JP2005298234A - ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板として大きさが3.5〜5.0インチで厚さが0.8〜1.20mmの非磁性ガーネット基板を用いることを特徴とするビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の製造方法などによって提供する。
【選択図】なし
Description
このような光アイソレータは、フェリ磁性体のビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜からなるファラデー回転子を偏光子と検光子とで挟み、これを筒状磁石の中に納めて構成される。
LPE法では、基板として円盤状の単結晶を用いると、析出するエピタキシャル結晶が基板結晶と同一の方位を持つようになる。したがって、結晶品質のきわめて良い結晶が得られるという特徴がある。
ところが、従来の直径3インチの基板を用いた場合に育成中の基板の割れを防止するために最適であるとされている厚さの基板、例えば、厚さ0.5mmの磁性ガーネット膜を育成する際に、厚さ0.7〜0.75mmの基板(例えば、特許文献1参照。)を用いて、LPE法を行うと、磁性ガーネット膜の育成中に基板が割れる現象が多発した。
基板として直径が3.5〜5.0インチで厚さが0.8〜1.20mmの非磁性ガーネット基板を用いることを特徴とするビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の製造方法が提供される。
A=asub−afilm (1)
(式中、asubは非磁性ガーネット基板の格子定数、及びafilmはビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の格子定数を表す。)
本発明のビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の製造方法は、非磁性ガーネット基板上にLPE法によってビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜を製造する際に、基板として、直径が3.5〜5.0インチで厚さが0.8〜1.20mmの非磁性ガーネット基板を用いることを特徴とする。これによって、従来使用されている基板の厚さよりも、基板を厚くして剛性を高めることにより、育成開始においての磁性ガーネット膜の格子定数を基板のそれに近づけても、育成中の基板の割れを抑制し、かつ育成後の基板の反りを小さくすることができるからである。
まず、酸化鉛(PbO)、酸化ビスマス(Bi2O3)及び酸化ホウ素(B2O3)等の融剤、並びに希土類酸化物、酸化鉄(Fe2O3)等の溶質成分を所定量秤量して混合し、白金製坩堝に入れる。これを加熱炉中で800〜950℃に加熱し、溶質成分を完全に溶解させて、育成用の所定組成の融液を得る。
A=asub−afilm (1)
(式中、asubは非磁性ガーネット基板の格子定数、及びafilmはビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の格子定数を表す。)
(1)格子定数の測定:得られた磁性ガーネットエピタキシャル膜の表面を鏡面研磨し、表裏の格子定数をボンド法で測定し、育成開始と終了の際の磁性ガーネット膜の格子定数とした。
(2)室温反りの測定:10枚のエピタキシャル膜付き基板を用いて、非接触形状測定装置で測定し、その平均値を求めた。
(3)加工収率の評価:エピタキシャル膜付き基板を11mm角にダイシングした後、研磨によって基板を除去してFR膜を得る際の11mm角FR膜の収率を求めた。なお、クラックの発生がない場合には、基板一枚あたり44枚の11mm角FR膜がとれる。
非磁性ガーネット基板を用いたLPE法でYbTbBiFe系の磁性ガーネットエピタキシャル膜(以下、FR膜と呼称する。)を作製し、育成中の割れ、育成後の基板の室温での反り、及び加工収率を評価した。
まず、PbO2300g、B2O3140g、Bi2O33100g、Fe2O3460g、Tb2O356.6g、Yb2O34.4gを秤量し、混合して、白金製坩堝に装入した。次いで、前記白金製坩堝を縦型管状炉内で950℃まで加熱して、前記混合物を溶解した。その後、融液が均一な組成になるように十分に撹拌混合して、FR膜の成長用の融液とした。
その後、育成中の割れ、室温反り及び加工収率を評価した。結果を表1に示す。
厚さ1.05mmの基板を用いた以外は実施例1と同様に行い、エピタキシャル膜付き基板を得て、その後、育成中の割れ、室温反り、及び加工収率を評価した。結果を表1に示す。
厚さ0.6mmの基板を用いた以外は実施例1と同様に行い、エピタキシャル膜付き基板を得て、その後、育成中の割れ、室温反り、及び加工収率を評価した。結果を表1に示す。
厚さ0.7mmの基板を用いた以外は実施例1と同様に行い、エピタキシャル膜付き基板を得て、その後、育成中の割れ、室温反り、及び加工収率を評価した。結果を表1に示す。
厚さ0.6mmの基板を用いたこと、育成開始の格子定数差(A)を0.07nmに制御したこと、及び育成終了の格子定数差(A)を0.04nmに制御したこと以外は実施例1と同様に行い、エピタキシャル膜付き基板を得て、その後、育成中の割れ、室温反り、及び加工収率を評価した。結果を表1に示す。
厚さ0.7mmの基板を用いたこと、育成開始の格子定数差(A)を0.07nmに制御したこと、及び育成終了の格子定数差(A)を0.04nmに制御したこと以外は実施例1と同様に行い、エピタキシャル膜付き基板を得て、その後、育成中の割れ、室温反り、及び加工収率を評価した。結果を表1に示す。
Claims (4)
- 非磁性ガーネット基板上に液相エピタキシャル法によってビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜を製造する方法において、
基板として直径が3.5〜5.0インチで厚さが0.8〜1.20mmの非磁性ガーネット基板を用いることを特徴とするビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の製造方法。 - 下記の式(1)で表される基板と単結晶膜の格子定数差(A)は、育成開始時において0.02〜0.05nmの範囲内に制御するとともに、育成終了時において0.02nm以下に制御することを特徴とする請求項1に記載のビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の製造方法。
A=asub−afilm (1)
(式中、asubは非磁性ガーネット基板の格子定数、及びafilmはビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の格子定数を表す。) - 育成終了時において非磁性ガーネット基板に生じる室温での反りが0.3mm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の製造方法。
- 前記ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜は、YbTbBiFe系磁性ガーネット膜であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜の製造方法。
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CN115418711A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-12-02 | 电子科技大学 | 一种改善磁性石榴石液相外延生长过程中晶片碎裂的方法 |
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2004
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CN115418711A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-12-02 | 电子科技大学 | 一种改善磁性石榴石液相外延生长过程中晶片碎裂的方法 |
CN115418711B (zh) * | 2022-07-05 | 2023-08-29 | 电子科技大学 | 一种改善磁性石榴石液相外延生长过程中晶片碎裂的方法 |
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