JP2005300454A - イオンビーム分析方法およびイオンビーム分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料10に7Liイオンビームを照射する加速器5と、試料10に含まれる重水素との共鳴核反応によって放射されるγ線量を検出するγ線検出器7と、γ線検出器7によって検出されたγ線量に基づいて、試料10に含まれる重水素の存在量を算出する演算手段とを備えていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
また、このイオンビーム分析の一つとして、15N(p,αγ)12Cの共鳴核反応を用いた軽水素の分析が知られている(非特許文献1参照)。
具体的には、共鳴エネルギーである6.385MeV以上まで加速器によって加速された単色15Nイオンビームを、1x10−5Torr(1.33x10−3Pa)以下の高真空とされた真空チャンバー内に設置された試料に照射する。すると、試料内に存在する軽水素との共鳴核反応が生じ、γ線が放射される。このγ線を検出することによって軽水素の定量を行う。この共鳴核反応は、共鳴エネルギー幅が狭い(1.8keV)ので、選択的に軽水素を測定できるという利点を有している。
したがって、試料に入射させる15Nイオンビームのエネルギーを変化させて測定を行えば、試料の深さ方向における軽水素分布が得られることになる。
上記非特許文献1には、重水素の核反応としてD(d,n)3HeやD(3He,p)αが示されているが、核反応の際に放出されるエネルギーを示すQ値が低いことや、鋭い共鳴を示さない(共鳴エネルギー幅が小さい)ため深さ分析には向かないことが示されている。
すなわち、本発明にかかるイオンビーム分析方法は、試料に7Liイオンビームを照射し、前記試料に含まれる重水素との共鳴核反応によって放射されるγ線量を計測し、計測されたγ線量から前記試料に含まれる重水素を測定することを特徴とする。
なお、イオンビームとしては、例えば、7Liイオンビームや15Nイオンビームが用いられる。
また、導入されるガスとしては、例えば、水素や重水素を含んだガスが挙げられる。
また、照射側部屋が真空状態に維持されるので、真空容器内を高真空に維持できる。さらに、照射側部屋からイオンビームに向けてガスが流出することがないので、ガスによるイオンビームの減衰を防止することができる。
自由渦を用いた空力窓を採用することとしたので、収容容器内に導入されたガスが開口を通過して真空容器側に流出することがない。また、空力的にシールされているので、この部分でのイオンビームの減衰を可及的に抑えることができる。
また、イオンビーム照射時にガスが供給されないので、開口を通ってイオンビームの軌道上をガスが進行し、イオンビームを減衰させてしまうことがない。
また、本発明によれば、試料が実際に使用される条件に近い状態での計測が可能とされたイオンビーム分析方法およびイオンビーム分析装置を提供することができる。
[第1実施形態]
図1には、本実施形態に係る共鳴核反応分析装置(イオンビーム分析装置)1が示されている。
共鳴核反応分析装置1は、内部が高真空に保たれる真空容器3と、この真空容器3内に配置された試料10に7Liイオンビームを照射する加速器5と、試料10から放射されるγ線を検出するγ線検出器7とを備えている。
試料10としては、例えば、水素透過膜、有機膜、生体膜等が供される。
収容容器9には、7Liイオンビームを通過させるための開口9aが形成されている。この開口9aと試料10との距離は、雰囲気ガスによる7Liイオンビームの減衰を抑えるため、数mmとされている。
この収容容器9には、図示しないガス供給源が接続されており、重水素を含んだガスが供給されるようになっている。
これら差動排気室12,14は、7Liイオンビームの上流側に向けて、第1差動排気室12および第2差動排気室14の順に設けられている。また、これら差動排気室12,14には、7Liイオンビームを通過させるための開口12a,14aが適宜設けられている。
各差動排気室12,14は、それぞれ、独立に真空排気されるようになっており、各差動排気室12,14の真空度を異ならせた差動排気が実現されるようになっている。
また、真空容器3内の領域であって、差動排気室12,14が設けられていない領域についても、別途真空排気がなされるようになっている。それぞれの真空排気は、ターボ分子ポンプ15及びドライポンプ17が用いられる。ただし、所望の真空度が得られるのであれば、真空排気手段の形式は適宜変更することができる。
加速管5bによって加速された7Liイオンビームは、真空容器3の端部(図において左方)に取り付けられた出射端5cから試料10に向けて照射される。
まず、収容容器9内に試料10を設置して、第1差動排気室、第2差動排気室、真空容器3に接続された真空排気手段15,17を起動して、真空排気する。
その後、収容容器9内に重水素を含んだガスを供給する。供給する重水素含有ガスの圧力は、試料が実際に使用される条件を考慮して、例えば1気圧程度とされる。
この状態で、第1差動排気室の真空度は13.3Pa(0.1Torr)程度、第2差動排気室の真空度は1.33x10−3Pa(1x10−5Torr)程度、その他の真空容器3内の領域の真空度は1.33x10−3Pa(1x10−5Torr)以下とされている。
照射する7Liイオンビームのエネルギーと、予め得られている試料10内における7Liイオンビームの減衰とから、照射エネルギーと試料10内で共鳴核反応が生じる深さ位置との関係を得ておく。そして、7Liイオンビームの照射エネルギーを出力制御手段(図示せず)によってスキャンさせながら共鳴核反応によって放出されるγ線を計測し、各深さ位置における重水素を定量する。
共鳴核反応として7Li(d,γ)9Beを用いて計測することとしたので、重水素の定量が可能となる。また、この核反応の共鳴エネルギーは350keVとなっており、15Nイオンビームを用いた共鳴核反応法のような6.385MeVといった高エネルギーを要求しないという利点を有する。
次に、図2を用いて、本発明の第2実施形態を説明する。
本実施形態は、第1実施形態に比べて、収容容器9の構造が異なり、その他の構成は同様である。したがって、以下、収容容器9の構造について説明する。
収容容器9は、試料10の被照射面10aに面した照射側部屋20と、被照射面10aと反対側の裏面10bに面した裏面側部屋22とに区画されている。
照射側部屋20には、重水素含有ガス供給源(図示せず)が接続されており、重水素含有ガスが供給されるようになっている。
裏面側部屋22には、ターボ分子ポンプ等の真空排気手段が接続されており、内部が真空排気されるようになっている。
本実施形態によれば、試料10を水素透過膜とした場合、照射側部屋20から裏面側部屋22へと透過する重水素の深さ分布を測定することができる。この場合、試料10としては、パラジウム、パラジウム合金、ニッケル系合金等が用いられる。
また、15Nイオンビームを照射する加速器を併設すれば、軽水素の深さ分布を測定することができる。これにより、水素透過膜における同位体効果を分析することができる。
流出管30には、7Liイオンビームを通過させるための開口30aが形成されているが、ここから重水素含有ガスが流出することは殆どない。なぜなら、流出管30内を流れるガスは粘性流状態となっているので、そのせん断力によってガスは流出方向にひきずられるからである。
なお、この変形例は、第1実施形態と組み合わせることもできる。
開口9aの近傍には、自由渦ノズル40が設けられている。この自由渦ノズル40の一方40aには空気や窒素等のガスが供給されるようになっており、他方のノズル40bからガスが吸引されるようになっている。これらノズル40a,bの傾きを適宜設定し、一方のノズル40aからガスを超音速で流すことによって自由渦が形成され、これにより真空側と高圧側がシールされる。
本実施形態によれば、自由渦を用いた空力窓を用いることとしたので、真空容器3(具体的には第1差動排気室12側)内にガスが流出してしまうことを防止できる。
なお、この変形例は、第1実施形態と組み合わせることもできる。
次に、図5を用いて、本発明の第3実施形態を説明する。
本実施形態は、第2実施形態に比べて、収容容器9の構造は同様であり、重水素含有ガスを充填する部屋が逆になっている点で異なる。
つまり、照射側部屋20には、真空排気手段が接続されており、内部が真空排気されるようになっている。
裏面側部屋22には、重水素含有ガス供給源が接続されており、重水素含有ガスが供給されるようになっている。
本実施形態によれば、裏面側部屋22から照射側部屋20へと透過する重水素の深さ分布が測定できる点では第2実施形態と同様であるが、7Liイオンビームの照射側に重水素含有ガスを供給しない構成となっているので、真空容器3内を高真空に維持できるとともに、重水素含有ガスによる7Liイオンビームの減衰を考慮せずに済む点で有利である。
次に、図6を用いて本発明の第4実施形態について説明する。
本実施形態は、収容容器9の内部が真空に保たれている点で、上記各実施形態と異なる。
図6(a)には、収容容器9の内部が部分的に拡大して示されている。
収容容器9内には、重水素含有ガスを試料10の被照射面10aに対して吹きつけるガス吹付けノズル(ガス吹付け手段)50が設けられている。このガス吹付けノズル50は、制御手段(図示せず)によって制御されるようになっている。この制御手段は、重水素含有ガスを試料10に対して間欠的に吹き付けるように制御する。さらに、制御手段は、重水素含有ガスの吹き付けのタイミングに応じて、7Liイオンビームの照射時期を制御する。
このような間欠運転は、試料10中に重水素が拡散する速度よりも早いタイミングで行われる。これにより、試料10中を透過する重水素の様子を擬似的に再現することができる。
また、7Liイオンビーム照射時に重水素含有ガスが供給されないので、開口9aを通って7Liイオンビームの軌道L上を重水素含有ガスが進行し、7Liイオンビームを減衰させてしまうことがない。
3 真空容器
5 加速器
7 γ線検出器
9 収容容器
10 試料
10a 被照射面
10b 裏面
20 照射側部屋
22 裏面側部屋
30 流出管
40 自由渦ノズル
50 ガス吹付けノズル
Claims (13)
- 試料に7Liイオンビームを照射し、
前記試料に含まれる重水素との共鳴核反応によって放射されるγ線量を計測し、
計測されたγ線量から前記試料に含まれる重水素を測定することを特徴とするイオンビーム分析方法。 - 前記試料に照射する7Liイオンビーム強度を変化させ、
前記7Liイオンビーム強度に対応したγ線量から前記試料に含まれる重水素の深さ方向分布を測定することを特徴とする請求項1記載のイオンビーム分析方法。 - 試料に7Liイオンビームを照射し、
前記試料に含まれる重水素との共鳴核反応によって放射されるγ線量を計測し、
計測されたγ線量から前記試料に含まれる前記重水素を測定し、かつ、
試料に15Nイオンビームを照射し、
前記試料に含まれる軽水素との共鳴核反応によって放射されるγ線量を計測し、
計測されたγ線量から前記試料に含まれる軽水素を測定し、
水素の同位体効果を分析すること特徴とするイオンビーム分析方法。 - 試料に7Liイオンビームを照射する7Liイオンビーム照射手段と、
前記試料に含まれる重水素との共鳴核反応によって放射されるγ線量を検出するγ線検出器と、
該γ線検出器によって検出されたγ線量に基づいて、前記試料に含まれる重水素の存在量を算出する演算手段と、
を備えていることを特徴とするイオンビーム分析装置。 - 前記7Liイオンビーム照射装置の出力を変化させる出力制御手段を備え、
前記演算手段は、前記出力制御手段によって変化させられた7Liイオンビームの出力に応じて放射されるγ線量に基づいて、前記試料に含まれる重水素の深さ方向分布を演算することを特徴とする請求項4記載のイオンビーム分析装置。 - 試料に7Liイオンビームを照射する7Liイオンビーム照射手段と、
前記試料に含まれる重水素との共鳴核反応によって放射されるγ線量を検出するγ線検出器と、
該γ線検出器によって検出されたγ線量に基づいて、前記試料に含まれる重水素の存在量を算出する演算手段と、を備えるとともに、
試料に15Nイオンビームを照射する15Nイオンビーム照射手段を備え、
前記演算手段は、前記試料に含まれる軽水素との共鳴核反応によって放射されるγ線量を検出するγ線検出器によって検出されたγ線量に基づいて、前記試料に含まれる軽水素の存在量を算出することによって、水素の同位体効果を分析することを特徴とするイオンビーム分析装置。 - 試料を収容するとともに該試料に照射されるイオンビームを通過させる開口を有する収容容器と、
該収容容器の少なくとも前記開口を包囲するように設けられた真空容器と、
前記試料に向けてイオンビームを照射するイオンビーム照射手段と、
前記イオンビームによって前記試料から放射される放射エネルギーを検出する検出器と、
を備え、
前記収容容器には、ガスが導かれていることを特徴とするイオンビーム分析装置。 - 前記収容容器は、前記試料の被照射面に面した照射側部屋と、該被照射面と反対側の裏面に面した裏面側部屋とに区画され、
前記照射側部屋にはガスが導かれ、前記裏面側部屋は真空とされていることを特徴とする請求項7記載のイオンビーム分析装置。 - 前記収容容器は、前記試料の被照射面に面した照射側部屋と、該被照射面と反対側の裏面に面した裏面側部屋とに区画され、
前記照射側部屋は真空とされ、前記裏面側部屋にはガスが導かれていることを特徴とする請求項7記載のイオンビーム分析装置。 - 前記収容容器に設けられた前記開口には、該収容容器内のガスを前記イオンビームの軌道とは異なる方向に流出させる流出管が接続されていることを特徴とする請求項7または8に記載のイオンビーム分析装置。
- 前記収容容器に設けられた前記開口は、自由渦を用いた空力窓によってシールされていることを特徴とする請求項7または8に記載のイオンビーム分析装置。
- 内部に試料が配置された真空容器と、
前記試料に向けてイオンビームを照射するイオンビーム照射手段と、
前記イオンビームによって前記試料から放射される放射エネルギーを検出する検出器と、
前記試料の被照射面に対してガスを吹き付けるガス吹付け手段と、
該ガス吹付け手段によってガスが吹き付けられるときに前記イオンビーム照射手段によるイオンビーム照射を停止し、前記ガス吹付け手段によるガス吹き付けが停止されているときに前記イオンビーム照射手段によるイオンビーム照射を行うように、前記ガス吹付け手段および前記イオンビーム照射手段を間欠的に制御する制御手段と、
を備えていることを特徴とするイオンビーム分析装置。 - 前記収容容器から前記イオンビームの上流側に向けて複数の部屋を設け、
各部屋の真空度が、前記イオンビームの上流側に向かって順次高くなることを特徴とする請求項4から12のいずれかに記載のイオンビーム分析装置。
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JP2011095154A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | イオンビーム分析装置 |
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2004
- 2004-04-15 JP JP2004120315A patent/JP3958299B2/ja not_active Expired - Lifetime
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