エミッタ8の高さHの3.5倍以上となる状態に配置する。
【選択図】 図1
Description
複数のエミッタを配置する際に、隣り合うエミッタ同士の間隔を適正なものとすることにより電界集中が起こり難くなるのを解消し、高い電界強度が得られるようにする共に、アノード電極とエミッタの離間距離を小さくせずに高い電界強度が得られることによって、アノード電極で発生した二次電子等によるエミッタの損傷を低減することができる電界放出型冷陰極装置を提供することにあり、
また、同一基板面に複数のエミッタを、電界集中が起こり難くならないよう隣り合うもの同士の間隔を適正に保持しながら多数配置することができる電界放出型冷陰極装置を提供することにある。
所定の真空状態が保持された中に、所定離間距離を設けて先鋭な先端を有する複数のエミッタとアノード電極を対向配置し、前記複数のエミッタと前記アノード電極との間に所定電位を与えて電子の放出が行われるようにした電界放出型冷陰極装置であって、
前記複数のエミッタは、略同一高さを有して同一基板面に配置されていると共に、隣接するもの同士の間隔が、該エミッタの高さの3.5倍以上となっていることを特徴とするものであり、
また、基板の同一面上に略同一の所定高さに突設された略4角錐状の複数のエミッタと、これらエミッタに対して所定離間距離を設けて配置されたアノード電極とを備えた電界放出型冷陰極装置において、
前記複数のエミッタの隣接するもの同士の間隔が、該エミッタの底辺の長さの2.5倍以上となっていることを特徴とするものであり、
さらに、前記複数のエミッタが、それぞれ前記基板面上の正三角形の頂点となる位置に配置されていることを特徴とするものである。
複数のエミッタを配置する際に、隣り合うエミッタ同士の間隔が適正なものとなり、電界集中が起こり易くなって高い電界強度が得られ、さらに高い電界強度を得るためにアノード電極とエミッタの離間距離を小さくする必要がないことから、アノード電極で発生した二次電子等によるエミッタの損傷を低減することができる等の効果を有し、
また、同一基板面に複数のエミッタを、電界集中が起こり難くならないようにしながら、稠密に多数配置でき、電流密度を高いものとすることができる等の効果を奏する。
高さHが、
H=2X/tan(55°)
となるものとなっている。
2,12…カソード電極
3…アノード電極
4…真空空間
8…エミッタ
H…高さ
L…間隔
X…底辺長さ
Claims (3)
- 所定の真空状態が保持された中に、所定離間距離を設けて先鋭な先端を有する複数のエミッタとアノード電極を対向配置し、前記複数のエミッタと前記アノード電極との間に所定電位を与えて電子の放出が行われるようにした電界放出型冷陰極装置であって、
前記複数のエミッタは、略同一高さを有して同一基板面に配置されていると共に、隣接するもの同士の間隔が、該エミッタの高さの3.5倍以上となっていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置。 - 基板の同一面上に略同一の所定高さに突設された略4角錐状の複数のエミッタと、これらエミッタに対して所定離間距離を設けて配置されたアノード電極とを備えた電界放出型冷陰極装置において、
前記複数のエミッタの隣接するもの同士の間隔が、該エミッタの底辺の長さの2.5倍以上となっていることを特徴とする電界放出型冷陰極装置。 - 前記複数のエミッタが、それぞれ前記基板面上の正三角形の頂点となる位置に配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の電界放出型冷陰極装置。
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