JP2005317659A - 集積型半導体光デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 バンドギャップ波長が導波方向に連続的に変化する領域を介して接合された少なくとも2つの光導波層を有する集積型半導体光デバイスの製造方法において、上記2つの光導波層の一方が形成される第1の領域と他方が形成される第2の領域に跨って誘電体マスクを形成する第1の工程と、上記誘電体マスクを用いて選択成長により上記2つの光導波層を同時に形成する第2の工程とを含む。誘電体マスクは、上記第1の領域におけるパターン幅が上記第2の領域におけるパターン幅より狭い、該第1および第2の領域を規定する一対の誘電体膜2a、2bと、上記第1の領域において、誘電体膜2a、2bの両側に設けられた誘電体膜4a、4bとからなる。
【選択図】 図1
Description
T. Kato et. al.、エレクトロニクス・レターズ(Electronics Letters)、「DFB-LD / MODULATOR INTEGRATED LIGHT SOURCE BY BANDGAP ENERGY CONTROLLED SELECTIVE MOVPE」、第28巻、第2号、153頁〜154頁、1992年1月16日(発行) H. Soda et. al.、エレクトロニクス・レターズ(Electronics Letters)、「HIGH-POWER AND HIGH-SPEED SEMI-INSULATING BH STRUCTURE MONOLITHIC ELECTROABSORPTION MODULATOR / DFB LASER LIGHT SOURCE」、第26巻、第1号、9頁〜10頁、1990年1月4日(発行)
Δλ=(λ1−λ2)/λ2
と定義し、規格化した層厚差Δdを
Δd=(d1−d2)/d2
と定義する。縦軸は規格化バンドギャップ波長差Δλ、横軸は規格化層厚差Δdである。領域R1、R2を同時に選択成長させると、マスク幅の変化に伴ってバンドギャップ波長および層厚が変化する。この場合の、規格化バンドギャップ波長差Δλと規格化層厚差Δdの関係を示すグラフは、図21に示すような直線に近い曲線を描くことになる。図21では、簡単のため、バンドギャップ波長と層厚の関係を直線近似で表している。近似した直線がグラフの原点(領域R2を特徴づける点)を通る場合は、Δλ/Δdが傾きに相当し、その値は、単位バンドギャップ波長の変化に伴って生じる層厚の変化量を表す。既存の1.3um帯や1.55um帯の光デバイスで一般的に用いられているInGaAsP系材料においては、Δλ/Δdは、導波層構造や発光波長にも因るが、おおよそ6〜15程度とされている。
前記2つの光導波層は、一方の光導波層の層厚をd1、バンドギャップ波長をλ1とし、他方の光導波層の層厚をd2(ただし、d2≧d1)、バンドギャップ波長をλ2とするとき、
Δλ=(λ1−λ2)/λ2
で与えられる規格化バンドギャップ波長差Δλと、
Δd=(d1−d2)/d2
で与えられる規格化層厚差Δdとの比Δd/Δλが、
0≦Δd/Δλ<5
の条件を満たすように構成されていることを特徴とする。
前記2つの光導波層は、一方の光導波層の層厚をd1、バンドギャップ波長をλ1とし、他方の光導波層の層厚をd2、バンドギャップ波長をλ2とするとき、d2≧d1、かつ、λ1<λ2の条件を満たすように構成されていることを特徴とする。
前記2つの光導波層は、一方の光導波層の層厚をd1、バンドギャップ波長をλ1とし、他方の光導波層の層厚をd2、バンドギャップ波長をλ2とするとき、50nm≦λ2−λ1≦80nm、かつ、0.8≦d1/d2≦1の条件を満たすように構成されていることを特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施形態である集積型半導体光デバイスの製造方法において用いられる誘電体マスクの一部を示す図であって、(a)は上面図、(b)は(a)の一点鎖線A−Aにおける断面図である。
Δd/Δλの値が「5」を下回るようにする方法として、図3に示した誘電体マスクを用いる方法以外に、III族構成元素として、In、Ga以外にAlを用いる方法がある。図8に、InGaAlAs活性層およびInGaAsP活性層のそれぞれについて、導波層のMQWバンドギャップ波長と規格化層厚のマスク幅依存性を示す。縦軸は規格化層厚、横軸はPL波長(nm)である。図8中、菱形の印でプロットしたものがInGaAlAs活性層のもの、丸印でプロットしたものがInGaAsP活性層のものである。図8の例から、Alを添加することによって、MQWバンドギャップの変化に対して、層厚の変化量が十分小さな値にとどまっていることがわかる。これは、InGaAsP活性層を用いる場合と比較して、Alを添加したInGaAlAs活性層を用いた場合は、Δd/Δλの値が小さくなることを意味している。ここでは、III族構成元素として、In、Ga以外にAlを用いる製造方法について説明する。
図11は、本発明の第3の実施形態である集積型半導体光デバイスの製造方法において用いられる誘電体マスクを示す図である。この誘電体マスクは、受動導波路集積DFBレーザに適用されるものであり、受動導波路領域およびレーザ領域(DFB−LD)の両領域に亘って形成された一対の誘電体膜12a、12bと、受動導波路領域において、この一対の誘電体膜12a、12bを挟むようにその両側に配置された誘電体膜14a、14bとからなる。レーザ領域における誘電体膜12a、12bのパターンは、基本的には図3に示したもの同じものである。受動導波路領域においては、誘電体膜12a、12bの間の選択領域11が湾曲しており、この湾曲に合せて誘電体膜12a、12b、14a、14bのパターンも湾曲している。湾曲したパターンとしている以外は、基本的には図3に示したものと同様である。
上述した第1および第2の実施形態を組み合わせることも可能である。具体的には、第2の実施形態の製造手順において、誘電体マスクとして図3に示した誘電体マスクを用いる。こうすることで、さらなる素子特性の改善を図ることができる。
第1乃至第4の実施形態の説明では、ウェハ上に1つのレーザ素子を形成するようになっているが、同一ウェハ上に複数のレーザ素子を形成することも可能である。
2、2a、2b、4a、4b、12a、12b、14a、14b 誘電体膜
81 光ガイド層
82 エッチングストッパ層
83 レーザ活性層
84 光変調層
85 クラッド層
87 電極
88 回折格子
90 電流ブロック層
91 InGaAsコンタクト層
92 p−InPクラッド層
99 半導体基板
100 SiO2膜
102 p電極
103 n電極
110、120 光導波層
Claims (11)
- バンドギャップ波長が導波方向に連続的に変化する領域を介して接合された少なくとも2つの光導波層を有し、
前記2つの光導波層は、一方の光導波層の層厚をd1、バンドギャップ波長をλ1とし、他方の光導波層の層厚をd2(ただし、d2≧d1)、バンドギャップ波長をλ2とするとき、
Δλ=(λ1−λ2)/λ2
で与えられる規格化バンドギャップ波長差Δλと、
Δd=(d1−d2)/d2
で与えられる規格化層厚差Δdとの比Δd/Δλが、
0≦Δd/Δλ<5
の条件を満たすように構成されていることを特徴とする集積型半導体光デバイス。 - バンドギャップ波長が導波方向に連続的に変化する領域を介して接合された少なくとも2つの光導波層を有し、
前記2つの光導波層は、一方の光導波層の層厚をd1、バンドギャップ波長をλ1とし、他方の光導波層の層厚をd2、バンドギャップ波長をλ2とするとき、d2≧d1、かつ、λ1<λ2の条件を満たすように構成されていることを特徴とする集積型半導体光デバイス。 - バンドギャップ波長が導波方向に連続的に変化する領域を介して接合された少なくとも2つの光導波層を有し、
前記2つの光導波層は、一方の光導波層の層厚をd1、バンドギャップ波長をλ1とし、他方の光導波層の層厚をd2、バンドギャップ波長をλ2とするとき、50nm≦λ2−λ1≦80nm、かつ、0.8≦d1/d2≦1の条件を満たすように構成されていることを特徴とする集積型半導体光デバイス。 - 前記他方の光導波層により分布帰還型半導体レーザが構成され、前記一方の光導波層により、前記分布帰還型半導体レーザから発振したレーザ光を光変調する光変調器が構成される、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の集積型半導体光デバイス。
- 前記一方の光導波層が光導波領域、前記他方の光導波層が光活性領域である、請求項1に記載の集積型半導体光デバイス。
- 前記2つの光導波層は、導波層材料がIII−V族半導体であり、III族原子として少なくともIn、Ga、Alの3つを含み、かつ、III族原子に占める平均のAl原子組成が10%以上、50%以下である、請求項1から5のいずれか1項に記載の集積型半導体光デバイス。
- バンドギャップ波長が導波方向に連続的に変化する領域を介して接合された少なくとも2つの光導波層を有する集積型半導体光デバイスの製造方法において、
前記2つの光導波層の一方が形成される第1の領域と他方が形成される第2の領域に跨って誘電体マスクを形成する第1の工程と、
前記誘電体マスクを用いて選択成長により前記2つの光導波層を同時に形成する第2の工程とを含み、
前記第1の工程は、前記第1の領域におけるパターン幅が前記第2の領域におけるパターン幅より狭い、該第1および第2の領域を規定する一対の第1の誘電体膜と、前記第1の領域において、前記第1の誘電体膜の両側に設けられ、隣接する誘電体膜との間隔が前記選択成長による結晶成長時の原料種の最短拡散長より短い複数の第2の誘電体膜とからなるパターンを、前記誘電体マスクとして形成する工程を含むことを特徴とする集積型半導体光デバイスの製造方法。 - 前記一対の第1の誘電体膜の間隔が0.5μm以上、50.0μm以下である、請求項7に記載の集積型半導体光デバイスの製造方法。
- 前記原料種が、III−V族半導体であり、III族原子として少なくともIn、Ga、Alを含み、かつ、III族原子に占める平均のAl原子組成が10%以上、50%以下である、請求項7または8に記載の集積型半導体光デバイスの製造方法。
- バンドギャップ波長が導波方向に連続的に変化する領域を介して接合された少なくとも2つの光導波層を有する集積型半導体光デバイスの製造方法において、
前記2つの光導波層の形成領域を規定する誘電体マスクを形成する第1の工程と、
前記誘電体マスクを用いて選択成長により前記2つの光導波層を同時に形成する第2の工程とを含み、
前記選択成長による結晶成長時の原料種として、少なくともIn、Ga、Alを含むことを特徴とする、集積型半導体光デバイスの製造方法。 - 前記原料種がIII−V族半導体であり、III族原子に占める平均のAl原子組成が10%以上、50%以下である、請求項10に記載の集積型半導体光デバイスの製造方法。
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JP2004131760A JP2005317659A (ja) | 2004-04-27 | 2004-04-27 | 集積型半導体光デバイス及びその製造方法 |
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JP2004131760A Pending JP2005317659A (ja) | 2004-04-27 | 2004-04-27 | 集積型半導体光デバイス及びその製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012002929A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Opnext Japan Inc | 半導体光素子の製造方法、レーザモジュール、光伝送装置 |
JP2016134522A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | 三菱電機株式会社 | 光半導体装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001235713A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光変調器、半導体光素子、及びそれらの作製方法 |
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2004
- 2004-04-27 JP JP2004131760A patent/JP2005317659A/ja active Pending
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