JP2005294823A - 電子部品等の接続バンプの製造システムおよび製造方法並びに導電性ボールの接合装置および接合方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一態様は、導電性ボールを用いて電子部品に所定のパターンで接続バンプを形成する製造システムであって、(1)前記パターンに対応し前記導電性ボールを挿通可能な位置決め開口部を備えるマスクと、前記電子部品に対して位置合わせされた前記マスクの位置決め開口部に装入され前記電子部品に整列されている前記導電性ボールにレーザービームを照射するビーム照射手段とを有し、前記マスクは、少なくとも前記レーザービームが照射される側にレーザービームを反射する反射膜を備え、前記電子部品に導電性ボールを仮固定する接合装置と、(2)前記接合装置で、前記電子部品に仮固定された導電性ボールを再溶融する再溶融装置とを有する接続バンプの製造システムである。
【選択図】図1
Description
本発明の第1態様について図1〜4を参照し説明する。図1は、第1態様の製造システムの構成を示す図である。図2は、図1の第1態様の接合装置の概略構成図である。図3は、図1の基板に半田ボールを整列された状態で載置する方法の一例を説明する図である。図4は、図1の基板に半田ボールを整列された状態で載置する方法の別の一例を説明する図である。
第1態様の接合装置1は、図2に示すように、所定のパターンに整列された状態で半田ボールBが載置された基板7を水平に支持する支持台13と、基板7を介して支持台13の上方に配設され紙面に対し水平方向と垂直方向に自在に移動可能な加熱手段であるビーム照射手段11とを有している。なお、本態様の支持台13は、水平に基板7を支持できるように平板状の基台としているが、例えば基板7をより確実に保持できるように真空吸着する吸着手段を備えたり、基板7を位置決めするための位置決め部を備えたりしていてもよい。
以下で説明する別の態様においても共通な構成の再溶融装置6は、接合装置1において電極71に仮固定された半田ボールBを再溶融し、接続バンプを形成する。したがって、再溶融装置としては特に限定される構成はなく、例えば半田ボールBが搭載された基板7の全体を加熱して半田ボールBを再溶融する物であってもよく、半田ボールBのみ加熱して再溶融する物であってもよい。
所定のパターンで整列された状態で基板7の電極71に載置された半田ボールBを、接合装置1で、半田ボールBの表部が溶融する程度に加熱し、電極71に仮固定する。
電極71に仮固定された半田ボールBを、再溶融装置6で、再溶融し、接続バンプを形成する。
本発明の第2態様について図1、5及び6を参照し説明する。図1は、第2態様の製造システムの構成を示す図である。図5は、図1の第2態様の接合装置の概略構成図である。図6は、図5のA矢視の平面図である。なお、図において、第1態様の製造システム9と実質的に同様な構成については同一の符号を付し、その構造や動作の詳細な説明を省略する。(以下説明する他の態様でも同様とする。)
本発明の第3態様について図1及び7を参照し説明する。図1は、第3態様の製造システムの構成を示す図である。図7は、図1の第3態様の接合装置の概略構成図である。
本発明の第4態様について図1及び8を参照し説明する。図1は、第4態様の製造システムの構成を示す図である。図8は、図1の第4態様の接合装置の概略構成図である。
本発明の第5態様について図9を参照し説明する。図9は、第5態様の製造システムにおける接合装置2´の概略構成図である。第5態様の接合装置2´は基本的に第2態様の接合装置2と同様な構成を有し、マスク24aの態様のみが異なっている。
本発明の第6態様について図10を参照し説明する。図10は、第6態様の製造システムにおける接合装置2aの概略構成図である。第6態様の接合装置2aは基本的に第2態様の接合装置2と同様な構成を有しているが、マスク24に挿入され電極71に載置された状態の半田ボールBの頂部を下方に押圧する押圧手段244aを有している点で異なっている。以下、押圧手段244aについて説明する。なお、本態様におけるマスク24は厚みが半田ボールBの直径よりも小さく、位置決め開口部242に挿入された半田ボールBの頂部がマスク24の上面より突起するよう構成されている。
本発明の第7態様について図11を参照し説明する。図11は、第7態様の製造システムにおける接合装置2bの概略構成図である。第6態様の接合装置2bは基本的に第6態様の接合装置2aと同様な構成を有しているが、マスク24の厚みが半田ボールBの直径よりも大きく、そのため位置決め開口部242に挿入された半田ボールBの頂部がマスク24の上面より低い位置にある点と、その状態の半田ボールBを下方に押圧可能とした押圧手段244bの構成とが異なっている。
本発明の第8態様について図12を参照し説明する。図12は、第8態様の製造システムにおける接合装置2cの概略構成図である。第8態様の接合装置2cは基本的に第7態様の接合装置2bと同様な構成を有しているが、押圧手段244cの構成が異なっている。
本発明の第9態様について図13を参照し説明する。図13は、第9態様の製造システムにおける接合装置2dの概略構成図である。第9態様の接合装置2dは基本的に第7態様の接合装置2bと同様な構成を有しているが、押圧手段244dの構成が異なっている。
11 ビーム照射手段
111 ビーム照射部
112 レーザービーム
113 焦点
114 照射範囲
13 支持台
2 第2様態の接合装置
24 マスク
241 基体
242 位置決め開口部
243 反射膜
2´ 第5様態の接合装置
24a マスク
241a 基体
243a 反射膜
2a 第6様態の接合装置
244a 押圧手段
2441a 押圧部
2442a 脚部
2b 第7様態の接合装置
244b 押圧手段
2441b 押圧部
2442b 脚部
2443b 押圧部材
2c 第8様態の接合装置
244c 押圧手段
2441c 押圧部
2442c 脚部
2443c 押圧部材
2d 第9様態の接合装置
244d 押圧手段
2441d 押圧部
2442d 脚部
2443d 突起部
3 第3様態の接合装置
32 容器
321 壁面
322 上部窓
323 吸気口
324 排出口
4 第4様態の接合装置
45 噴射装置
451 噴射ノズル
452 ガス
453 供給装置
5 吸着ヘッド
51 吸着孔
52 流通孔
6 再溶融装置
7 基板
71 電極
8 マスク
81 位置決め開口部
9 接続バンプの製造システム
B 導電性ボール
Claims (14)
- 導電性ボールを用いて電子部品に所定のパターンで接続バンプを形成する製造システムであって、
(1)前記パターンに対応し前記導電性ボールを挿通可能な位置決め開口部を備えるマスクと、前記電子部品に対して位置合わせされた前記マスクの位置決め開口部に装入され前記電子部品に整列されている前記導電性ボールにレーザービームを照射するビーム照射手段とを有し、前記マスクは、少なくとも前記レーザービームが照射される側にレーザービームを反射する反射膜を備え、前記電子部品に導電性ボールを仮固定する接合装置と、
(2)前記接合装置で、前記電子部品に仮固定された導電性ボールを再溶融する再溶融装置と
を有する電子部品等の接続バンプの製造システム。 - 前記レーザービームは、前記位置決め開口部に装入された導電性ボールを複数個含む範囲に照射される請求項1に記載の電子部品等の接続バンプの製造システム。
- 前記接合装置は、前記電子部品に対して位置合わせされた前記マスクの前記位置決め開口部に装入された導電性ボールを下方に押圧可能に配設されるととともに前記レーザービームが透過可能な押圧手段を有する請求項1又は2のいずれかに記載の電子部品等の接続バンプの製造システム。
- 前記電子部品に整列された導電性ボールの周囲は不活性雰囲気又は還元雰囲気にされる請求項1乃至3のいずれかに記載の電子部品等の接続バンプの製造システム。
- 導電性ボールを用いて電子部品に所定のパターンで接続バンプを形成する製造方法であって、
(1)所定のパターンで前記電子部品に整列されている前記導電性ボールを該導電性ボールの表部のみが溶融状態となる程度に加熱して前記電子部品に仮固定する第1ステップと、
(2)前記電子部品に仮固定された導電性ボールを再溶融する第2ステップと
を含む電子部品等の接続バンプの製造方法。 - 前記第1ステップにおいて、前記導電性ボールを下方に押圧しつつ加熱する請求項5に記載の接続バンプの製造方法。
- 前記第1ステップで、前記電子部品に整列された導電性ボールの周囲を不活性雰囲気又は還元雰囲気にする請求項5又は6のいずれかに記載の電子部品等の接続バンプの製造方法。
- 所定のパターンで導電性ボールを電子部品に接合する接合装置であって、前記パターンに対応し前記導電性ボールを挿通可能な位置決め開口部を備えるマスクと、前記電子部品に対して位置合わせされた前記マスクの位置決め開口部に装入され前記電子部品上に整列されている前記導電性ボールにレーザービームを照射するビーム照射手段とを有し、前記マスクは、少なくとも前記レーザービームが照射される側にレーザービームを反射する反射膜を備える導電性ボールの接合装置。
- 前記レーザービームは、前記位置決め開口部に装入された前記導電性ボールを複数個含む範囲に照射される請求項8に記載の導電性ボールの接合装置。
- 前記電子部品に対して位置合わせされた前記マスクの前記位置決め開口部に装入された導電性ボールを下方に押圧可能に配設されるととともに前記レーザービームが透過可能な押圧手段を有する請求項8または9のいずれかに記載の導電性ボールの接合装置。
- 前記電子部品に整列された導電性ボールの周囲は不活性雰囲気又は還元雰囲気である請求項8乃至10のいずれかに記載の導電性ボールの接合装置。
- 所定のパターンで導電性ボールを電子部品に接合する接合方法であって、前記電子部品に整列されている前記導電性ボールを該導電性ボールの表部のみが溶融状態となる程度に加熱して前記電子部品に接合するステップを含む導電性ボールの接合方法。
- 前記導電性ボールを下方に押圧しつつ加熱する請求項12に記載の導電性ボールの接合方法。
- 前記電子部品に整列された導電性ボールの周囲を不活性雰囲気又は還元雰囲気にする請求項12又は13のいずれかに記載の導電性ボールの接合方法。
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