JP2005300425A - マイクロ全分析システム - Google Patents

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JP2005300425A
JP2005300425A JP2004119389A JP2004119389A JP2005300425A JP 2005300425 A JP2005300425 A JP 2005300425A JP 2004119389 A JP2004119389 A JP 2004119389A JP 2004119389 A JP2004119389 A JP 2004119389A JP 2005300425 A JP2005300425 A JP 2005300425A
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micro total
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JP2004119389A
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Kazuyoshi Yamamoto
一喜 山本
Koji Fukui
弘司 福井
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Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Abstract

【課題】 本発明は、溶離液や希釈液等の液体をマイクロ全分析システム内の溶離液槽や
希釈液槽等に貯蔵しておいても、溶離液槽や希釈液槽等から溶離液や希釈液等の液体が微
細流路を通って下流方向に流れ出すことのないマイクロ全分析システムを提供する。
【解決手段】 基板内に微細流路が形成されているマイクロ全分析システムにおいて、微
細流路を閉鎖するように、熱又は光線により分解するフィルムが設置されていることを特
徴とするマイクロ全分析システム。
【選択図】 図2

Description

本発明は、マイクロ全分析システムに関する。
最近、医療診断を患者の近傍で行うベッドサイド診断、大気や水や土壌中の環境汚染材
料のモニタリング、食品の安全性検査等現場において短時間に安価に診断したり分析する
技術のニーズは非常に高くなってきている。
例えば、従来、高価且つ大型の装置を必要とした分析を、持ち運び可能な小型の分析装
置が代替できれば、大病院にしか設置できなかった分析装置を開業医でも設置、利用する
ことが可能になり、診断結果を患者に簡便に早期にフィードバックすることが可能になる
又、高齢者の健康指標を高齢者の家族が測定し、その健康指標数値を在宅管理したり、
病院に定期的に送信して病院で管理することにより在宅医療環境がより優れたものとなる
又、環境ホルモン、ダイオキシン等の環境汚染材料を、高価且つ大型装置を使用するこ
となく、簡易測定することができれば、簡単且つ安価に環境診断することができる。更に
、持ち運び可能な小型の分析装置を用いて現場で環境汚染材料を分析することができれば
、よりきめ細かい安全環境を供出することができる。
このような測定を簡易に行うために、基板内又は基板上に微細流路、輸液ディバイス、
反応槽、電気泳動カラム、膜分離機構、液体クロマトグラフカラム、キャピラリーガスク
ロマトグラフィー(CGC)、誘導型プラズマ(ICP)、質量分析計(MS)、電気化
学的測定装置等が内臓されたマイクロ全分析システムの研究が盛んになされている。
上記マイクロ全分析システムとして、例えば、小型化カラムデバイスから成る小型化全
分析システムであって、(a)第1平坦表面及び第2平坦表面の実質的に平坦な対向表面
をもつ基板であり、前記基板は、前記第1平坦表面にレーザ切削された第1マイクロチャ
ネルを有するが、シリコン又は二酸化ケイ素以外の材料から構成され、かつ前記第1マイ
クロチャネルが少なくとも2つの試料操作領域から成る、前記基板と、(b)前記第1平
坦表面上に配置され、前記第1マイクロチャネルとの組合せで第1試料処理区画を形成す
るカバー板であり、試料操作領域が試料取り扱い要素と流体連絡して試料流路要素を定め
ている、前記カバー板と、(c)第1試料処理区画に連絡し、外部の流体源から該試料処
理区画を通して流体を通過させる、少なくとも1つの入口ポートと少なくとも1つの出口
ポートと、を含んで成ることを特徴とする小型化全分析システム(例えば、特許文献1参
照。)が提案されている。
特開平8−334505号公報
上記マイクロ全分析システムにおいて、例えば、試料操作領域に液体クロマトグラフカ
ラムが設置されている場合は、その上流に溶離液や希釈液を貯蔵する溶離液槽や希釈液槽
を形成し、溶離液や希釈液を貯蔵しておく必要がある。
しかし、溶離液や希釈液を溶離液槽や希釈液槽に貯蔵してマイクロ全分析システムを保
存したり、輸送すると、マイクロ全分析システムを使用する前に、溶離液や希釈液が微細
流路を通って下流方向に流れ出てしまう危険性があった。
本発明の目的は、上記欠点に鑑み、溶離液や希釈液等の液体をマイクロ全分析システム
内の溶離液槽や希釈液槽等に貯蔵しておいても、溶離液槽や希釈液槽等から溶離液や希釈
液等の液体が微細流路を通って下流方向に流れ出すことのないマイクロ全分析システムを
提供することにある。
本発明のマイクロ全分析システムは、基板内に微細流路が形成されているマイクロ全分
析システムにおいて、微細流路を閉鎖するように、熱又は光線により分解するフィルムが
設置されていることを特徴とする。
本発明で使用される基板の素材は、特に限定されるものではなく、例えば、従来から使
用されている、ガラス、石英、シリコン等の無機材料、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等が
挙げられる。
上記無機材料は精度、加工性等が優れており、例えば、半導体微細加工技術において広
く用いられている光リソグラフィー技術を利用すれば、ガラスやシリコン基板上にミクロ
ンオーダーの溝を自在に形成することができる。
上記熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポ
リ乳酸系樹脂、ポリアクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂等が挙げられ、耐酸性、耐
アルカリ性を有する熱可塑性樹脂であるポリオレフィン系樹脂やポリアクリル系樹脂が好
ましい。
又、熱硬化性樹脂は、前駆体が液状のため、転写金型の形状をより忠実に転写するとい
う利点があり、低い線膨張率、低い成形収縮率を示すので有利に用いることができる。こ
のような熱硬化樹脂としては、コストや易取扱い性の点から、エポキシ樹脂を有利に用い
ることができる。
本発明のマイクロ全分析システムは、基板内に微細流路が形成されており、微細流路を
閉鎖するように熱又は光線により分解するフィルムが設置されている。そして、微細流路
を連通させる際に熱又は光線により分解するフィルムに熱又は光線を照射して、上記フィ
ルムを分解させ微細流路を連通するのである。
従って、微細流路に設置された上記フィルムに熱又は光線が効率よく照射できるように
、熱又は光線により分解するフィルムに光線の照射可能とする光線透過窓が基板に形成さ
れていることが好ましい。
光線透過窓の形成は公知の任意に方法が採用されてよく、例えば、基板の熱又は光線に
より分解するフィルムが設置されている部位を透明なガラス、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹
脂等で形成する方法が挙げられる。
又、熱又は光線により分解するフィルムが熱により分解するフィルムの場合には、熱又
は光線により分解するフィルムが設置されている部位付近にヒーターが設置されているこ
とが好ましく、ヒーターとしては従来公知の任意のヒーターが使用可能であるが、面状ヒ
ーターが好ましい。
このような熱又は光線により分解するフィルムとしては、熱又は光線により分解して自
らがガスを発生する酸素含有量が15〜55重量%のポリオキシアルキレン樹脂よりなる
のが好ましい。
上記ポリオキシアルキレン樹脂としては、例えば、ポリアルキレングリコール、ポリオ
キシアルキレンをセグメントとして含有する重合体等が挙げられる。
上記ポリアルキレングリコールとしては、例えば、ポリプロピレングリコール、ポリエ
チレングリコール、ポリテトラメチレングリコール等が挙げられ、これらは単独で使用さ
れてもよいし、2種以上が併用されてもよい。2種以上を併用する場合はポリプロピレン
グリコールを50重量%以上添加するのが好ましい。
上記ポリオキシアルキレンをセグメントとして含有する重合体は、例えば、ポリオキシ
メチレン、ポリオキシエチレン、ポリオキシプロピレン、ポリオキシトリメチレン、ポリ
オキシテトラメチレン等のポリオキシアルキレンをセグメントとして含有する重合体であ
って、例えば、上記ポリオキシアルキレンをセグメントとして含有するポリウレタン、ポ
リエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリ(メタ)アクリレート、ポリスチレン等が挙
げられる。
上記ポリオキシアルキレン樹脂の数平均分子量は、小さくなると揮発性が高くなり、大
きくなるとガスが発生しにくくなるので、500〜500万が好ましい。
上記ポリオキシアルキレン樹脂は架橋されていてもよい。架橋は物理架橋でも化学架橋
でもよい。
上記物理架橋方法としては、例えば、重合セグメントとして結晶性セグメントを選択し
結晶化させる方法、高分子量セグメントを用いて分子鎖の絡み合いを増加する方法、水酸
基、アミノ基、アミド基等の官能基を有するセグメントを用いて水素結合を形成させる方
法等が挙げられる。
又、化学架橋方法としては、例えば、架橋性官能基を有するポリオキシアルキレン樹脂
を架橋剤で架橋する方法が挙げられる。
上記架橋性官能基としては、例えば、加水分解性シリル基;イソシアネート基;エポキ
シ基;オキセタニル基;酸無水物基;カルボキシル基;水酸基;(メタ)アクリロイル基
、スチリル基等の重合性不飽和炭化水素基等があげられ、加水分解性シリル基、イソシア
ネート基、エポキシ基、(メタ)アクリロイル基又はスチリル基が好ましい。
上記加水分解性シリル基を有するポリオキシアルキレン樹脂としては、例えば、鐘淵化
学工業社製の商品名「MSポリマーS−203」、「MSポリマーS−303」、「MS
ポリマーS−903」、「エピオンEP−103S」、「エピオンEP−303S」、「
エピオンEP−505S」、「サイリルSAT−200」、「サイリルMA−403」、
「サイリルMA−447」、旭硝子社製の商品名「エクセスターESS−2410」、「
エクセスターESS−2420」、「エクセスターESS−3630」、チッソ社製の商
品名「(N−トリメトキシシリルプロピル)−O−ポリエチレンオキサイドウレタンPS
077」等が挙げられる。
上記イソシアネート基を有するポリオキシアルキレン樹脂としては、例えば、1,6−
ヘキサメチレンジイソシアネート、TDI、MDI等のジイソシアネートとポリプロピレ
ングリコールとを、イソシアネートモル量を水酸基モル量より多めにした条件下でウレタ
ン化反応することにより得られる。
上記エポキシ基を有するポリオキシアルキレン樹脂としては、例えば、共栄化学社製、
商品名「エポライト」シリーズ等が挙げられる。
上記(メタ)アクリロイル基又はスチリル基を有するポリオキシアルキレン樹脂として
は、例えば、α、ω−ジ(メタ)アクリロイルオキシポリプロピレングリコール、α、ω
−ジ(メタ)アクリロイルオキシポリエチレングリコール、α−(メタ)アクリロイルオ
キシポリプロピレングリコール、α−(メタ)アクリロイルオキシポリエチレングリコー
ル等が挙げられる。
又、市販されている(メタ)アクリロイル基又はスチリル基を有するポリオキシアルキ
レン樹脂としては、例えば、日本油脂社製の商品名「ブレンマー」シリーズ、新中村化学
社製の商品名「NKエステルM」シリーズ、「NKエステルAMP」シリーズ、「NKエ
ステルPEB」シリーズ、「NKエステルA」シリーズ、「NKエステルAPG」シリー
ズ、東亜合成社製の商品名「アロニックスM−240」、「アロニックスM−245」、
「アロニックスM−260」、「アロニックスM−270」、第一工業社製の商品名「P
E」シリーズ、「BPE」シリーズ、「BPP」シリーズ、共栄化学社製の商品名「ライ
トエステル4EG」、「ライトエステル9EG」、「ライトエステル14EG」、「ライ
トアクリレートMTG−A」、「ライトアクリレートDPM−A」、「ライトアクリレー
トP−200A」、「ライトアクリレート9EG」、「ライトアクリレートBP−EPA
」等が挙げられる。
上記架橋性官能基を有するポリオキシアルキレン樹脂を架橋する架橋剤としては、例え
ば、ポリオキシアルキレン樹脂が有する架橋性官能基と反応して、架橋樹脂中に取り込ま
れる架橋剤(以下、「架橋剤(1)」と言う。)、ポリオキシアルキレン樹脂が有する架
橋性官能基同士を反応させる触媒としての作用を有する架橋剤(以下、「架橋剤(2)」
と言う。)、上記架橋剤(1)と架橋剤(2)の両方の作用を有する架橋剤(以下、「架
橋剤(3)」と言う。)が挙げられる。
上記架橋剤(1)としては、例えば、下記の架橋剤が挙げられる。
イソシアネート基を有するポリオキシアルキレン樹脂を架橋する架橋剤としては、例え
ば、水酸基を複数有する化合物、アミノ基を複数有する化合物等の活性水素を複数有する
化合物が挙げられる。
上記水酸基を複数有する化合物としては、例えば、エチレングリコール、ブチレングリ
コール、グリセリン、ネオペンチルグリコール、1,6−ヘキサンジオール、1,4−シ
クロヘキサンジメタノール、ペンタエリスリトール、ポリエステルポリオール等が挙げら
れる。
上記アミノ基を複数有する化合物としては、例えば、ヘキサメチレンジアミン、テトラ
メチレンジアミン、α、ω−ジアミノプロピレングリコール等が挙げられる。
又、オキセタニル基を有するポリオキシアルキレン樹脂の架橋する架橋剤としては、例
えば、紫外線や可視光線によって酸が発生する光カチオン開始剤、熱によって酸が発生す
る熱カチオン開始剤等が挙げられる。
上記架橋剤(2)としては、例えば、下記の架橋剤が挙げられる。
加水分解性シリル基を有するポリオキシアルキレン樹脂を架橋する架橋剤としては、例
えば、一般式(1)で示される官能基を有する光反応性架橋剤、紫外線や可視光線によっ
て酸が発生する光カチオン開始剤、有機金属化合物、アミン系化合物、酸性燐酸エステル
、テトラアルキルアンモニウムハライド(ハライド:フルオリド、クロライド、ブロマイ
ド、ヨウダイト)、カルボン酸、塩酸、硫酸、硝酸などの無機酸等が挙げられ、一般式(
1)で示される官能基を有する光反応性架橋剤が好ましい。
O Yn-2
‖ | ‖ (1)
−C−X − C−
(式中、Xは周期律表のIVB族、VB族又はVIB族の原子、Yは水素、炭化水素基、
メルカプト基、アミノ基、ハロゲン基、アルコキシ基、アルキルチオ基、カルボニルオキ
シ基又はオキソ基、nはXの価数を示す。)
式中、Xは周期律表のIVB族、VB族又はVIB族の原子であり、例えば、酸素、硫
黄、窒素、リン、炭素等が挙げられる。nはXの価数であり、Xが酸素の場合は2、炭素
の場合は4である。
Yは水素、炭化水素基、メルカプト基、アミノ基、ハロゲン基、アルコキシ基、アルキ
ルチオ基、カルボニルオキシ基又はオキソ基を示し、上記炭化水素基としては、例えば、
脂肪族系炭化水素基、不飽和脂肪族系炭化水素基、芳香族系炭化水素基等が挙げられる。
これら炭化水素基は、本発明の目的を阻害しない範囲で、アミノ基、水酸基、エーテル基
、エポキシ基、ウレタン基、ウレア基、イミド基、エステル基、重合性不飽和基等の置換
基を有していてもよい。
上記一般式(1)で示される官能基を有する光反応性架橋剤は、環状化合物であっても
よい。環状化合物としては、例えば、環状鎖の中に1個又は2個以上の同種又は異種の上
記一般式(1)で表される官能基を有する化合物が挙げられる。又、複数の同種又は異種
の上記環状化合物を適当な有機基で結合した化合物や、複数の同種又は異種の上記環状化
合物をユニットとして少なくとも1個以上含む双環化合物が挙げられる。
上記Xが酸素である一般式(1)で示される官能基を有する光反応性架橋剤としては、
例えば、酢酸無水物、プロピオン酸無水物、ブチル酸無水物、イソブチル酸無水物、バレ
リック酸無水物、2−メチルブチル酸無水物、トリメチル酢酸無水物、ヘキサン酸無水物
、ヘプタン酸無水物、デカン酸無水物、ラウリル酸無水物、ミリスチリル酸無水物、パル
ミチン酸無水物、ステアリル酸無水物、ドコサン酸無水物、クロトン酸無水物、(メタ)
アクリル酸無水物、オレイン酸無水物、リノレイン酸無水物、クロロ酢酸無水物、ヨード
酢酸無水物、ジクロロ酢酸無水物、トリフルオロ酢酸無水物、クロロジフルオロ酢酸無水
物、トリクロロ酢酸無水物、ペンタフルオロプロピオン酸無水物、ヘプタフルオロブチル
酸無水物、コハク酸無水物、メチルコハク酸無水物、2,2−ジメチルコハク酸無水物、
イソブチルコハク酸無水物、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物、ヘキサヒドロ
−4−メチルフタル酸無水物、イタコン酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロフタル
酸無水物、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物、2−メチ
ルマレイン酸無水物、2,3−ジメチルマレイン酸無水物、1−シクロペンテン−1,2
−ジカルボン酸無水物、グルタル酸無水物、1−ナフチル酢酸無水物、安息香酸無水物、
フェニルコハク酸無水物、フェニルマレイン酸無水物、2,3−ジフェニルマレイン酸無
水物、フタル酸無水物、4−メチルフタル酸無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸ジ無水物、4,4’−(ヘキサフルオロプロピリデン)ジフタル酸無
水物、1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸無水物、1,8−ナフタレンジカルボ
ン酸無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸無水物などの酸無水物や、マ
レイン酸無水物とラジカル重合性二重結合を有する化合物、例えば、(メタ)アクリレー
ト、スチレン、ビニルエーテルなどとの共重合体等が挙げられる。これらの光反応性架橋
剤は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
又、上記光反応性架橋剤の市販品としては、例えば、旭電化工業社製の商品名「アデカ
ハードナーEH−700」、「アデカハードナーEH−703」、「アデカハードナーE
H−705A」、新日本理化社製の商品名「リカシッドTH」、「リカシッドHT−1」
、「リカシッドHH」、「リカシッドMH−700」、「リカシッドMH−700H」、
「リカシッドMH」、「リカシッドSH」、「リカレジンTMEG」、日立化成社製の商
品名「HN−5000」、「HN−2000」、油化シェルエポキシ社製の商品名「エピ
キュア134A」、「エピキュアYH306」、「エピキュアYH307」、「エピキュ
アYH308H」、住友化学工業社製の商品名「スミキュアーMS」等が挙げられる。
上記Xが窒素である一般式(1)で示される官能基を有する光反応性架橋剤としては、
例えば、コハク酸イミド、N−メチルコハク酸イミド、α,α−ジメチル−β−メチルコ
ハク酸イミド、α−メチル−α−プロピルコハク酸イミド、マレイミド、N−メチルマレ
イミド、N−エチルマレイミド、N−プロピルマレイミド、N−tert−ブチルマレイ
ミド、N−ラウリルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−フェニルマレイミ
ド、N−(2−クロロフェニル)マレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−(1−ピレ
ニル)マレイミド、3−メチル−N−フェニルマレイミド、N,N’−1,2−フェニレ
ンジマレイミド、N,N’−1,3−フェニレンジマレイミド、N,N’−1,4−フェ
ニレンジマレイミド、N,N’−(4−メチル−1,3−フェニレン)ビスマレイミド、
1,1’−(メチレンジ−1,4−フェニレン)ビスマレイミド、フタルイミド、N−メ
チルフタルイミド、N−エチルフタルイミド、N−プロピルフタルイミド、N−フェニル
フタルイミド、N−ベンジルフタルイミド、ピロメリット酸ジイミド等や、N−アルキル
マレイミドとラジカル重合性二重結合を有する化合物、例えば、(メタ)アクリレート、
スチレン、ビニルエーテルなどとの共重合体等が挙げられる。これらの光反応性架橋剤は
、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
上記Xがリンである一般式(1)で示される官能基を有する光反応性架橋剤としては、
例えば、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホ
スフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオ
キサイドなどのアシルホスフィンオキサイド等が挙げられる。これらの光反応性架橋剤は
、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
上記Xが炭素である一般式(1)で示される官能基を有する光反応性架橋剤としては、
例えば、2,4−ペンタンジオン、3−メチル−2,4−ペンタンジオン、3−エチル−
2,4−ペンタンジオン、3−クロロ−2,4−ペンタンジオン、1,1,1−トリフル
オロ−2,4−ペンタンジオン、1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペ
ンタンジオン、2,2,6,6−テトラメチル−3,5−ヘプタンジオン、1−ベンゾイ
ルアセトン、ジベンゾイルメタンなどのジケトン類;ジメチルマロネート、ジエチルマロ
ネート、ジメチルメチルマロネート、テトラエチル−1,1,2,2−エタンテトラカル
ボン酸などのポリカルボン酸エステル類;メチルアセチルアセトナート、エチルアセチル
アセトナート、メチルプロピオニルアセテートなどのα−カルボニル酢酸エステル類等が
挙げられる。これらの光反応性架橋剤は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用
されても良い。
上記光反応性架橋剤の中で、ジアシルフォスフィンオキシド及びその誘導体は加熱又は
光線を照射した際に消滅し残渣が極めて少ないので好適に用いられる。
上記光反応性架橋剤の添加量は、少なくなると加水分解性シリル基を有するポリオキシ
アルキレン樹脂の架橋が進まず、多くなると加水分解性シリル基を有するポリオキシアル
キレン樹脂の光透過性が低下し、表面のみが架橋し、内部が架橋しなくなるので、加水分
解性シリル基を有するポリオキシアルキレン樹脂100重量部に対し0.01〜30重量
部が好ましく、より好ましくは0.1〜20重慮部である。
上記有機金属化合物としては、例えば、ジブチル錫ジラウレート、ジブチル錫オキサイ
ド、ジブチル錫ジアセテート、ジブチル錫フタレート、ビス(ジブチル錫ラウリン酸)オ
キサイド、ジブチル錫ビスアセチルアセトナート、ジブチル錫ビス(モノエステルマレー
ト)、オクチル酸錫、ジブチル錫オクトエート、ジオクチル錫オキサイドなどの錫化合物
;テトラ−n−ブトキシチタネート、テトライソプロポキシチタネートなどのチタニウム
化合物等が挙げられる。これらの有機金属化合物は、単独で用いられても良いし、2種類
以上が併用されても良い。
上記有機金属化合物の添加量は、特に限定されるものではないが、加水分解性シリル基
を有するポリオキシアルキレン樹脂100重量部に対して、0.01〜10重量部が好ま
しく、より好ましくは0.1〜8重量部である。
上記エポキシ基を有するポリオキシアルキレン樹脂を架橋する架橋剤としては、例えば
、紫外線や可視光線により酸が発生する光カチオン開始剤、熱により酸が発生する熱カチ
オン開始剤、アミン化合物系硬化剤、アミド系硬化剤、酸無水物系硬化剤、メルカプト系
硬化剤、ケチミンやDICY等の熱潜在性硬化剤、カルバモイルオキシイミノ基等を有す
る光アミン発生剤等が挙げられる。
上記光カチオン開始剤としては、例えば、鉄−アレン錯体化合物、芳香族ジアゾニウム
塩、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルホニウム塩、オニウム塩、ピリジニウム塩、アル
ミニウム錯体/シラノール塩、トリクロロメチルトリアジン誘導体等が挙げられる。
上記オニウム塩やピリジニウム塩の対アニオンとしては、例えば、SbF6 - 、PF6
- 、AsF6 - 、BF4 - 、テトラキス(ペンタフルオロ)ボレート、トリフルオロメタ
ンスルフォネート、メタンスルフォネート、トリフルオロアセテート、アセテート、スル
フォネート、トシレート、ナイトレート等が挙げられる。
又、上記光カチオン開始剤の市販品としては、例えば、チバガイギー社製の商品名「イ
ルガキュアー261」、旭電化社製の商品名「オプトマーSP−150」、「オプトマー
SP−151」、「オプトマーSP−170」、「オプトマーSP−171」、ゼネラル
エレクトロニクス社製の商品名「UVE−1014」、サートマー社製の商品名「CD−
1012」、三新化学工業社製の商品名「サンエイドSI−60L」、「サンエイドSI
−80L」、「サンエイドSI−100L」、日本曹達社製の商品名「CI−2064」
、「CI−2639」、「CI−2624」、「CI−2481」、ローヌ・プーラン社
製の商品名「RHODORSIL PHOTOINITIATOR 2074」、ユニオ
ンカーバイド社製の商品名「UVI−6990」、ミドリ化学社製の商品名「BBI−1
03」、「MPI−103」、「TPS−103」、「MDS−103」、「DTS−1
03」、「NAT−103」、「NDS−103」等が挙げられる。これらの光カチオン
開始剤は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
上記熱カチオン開始剤としては、例えば、アルキル基を少なくとも1個有するアンモニ
ウム塩、スルホニウム塩、ヨウドニウム塩、ジアゾニウム塩、三フッ化ホウ素・トリエチ
ルアミン錯体等が挙げられる。
これら熱カチオン開始剤の対アニオンとしては、例えば、SbF6 - 、PF6 - 、As
6 - 、BF4 - 、テトラキス(ペンタフルオロ)ボレート、トリフルオロメタンスルフ
ォネート、メタンスルフォネート、トリフルオロアセテート、アセテート、スルフォネー
ト、トシレート、ナイトレート等が挙げられる。
上記カルバモイルオキシイミノ基等を有する光アミン発生剤としては、例えば、カルバ
モイルオキシイミノ基を有する化合物、コバルトアミン錯体、カルバミン酸−o−ニトロ
ベンジル、o−アシルオキシム等が挙げられる。
上記重合性不飽和炭化水素基を有するポリオキシアルキレン樹脂を架橋する架橋剤とし
ては、例えば、過酸化物、アゾ化合物等の熱ラジカル開始剤;紫外線、可視光線による光
ラジカル開始剤;熱又は光ラジカル開始剤とメルカプト基を複数有する化合物を組み合わ
せた開始剤等が挙げられる。
上記熱ラジカル開始剤としては、例えば、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサ
イド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、キュメンハイドロ
パーオキサイド、tert−ヘキシルハイドロパーオキサイド、tert−ブチルハイド
ロパーオキサイド等のハイドロパーオキサイド類;α,α’−ビス(tert−ブチルパ
ーオキシ−m−イソプロピル)ベンゼン、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチルー
2,5−ビス(tert−ブチルパーオキシ)ヘキサン、tert−ブチルキュミルパー
オキサイド、ジ−tert−ブチルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ビス(
tert−ブチルパーオキシ)ヘキシン−3等のジアルキルパーオキサイド類;ケトンパ
ーオキサイド類;パーオキシケタール類;ジアシルパーオキサイド類;パーオキシジカー
ボネート類;パーオキシエステル類等の有機過酸化物や2,2’−アゾビスイソブチロニ
トリル、1,1’−(シクロヘキサン−1−カルボニトリル)、2,2’−アゾビス(2
−シクロプロピルプロピオニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニ
トリル)等のアゾ化合物が挙げられる。これらの熱ラジカル開始剤は、単独で用いられて
も良いし、2種類以上が併用されても良い。
上記熱ラジカル開始剤としては、例えば、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル(
2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、α−ヒドロキシ−α−α’−ジメチルアセトフ
ェノン、メトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン等
のアセトフェノン誘導体;ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル等の
ベンゾインエーテル系化合物;ベンジルジメチルケタール等のケタール誘導体;ハロゲン
化ケトン、アシルフォスフィンオキシド、アシルフォスフォナート、2−メチル−1−[
4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−
2−N,N−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−1−ブタン、ビス(
2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキシドビスー(2,6−
ジメトキシベンゾイル)2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキシド、ビス(
η5−シクロペンタジエニル)−ビス(ペンタフルオロフェニル)−チタニウム、ビス(
η5−シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピリ−1−イ
ル)フェニル]−チタニウム、アントラセン、ペリレン、コロネン、テトラセン、ベンズ
アントラセン、フェノチアジン、フラビン、アクリジン、ケトクマリン、チオキサントン
誘導体、ベンゾフェノン、アセトフェノン、2−クロロチオキサンソン、2,4−ジメチ
ルチオキサンソン、2,4−ジエチルチオキサンソン、2,4−ジイソプロピルチオキサ
ンソン、イソプロピルチオキサンソン等が挙げられる。これらの熱ラジカル開始剤は、単
独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
上記架橋剤(3)としては、例えば、α,ω−ジアミノポリオキシプロピレン等が挙げ
られる。
本発明で使用される熱又は光線により分解するフィルムは、上記ポリオキシアルキレン
樹脂よりなるのが好ましいが、ポリオキシアルキレン樹脂は未架橋であってよいし、架橋
されていてもよい。又、未架橋のポリオキシアルキレン樹脂と上記架橋剤との樹脂組成物
からなるフィルムであってもよい。未架橋のポリオキシアルキレン樹脂と上記架橋剤との
樹脂組成物の場合は、フィルムを作成した後架橋させるのが好ましい。
本発明で使用される熱又は光線により分解するフィルムは、分解速度、分解温度等を制
御するために、分解促進剤、分解遅延剤、光増感剤等を含有していてもよい。
上記分解促進剤としては、熱又は光線によりガスを発生する材料に熱又は光線を照射し
た際に熱又は光線によりガスを発生する材料の分解を促進しうるものであれば特に限定さ
れず、例えば、無機過酸化物;有機過酸化物;硫酸鉄、硝酸ナトリウム、ナフテン酸コバ
ルト等の重金属化合物、蓚酸、リノレイン酸、アスコルビン酸等のカルボン酸類;ハイド
ロキノン、酸化錫等が挙げられる。
上記無機過酸化物としては、例えば、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸アン
モニウム、過塩素酸カリウム、過塩素酸ナトリウム、過塩素酸アンモニウム、過ヨウ素酸
カリウム等が挙げられる。
上記有機過酸化物としては、10時間半減期温度が100℃以上のものが好ましく、例
えば、P−メンタンハイドロキシパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロキシ
パーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロキシパーオキサイド、ク
メンハイドロキシパーオキサイド、t−ヘキシルハイドロキシパーオキサイド、t−ブチ
ルハイドロキシパーオキサイド等のハイドロキシパーオキサイド;ジクミルパーオキサイ
ド、α,α’−ビス(t−ブチルパーオキシ−m−イソプロピルベンゼン)、2,5−ジ
メチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルクミルパーオキサ
イド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパ
ーオキシ)ヘキシン−3等のジアルキルパーオキサイド;1,1−ビス(t−ヘキシルパ
ーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ヘキシルパー
オキシ)シクロヘキサン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)−3,3,5−トリメ
チルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、1,1−
ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロドデカン、2,2−ビス(t−ブチルパーオキシ)
ブタン、n−ブチル−4,4−ビス(t−ブチルパーオキシ)バレレート、2,2−ビス
(4,4−ジ−t−ブチルパーオキシシクロヘキシル)プロパン等のパーオキシケタール
;t−ヘキシルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t−ブチルパーオキシマレイ
ン酸、t−ブチルパーオキシ−3,5、5−トリメチルヘキサノエート、t−ブチルパー
オキシラウレート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(m−トルイルパーオキシ)ヘキサ
ン、t−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t−ヘキシルパーオキシベン
ゾエート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(m−ベンゾイルパーオキシ)ヘキサン、t
−ブチルパーオキシアセテート、t−ブチルパーオキシベンゾエート、ビス−t−ブチル
パーオキシイソフタレート、t−ブチルパーオキシアリルモノカーボネート等のパーオキ
シエステル等が挙げられる。
分解促進剤を熱又は光線によりガスを発生する材料に添加すると、熱又は光線によりガ
スを発生する材料の分解が促進されるが、分解促進剤として上記無機過酸化物又は有機過
酸化物を添加すると、熱又は光線によりガスを発生する材料の分解残渣である炭化物の発
生を抑止できるので好ましく、有機過酸化物は灰分残渣の発生も抑止できるのでより好ま
しい。
上記分解遅延剤としては、熱又は光線によりガスを発生する材料に熱又は光線を照射し
た際に熱又は光線によりガスを発生する材料の分解を遅延しうるものであれば特に限定さ
れず、例えば、メルカプト化合物、アミン化合物、アゾ化合物、有機錫、有機ホウ素等が
挙げられる。
上記メルカプト化合物としては、例えば、プロパンチオール、ブタンチオール、ペンタ
ンチオール、1−オクタンチオール、ドデカンチオール、シクロペンタンチオール、シク
ロヘキサンチオール、1,3−プロパンジチオール等が挙げられる。
上記アミン化合物としては、例えば、プロピルアミン、ブチルアミン、ヘキシルアミン
、ドデシルアミン、イソプロピルアミン、ヘキサメチレンジアミン、シクロヘキシルアミ
ン、ベンジルアミン、アニリン、メチルアニリン等が挙げられる。
上記アゾ化合物としては、例えば、アゾジカルボンアミド、アゾビスイソブチロニトリ
ル、アゾジカルボン酸バリウム塩、2,2−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチル
バレロニトリル)、2,2−アゾビス(2−シクロプロピルプロピオニトリル)、2,2
−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、1,1−アゾビス(シクロヘキサン−1−カ
ルボニトリル)等のアゾ化合物、ヒドラドジカルボンアミド、ニトロソグアニジン、p,
p’−オキシビスベンゼンスルホニルセミカルバジド、ベンゼンスルホニルヒドラジド、
N,N’−ジニトロソペンタメチレンテトラミン、トルエンスルホニルヒドラジド、4,
4−オキシビス(ベンゼンスルホニルヒドラジド)等が挙げられる。
上記有機錫としては、例えば、ジメチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジラウレート、ジ
ブチル錫ジオクテート、ジブチル錫ジアセテート、ジブチル錫ビス(2,4−ペンタンジ
オン)、ジラウリル錫ジラウレート等が挙げられる。
上記有機ホウ素としては、例えば、トリメチルボレート、トリプロピルボレート、トリ
ブチルボレート、トリメトキシボロキシン、トリメチレンボレート等が挙げられる。
上記光増感剤としては、熱又は光線によりガスを発生する材料に光線を照射した際に熱
又は光線によりガスを発生する材料の分解を促進しうるものであれば特に限定されず、例
えば、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケト
ン、α−ヒドロキシ−α,α’−ジメチルアセトフェノン、メトキシアセトフェノン、2
,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノンなどのアセトフェノン誘導体化合物;ベ
ンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテルなどのベンゾインエーテル系化合
物;ベンジルジメチルケタールなどのケタール誘導体化合物;ハロゲン化ケトン;アシル
ホスフィンオキシド;アシルホスフォナート;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フ
ェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−N,N−ジメチルア
ミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、ビス(2,4,6−トリメチル
ベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2
,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキシド、ビス(η5−シクロペンタジエニル
)ビス(ペンタフルオロフェニル)チタニウム、ビス(η5−シクロペンタジエニル)ビ
ス[2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピリ−1−イル)フェニル]チタニウム、アント
ラセン、ペリレン、コロネン、テトラセン、ベンズアントラセン、フェノチアジン、フラ
ビン、アクリジン、ケトクマリン、チオキサントン誘導体、ベンゾフェノン、アセトフェ
ノン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチル
チオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン
等が挙げられる。これらの増感剤は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用され
ても良い。
上記分解促進剤、分解遅延剤及び光増感剤の添加量は、特に限定されるものではなく、
使用形態に応じて適宜決定されればよいが、一般に、熱又は光線により分解するフィルム
中0.1〜10重量%が好ましい。
上記熱又は光線により分解するフィルムには、本発明の課題達成を阻害しない範囲で必
要に応じて、例えば、増粘剤、物性調整剤、増量剤、酸化防止剤(老化防止剤)、熱安定
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、着色剤等が添加されていても良い。
上記増粘剤は、熱又は光線により分解するフィルムを構成する材料との相溶性の良い高
分子化合物が好ましく、例えば、(メタ)アクリル系樹脂、ポリビニルアルコール誘導体
、ポリ酢酸ビニル、ポリスチレン誘導体、ポリエステル類、ポリエーテル類、ポリオレフ
ィン類、ポリウレタン類、ポリアミド類、天然ゴム、ポリブタジエン、ポリイソプレン、
ポリイソブテン、NBR、SBS、SIS、SEBS、水添NBR、水添SBS、水添S
IS、水添SEBS等や、これらの共重合体や官能基変性体等が挙げられる。
上記物性調整剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシ
ラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、テトラメトキシシラン、
テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、3
−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3
−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピル
トリメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラ
ン、N,N’−ビス−[3−(トリメトキシシリル)プロピル]エチレンジアミン、N,
N’−ビス−[3−(トリエトキシシリル)プロピル]エチレンジアミン、N,N’−ビ
ス−[3−(トリメトキシシリル)プロピル]ヘキサエチレンジアミン、N,N’−ビス
−[3−(トリエトキシシリル)プロピル]ヘキサエチレンジアミンなどのシランカップ
リング剤や、チタンカップリング剤、アルミニウムカップリング剤等が挙げられる。
上記増量剤としては、例えば、タルク、クレー、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、
無水珪素、含水珪素、珪酸カルシウム、二酸化チタン、カーボンブラック等の無機充填剤
が挙げられる
本発明で使用される熱又は光線により分解するフィルムは、常態では安定であり、熱又
は光線を照射することにより、分解する。
熱により分解するフィルムは、酸素雰囲気下では150〜300℃の所定温度で加熱す
ることにより、10分以内に分解し、消滅する。又、嫌気性雰囲気下では150〜350
℃の所定温度で加熱することにより、10分以内に、減圧すると5分以内に分解し、消滅
する。
又、光線により分解するフィルムは、光を照射することにより分解し、消滅するが、光
源としては、特に限定されず、例えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水
銀灯、発光ダイオード(LED)、全固体レーザー、エキシマレーザー、冷陰極線管、ケ
ミカルランプ、ブラックライトランプ、マイクロウェーブ励起水銀灯、メタルハライドラ
ンプ、ナトリウムランプ、ハロゲンランプ、キセノンランプ、蛍光灯、太陽光、電子線照
射装置等が挙げられる。これらの光源は、単独で用いられても良いし、2種類以上が組み
合わされて用いられても良い。
次に、本発明のマイクロ全分析システムを図面を参照して説明する。図1は、本発明の
マイクロ全分析システムの一例を示す平面図であり、図2は、反応液貯留槽3出口付近の
断面図である。
マイクロ全分析システムは上部基板8と下部基板9よりなり、上部基板8と下部基板9
の間には、試料貯留槽1、試薬貯留槽2、反応液貯留槽3、マイクロポンプ室4、4、4
、混合槽5、検出部6及び廃液貯留槽7が内蔵されている。
試料貯留槽1には試料を注入するための、開口された微細流路11が連通され、試薬貯
留槽2には試薬を注入するための、開口された微細流路21が連通され、反応液貯留槽3
には反応液を注入するための、開口された微細流路31が連通されている。
又、マイクロポンプ室4は微細流路41、42、43により、試料貯留槽1、試薬貯留
槽2又は反応液貯留槽3に連通されている。
試料貯留槽1と混合槽5及び試薬貯留槽2と混合槽5はそれぞれ微細流路12,22で
連通されており、混合槽5と検出部6及び反応液貯留槽3と検出部6はそれぞれ微細流路
51,32で連通されている。又、検出部6と廃液貯留槽7は微細流路61で連通されて
おり、廃液貯留槽7には廃液を排出するための、開口された微細流路71が連通されてい
る。
微細流路32の上流側は上部基板8に形成され、微細流路32の下流側は下部基板9に
形成され、微細流路32の接続部に熱又は光線により分解するフィルム10が微細流路3
2を閉鎖するように設置されている。又、フィルム10の上方の上部基板8には透明な光
線透過窓81が形成されている。
即ち、光線透過窓81から熱又は光線を、熱又は光線により分解するフィルム10に照
射することにより、フィルム10が分解され、微細流路32が連通するようになされてい
る。又、熱又は光線により分解するフィルム10は微細流路22にも設置されている。
尚、熱又は光線により分解するフィルム10としては、ビーカーに、加水分解性シリル
基含有ポリプロピレングリコール(旭硝子社製、商品名「エクセスターESS−2410
」)100重量部とジブチル錫ジラウリレート(和光純薬社製)2重量部を均一に成るま
で混合した後、ガラス板上に塗布し、空気中で12時間硬化させてフィルムを得た。
尚、光線により分解するフィルムが設置されたマイクロ全分析システムにおいては、太
陽光線や環境光線による感光する懸念がある場合には、光線により分解するフィルムの光
感度を落とすように設計したり、マイクロ全分析システムを使用するまで、光透過窓を遮
光シールや遮光フィルム等で遮光させることによって、光線により分解するフィルムが分
解しないようにするのが好ましい。
上記マイクロ全分析システムで測定する方法を説明する。尚、マイクロ全分析システム
は、試薬貯留槽2に試薬をマイクロシリンジ等で微細流路21から注入し、反応液貯留槽
3に反応液をマイクロシリンジ等で微細流路31から注入し、微細流路21、31は密閉
されていた。
先ず、試料貯留槽1に試料をマイクロシリンジ等で微細流路11から注入し、微細流路
11を密閉した。
次に、光線透過窓81から熱又は光線を、熱又は光線により分解するフィルム10に照
射し、分解して微細流路22、32を連通し、マイクロポンプ4を作動し、試料貯留槽1
及び試薬貯留槽2中の試料及び試薬を混合槽5に送り混合槽5内で混合する。
更に、混合された試料及び試薬を混合槽5から検出部6に送ると共に、反応液貯留槽3
に連通したマイクロポンプ4を作動させ、反応液貯留槽3中の反応液を検出部6に送る。
検出部6内に、試料、試薬及び反応液が送られ、測定材料を測定する。測定終了した混
合液は、廃液として廃液貯留槽7に供給され貯留又は微細流路71から排出される。
上記検出部6に設置される検出装置としては、従来からマイクロ全分析システムに使用
されている任意の検出装置が挙げられ、例えば、質量分析計(MS);ボルタンメトリ法
、ストリッピングボルタンメトリ法、アンペロメトリ法、ポテンシオメトリー法、クーロ
ンメトリ法等の電気化学的測定装置;光学的測定装置等が挙げられる。
又、上記マイクロ全分析システムには、従来からマイクロ全分析システムに使用されて
いる試料を反応させるための反応槽;電気泳動カラム、膜分離機構、液体クロマトグラフ
カラム、キャピラリーガスクロマトグラフィー(CGC)、誘導型プラズマ(ICP)等
の試料を濃縮・分離するための濃縮・分離装置;溶離液槽等が内蔵されていてもよい。
又、上記マイクロ全分析システムの例は一体に形成されているが、上記マイクロポンプ
室、試料貯留槽、試薬貯留槽、反応液貯留槽、溶離液槽、反応槽、濃縮・分離装置、検出
部等が異なる基板内に形成され、組み合わされて使用されてもよい。
本発明のマイクロ全分析システムの構成は上述の通りであり、溶離液や希釈液等の液体
をマイクロ全分析システム内の溶離液槽や希釈液槽等に貯蔵しておいても、溶離液槽や希
釈液槽等から溶離液や希釈液等の液体が微細流路を通って下流方向に流れ出すことがない
。従って、マイクロ全分析システムを作製して長期間保存することや輸送することができ
、任意の場所で測定することができる。
本発明のマイクロ全分析システムの一例を示す平面図である。 反応液貯留槽出口付近の断面図である。
符号の説明
1 試料貯留槽
2 試薬貯留槽
3 反応液貯留槽
4 マイクロポンプ
5 混合槽
6 検出部
7 廃液貯留槽
8 上部基板
9 下部基板
10 熱又は光線により分解するフィルム
81 光線透過窓

Claims (12)

  1. 基板内に微細流路が形成されているマイクロ全分析システムにおいて、微細流路を閉鎖
    するように、熱又は光線により分解するフィルムが設置されていることを特徴とするマイ
    クロ全分析システム。
  2. 微細流路に設置された熱又は光線により分解するフィルムに光線の照射可能とする光線
    透過窓が形成されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロ全分析システム。
  3. 熱又は光線により分解するフィルム付近にヒーターが設置されていることを特徴とする
    請求項1記載のマイクロ全分析システム。
  4. 熱又は光線により分解するフィルムが、酸素含有量が15〜55重量%のポリオキシ
    アルキレン樹脂よりなることを特徴とする請求項1、2又は3記載のマイクロ全分析シス
    テム。
  5. ポリオキシアルキレン樹脂が、加水分解性シリル基、イソシアネート基、エポキシ基、
    (メタ)アクリロイル基及びスチリル基よりなる群から選ばれた官能基を有することを特
    徴とする請求項4記載のマイクロ全分析システム。
  6. 熱又は光線により分解するフィルムが、加水分解性シリル基、イソシアネート基、エポ
    キシ基、(メタ)アクリロイル基及びスチリル基よりなる群から選ばれた官能基を有する
    ポリオキシアルキレン樹脂と架橋剤よりなる樹脂組成物又はその架橋された樹脂組成物か
    らなることを特徴とする請求項6記載のマイクロ全分析システム。
  7. 架橋剤が、一般式(1)で表される官能基を有する光反応性架橋剤であることを特徴と
    する請求項6記載のマイクロ全分析システム。
    O Yn-2
    ‖ | ‖ (1)
    −C−X − C−
    (式中、Xは周期律表のIVB族、VB族又はVIB族の原子、Yは水素、炭化水素基、
    メルカプト基、アミノ基、ハロゲン基、アルコキシ基、アルキルチオ基、カルボニルオキ
    シ基又はオキソ基、nはXの価数を示す。)
  8. 熱又は光線により分解するフィルムが、熱分解促進剤を含有することを特徴とする請求
    項4〜7の何れか1項記載のマイクロ全分析システム。
  9. 熱分解促進剤が、無機過酸化物、有機過酸化物又はアゾ化合物であることを特徴とする
    請求項8記載のマイクロ全分析システム。
  10. 熱又は光線により分解するフィルムが、熱分解遅延剤を含有することを特徴とする請求
    項4〜7の何れか1記載のマイクロ全分析システム。
  11. 熱分解遅延剤が、メルカプト化合物、アミン化合物、有機錫又は有機ホウ素であること
    を特徴とする請求項9記載のマイクロ全分析システム。
  12. 熱又は光線により分解する材料が、光増感剤を含有することを特徴とする請求項4〜7
    の何れか1記載のマイクロ全分析システム。
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WO2009113567A1 (ja) * 2008-03-11 2009-09-17 積水化学工業株式会社 マイクロ流体デバイス
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