JP2005309140A - フォトマスク製造方法、フォトマスク欠陥修正箇所判定方法、及びフォトマスク欠陥修正箇所判定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フォトマスク上に形成されたパターンの欠陥を検出し(S1)、欠陥を包括する第1の領域のパターン画像を取得し(S3)、このパターン画像からパターン輪郭抽出データを取得し(S4)、パターン輪郭抽出データとフォトマスク上の画素サイズとを基に第1の図形データを生成し(S5)、フォトマスクの設計データから、第1の領域を含む第2の領域に対応するパターンデータを取得し(S8)、このパターンデータから第2の図形データを生成し(S9)、第1の図形データと第2の図形データが重なる領域においてのみ、第2の図形データを第1の図形データに置き換えて第3の図形データを生成し(S12)、第2の図形データと第3のデータが表すパターン形状の各転写パターンを生成し(S13)、これら転写パターンを比較して欠陥を修正する必要があるか否かを判定する(S17)。
【選択図】 図2
Description
16×1000/1=16000
となるが、このように多くの画素数の画像を取得できる装置は存在しないのが実状である。
以下、第1の実施の形態として、フォトマスクの製造工程において、フォトマスク上にパターンを形成した後に所望の形状となっているか否かを検査する欠陥検査工程によって欠陥が検出されたときに、検出された欠陥が含まれたパターンでウェハ(半導体基板)へ転写した場合の転写パターンに与える影響度をリソ・シミュレーションによって見積り、その欠陥が問題となる大きさであるかを判別することで、欠陥を修正する必要性の判断を行う例について説明する。
以下、第2の実施の形態として、フォトマスクの製造工程において、フォトマスク上にパターンを形成した後に所望の形状となっているか否かを検査する欠陥検査工程によって欠陥が検出されたときに、検出された欠陥が含まれたパターンでウェハへ転写した場合の転写パターンに与える影響度をリソ・シミュレーションによって見積り、その欠陥が問題となる大きさであるかを判別することで、欠陥を修正する必要性の判断を行うマスクパターン形状評価装置について説明する。
以下、フォトマスク欠陥検査装置にて検出された残留欠陥、すなわち不要な遮光膜が透過部に残った欠陥の修正箇所に対して合否判断を行う手順を説明する。
Claims (8)
- フォトマスク上に形成されたパターンの欠陥を検出する工程と、
前記欠陥を包括する前記フォトマスク上の第1の領域のパターン画像を取得する工程と、
取得したパターン画像からパターン輪郭を抽出してパターン輪郭抽出データを取得する工程と、
前記パターン輪郭抽出データと前記フォトマスク上の画素サイズとを基に第1の図形データを生成する工程と、
前記フォトマスクの設計データから、前記第1の領域を含む第2の領域に対応するパターンデータを取得する工程と、
取得したパターンデータから第2の図形データを生成する工程と、
前記第1の図形データと前記第2の図形データが重なる領域においてのみ、前記第2の図形データを前記第1の図形データに置き換えて第3の図形データを生成する工程と、
前記第2の図形データと前記第3のデータが表すパターン形状の転写パターンをそれぞれ生成する工程と、
これら転写パターンを比較して前記欠陥を修正する必要があるか否かを判定する工程とを、
有することを特徴としたフォトマスク製造方法。 - 前記第1の領域のパターン画像は、走査型電子顕微鏡により取得することを特徴とする請求項1に記載のフォトマスク製造方法。
- 前記第3の図形データを生成する工程の前に、
前記第1の図形データと前記第2の図形データとで共通する領域における任意数の任意位置のパターンエッジを選択し、前記第1の図形データの前記パターンエッジと前記第2の図形データの前記パターンエッジとの水平方向及びそれと直行する方向の各距離の差が最小になるように、前記第1の図形データと前記第2の図形データの水平方向及びそれとは直行する方向の各位置を調整する工程を有することを特徴とする請求項1に記載のフォトマスク製造方法。 - 前記第3の図形データを生成する工程の前に、
前記第1の図形データにおける任意数の任意位置の互いに並行するパターンエッジの対を選択し、前記パターンエッジの対の間の距離と、前記パターンエッジの対に対応する前記第2の図形データにおけるパターンエッジの対の間の距離との差を求め、この差分だけ前記第2の図形データのパターンの太さを増減する工程を有することを特徴とする請求項1に記載のフォトマスク製造方法。 - 欠陥が修正されたフォトマスクの輪郭データを得る工程と、
欠陥修正時にビームを照射した前記フォトマスクの修正領域の情報を得る工程と、
透過率及び位相の情報を与えられた前記輪郭データと、透過率及び位相の変化量の情報を与えられた前記修正領域の情報とを合成して基板への転写像を求める工程と、
前記基板への転写像から前記フォトマスクの修正箇所の合否を判定する工程と、
を有することを特徴とするフォトマスク欠陥修正箇所判定方法。 - 前記欠陥が残留欠陥又は欠損欠陥のいずれかであることを特徴とする請求項5に記載のフォトマスク欠陥修正箇所判定方法。
- 前記合否を判定する工程は、前記基板への転写像における修正箇所のエッジ位置が予め設定された範囲内であるか否かによって合否判定をすることを特徴とする請求項5に記載のフォトマスク欠陥修正箇所判定方法。
- 欠陥が修正されたフォトマスクの輪郭データを得る手段と、
欠陥修正時にビームを照射した前記フォトマスクの修正領域の情報を得る手段と、
透過率及び位相の情報を与えられた前記輪郭データと、透過率及び位相の変化量の情報を与えられた前記修正領域の情報とを合成して基板への転写像を求める手段と、
前記基板への転写像から前記フォトマスクの修正箇所の合否を判定する手段と、
を具備したことを特徴とするフォトマスク欠陥修正箇所判定装置。
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