JP2005303113A - 垂直共振器型面発光半導体レーザ素子および発光装置および光伝送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板101上に、多層膜反射鏡102,109で上下をはさまれた共振器構造を備えた垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、上記共振器構造内に、電流注入で発光する活性領域106と電流注入機構を有せず外部励起光によって発光する活性領域104とを備えており、電流注入で発光する活性領域106と外部励起光によって発光する活性領域104とは、両者とも、上記共振器構造が有する同一の共振モード波長に対して、利得を有することを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
本発明の第1の形態の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子は、基板上に、多層膜反射鏡で上下をはさまれた共振器構造を備えた垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、上記共振器構造内に、電流注入で発光する活性領域と電流注入機構を有せず外部励起光によって発光する活性領域とを備えており、電流注入で発光する活性領域と外部励起光によって発光する活性領域とは、両者とも、上記共振器構造が有する同一の共振モード波長に対して、利得を有することを特徴としている。
また、本発明の第2の形態の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子は、基板上に、多層膜反射鏡で上下をはさまれた共振器構造を複数備え、複数の共振器構造が光学的に結合して1つの共振モードを形成する垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、1つの共振器構造内に電流注入で発光する活性領域を備え、他の共振器構造内に電流注入機構を有せず外部励起光によって発光する活性領域を備えており、電流注入で発光する活性領域と外部励起光によって発光する活性領域とは、両者とも、同一の共振モード波長に対して、利得を有することを特徴としている。
また、本発明の第3の形態の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子は、第1または第2の形態の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、外部励起光によって発光する活性領域が複数設けられていることを特徴としている。
また、本発明の第4の形態の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子は、第1乃至第3のいずれかの形態の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、活性領域に、窒素と他のV族元素との混晶半導体を含むことを特徴としている。
また、本発明の第5の形態の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子は、第1乃至第4のいずれかの形態の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、電流注入で発光する活性領域は量子井戸層と障壁層を複数積層した多重量子井戸構造から構成されており、障壁層にp型不純物が1×1018cm−3〜1×1019cm−3の範囲でドーピングされていることを特徴としている。
また、本発明の第6の形態の発光装置は、垂直共振器型面発光半導体レーザ素子と外部励起光源とを備えた発光装置において、垂直共振器型面発光半導体レーザ素子は、第1乃至第5のいずれかの形態の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子であって、外部励起光源の波長は、上記垂直共振器型面発光半導体レーザ素子中の外部励起光によって発光する活性領域のバンドギャップに対応する波長と同じかまたは短かい波長であることを特徴としている。
また、本発明の第7の形態の発光装置は、第6の形態の発光装置において、外部励起光源が半導体レーザであることを特徴としている。
また、本発明の第8の形態の発光装置は、第7の形態の発光装置において、外部励起光源が垂直共振器型面発光半導体レーザであることを特徴としている。
また、本発明の第9の形態の発光装置は、第7または第8の形態の発光装置において、第1乃至第5のいずれかの形態の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子と、外部励起光源とが、モノリシックに集積化されていることを特徴としている。
また、本発明の第10の形態の光伝送システムは、第6乃至第9のいずれかの形態の発光装置が用いられていることを特徴としている。
102 ノンドープAl0.2Ga0.8As/Al0.9Ga0.1As DBR
103 AlGaAs第1スペーサ層
104 GaAs/AlGaAs多重量子井戸第2活性層
105 n型AlGaAs第2スペーサ層
106 GaAs/AlGaAs多重量子井戸第1活性層
107 AlGaAs第3スペーサ層
108 p型AlAs層
109 p型Al0.2Ga0.8As/Al0.9Ga0.1As DBR
110 AlOx絶縁領域
111 遮光層
112 p側電極
113 n側電極
202 Si基板
202 VCSEL
203 励起用端面型半導体レーザ素子
204 金属はんだ
301 n型GaAs基板
302 n型GaAs/Al0.9Ga0.1As DBR
303 GaAs第1スペーサ層
304 GaInNAs/GaAs多重量子井戸第1活性層
305 GaAs第2スペーサ層
306 p型GaAs第3スペーサ層
307 GaInNAs/GaAs多重量子井戸第2活性層
308 GaAs第4スペーサ層
309 GaInNAs/GaAs多重量子井戸第3活性層
310 ノンドープGaAs/Al0.9Ga0.1As DBR
401 1.3μm帯VCSEL
402 励起用0.98μm帯VCSEL
403 偏光ビームスプリッタ
501 GaAs第1スペーサ層
502 GaInNAs/GaAs多重量子井戸第2活性層
503 GaAs第2スペーサ層
504 p型GaAs第3スペーサ層
505 GaInNAs/GaAs多重量子井戸第1活性層
506 GaAs第4スペーサ層
507 p型GaAs/Al0.9Ga0.1As DBR
508 プロトンイオン注入領域
510 n型電極
511 p型電極
520 VCSEL部
521 励起用LD部
601 n型GaAs/Al0.9Ga0.1As DBR
602 AlGaAs第1スペーサ層
603 GaInAs/GaAs多重量子井戸活性層
604 AlGaAs第2スペーサ層
605 p型GaAs/Al0.9Ga0.1As DBR
606 アンドープGaAs/Al0.9Ga0.1As DBR
607 GaInNAs/GaAs多重量子井戸第2活性層
608 p型GaAs第1スペーサ層
609 GaAs第2スペーサ層
610 GaInNAs/GaAs多重量子井戸第1活性層
611 GaAs第3スペーサ層
612 n型GaAs/Al0.9Ga0.1As DBR
620 1.3μm VCSEL
621 励起用0.98μm VCSEL
701 光送信部
702 光受信部
703 光送受信モジュール
704 光ファイバケーブル
801 ノンドープAl0.2Ga0.8As/Al0.9Ga0.1As 第1DBR
802 AlGaAs第1スペーサ層
803 AlGaAs第2スペーサ層
804 ノンドープAl0.2Ga0.8As/Al0.9Ga0.1As 第2DBR
805 n型AlGaAs第3スペーサ層
806 AlGaAs第4スペーサ層
807 p型Al0.2Ga0.8As/Al0.9Ga0.1As DBR
808 高反射膜
809 45°反射鏡
Claims (10)
- 基板上に、多層膜反射鏡で上下をはさまれた共振器構造を備えた垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、上記共振器構造内に、電流注入で発光する活性領域と電流注入機構を有せず外部励起光によって発光する活性領域とを備えており、電流注入で発光する活性領域と外部励起光によって発光する活性領域とは、両者とも、上記共振器構造が有する同一の共振モード波長に対して、利得を有することを特徴とする垂直共振器型面発光半導体レーザ素子。
- 基板上に、多層膜反射鏡で上下をはさまれた共振器構造を複数備え、複数の共振器構造が光学的に結合して1つの共振モードを形成する垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、1つの共振器構造内に電流注入で発光する活性領域を備え、他の共振器構造内に電流注入機構を有せず外部励起光によって発光する活性領域を備えており、電流注入で発光する活性領域と外部励起光によって発光する活性領域とは、両者とも、同一の共振モード波長に対して、利得を有することを特徴とする垂直共振器型面発光半導体レーザ素子。
- 請求項1または請求項2記載の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、外部励起光によって発光する活性領域が複数設けられていることを特徴とする垂直共振器型面発光半導体レーザ素子。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、活性領域に、窒素と他のV族元素との混晶半導体を含むことを特徴とする垂直共振器型面発光半導体レーザ素子。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子において、電流注入で発光する活性領域は、量子井戸層と障壁層を複数積層した多重量子井戸構造から構成されており、障壁層にp型不純物が1×1018cm−3〜1×1019cm−3の範囲でドーピングされていることを特徴とする垂直共振器型面発光半導体レーザ素子。
- 垂直共振器型面発光半導体レーザ素子と外部励起光源とを備えた発光装置において、垂直共振器型面発光半導体レーザ素子は、請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子であって、外部励起光源の波長は、上記垂直共振器型面発光半導体レーザ素子中の外部励起光によって発光する活性領域のバンドギャップに対応する波長と同じかまたは短かい波長であることを特徴とする発光装置。
- 請求項6記載の発光装置において、外部励起光源は、半導体レーザであることを特徴とする発光装置。
- 請求項7記載の発光装置において、外部励起光源は、垂直共振器型面発光半導体レーザであることを特徴とする発光装置。
- 請求項7または請求項8記載の発光装置において、請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の垂直共振器型面発光半導体レーザ素子と、外部励起光源とが、モノリシックに集積化されていることを特徴とする発光装置。
- 請求項6乃至請求項9のいずれか一項に記載の発光装置が用いられていることを特徴とする光伝送システム。
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