JP2005317637A - 基板処理方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 薬液を供給して基板Wに対する薬液処理を行った後、処理槽1内に供給ノズル39から過熱蒸気を供給して基板Wに対して純水洗浄処理を行う。過熱蒸気を用いたことにより、純水で直接的に洗浄するよりも消費量を極めて低減できる。過熱蒸気は高温低湿であるので、同時に基板Wを乾燥させることができる。その結果、この処理における純水の消費量を低減するとともに工数を低減することができる。
【選択図】 図1
Description
上記実施例2の変形例について、図10を参照して説明する。
SC2(塩酸、過酸化水素水、純水の混合液)
SPM(硫酸、過酸化水素水の混合液)
BHF(緩衝フッ酸溶液)
燐酸(H3PO4)
(2)上述した各実施例では、円形状の基板Wを例に採って説明しているが、本発明は角形基板にも適用することができる。
1 … 処理槽
3 … 内槽
5 … 外槽
7 … チャンバー
9 … リフター
25 … 供給配管25(薬液供給系)
35 … 純水供給源
37 … 薬液供給源
39 … 供給ノズル(過熱蒸気供給系)
43 … 蒸気供給源
45 … 配管
51 … 加熱ヒータ
Claims (10)
- 基板に所定の処理を行う基板処理方法において、
薬液により基板の薬液処理を行った後、純水洗浄処理の際に純水を過熱した過熱蒸気により基板の処理を行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
前記純水洗浄処理は、最終の純水洗浄処理であることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1または2に記載の基板処理方法において、
前記過熱蒸気は、100〜180℃の温度範囲であることを特徴とする基板処理方法。 - 基板に所定の処理を行う基板処理装置において、
薬液を貯留する処理槽と、
前記処理槽内で基板を保持する保持機構と、
前記処理槽へ薬液を供給する薬液供給系と、
純水を過熱した過熱蒸気を基板へ供給する過熱蒸気供給系と、
前記処理槽内の薬液液面と前記保持機構により保持された基板とを相対的に移動させる移動機構とを備え、
前記処理槽内において薬液による基板の薬液処理を行った後、前記移動機構により前記処理槽内の薬液液面と前記保持機構により保持された基板とを相対的に移動させ、前記過熱蒸気供給系より過熱蒸気を基板へ供給させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置において、
前記過熱蒸気供給系は、前記保持機構により前記処理槽内に保持された基板に過熱蒸気を供給し、
前記移動機構は、前記処理槽に貯留された薬液を前記処理槽から排出する排出機構を有することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に所定の処理を行う基板処理装置において、
基板を保持する保持機構と、
前記保持機構を回転させる駆動機構と、
前記保持機構に保持されつつ回転している基板に薬液を供給する薬液供給系と、
前記薬液供給系から薬液を基板に供給して基板の薬液処理を行った後、前記保持機構に保持されつつ回転している基板に純水を過熱した過熱蒸気を供給する過熱蒸気供給系と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4から6のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記過熱蒸気供給系からの過熱蒸気の供給は、最終の純水洗浄処理であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6に記載の基板処理装置において、
前記過熱蒸気供給系は、100〜180℃の温度範囲で過熱することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項5から7のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記保持機構は、保持機構を加熱するための加熱部と、前記保持機構に対して出退可能な受け渡しピンとを備え、
前記過熱蒸気供給系から過熱蒸気を供給する際には、前記受け渡しピンを進出させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4から9のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記過熱蒸気供給系は、気体供給源を備え、
過熱蒸気を供給する前に、前記過熱蒸気供給系から気体を供給することを特徴とする基板処理装置。
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