JP2005311103A - 部品接合装置および部品接合ツール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】部品に荷重と振動を作用させることによりこの部品を基板に接合する部品接合装置に用いられる部品接合ツールにおいて、ホーン8から下方に突出して設けられ下面に部品に当接する当接面10aを有する接合作用部10を、当接面10aの長手方向をホーン8の軸線方向と直交する幅方向に向け且つ長手方向の両端部をホーン8の幅方向側面8dから張り出して形成し、両端部が張り出した張出し部Eを幅方向側面8dに結合された補強部9cによって補強する構造とする。これにより、接合作用部10の荷重と振動による変形や不均一な振動を防止して、長尺の部品を対象として安定した接合を行うことができる。
【選択図】図4
Description
不均一な振動を防止して、長尺の部品を対象として安定した接合を行うことができる。
わち棒状のホーン8は、下面には当接面10aを有する接合作用部10が設けられた形態となっている。なお、上記実施の形態では突部9の下面に接合作用部10を固着しているが、接合作用部10を突部9と一体に設けてもよい。
3 基板
4 半導体チップ
5 昇降押圧機構
7 部品接合ツール
8 ホーン
9 突部
10 接合作用部
11 振動子
Claims (4)
- 部品に荷重と振動を作用させることによりこの部品を基板に接合する部品接合装置であって、前記部品に当接する当接面が設けられた部品接合ツールと、この部品接合ツールを介して前記部品を基板に押圧する押圧手段とを備え、
前記部品接合ツールは、下面に前記当接面を有する接合作用部が設けられた棒状のホーンと、前記ホーンに振動を付与する振動子とを有し、前記接合作用部は、前記当接面の両端部を前記ホーンの軸線方向と直交する幅方向の幅方向側面から張り出して形成され、前記両端部が張り出した張出し部は前記幅方向側面に結合された補強部によって補強されていることを特徴とする部品接合装置。 - 前記補強部は、前記両端部の端面から前記幅方向側面に向かって前記軸線方向の寸法が増大する形状であることを特徴とする請求項1記載の部品接合装置。
- 部品に荷重と振動を作用させることによってこの部品を基板に接合する部品接合ツールであって、
前記部品接合ツールは、前記部品に当接する細長形状の当接面と、下面に前記当接面を有する接合作用部が設けられた棒状のホーンと、前記ホーンに振動を付与する振動子とを有し、前記接合作用部は、前記当接面の両端部を前記ホーンの軸線方向と直交する幅方向の幅方向側面から張り出して形成され、前記両端部が張り出した張出し部は前記幅方向側面に結合された補強部によって補強されていることを特徴とする部品接合ツール。 - 前記補強部は、前記両端部の端面から前記幅方向側面に向かって前記軸線方向の寸法が増大する形状であることを特徴とする請求項3記載の部品接合ツール。
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