JP2009002983A - 反射板の製造方法及び液晶表示装置の製造方法並びに反射板及び液晶表示装置 - Google Patents
反射板の製造方法及び液晶表示装置の製造方法並びに反射板及び液晶表示装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ポジ型の感光材料及びエポキシ樹脂を含む熱硬化型の感光性樹脂膜11を形成する。次に、感光性樹脂膜11をパターンニングして、当該感光性樹脂膜11から成る複数の凸部112を形成する。次に、複数の凸部112に対して、波長が150nm以上450nm以下の紫外線63を照射する。次に、複数の凸部112に対して熱硬化処理を行う。そして、複数の凸部112を覆う反射膜を形成する。
【選択図】図11
Description
Claims (17)
- 液晶表示装置に使用される反射板の製造方法であって、
(a)ポジ型の感光材料及びエポキシ樹脂を含む熱硬化型の感光性樹脂膜を形成する工程と、
(b)前記感光性樹脂膜をパターンニングして、前記感光性樹脂膜から成る複数の凸部を形成する工程と、
(c)前記工程(b)の後に、前記複数の凸部に対して、波長が150nm以上450nm以下の紫外線を照射する工程と、
(d)前記工程(c)の後に、前記複数の凸部に対して熱硬化処理を行う工程と、
(e)前記工程(c)の後に、前記複数の凸部を覆う反射膜を形成する工程と
を備える、反射板の製造方法。 - 請求項1に記載の反射板の製造方法であって、
前記工程(c)では、前記複数の凸部に対して、波長が300nm以上450nm以下の紫外線が照射される、反射板の製造方法。 - 請求項2に記載の反射板の製造方法であって、
前記工程(c)では、前記複数の凸部に対して、波長が365nm、405nm及び436nmの少なくとも一つを含む紫外線が照射される、反射板の製造方法。 - 請求項2及び請求項3のいずれか一つに記載の反射板の製造方法であって、
(f)前記工程(c)及び(d)の間に、前記工程(d)での処理温度よりも低温で前記複数の凸部に対して熱処理を行う工程をさらに備える、反射板の製造方法。 - 請求項1に記載の反射板の製造方法であって、
前記工程(c)では、前記複数の凸部に対して、波長が150nm以上300nm未満の紫外線が照射される、反射板の製造方法。 - 請求項2乃至請求項4のいずれか一つに記載の反射板の製造方法であって、
前記工程(c)では、波長が300nm以上450nm以下の紫外線と、波長が150nm以上300nm未満の紫外線とが、前記複数の凸部に対して照射される、反射板の製造方法。 - 請求項6に記載の反射板の製造方法であって、
前記工程(c)では、前記複数の凸部に対して、波長が300nm以上450nm以下の紫外線が照射された後に、波長が150nm以上300nm未満の紫外線が照射される、反射板の製造方法。 - 請求項6及び請求項7のいずれか一つに記載の反射板の製造方法であって、
前記工程(c)では、波長が300nm以上450nm以下の紫外線と、波長が150nm以上300nm未満の紫外線とは、別々の光源から前記複数の凸部に対して照射される、反射板の製造方法。 - 請求項5乃至請求項8のいずれか一つに記載の反射板の製造方法であって、
前記工程(c)では、前記複数の凸部に対して、波長が185nm及び254nmの少なくとも一方を含む紫外線が照射される、反射板の製造方法。 - 請求項5乃至請求項9のいずれか一つに記載の反射板の製造方法であって、
前記工程(c)では、前記複数の凸部に対して、波長が150nm以上200nm以下の紫外線が照射される、反射板の製造方法。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか一つに記載の反射板の製造方法であって、
前記工程(c)では、不活性ガス雰囲気中で前記複数の凸部に紫外線が照射される、反射板の製造方法。 - 請求項10に記載の反射板の製造方法であって、
前記工程(c)では、不活性ガス雰囲気中で、波長が150nm以上200nm以下の紫外線が前記複数の凸部に照射される、反射板の製造方法。 - 請求項1乃至請求項12のいずれか一つに記載の反射板の製造方法の各工程を備える液晶表示装置の製造方法であって、
前記工程(a)では、第1基板上に前記感光性樹脂膜が形成され、
(g)前記工程(d)及び(e)の後に、前記第1基板と第2基板とを、それらの間に液晶、前記感光性樹脂膜及び前記反射膜を挟んで対向配置する工程をさらに備える、液晶表示装置の製造方法。 - 液晶表示装置に使用される反射板であって、
絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成された反射膜と
を備え、
前記反射膜における前記絶縁膜側の主面とは反対側の主面には、緩斜面とそれよりも傾斜角が大きい急斜面とを有する凸面が複数形成されており、
前記急斜面の傾斜角は35°以上60°以下に設定されている、反射板。 - 請求項14に記載の反射板であって、
前記緩斜面の傾斜角は5°以上15°以下に設定されている、反射板。 - 請求項14及び請求項15のいずれか一つに記載の反射板を備える液晶表示装置であって、
第1基板と、
前記第1基板上に形成された前記絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成された前記反射膜と、
前記第1基板での前記反射膜側の主面と対向配置され、当該第1基板との間に液晶を挟む第2基板と
を備える、液晶表示装置。 - 第1基板と、
前記第1基板上に形成された導電膜と、
前記導電膜上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成された反射膜と、
前記第1基板での前記反射膜側の主面と対向配置され、当該第1基板との間に液晶を挟む第2基板と
を備え、
前記絶縁膜での前記反射膜側の主面には複数の凸部が形成されており、
前記複数の凸部の高さは、前記絶縁膜の平均膜厚の1/2倍以下であって、かつ1μm以下に設定されている、液晶表示装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005338831A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示装置の有機膜フォトレジスト組成物、そのスピンレスコーティング方法、これを用いた有機膜パターン形成方法及びこれにより製造された液晶表示装置 |
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