JP2005338831A - 液晶表示装置の有機膜フォトレジスト組成物、そのスピンレスコーティング方法、これを用いた有機膜パターン形成方法及びこれにより製造された液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液晶表示装置の有機膜フォトレジスト組成物は、質量平均分子量2,000〜20,000である有機高分子樹脂、エチレンジグリコールメチルエチルエーテル溶媒とエチレンジグリコールメチルエチルエーテルより蒸気圧が低い溶媒との混合溶媒及び感光剤を含む。この組成物を使用したスピンレスコーティング方法と有機膜パターンの形成方法及びこの組成物により製造された有機膜パターンを含む液晶表示装置も提供される。これにより、スピンレスコーティング方法により大型基板に均一な厚さコーティングされることができ、欠陥が最小化されることができる。
【選択図】図1
Description
その中でも特に、TFT−LCDは、電気場により分子の配列が変化する液晶の光学的性質を用いる液晶技術と半導体技術とを融合した表示装置として平板表示装置の代名詞と呼ばれている。
本発明の他の技術的課題は、有機膜フォトレジスト組成物を大型基板に均一にコーティングすることができるスピンレスコーティング方法を提供することにある。
本発明のさらに他の技術的課題は、有機膜フォトレジスト組成物を用いた有機膜パターン形成方法を提供することにある。
前述したさらに他の技術的課題を達成するための本発明の一実施形態による液晶表示装置は、 有機膜フォトレジスト組成物を用いて形成された有機膜パターンを含む。
その他、実施形態の具体的な事項は、詳細な説明及び図面に含まれている。
また、重合単位−A−、−B−及び−C−を含んでなる有機高分子樹脂において、Aは、ベンジルメタクリレート(Benzyl Methacrylate;BZMA)、スチレン(Styrene;Sty)、アルファ−メチルスチレン(α−methyl styrene)、イソボニルアクリレート(isobonyl acrylate)及びイソボニルメタクリレート(Isobonyl methacrylate;IBMA)、ジシクロフェンタニルアクリレート(Dicyclopentanyl acrylate)、ジシクロフェンタニルメタクリレート(Dicyclopentanyl methacrylate;DCPMa)、ジシクロペンテニルアクリレート(Dicyclopentenyl acrylate)、ジシクロペンテニルメタクリレート(Dicyclopentenyl methacrylate)、ジシクロフェンタニルエチルオキシアクリレート(Dicyclopentanylethyloxy acrylate)、ジシクロフェンタニルエチルオキシメタクリレート(Dicyclopentanylethyloxy methacrylate)、ジシクロペンテニルエチルオキシアクリレート(Dicyclopentenylethyloxy acrylate)及びジシクロペンテニルエチルオキシメタクリレート(Dicyclopentenylethyloxy methacrylate)よりなる群から選択される一つ以上であり、Bは、グリシジルメタクリレート(Glycidyl Methacrylate;GMA)、ヒドロキシエチルメタクリレート(Hydroxyethyl Methacrylate;HEMA)、ジメチルアミノメタクリレート(Dimethylamino Methacrylate)及びアクリルアミド(Acryl amide;ACAMi)よりなる群から選択される一つ以上であり、Cは、アクリル酸(AA)又はメタアクリル酸(MAA)であり、A、B及びCは、配列順序が拘束されないランダム共重合体であってもよい。
式(1)で表示される有機高分子樹脂は、カルボン酸が含まれたモノマーと二重結合を有するモノマーとの共重合体である。こうした共重合体を含む本発明の組成物が塗布された後、パターンを形成すれば、現像後残写などの欠陥がなく、平坦化率が非常に優れている。すなわち、式(1)のY1は、2個〜16個の炭素原子を有するアルキル基又はヒドロキシアルキル基であり、これは接着力の向上に役に立つ。また、式(1)のY2は、芳香族基を含むアクリル共重合体樹脂になった従来の有機高分子樹脂とは違って、バルキー(Bulky)置換族構造を含んでいて残膜率を高めるだけではなく、ガラス転移温度(Tg)が高くて耐熱性も優れている。
組成物を基板に塗布する場合、粘度を適切に保持し、所望の厚さでコーティングしやすくすることを考慮したものである。
特に、式(1)で表示される有機高分子樹脂と式(2)で表示される有機高分子樹脂を混合して使用すれば、組成物中の感光剤と有機高分子樹脂の相溶性が増加してパターンの耐割れ性を向上させるだけではなく、白化現像(Whitening)も消える。
EDMは、低粘度の溶媒である。従って、同一量の有機高分子樹脂と混合される場合、他の溶媒に比べて組成物の粘度を低めることができるため混合溶媒の一成分としてEDM溶媒を含む。
このように、蒸気圧が相異なる異種の溶媒から構成された有機膜フォトレジスト組成物を利用して後述する有機膜パターンを形成する。有機膜パターン形成過程で有機膜フォトレジスト組成物で構成されている有機膜中の溶媒は減圧乾燥工程で主に除去される。減圧乾燥は少なくとも2つの相異なる圧力下で進行される。これについては、製造方法の説明で上述した。従って減圧乾燥初期には主にEDM溶媒より低い蒸気圧を持つ溶媒が先に蒸発し、後期には主にEDM溶液が蒸発する。従って、蒸気圧が相異なる異種の溶媒を使用することにより、従来一つの溶媒だけを用いる場合より、溶媒の蒸発が充分に成され有機膜パターンの表面にむらなどの欠陥を発生させないようにする。減圧乾燥時に蒸発せず残留する溶媒は後に続くソフトベーク工程で完全に除去される。
アセテート系溶媒としては、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(PGEEA)、メトキシブチルアセテート(MBA)、ノーマルプロピルアセテート(nPAc)又はノーマルブチルアセテート(nBA)よりなる群から選択される一つ以上であることが望ましい。特に、アセテート系溶媒としては、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(PGEEA)又はメトキシブチルアセテート(MBA)であることが望ましい。
また、プロピオネート系溶媒は、エチル−ベータ−エトキシプロピオネート(EEP)又はメチル−3−メトキシプロピオネート(MMP)であることが望ましい。特に、プロピオネート系溶媒としては、エチル−ベータ−エトキシプロピオネート(EEP)であることが望ましい。
本発明で使用されるEDM溶媒とEDMより蒸気圧が低い溶媒との混合比率は、50〜95:50〜5である。前述したような範囲に混合された溶媒は、溶媒の不充分な蒸発により発生する基板上のむら欠陥を最小化することができる。同時に有機高分子樹脂の含量を最小化しつつ、所望のコーティング膜の厚さを得ることができる粘度を実現することができ、コーティング膜の厚さが均一になる。これは、最終的にTFT−LCDで現われる不良を最小限にとどめることができる。
感光剤の含量は、有機膜フォトレジスト組成物の全重量に対して2重量%〜10重量%であることが望ましい。感光速度を適切に調節し、適切な残膜率を得ることを考慮したものである。
このように、有機膜フォトレジスト組成物が基板にコーティングされることによって、個別工程の特性による性能向上を図ることができる。また、有機膜フォトレジスト組成物のコーティングにより発生し得るモヤ(moya)欠陥、特にスプリンスコーティングにより発生するスジ欠陥乏などの欠陥を最小限に止めることができる。
本発明の有機膜フォトレジスト組成物の粘度は、1cp〜15cpであることが望ましい。組成物を基板に、所望の厚さで、均一にコーティングすることを考慮したものである。
スピンレスコーティング方法では、まず、スピンレスコーティング装置のノズルに有機膜フォトレジスト組成物が供給される。その後、ノズルを通じて有機膜フォトレジスト組成物を吐出しながら、基板をスピンせずに、ノズルを基板に対して相対的に移動して、望ましくは、一方向に移動して基板上に有機膜フォトレジスト組成物をコーティングする。
以下、添付した図面を参照して本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。図1〜図3を参照して出願に開示されているスピンレスコーティング装置を簡略に説明した後、これを用いたスピンレスコーティング方法についてより詳細に説明する。
有機膜フォトレジスト組成物の供給手段120は、圧力送出方式を用いて組成物を1〜2kgf/cm2の圧力にノズル110に供給する。組成物供給手段120では、組成物の濃度及び温度が高精度で調整される。
図2に示されたように、ノズル110の正面から見た場合、ノズル110の本体は、直線形態のボックス状を成しており、ノズル110の本体の上部は蓋111で覆われている。ノズル110の本体の内部には、吐出部112が形成されており、この吐出部112は、有機膜フォトレジスト組成物の供給手段120に連結された供給管140と、供給管140から供給された組成物を貯蔵する貯蔵部112aと、貯蔵部112aの底面に連結されている流路112b及び流路112bに連結されているスリット部112cとを含む。
図4は、本発明の一実施形態による組成物を使用した有機膜パターンが形成されるTFT−LCDの単位セルの平面図であり、図5は図4のC−C’線断面図である。
図4に示されたように、ゲートライン401は、横方向に配置されており、これと平行に所定間隔離隔された位置にストレージ電極ライン402が配置されている。データライン403は、ゲートライン401及びストレージ電極ライン402と直交するように配置されている。
図5を参照すれば、下部基板501上にゲート電極401a及びこれと所定間隔離隔された位置にストレージ電極402aが形成され、下部基板501の全面には、ゲート絶縁膜502が形成されている。そして、ゲート電極401aの上部に設けられたゲート絶縁膜502上には、公知の工程を通じてパターンの形態で半導体層404が形成されている。この半導体層404上には、データライン403と同時に形成されたドレイン電極405a及びソース電極405bが離隔されて形成されている。
有機膜フォトレジスト組成物は、ゲート絶縁膜502、データライン403、半導体層404、ドレイン電極405a及びソース電極405bなどが形成されているTFT−LCD基板101上にコーティングされる。従って、有機膜フォトレジスト組成物は、シリコン酸化物SiOx、シリコン窒化物、ドーピングされたシリコン酸化物、シリコン、アルミニウム、インジウム酸化第二スズ(ITO)、インジウム酸化亜鉛(IZO)、モリブデン、タンタル、銅、ポリシリコン、セラミック、アルミニウム/銅の単独又は組み合わせなど、多様な材質上にコーティングすることができる。
つまり、まず、基板101にスピンレスコーティング方法に有機膜フォトレジスト組成物がコーティングされて有機膜を形成する。
以下、有機膜パターンを形成する工程を詳細に説明すれば次の通りである。
減圧乾燥は順序的に進行される前排気(pre pumping)工程と主排気(main pumping)工程を含む。前排気はゆっくり進行され減圧乾燥装置を約10-5Pa程度の圧力に排気し、主排気は前排気より早く進行し減圧乾燥装置の圧力が前排気工程の圧力より低い圧力になるよう、約66.66Pa程度の圧力に排気する。従って前排気工程は主にEDM溶媒より低い蒸気圧をもつ溶媒が先に蒸発し、主排気工程では主にEDM溶媒が蒸発する。
その後、減圧乾燥された有機膜をソフトベークする。ソフトベークは、減圧乾燥工程で除去されず有機膜内に残留する溶媒を完全に除去し、有機膜を固形化させる。ソフトベークは80〜120℃の温度で有機膜の厚さが2μm〜10μmに基板上に残るように行うことが好ましい。
実験例1
紫外線遮断膜と攪拌器が設けられている反応混合槽に式(1)−(II)の有機高分子樹脂16.7重量%、EDMとnBAを90対10の比率で80重量%、式(6)の感光剤3.3重量%及びSi系界面活性剤125ppm〜1250ppmを投入する。これを常温で40rpmに攪拌して5cp粘度に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
EDMとPGMEAを80対20の比率に80重量%、Si系界面活性剤500ppm〜5000ppmを使用したことを除外しては実験例1と同一に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
実験例3
EDMとPGMEAを60対40の比率に80重量%使用したことを除外しては実験例2と同一に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
EDMとEEPを80対20の比率に80重量%使用したことを除外しては実験例2と同一に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
実験例5
EDMとELを80対20の比率に80重量%使用したことを除外しては実験例2と同一に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
EDMとPGEEAを80対20の比率に80重量%使用したことを除外しては実験例1と同一に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
実験例7
式(1)−(IV)の有機高分子樹脂を使用したことを除外しては実験例2と同一に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
式(1)−(VI)の有機高分子樹脂を使用したことを除外しては実験例2と同一に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
実験例9
式(2)(DCPMa/GMA/MAA)の有機高分子樹脂を使用したことを除外しては実験例2と同一に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
式(1)−(II)の有機高分子樹脂20.7重量%及びEDM76重量%を使用し、粘度が9cpであることを除外しては実験例2と同一に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
比較実験例2
式(1)−(II)の有機高分子樹脂18.7重量%及びEDM78重量%を使用し、粘度が7cpであることを除外しては実験例2と同一に有機膜フォトレジスト組成物を製造した。
また、前述した実験例1〜実験例9及び比較実験例1、2の有機膜についての全体コーティング均一度を下記表2に示した。
併せて、前述した実験例1〜実験例9及び比較実験例1、2の有機膜の欠陥発生についてその結果を下記表3に示した。
前述した表1及び表2で分かるように、実験例1〜実験例9の有機膜フォトレジスト組成物は、スピンレスコーティング装置により基板にコーティングされて有機膜が形成される場合に全体コーティング均一度が非常に良好なものが分かる。比較実験例1,2の有機膜の場合は、実験例1〜実験例9の有機膜の全体コーティング均一度が落ちることが分かる。
前述した表3の結果から分かるように、実験例1〜実験例9の有機膜と比較実験例1,2の有機膜の欠陥発生程度を比較して見れば、実験例1〜実験例9の有機膜が比較実験例1,2と比較して欠陥発生程度が小さくなることが分かる。
101:基板
110:ノズル
120、130:手段
131:アーム
132:ガイドレール
Claims (27)
- 質量平均分子量2,000〜20,000である有機高分子樹脂と、
(a)エチレンジグリコールメチルエチルエーテル(EDM)溶媒と、(b)前記エチレンジグリコールメチルエチルエーテルより蒸気圧が低い溶媒との混合溶媒と、
感光剤と、
を含むことを特徴とする有機膜フォトレジスト組成物。 - 有機膜フォトレジスト組成物の全重量に対して、
前記有機高分子樹脂5重量%〜30重量%と、
前記混合溶媒60重量%〜90重量%と、
前記感光剤2重量%〜10重量%と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の有機膜フォトレジスト組成物。 - 前記(a)と(b)の混合比率は、50〜95:50〜5であることを特徴とする請求項1に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
- 前記(b)は、アセテート系、ラクテート系、プロピオネート系又はエーテル系溶媒よりなる群から選択される一つ以上を含むことを特徴とする請求項3に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
- 前記アセテート系溶媒は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(PGEEA)、メトキシブチルアセテート(MBA)、ノルマルプロピルアセテート(nPAc)及びノルマルブチルアセテート(nBA)よりなる群から選択される一つ以上を含むことを特徴とする請求項4に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
- 前記アセテート系溶媒は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(PGEEA)及びメトキシブチルアセテート(MBA)よりなる群から選択される一つ以上であることを特徴とする請求項5に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
- 前記ラクテート系溶媒は、エチルラクテート(EL)であることを特徴とする請求項4に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
- 前記プロピオネート系溶媒は、エチル−ベータ−エトキシプロピオネート(EEP)及びメチル−3−メトキシプロピオネート(MMP)よりなる群から選択される一つ以上を含むことを特徴とする請求項4に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
- 前記プロピオネート系溶媒は、エチル−ベータ−エトキシプロピオネート(EEP)であることを特徴とする請求項8に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
- 前記エーテル系溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)であることを特徴とする請求項4に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
- 前記有機高分子樹脂は、下記式(1)で表示される有機高分子樹脂及び重合単位−A−、−B−及び−C−を含んでなる有機高分子樹脂よりなる群から選択される一つ以上であることを特徴とする請求項1に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
(重合単位Aは、ベンジルメタクリレート、スチレン、アルファ−メチルスチレン、イソボニルアクリレート及びイソボニルメタクリレート、ジシクロフェンタニルアクリレート、ジシクロフェンタニルメタクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペンテニルメタクリレート、ジシクロフェンタニルエチルオキシアクリレート、ジシクロフェンタニルエチルオキシメタクリレート、ジシクロペンテニルエチルオキシアクリレート及びジシクロペンテニルエチルオキシメタクリレートよりなる群から選択される一つ以上であり、Bは、グリシジルメタクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ジメチルアミノメタクリレート及びアクリルアミドよりなる群から選択される一つ以上であり、Cは、アクリル酸(AA)又はメタアクリル酸(MAA)であり、A、B及びCは、配列順序が拘束されないランダム共重合体であってもよい。) - 前記有機膜フォトレジスト組成物は、Si系界面活性剤500ppm〜5,000ppmをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
- 前記有機膜フォトレジスト組成物は、1cp〜15cpの粘度を有することを特徴とする請求項1に記載の有機膜フォトレジスト組成物。
- 請求項1に記載の有機膜フォトレジスト組成物をスピンレスコーティング装置のノズルに供給する工程と、
前記ノズルを通じて前記有機膜フォトレジスト組成物を基板上に吐出しつつ前記基板をスピンせず前記ノズルを前記基板に対して相対的に移動して前記基板上に有機膜フォトレジスト組成物をコーティングする工程と、
を含むことを特徴とする有機膜フォトレジスト組成物のスピンレスコーティング方法。 - 前記ノズルは、一方向に伸び、その内部は、複数の吐出し部を含むことを特徴とする請求項15に記載の有機膜フォトレジスト組成物のスピンレスコーティング方法。
- 前記複数の吐出し部の間には、遮断壁が形成されていることを特徴とする請求項16に記載の有機膜フォトレジスト組成物のスピンレスコーティング方法。
- 前記複数の吐出し部のうちいずれか一つの吐出し部は、前記有機膜フォトレジスト組成物の供給手段に連結された供給管と、
前記供給管から供給された前記有機膜フォトレジスト組成物を貯蔵する貯蔵部と、
前記貯蔵部の底面と連結されている流路及び前記流路と連結されているスリット部と、
を含むことを特徴とする請求項16に記載の有機膜フォトレジスト組成物のスピンレスコーティング方法。 - 基板上に請求項1に記載の有機膜フォトレジスト組成物をスピンレスコーティング方法で塗布して有機膜 を形成する工程と、
前記有機膜 をパターニングする工程と、
を含むことを特徴とする有機膜パターン形成方法。 - 前記基板は、薄膜トランジスタ構造が形成されている基板であることを特徴とする請求項19に記載の有機膜パターン形成方法。
- 前記パターニング工程は、
前記基板に形成された有機膜 を減圧乾燥する工程と、
前記減圧乾燥された有機膜をソフトベークする工程と、
前記ソフトベークされた有機膜を選択的露光する工程と、
前記選択的に露光された有機膜 を現像する工程と、
前記現像された有機膜 を硬化して有機膜パターンを完成する工程と、
を含むことを特徴とする請求項19に記載の有機膜パターン形成方法。 - 前記減圧乾燥工程は、前排気工程と該前排気工程より低い圧力になるようにする主排気工程を含む請求項21に記載の有機膜パターン形成方法。
- 前記ソフトベークは、80℃〜120℃で成されることを特徴とする請求項21に記載の有機膜パターン形成方法。
- 前記硬化は、全面露光及び熱処理工程を含むことを特徴とする請求項21に記載の有機膜パターン形成方法。
- 前記熱処理工程は、200℃〜250℃で成されることを特徴とする請求項24に記載の有機膜パターン形成方法。
- 請求項1に記載の有機膜フォトレジスト組成物を用いて形成された有機膜パターンを含むことを特徴とする液晶表示装置。
- 前記請求項19に記載の有機膜パターン形成方法により製造された有機膜パターンを含むことを特徴とする液晶表示装置。
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