JP2005315131A - 絞り弁装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】全閉時に流路開閉部材を非接触な構成としながら、その間のクリアランスを通る流体流量を低減すること。
【解決手段】エンジンの吸気通路で使用される絞り弁装置1は、ボア2を含むボディ3と、ボア2を横切りボディ3に回転可能に設けられ、互いに非接触状態で平行に配置された二枚の回転弁板4,5と、各回転弁板4,5を回転させる第1モータ6及び第2モータ7とを備える。二枚の回転弁板4,5は、回転により互いに重複可能な絞り孔4a,5aを含む。開度を変えるために、二枚の回転弁板4,5を相対回転させて二つの絞り孔4a,5aの重複面積が変えられる。二つの絞り孔4a,5aが非重複となる見かけの全閉状態を保ちながら、二枚の回転弁板4,5は、互いに同期回転される。見かけの全閉状態の空気流量を更に微調節するために、上記同期回転の速度が変えられる。
【選択図】 図1
【解決手段】エンジンの吸気通路で使用される絞り弁装置1は、ボア2を含むボディ3と、ボア2を横切りボディ3に回転可能に設けられ、互いに非接触状態で平行に配置された二枚の回転弁板4,5と、各回転弁板4,5を回転させる第1モータ6及び第2モータ7とを備える。二枚の回転弁板4,5は、回転により互いに重複可能な絞り孔4a,5aを含む。開度を変えるために、二枚の回転弁板4,5を相対回転させて二つの絞り孔4a,5aの重複面積が変えられる。二つの絞り孔4a,5aが非重複となる見かけの全閉状態を保ちながら、二枚の回転弁板4,5は、互いに同期回転される。見かけの全閉状態の空気流量を更に微調節するために、上記同期回転の速度が変えられる。
【選択図】 図1
Description
この発明は、例えば、エンジンの吸気流量など、流体流量を調節するために使用される絞り弁装置に関する。
従来、この種の装置として、例えば、エンジンの吸気量を調節するために使用されるスロットル装置がある。スロットル装置は、空気が流れるボアを含むスロットルボディと、スロットルボディに回転可能に設けられた支軸と、支軸に設けられて支軸とともに回転することによりボアを開閉する円板状のスロットルバルブとを備える。スロットルバルブは、その全閉時に、ボア壁面との間の摩耗、変形を懸念して、ボア壁面と機械的に接触しないように構成される。従って、スロットルバルブが全閉になっても、その外周面とボア壁面との間に若干のクリアランスができることから、そこを通る空気量を皆無にすることができなかった。このため、スロットルバルブの全閉時には、エンジンの燃費低減などを考慮して上記クリアランスを極力小さくし、そこを通る空気量を極力少なくすることが要求されている。
下記の特許文献1に記載の絞り組立体は、スロットルボディのボアにスロットルバルブがシャフトを介して回転可能に支持される。スロットルバルブは、その外周面とボア壁面との間のクリアランスを少なくするために、その全閉位置においてボア壁面と接触可能に設けられたシール部材を有する。このシール部材はボア壁面より軟らかい塑性変形材料により形成される。この構成により、スロットルバルブ全閉時には、シール部材がボア壁面形状に即した状態で変形し、スロットルバルブ外周面とボア壁面との間のクリアランスを少なくしている。
一方、下記の特許文献2に記載の絞り装置は、スロットルバルブ全閉時における全閉角度のばらつきによる空気量のばらつきを解消するために、スロットルバルブがボアの軸線に対して垂直をなすように配置される。この配置状態においてボア壁面に対向するスロットルバルブの外周端面は、シャフトの回転中心を中心とする曲率半径の球面形状を有する。この構成により、スロットルバルブの全閉角度にばらつきが生じたときでも、ボア壁面とスロットルバルブの外周端面との間のクリアランス面積を一定化するようにしている。
ところが、上記した特許文献1に記載の絞り組立体は、シール部材をスロットルバルブに対して別途取り付けなければならず、取り付け精度も要求されることになった。また、シール部材がボア壁面に接触することから、シール部材の経時劣化や摩耗、さらには接触騒音が懸念されることになった。
一方、上記した特許文献2に記載の絞り装置は、スロットルバルブの全閉時における空気量のばらつきは解消されるものの、スロットルバルブの外周端面とボア壁面との間のクリアランスを通る空気量を低減できなかった。
この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、全閉時に流路開閉部材を非接触な構成としながら、その間のクリアランスを通る流体流量を低減することを可能とした絞り弁装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明の絞り弁装置は、流体が流れるボアを含むボディと、ボアを横切る状態でボディに回転可能に設けられ、互いに非接触状態で平行に配置された複数の回転弁板と、複数の回転弁板は、回転により互いに重複可能な絞り孔を含むことと、各回転弁板を回転させるために各回転弁板のそれぞれに対応して設けられた駆動手段とを備えたことを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、各駆動手段により各回転弁板を相対回転させることにより、複数の絞り孔の重複面積が変わり、ボアが開閉してボアにおける流体の流量が調節される。ここで、各駆動手段により各回転弁板を相対回転させることにより、複数の絞り孔が互いに非重複な状態となり、ボアは見かけの全閉状態となるが、各絞り孔は各回転弁板のクリアランスを通じて互いに連通する。この状態で、複数の絞り孔が互いに非重複となる状態を保ちながら、各駆動手段により複数の回転弁板を同期回転させることにより、見かけの全閉状態におけるボアの流体の流れは、剪断により制限される。
上記目的を達成するために、請求項2に記載の発明の絞り弁装置は、流体が流れるボアを含むボディと、ボアを横切る状態でボディに回転可能に設けられ、互いに非接触状態で平行に配置された複数の回転弁板と、複数の回転弁板は、回転により互いに重複可能な絞り孔を含むことと、各回転弁板を回転させるために各回転弁板のそれぞれに対応して設けられた駆動手段と、複数の絞り孔が互いに非重複となる状態を保ちながら複数の回転弁板を同期回転させるために各駆動手段を制御する同期制御手段とを備えたことを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、複数の絞り孔を互いに非重複とすることにより、ボアは見かけの全閉状態となるが、各絞り孔は各回転弁板のクリアランスを通じて互いに連通する。ここで、同期制御手段が各駆動手段を制御することにより、上記非重複となる状態を保ちながら複数の回転弁板が同期回転される。これにより、見かけの全閉状態におけるボアの流体の流れは、剪断により制限される。
上記目的を達成するために、請求項3に記載の発明は、流体が流れるボアを含むボディと、ボアを横切る状態でボディに回転可能に設けられ、互いに非接触状態で平行に配置された複数の回転弁板と、複数の回転弁板は、回転により互いに重複可能な絞り孔を含むことと、各回転弁板を回転させるために各回転弁板のそれぞれに対応して設けられた駆動手段と、複数の絞り孔が互いに非重複となる状態を保ちながら複数の回転弁板を同期回転させるために各駆動手段を制御する同期制御手段と、同期回転の速度を変更するために各駆動制御手段を制御する変速制御手段とを備えたことを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、複数の絞り孔を互いに非重複とすることにより、ボアは見かけの全閉状態となるが、各絞り孔は各回転弁板のクリアランスを通じて互いに連通する。ここで、同期制御手段が各駆動手段を制御することにより、上記非重複となる状態を保ちながら複数の回転弁板が同期回転される。これにより、見かけの全閉状態におけるボアの流体の流れは、剪断により制限される。また、変速制御手段が上記同期回転の速度を変更することにより、見かけの全閉状態におけるボアの流体の流れが微調節される。
上記目的を達成するために、請求項4に記載の発明の絞り弁装置は、請求項1乃至3のいずれかに記載の発明の絞り弁装置において、複数の絞り孔の重複面積を変えるために各駆動手段を制御する重複制御手段を備えたことを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、請求項1乃至3のいずれかに記載の発明の作用に加え、重複制御手段が各駆動手段を制御して各回転弁板を相対回転させることにより、複数の絞り孔の重複面積が変わり、ボアが開閉してボアにおける流体の流量が調節される。
請求項1に記載の発明によれば、複数の絞り孔を互いに非重複な状態としながら複数の回転弁板を同期回転させることにより、全閉時における流路開閉部材を非接触な構成としながら、その間のクリアランスを通る流体流量を低減することができる。
請求項2に記載の発明によれば、全閉時における流路開閉部材を非接触な構成としながら、その間のクリアランスを通る流体流量を低減することができる。
請求項3に記載の発明によれば、全閉時における流路開閉部材を非接触な構成としながら、その間のクリアランスを通る流体流量を低減することができる。また、低流量域まで空気流量の調節範囲を拡大することができ、低流量域での流量調節の分解能を向上させることができる。
請求項4に記載の発明によれば、請求項1乃至3のいずれかに記載の発明の効果に加え、低流量域から高流量域まで空気流量の調節を行うことができる。
[第1実施形態]
以下、本発明における絞り弁装置を具体化した第1実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
以下、本発明における絞り弁装置を具体化した第1実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
図1に本実施形態の絞り弁装置1を縦断面図により示す。図2に絞り弁装置1を横断面図により示す。絞り弁装置1は、エンジンの吸気通路に装着され、エンジンに吸入される空気量を調節するために使用される。絞り弁装置1は、流体としての空気が流れるボア2を含むボディ3と、そのボア2を横切る状態でボディ3に回転可能に設けられ、互いに非接触状態で平行に配置された2枚の回転弁板4,5(上回転弁板4、下回転弁板5)と、各回転弁板4,5を回転させるために各回転弁板4,5のそれぞれに対応して設けられた第1モータ6及び第2モータ7とを備える。図1の太線矢印は、エンジンの吸気通路における空気流の方向を示す。
2枚の回転弁板4,5の間隔は、この実施形態では、「約1mm」に設定される。各回転弁板4,5とボディ3との間にも所定のクリアランスがあり、非接触状態となっている。各回転弁板4,5は、同一軸線を中心に回転可能に配置され、それらの回転により互いに重複可能な絞り孔4a,5aを含む。図3に、各回転弁板4,5と、その絞り孔4a,5aの形状を平面図により示す。各絞り孔4a,5aは、半円弧形状をなす。図1に示すように、各回転弁板4,5は、ベアリング8,9,10を介してボディ3に回転可能に支持される。各回転弁板4,5は、外周に複数の外周歯を有する。ボディ3に設けられた第1モータ6は、その出力軸上の駆動ギア11及び中間ギア12,13を介して上回転弁板4の外周歯に連結される。同様に、ボディ3に設けられた第2モータ7は、その出力軸上の駆動ギア14及び中間ギア15,16を介して下回転弁板5の外周歯に連結される。
図1に示すように、上回転弁板4の上面周縁には、多数の突起4bが等角度間隔に配置される。ボディ3には、上回転弁板4に対応して、第1回転センサ31が設けられる。この回転センサ31は、各突起4bに対向して配置される。この回転センサ31は、上回転弁板4の回転に伴い各突起4bの通過を検出することにより、上回転弁板4の回転速度を検出するようになっている。同様に、下回転弁板5の下面周縁には、多数の突起5bが等角度間隔に配置される。ボディ3には、下回転弁板5に対応して、第2回転センサ32が設けられる。この回転センサ32は、各突起5bに対向して配置される。この回転センサ32は、下回転弁板5の回転に伴い各突起5bの通過を検出することにより、下回転弁板5の回転速度を検出するようになっている。
上記構成において、絞り弁装置1は、各モータ6,7により各回転弁板4,5を相対回転させることにより、二つの絞り孔4a,5aの重複面積が変わり、ボア2が開閉してボア2における空気の流量が調節される。すなわち、図1,2に示すように、二つの絞り孔4a,5aが互いに重複し合わない非重複状態では、絞り弁装置1は、見かけの全閉状態となる。また、図4に示すように、二つの絞り孔4a、5aが互いに完全に重複し合う全重複状態では、絞り弁装置1は、全開状態となる。また、上記した見かけの全閉状態と全開状態との間で、二つの絞り孔4a,5aの重複面積を変えることにより、絞り弁装置1の開度が変えられる。図5に、絞り弁装置1の開度と空気の流量との関係をグラフに示す。このグラフにおいて、「相対回転域」は、二つの絞り孔4a,5aの重複面積を変えることにより、絞り弁装置1の開度と空気流量が変わる領域である。
上記した見かけの全閉状態では、各絞り孔4a,5aは、各回転弁板4,5のクリアランスを通じて互いに連通することになる。従って、この状態のままでは、そのクリアランスをわずかに空気が流れることになる。そこで、この絞り弁装置1では、二つの絞り孔4a,5aが互いに非重複となる見かけの全閉状態を保ちながら、各モータ6,7により二枚の回転弁板4,5を同期回転させることにより、見かけの全閉状態におけるボア2の空気流を、剪断により微量に制限するようになっている。このときの微量な空気流は、二枚の回転弁板4,5の同期回転速度を変えることで調節されることが分かっている。図5のグラフにおいて、「同期回転域」は、二枚の回転弁板4,5の同期回転速度を変えることにより、絞り弁装置1の実質的な開度と空気流量が変わる領域である。図5の破線楕円で示す曲線部分を、図6に拡大したグラフに示す。このグラフから明らかなように、絞り弁装置1における空気流量は、二枚の回転弁板4,5の回転速度を上げるに連れて更に減少することが分かる。
図7に、エンジンシステムにおける絞り弁装置1に関連した電気的構成をブロック図により示す。この実施形態では、絞り弁装置1を制御するための電子制御装置(ECU)30を備える。ECU30には、第1モータ6及び第2モータ7が接続される。また、ECU30には、第1回転センサ31及び第2回転センサ32が接続される。ECU30には、各回転センサ31,32から各回転弁板4,5の回転速度を示す信号が入力される。更に、ECU30には、エンジンに設けられた各種センサから各種信号が入力される。すなわち、エンジンの吸気通路における圧力(吸気圧)、アクセルペダルの開度(アクセル開度)、エンジン回転速度及びエンジンの冷却水温の温度(冷却水温)がそれぞれECU30に入力される。ECU30は、絞り弁装置1の開度を制御するべく、上記した各種信号に基づいて各モータ6,7を制御することで二枚の回転弁板4,5を回転、停止させる。
ここで、ECU30は、二つの絞り孔4a、5aの重複面積を変えるために、各モータ6,7を制御する。ECU30は、この制御を主としてアクセル開度の信号に基づいて行う。例えば、アクセル開度が全閉を示すときは、原則的には、ECU30は、絞り弁装置1が見かけの全閉状態となるように各モータ6,7を制御することで、二枚の回転弁板4,5を相対回転させて絞り孔4a,5aを非重複状態とする。また、アクセル開度が増加するに従い、ECU30は、絞り弁装置1の開度を増大させるように各モータ6,7を制御することで、二枚の回転弁板4,5を相対回転させて絞り孔4a,5aの重複面積を増大させる。このような制御を実行するECU30は、本発明の重複制御手段に相当する。
また、ECU30は、二つの絞り孔4a、5aが互いに非重複となる状態(見かけの全閉状態)を保ちながら二枚の回転弁板4,5を同期回転させるために、各モータ6,7を制御する。ECU30は、二枚の回転弁板4,5が互いに同期回転するように、各回転センサ31,32からの回転速度信号に基づいて各モータ6,7を制御する。このような制御を実行するECU30は、本発明の同期制御手段に相当する。
更に、ECU30は、上記した二枚の回転弁板4,5に係る同期回転の速度を変更するために各モータ6,7を制御する。ECU30は、この制御を主としてエンジン回転速度及び冷却水温の信号、並びに、各回転センサ31,32からの回転速度信号に基づいて行う。例えば、エンジンのアイドル運転時に冷却水温が低いとき、ECU30は、エンジン回転速度が所定速度となるように各モータ6,7を制御することで、二枚の回転弁板4,5の同期回転速度を相対的に低くする。その後、エンジンの暖機が進むに連れて、ECU30は、各モータ6,7を制御することで、二枚の回転弁板4,5の同期回転速度を相対的に高くする。このような制御を実行するECU30は、本発明の変速制御手段に相当する。
以上説明した本実施形態における絞り弁装置1の構成によれば、二つの絞り孔4a,5aを互いに非重複とすることにより、ボア2は見かけの全閉状態となるが、各絞り孔4a,5aは各回転弁板4,5のクリアランスを通じて互いに連通することになる。ここで、ECU30が、各モータ6,7を制御することにより、上記した非重複となる見かけの全閉状態を保ちながら二枚の回転弁板4,5が同期回転される。これにより、見かけの全閉状態におけるボア2の空気流は、剪断により微量に制限される。このため、絞り弁装置1は、その全閉時に、二枚の回転弁板4,5及びボディ3が互いに非接触な構成でありながら、二枚の回転弁板4,5の間のクリアランスを通る空気流量を低減することができる。
また、この実施形態の絞り弁装置1によれば、二枚の回転弁板4,5及びボディ3が互いに非接触な構成であることから、各部品3〜5の摩耗や接触騒音の発生を防止することができる。このため、各部品3〜5の耐久性、延いては絞り弁装置1それ自体の耐久性を向上することができる。
また、この実施形態の絞り弁装置1によれば、ECU30が、二枚の回転弁板4,5の同期回転速度を変更することにより、見かけの全閉状態でのボア2における空気流量が微調節される。このため、絞り弁装置1として、低流量域まで空気流量の調節範囲を拡大することができ、低流量域での流量調節の分解能を向上させることができる。このような低流量域での流量調節機能は、エンジンのアイドル運転時に吸気流量を微調節するアイドル・スピード・コントロール・バルブ(ISCV)の機能に相当するものである。つまり、この絞り弁装置1は、ISCVの機能を兼ね備えた装置となる。
更に、この実施形態の絞り弁装置1によれば、ECU30が各モータ6,7を制御して各回転弁板4,5を相対回転させることにより、二つの絞り孔4a,5aの重複面積が変わり、ボア2が開閉してボア2における空気流量が調節される。このため、低流量域から高流量域まで空気流量の調節を行うことができる。
[第2実施形態]
次に、この発明の絞り弁装置を具体化した第2実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
次に、この発明の絞り弁装置を具体化した第2実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
尚、この実施形態において、前記第1実施形態と同じ構成要素については同一の符号を付して説明を省略し、以下には異なった点を中心に説明する。
この実施形態では、回転弁板及び駆動手段などの数の点で第1実施形態と構成が異なる。図8に、この実施形態の絞り弁装置21を縦断面図により示す。図9に、絞り弁装置21を横断面図により示す。図10に、各回転弁板4,5,22とそれらの絞り孔4a,5a,22aの形状を平面図により示す。図11に、絞り弁装置21を横断面図により示す。この実施形態では、上回転弁板4と下回転弁板5との間に中回転弁板22が配置され、合計三枚の回転弁板4,5,22が設けられる。図10に示すように、各回転弁板4,5,22の絞り孔4a,5a,22aは、三分の二円弧形状をなす。また、中回転弁板22に対応して駆動手段としての第3モータ23と、それに関連した駆動ギア24及び中間ギア25,26がボディ3に設けられる。更に、中回転弁板22に対応して第3回転センサ33がボディ3に設けられる。第3回転センサ33に対応して、中回転弁板22の外周には、同センサ33により検出される突起を兼用した多数の外周歯22bが設けられる。
上記構成において、この絞り弁装置21は、各モータ6,7,23により各回転弁板4,5,22を相対回転させることにより、三つの絞り孔4a,5a,22aの重複面積が変わり、ボア2が開閉してボア2における空気の流量が調節される。すなわち、図8,9に示すように、三つの絞り孔4a,5a,22aが互いに重複し合わない非重複状態では、絞り弁装置21は、見かけの全閉状態となる。図12に、見かけの全閉状態における各回転弁板4,5,22の回転位置の違いを分解斜視図により示す。また、図11に示すように、三つの絞り孔4a,5a,22aが互いに完全に重複し合う全重複状態では、絞り弁装置21は、全開状態となる。図13に、全開状態における各回転弁板4,5,22の回転位置の違いを分解斜視図により示す。また、上記した見かけの全閉状態と全開状態との間で、三つの絞り孔4a,5a,22aの重複面積を変えることにより、絞り弁装置21の開度が調節される。
図8に示すように、上記した見かけの全閉状態では、各絞り孔4a,5a,22aは、各回転弁板4,5,22のクリアランスを通じて互いに連通することになる。従って、この状態のままでは、そのクリアランスをわずかに空気が流れることになる。そこで、この絞り弁装置21でも、三つの絞り孔4a,5a,22aが互いに非重複となる見かけの全閉状態を保ちながら、各モータ6,7,23により三枚の回転弁板4,5,22を同期回転させることにより、見かけの全閉状態におけるボア2の空気流を、剪断により微量に制限するようになっている。
図14に、絞り弁装置21に関連した電気的構成をブロック図により示す。この実施形態では、第3モータ23及び第3回転センサ33がECU30に接続される点で、図7のブロック図と構成が異なる。ECU30には、第3回転センサ33から、中回転弁板22の回転速度を示す信号が入力される。ECU30は、絞り弁装置21の開度を制御するべく、上記した各種信号に基づいて各モータ6,7,23を制御することで三枚の回転弁板4,5,22を回転、停止させる。その制御の内容は、基本的には、第1実施形態のそれと同じである。
従って、この実施形態では、基本的には、第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。加えて、この実施形態では、各回転弁板4,5,22の絞り孔4a,5a,22aが三分の二円弧形状をなすことから、図11に示すように、全開時に開口形状を三分の二円弧形状にすることができ、第1実施形態の半円弧形状の開口形状に比べて開口面積を大きくすることができる。このため、第1実施形態の絞り弁装置1に比べて、全開時における空気流量を増やすことができる。
尚、この発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で、構成の一部を適宜に変更して実施することもできる。例えば、回転弁板の数を二枚や三枚から、四枚や五枚としてもよい。
1 絞り弁装置
2 ボア
3 ボディ
4 上回転弁板
4a 絞り孔
5 下回転弁板
5a 絞り孔
6 第1モータ(駆動手段)
7 第2モータ(駆動手段)
21 絞り弁装置
22 中回転弁板
22a 絞り孔
23 第3モータ(駆動手段)
30 ECU(同期制御手段、変速制御手段、重複制御手段)
2 ボア
3 ボディ
4 上回転弁板
4a 絞り孔
5 下回転弁板
5a 絞り孔
6 第1モータ(駆動手段)
7 第2モータ(駆動手段)
21 絞り弁装置
22 中回転弁板
22a 絞り孔
23 第3モータ(駆動手段)
30 ECU(同期制御手段、変速制御手段、重複制御手段)
Claims (4)
- 流体が流れるボアを含むボディと、
前記ボアを横切る状態で前記ボディに回転可能に設けられ、互いに非接触状態で平行に配置された複数の回転弁板と、
前記複数の回転弁板は、回転により互いに重複可能な絞り孔を含むことと、
前記各回転弁板を回転させるために前記各回転弁板のそれぞれに対応して設けられた駆動手段と
を備えたことを特徴とする絞り弁装置。 - 流体が流れるボアを含むボディと、
前記ボアを横切る状態で前記ボディに回転可能に設けられ、互いに非接触状態で平行に配置された複数の回転弁板と、
前記複数の回転弁板は、回転により互いに重複可能な絞り孔を含むことと、
前記各回転弁板を回転させるために前記各回転弁板のそれぞれに対応して設けられた駆動手段と、
前記複数の絞り孔が互いに非重複となる状態を保ちながら前記複数の回転弁板を同期回転させるために前記各駆動手段を制御する同期制御手段と
を備えたことを特徴とする絞り弁装置。 - 流体が流れるボアを含むボディと、
前記ボアを横切る状態で前記ボディに回転可能に設けられ、互いに非接触状態で平行に配置された複数の回転弁板と、
前記複数の回転弁板は、回転により互いに重複可能な絞り孔を含むことと、
前記各回転弁板を回転させるために前記各回転弁板のそれぞれに対応して設けられた駆動手段と、
前記複数の絞り孔が互いに非重複となる状態を保ちながら前記複数の回転弁板を同期回転させるために前記各駆動手段を制御する同期制御手段と、
前記同期回転の速度を変更するために前記各駆動制御手段を制御する変速制御手段と
を備えたことを特徴とする絞り弁装置。 - 前記複数の絞り孔の重複面積を変えるために前記各駆動手段を制御する重複制御手段を備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の絞り弁装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004132327A JP2005315131A (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | 絞り弁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004132327A JP2005315131A (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | 絞り弁装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005315131A true JP2005315131A (ja) | 2005-11-10 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004132327A Pending JP2005315131A (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | 絞り弁装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005315131A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008202783A (ja) * | 2007-01-22 | 2008-09-04 | Jig Engineering Co Ltd | 網下気室型湿式比重選別機用エアロータリーバルブ |
WO2016056390A1 (ja) * | 2014-10-08 | 2016-04-14 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給機構及び半導体製造装置 |
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2004
- 2004-04-28 JP JP2004132327A patent/JP2005315131A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008202783A (ja) * | 2007-01-22 | 2008-09-04 | Jig Engineering Co Ltd | 網下気室型湿式比重選別機用エアロータリーバルブ |
WO2016056390A1 (ja) * | 2014-10-08 | 2016-04-14 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給機構及び半導体製造装置 |
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