JP2005311340A5 - - Google Patents

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CN113977089B (zh) * 2021-10-28 2024-01-23 华南师范大学 一种用于集成电路板去除焊锡的激光头装置及系统

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4454720B2 (ja) * 1998-07-13 2010-04-21 株式会社半導体エネルギー研究所 光学レンズ、ビームホモジェナイザー、レーザー照射装置、及びレーザー照射方法
JP4588153B2 (ja) * 1999-03-08 2010-11-24 株式会社半導体エネルギー研究所 レーザー照射装置
US7160765B2 (en) * 1999-08-13 2007-01-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing a semiconductor device
JP4921643B2 (ja) * 2001-02-22 2012-04-25 株式会社Ｉｈｉ 照明光学系及びこれを備えるレーザー処理装置

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